JP2020523793A - 超高密度波長ビーム結合レーザシステム - Google Patents
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Abstract
Description
たとえば、外部キャビティは、一体型の光カプラ、またはフィルタとカプラのスタックによって形成される。外部キャビティは、光学的に透過性の固体材料(例えば、シリカ、サファイアなど)、自由空間(例えば、固体材料が存在しない)、またはその両方にあっても、またはそれらを含んでもよい。外部キャビティは、例えば、レーザセンブリ、レーザツール、またはレーザデバイスを構成または収容することができるハウジング内にあるか、またはハウジングによって画定されていてもよい。したがって、例えば、ハウジングは、一体型光カプラの一部またはすべてを含むことができ、または一体型光カプラとレーザダイオード光源の両方の一部またはすべてを含むことができる。
体積ブラッグ格子からの出力光の方向は、光学コーティングからの出力光の方向に対して90°である。体積ブラッグ格子と光学コーティングによって結合された後の個々のレーザダイオードビームの合計の輝度は、Nを個々のレーザの数とした場合、個々のレーザダイオードビームの輝度よりもN倍明るく、Bを体積ブラッグ格子の数とした場合、N/Bはグループとして光学コーティングによって結合される個々のレーザダイオードビームの数となる。体積ブラッグ格子によって組み合わされたレーザダイオードの個々の組み合わせの光帯域幅は、相互に排他的である。
さらに、これらの実施形態は、例えば、以下で使用されてもよい:将来開発される可能性のある他の機器または活動;また、本明細書の教示に基づいて部分的に変更される可能性のある既存の機器またはアクティビティ。さらに、本明細書に記載のさまざまな実施形態は、異なるさまざまな組み合わせで互いに使用することができる。したがって、例えば、本明細書の様々な実施形態で提供される構成を互いに使用することができる。また、本発明に与えられる保護の範囲は、特定の実施形態、例、または特定の図の実施形態に記載されている特定の実施形態、構成または配置に限定されるべきではない。
Claims (71)
- a.各々が0.25W以上の出力を有する複数のレーザダイオードであって、それぞれレーザビーム経路に沿ってレーザビームを提供するように構成される複数のレーザダイオードと;
b.該複数のレーザダイオードのそれぞれによって共有される共通の外部キャビティと;
c.該複数のレーザダイオードのそれぞれから平行ビームを生成するためのレーザビーム経路内のコリメーティング光学手段と;
d.該共通の外部キャビティ内で該レーザビーム経路内のビーム結合光学手段であって、各レーザダイオードの波長を決定し、該複数のレーザダイオードからの各レーザビーム経路を同一直線上に位置合わせして空間で重なり合うようにすることにより、1つの複合出力レーザビームを提供するビーム結合光学手段と、
を有し、
e.該複合出力レーザビームの、合成パワーを開口面積発散角積(aperture divergence product)で除算した空間輝度が、該複数のレーザダイオード内の任意の単一レーザダイオードの輝度のn倍となるようにした高出力高輝度レーザシステム。 - 該ビーム結合光学手段が、バンドパスフィルタのスペクトルの低域端または高域端のいずれかのエッジで使用される一組の光学フィルタから形成される光学キャビティと、出力カプラまたはミラーを有する、請求項1に記載の高出力高輝度レーザシステム。
- 10ワット以上の出力パワー及び0.1mm−mrad以上のビームパラメータ積で、400−500nmの範囲で動作する、請求項1に記載のレーザシステム。
- 10ワット以上の出力パワー及び0.1mm−mrad以上のビームパラメータ積で、500−600nm範囲で動作する、請求項1に記載のレーザシステム。
- 10ワット以上の出力パワーおよび0.1mm−mrad以上のビームパラメータ積で720−800nmの範囲で動作する、請求項1に記載のレーザシステム。
- 10ワット以上の出力パワーおよび0.1mm−mrad以上のビームパラメータ積で800−900nmの範囲で動作する、請求項1に記載のレーザシステム。
- 10ワット以上の出力パワーおよび0.1mm−mrad以上のビームパラメータ積で900−1200nmの範囲で動作する、請求項1に記載のレーザシステム。
