JP2020523221A - クロストークを減少させた流体吐出装置 - Google Patents
クロストークを減少させた流体吐出装置 Download PDFInfo
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Abstract
Description
ここでγは流体の表面張力であり、wは矩形ノズル500の幅である。より狭い矩形ノズルは、ノズルの長さに拘らず、より広いノズルより高い気泡圧を有する。
ここでLは矩形ノズルの長さである。
従って、プライミング中、流入及び流出適合ノズル両方からの流体損失を防ぐために、流入適合ノズルは、流出適合ノズルの気泡圧より大きな気泡圧を持つよう設計されてよいと分かる。この気泡圧の相違は流出適合ノズルの寸法又は形状と異なる寸法又は形状を有する流入適合ノズルを形成することで実現できる。例えば、流入適合ノズルは流出適合ノズルより狭くでき、それにより流入適合ノズルに流出適合ノズルより高い気泡圧を与える。
幅の減少に伴う適合度合の損失を補うために、流入適合ノズルは流出適合ノズルより長くされてもよい。
12 基板入口
14 流入供給チャネル
16 上昇部
18 ポンプ室
20 下降部
22 ノズル(噴射ノズル)
26 流出通路
28 流出供給チャネル
30 アクチュエータ
31 圧電層
50 流入適合微細構造
52、54 底面
60 流出適合微細構造
64 駆動電極
65 接地電極
66 膜
67 接着層
100 プリントヘッド
110 基板
120 適合ノズル
122 エッチング停止層
124 ハンドル層
140 ノズルウエハー
150 流体吐出器
410 ケーシング
420 上部介在体
422 流体供給入口
428 流体帰還出口
430 下部介在体
432 流体供給室
436 流体帰還室
440 下部仕切り
474 流路
475 吐出器流路
530 上部仕切り
700、710、720、730、740 流体吐出器
702、712、722、732、742 噴射ノズル
714、724、734、744 流入適合ノズル
716、726、736、746 流出適合ノズル
Claims (33)
- 流体吐出装置において、
ポンプ室、
前記ポンプ室に結合された吐出ノズル、及び
流体を前記ポンプ室から前記吐出ノズルを通って吐出させるよう構成されたアクチュエータ、
を備えた流体吐出器と、
前記ポンプ室の流体入口に流体的に接続された流入供給チャネルの表面に形成された第1の適合組立体と、
前記ポンプ室の流体出口に流体的に接続された流出供給チャネルの表面に形成された第2の適合組立体と
を備え、
前記第1の適合組立体の適合度合は、前記第2の適合組立体の適合度合と異なる、流体吐出装置。 - 前記第1の適合組立体の適合度合は、前記第2の適合組立体の適合度合より小さい、請求項1記載の流体吐出装置。
- 前記吐出ノズルの適合度合は、前記第1の適合組立体の適合度合及び前記第2の適合組立体の適合度合より大きい、請求項1又は2記載の流体吐出装置。
- 前記第1の適合組立体の気泡圧は、前記吐出ノズルの気泡圧より大きい、請求項1〜3のいずれかに記載の流体吐出装置。
- 前記第2の適合組立体の気泡圧は、前記吐出ノズルの気泡圧より小さい、請求項1〜4のいずれかに記載の流体吐出装置。
- 前記第1の適合組立体は、第1の適合ノズルを含み、前記第2の適合組立体は、第2の適合ノズルを含む、請求項1〜5のいずれかに記載の流体吐出装置。
- 前記第1の適合ノズルは前記第2の適合ノズルと異なる寸法を有する、請求項6記載の流体吐出装置。
- 前記第1の適合ノズルの幅は、前記第2の適合ノズルの幅より小さい、請求項7記載の流体吐出装置。
- 前記第1の適合ノズルの長さは、前記第2の適合ノズルの長さより大きい、請求項7又は8記載の流体吐出装置。
- 前記第1の適合ノズルの長さは、前記第1の適合ノズルの幅より大きい、請求項6〜9のいずれかに記載の流体吐出装置。
- 前記吐出ノズルは前記第1の適合ノズル、前記第2の適合ノズル、又は両方の寸法と異なる寸法を有する、請求項6〜9のいずれかに記載の流体吐出装置。
- 前記吐出ノズルの幅は前記第1の適合ノズルの幅及び前記第2の適合ノズルの幅より大きく、
前記吐出ノズルの長さは前記第1の適合ノズルの長さ及び前記第2の適合ノズルの長さより小さい、請求項11記載の流体吐出装置。 - 前記第1の適合ノズルの幅は、前記第2の適合ノズルの幅より小さく、
前記第1の適合ノズルの長さは、前記第2の適合ノズルの長さより大きい、請求項12記載の流体吐出装置。 - 前記第1の適合組立体は、複数の第1の適合ノズルを含み、前記第2の適合組立体は、複数の第2の適合ノズルを含む、請求項6〜13のいずれかに記載の流体吐出装置。
- 第1の適合ノズルの数は、第2の適合ノズルの数と異なる、請求項14記載の流体吐出装置。
- (1)前記複数の第1の適合ノズルを前記流入供給チャネルの表面上に不均一に分布させるか、(2)前記複数の第2の適合ノズルを前記流出供給チャネルの表面上に不均一に分布させるか、又は(3)(1)と(2)の両方である、請