- 10ワット以上の出力パワーおよび0.1mm−mrad以上のビームパラメータ積で1200nm−1120nmの範囲で動作する、請求項1に記載のレーザシステム。
- 10ワット以上の出力パワーおよび0.1mm−mrad以上のビームパラメータ積で1400−1500nmの範囲で動作する、請求項1に記載のレーザシステム。
- 10ワット以上の出力パワーおよび0.1mm−mrad以上のビームパラメータ積で1500−2200nmの範囲で動作する、請求項1に記載のレーザシステム。
- 該複数のレーザダイオードはバンド間カスケードレーザであり、10ワット以上の出力および0.1mm−mrad以上のビームパラメータ積で2200−3000nmの範囲で動作する、請求項1に記載のレーザシステム。
- 該ビーム結合光学手段は、複数の体積ブラッグ格子フィルタを含み、第1の体積ブラッグ格子は、該複数のレーザダイオードの第1のレーザダイオードからの第1のレーザビームの光スペクトルの一部を該複数のレーザダイオードの第2のレーザダイオードからのレーザビームと同一線上に向け直すように構成される、請求項1に記載のレーザシステム。
- 前記複数のレーザダイオードは量子カスケードレーザであり、10ワット以上の出力パワーおよび0.1mmのビームパラメータ積で3000nm−12000nmの範囲で動作する、請求項1に記載のレーザシステム。
- nが5以上である、請求項1、2、3、4または5に記載のレーザシステム。
- 前記ビーム結合光学手段は、複数の体積ブラッグ格子フィルタを含み、
第1の体積ブラッグ格子は、該複数のレーザダイオードの第1のレーザダイオードからの第1のレーザビームの光スペクトルの一部を該複数のレーザダイオードの第2のレーザダイオードからのレーザビームと同一線上に向け直すように構成されており、前記nが5以上である、請求項1、2、3、4または5に記載のレーザシステム。 - 該複数のレーザダイオードは、N個のダイオードからなり、該N個のダイオードのそれぞれは、発振スペクトルの第1ピークを規定し、該ビーム結合光学手段は、N−1個の体積ブラッグ格子フィルタからなる複数の体積ブラッグ格子からなり、該複数の体積ブラッグ格子と該レーザダイオードのN−1は光学的に関連付けられて該複数の体積ブラッグ格子の各体積ブラッグ格子を通る最大透過点が、該複数のレーザダイオードの該N−1のレーザダイオードのN−1、N−2からN−(N−1)の第1ピークと一致するように構成されており、前記Nがnに等しくされている請求項1に記載のレーザシステム。
- N−1がnに等しい、請求項16に記載のレーザシステム。
- レーザダイオードN’は、体積ブラッグ格子と光学的に関連付けられておらず、当該レーザシステムは、レーザダイオードN’の最大ビーム偏向を提供する、請求項16に記載のレーザシステム。
- 放出されたレーザダイオード光の遅軸および個々の反射体積ブラッグ格子のTEモードで動作する、請求項16に記載のレーザシステム。
- 放出されたレーザダイオード光の速軸および個々の反射体積ブラッグ格子のTEモードで動作する、請求項17に記載のレーザシステム。
- 放出されたレーザダイオード光の遅軸および個々の反射体積ブラッグ格子のTMモードで動作する、請求項18に記載のレーザシステム。
- 放出されたレーザダイオード光の速軸および個々の反射体積ブラッグ格子のTMモードで動作する、請求項16に記載のレーザシステム。
- 放出されたレーザダイオード光の遅軸および個々の透過体積ブラッグ格子のTEモードで動作する、請求項17に記載のレーザシステム。
- 放出されたレーザダイオード光の速軸および個々の透過体積ブラッグ格子のTEモードで動作する、請求項18に記載のレーザシステム。
- 放出されたレーザダイオード光の遅軸および個々の透過体積ブラッグ格子のTMモードで動作する、請求項16に記載のレーザシステム。
- 放出されたレーザダイオード光の速軸および個々の透過体積ブラッグ格子のTMモードで動作する、請求項16に記載のレーザシステム。
- 1ワット以上の出力および0.1mm−mrad以上のビームパラメータ積で400−500nmの範囲で動作する、請求項16に記載のレーザシステム。
- 1ワット以上の出力および0.1mm−mrad以上のビームパラメータ積で500−600nmの範囲で動作する、請求項16に記載のレーザシステム。
- 1ワット以上の出力および0.1mm−mrad以上のビームパラメータ積で720−800nmの範囲で動作する、請求項16に記載のレーザシステム。
- 高出力高輝度のレーザシステムであって:
a.複数Nのレーザダイオードであって、それぞれが、1つのレーザビームパワーで、出力伝搬方向を含むレーザビーム経路に沿ってレーザビームを提供するように構成されている複数のレーザダイオードと;
b.該複数のレーザダイオードのそれぞれによって共有される共通の外部キャビティと;
c.複数のレーザダイオードのそれぞれから平行ビームを生成するための該レーザビーム経路に設けられるコリメーティング光学手段;
d.共通外部キャビティおよび出力伝搬方向の該レーザビーム経路に設けられるビーム結合光学手段と;
を有し、
e.該ビーム結合光学手段は、光学コーティングを含むN−1個の光学素子を含み、該光学素子が、該複数のレーザダイオード内の1つのレーザダイオードからのレーザビームの光スペクトルの一部を、該レーザビーム経路に対して、90°までの角度で方向を変え、これにより1つの輝度を規定する複合出力レーザビームを提供し、
f.これにより、該複合出力レーザビームの、合成パワーを開口面積発散角積で除算した輝度が、複数のレーザダイオード内の任意の単一レーザダイオードの輝度のn倍になるようにした高出力高輝度のレーザシステム。 - 放出されたレーザダイオード光の遅軸で個々の反射光学コーティングのTEモードで動作する、請求項30に記載のレーザ源。
- 放出されたレーザダイオード光の遅軸で個々の反射光学コーティングのTMモードで動作するようにされており、該反射光学コーティングは単一の材料片への光学結合または他の低損失法によって製造されている、請求項30に記載のレーザ源。
- 放出されたレーザダイオード光の速軸で個々の反射光学コーティングのTMモードで動作するようにされており、該反射光学コーティングは単一の材料片への光学結合または他の低損失法によって製造されている、請求項30に記載のレーザ源。
- N=nである、請求項30に記載のレーザ源。
- N−1=nである、請求項30に記載のレーザ源。
- 10W以上の出力パワーおよび0.1mm−mrad以上のビームパラメータ積で400−500nmの範囲で動作する、請求項16に記載のレーザシステム。
- 10W以上の出力パワーおよび0.1mm−mrad以上のビームパラメータ積で500−600nmの範囲で動作する、請求項16に記載のレーザシステム。
- レーザビーム出力が0.5W以上である、請求項30、36および37の何れか一項に記載のレーザシステム。
- レーザビーム出力が1W以上である、請求項30、36および37の何れか一項に記載のレーザシステム。
- 高出力高輝度のレーザシステムであって、
a.N個の複数のレーザダイオードであって、それぞれは、1つのレーザビームパワーで1つの出力伝搬方向を含む1つのレーザビーム経路に沿ってレーザビームを提供するように構成される複数のレーザダイオードと;
b.該複数のレーザダイオードのそれぞれによって共有される共通の外部キャビティと;
c.該複数のレーザダイオードからのそれぞれの平行ビームを生成するための該複数のレーザダイオードの該レーザビーム経路内にあるコリメーティング光学手段と;
d.該外部キャビティ内で該複数のレーザダイオードのレーザビーム経路内にある1つのビーム結合光学手段と;を有し
e.該ビーム結合光学手段はN−1個の光学素子を含み;
f.該光学要素は、体積ブラッグ格子と光学コーティング要素で構成され、該体積ブラッグ格子と光学コーティング要素は、該複数のレーザダイオードのレーザビーム経路に前後して配置されており、該光学コーティングからの出力光の方向は、体積ブラッグ格子からの出力光の方向に対して最大90°であり、それにより、1つの輝度を規定する結合出力レーザビームを提供するようにされており;
g.該ブラッグ格子と該光学コーティングで結合された後の個々の該レーザダイオードビームの合計の輝度は、個々のレーザダイオードビームの輝度のn倍となるようにされており、この場合、n=Nまたはn=N−1、Nは個々のレーザダイオードビームの数、Cは光学コーティングの数とした場合、N/Cは体積ブラッグ格子によって結合される個々のレーザダイオードビームの数となる、高出力高輝度のレーザシステム。 - 前記体積ブラッグ格子により結合されたレーザダイオードの個々の光帯域幅は相互に排他的である、請求項40に記載のレーザシステム。
- 任意の中心青色波長λc、体積ブラッグ格子Mからの光帯域幅=ΔλM、体積ブラッグ格子M−1の光帯域幅=ΔλM−1とした場合、ΔλM−1≒ΔλM、λc(ΔλM)−λc(ΔλM−1)≧ΔλM−1となり、 体積ブラッグ格子M−2からの光帯域幅=ΔλM−2とした場合、ΔλM−2≒ΔλM、λc(ΔλM−1)−λc(ΔλM−2)≧ΔλM−2などとなる、請求項41に記載のレーザシステム。
- 任意の中心青色波長λc、光学コーティングXからの光帯域幅=ΔλX、光学コーティングX−1の光帯域幅=ΔλX−1とした場合、ΔλX−1≒ΔλX、λc(ΔλX)−λc(ΔλX−1)≧ΔλX−1となり、光学コーティングX−2からの光帯域幅=ΔλX−2とした場合、ΔλX−2≒ΔλX、λc(ΔλX−1)−λc(ΔλX−2)≧ΔλX−2などとなる、請求項41に記載のレーザシステム。
- 任意の中心青色波長λc、光学コーティングXからの光帯域幅=ΔλX、体積ブラッグ格子の合計の光帯域幅ΣΔλM1とした場合、ΔλX≧ΣΔλM1、λc(ΔλX)≒λc(ΣΔλM1)となり、光学コーティングX−1からの光帯域幅=ΔλX−1、および体積ブラッグ格子の合計の光帯域幅ΣΔλM2とした場合、ΔλX−1≧ΣΔλM2、λc(ΔλX−1)≒λc(ΣΔλM2)などとなる、請求項41に記載のレーザシステム。
- レーザダイオード遅軸でTEモードで動作する反射体積ブラッグ格子と、それに続きレーザダイオードの速軸でTEモード動作する光学コーティングとを使用する、請求項40に記載のレーザシステム。。
- レーザダイオード遅軸でTEモードで動作する反射体積ブラッグ格子と、それに続きレーザダイオードの速軸でTMモードで動作する光学コーティングとを使用する、請求項41に記載のレーザシステム。
- レーザダイオード遅軸でTMモードで動作する反射体積ブラッグ格子と、それに続きレーザダイオードの速軸でTEモードで動作する光学コーティングとを使用する、請求項42記載のレーザシステム。
- レーザダイオード遅軸でTMモードで動作する反射体積ブラッグ格子と、それに続きレーザダイオードの速軸でTMモードで動作する光学コーティングとを使用する、請求項43に記載のレーザシステム。
- レーザダイオードの速軸でTMモード動作する反射体積ブラッグ格子と、それに続きレーザダイオードの遅軸でTMモードで動作する光学コーティングを使用する、請求項40に記載のレーザシステム。
- 高出力高輝度のレーザシステムであって、
a.N個の複数のレーザダイオードであって、それぞれ、1つのレーザビームパワーで1つの出力伝搬方向を含むレーザビーム経路に沿って1つのレーザビームを提供するように構成された複数のレーザダイオードと;
b.複数のレーザダイオードのそれぞれによって共有される1つの共通の外部キャビティと
c.複数のレーザダイオードのそれぞれからの平行ビームを生成するため複数の該レーザビーム経路内の1つのコリメーティング光学手段と;
d.該外部キャビティ内で該複数のレーザビーム経路内のビーム結合光学手段と;
e.該ビーム結合光学手段はN−1個の光学素子を含み、
f.該光学要素は、複数の体積ブラッグ格子と複数の光学コーティング要素からなり、該体積ブラッグ格子と光学コーティング要素は、該複数のレーザ光路に沿って設けられ、該体積ブラッグ格子からの出力光の方向は、該光学コーティング要素からの出力光の方向に対して最大90°であり、それにより、1つの輝度を有する結合出力レーザビームを提供するものであり、
g.該体積ブラッグ格子と該光学コーティングで結合された後の個々のレーザダイオードビームの合計の輝度は、個々のレーザダイオードビームの輝度のn倍であり、ここで、n=Nまたはn=N−1、Bを体積ブラッグ格子の数として、N/Bがグループとして光学コーティングによって結合される個々のレーザダイオードビームの数とされている高出力高輝度のレーザシステム。 - 前記体積ブラッグ格子により結合されたレーザダイオードの個々の結合光帯域幅は相互に排他的である、請求項50に記載のレーザシステム。
- 任意の中心青色波長λc、体積ブラッグ格子Mからの光帯域幅=ΔλM、体積ブラッグ格子M−1の光帯域幅=ΔλM−1として、ΔλM−1≒ΔλMおよびλc(ΔλM)−λc(ΔλM−1)≧ΔλM−1となり、体積ブラッグ格子M−2からの光帯域幅=ΔλM−2としてΔλM−2≒ΔλMおよびλc(ΔλM−1)−λc(ΔλM−2)≧ΔλM−2となるようにされた、請求項51に記載のレーザシステム。
- 任意の中心青色波長λc、光学コーティングXからの光帯域幅=ΔλX、および光学コーティングX−1からの光帯域幅=ΔλX−1として、ΔλX−1≒ΔλXおよびλc(ΔλX)−λc(ΔλX−1)≧ΔλX−1となり、光学コーティングX−2からの光帯域幅=ΔλX−2として、ΔλX−2≒ΔλXおよびλc(ΔλX−1)−λc(ΔλX−2)≧ΔλX−2などとなるようにされた、請求項51に記載のレーザシステム。
- 任意の中心青色波長λc、光学コーティングXからの光帯域幅X=ΔλXおよび体積ブラッグ格子の合計の光帯域幅ΣΔλM1として、ΔλX≧ΣΔλM1およびλc(ΔλX)≒λc(ΣΔλM1)、光学コーティングX−1からの光帯域幅=ΔλX−1および体積ブラッグ格子の合計の光帯域幅ΣΔλM2として、ΔλX−1≧ΣΔλM2およびλc(ΔλX−1)≒λc(ΣΔλM2)となるような、請求項51に記載のレーザシステム。
- レーザダイオード速軸でTEモード動作する光学コーティングと、その後に続くレーザダイオード遅軸でTEモード動作する反射体積ブラッグ格子とを利用する、請求項51記載のレーザシステム。
- レーザダイオードの速軸でTEモード動作する光学コーティングと、それに続くレーザダイオードの遅軸でTMモード動作する反射体積ブラッグ格子を利用する、請求項51に記載のレーザシステム。
- レーザダイオード速軸でTMモード動作する光学コーティングと、それに続くレーザダイオードの遅軸でTEモード動作する反射体積ブラッグ格子を利用する、請求項51に記載のレーザシステム。
- レーザダイオード速軸でTMモード動作する光学コーティングと、その後に続くレーザダイオードの遅軸でTMモード動作する反射体積ブラッグ格子を利用する、請求項51に記載のレーザシステム。
- レーザダイオード遅軸でTMモード動作する光学コーティングと、その後に続くレーザダイオード速軸でTMモード動作する透過体積ブラッグ格子を利用する、請求項51記載のレーザシステム。
- レーザダイオード速軸でTMモード動作する光学コーティングと、その後に続くレーザダイオード遅軸でTMモード動作する透過体積ブラッグ格子を使用する、請求項51に記載のレーザシステム。
- 高輝度レーザシステムであって、
a.N個の複数のレーザダイオードであって、それぞれ、出力伝搬方向を含むレーザビーム経路に沿って1つのレーザビームパワーでレーザビームを提供するように構成された複数のレーザダイオードと;
b.該複数のレーザダイオードのそれぞれによって共有される共通の外部キャビティと;
c.該複数のレーザダイオードのそれぞれから平行ビームを生成するため該レーザビーム経路内のコリメーティング光学手段と;
d.該外部キャビティ内で該レーザビーム経路内のビーム結合光学手段であって、
e.N−1個の光学素子を含むビーム結合光学手段と;
を含み、
f.該光学素子は以下を含む:
i.レーザダイオードビームの波長を決定し、レーザダイオードビーム経路を出力経路に向ける第1の手段;
ii.レーザダイオードビームの波長を決定し、レーザダイオードビーム経路を出力経路に向ける第2の手段と、
iii.ここで、第1の手段の出力経路は、第2の手段の出力経路に対して90°であり、それにより、1つの輝度を有する結合出力レーザビームを提供するようにされており、
g.第1の手段および第2の手段によって結合された後の個々のレーザダイオードビームの合計の輝度は、個々のレーザダイオードビームの輝度よりもn倍明るいものであり、ここで、n=Nまたはn=N−1、Nは個々のレーザダイオードビームの数、E’は第1または第2の手段の数、N/E’は第1または2番目の手段によってグループとして結合される個々のレーザダイオードビームの数とされている高輝度レーザシステム。 - 前記第1の手段が一次体積ブラッグ格子である、請求項61に記載のシステム。
- 前記第2の手段が二次体積ブラッグ格子である、請求項61に記載のシステム。
- 前記第2の手段は、二次体積ブラッグ格子である、請求項62に記載のシステム。
- 前記第1の手段が一次コーティングである、請求項61に記載のシステム。
- 前記第2の手段が二次コーティングである、請求項61に記載のシステム。
- 前記第2の手段が二次コーティングである、請求項65に記載のシステム。
- 400−500nmの範囲で動作する、請求項61に記載のシステム。
- 500−600nmの範囲で動作する、請求項61に記載のシステム。
- 720−800nmの範囲で動作する、請求項61に記載のシステム。
- 800−900nmの範囲で動作する、請求項61に記載のシステム。
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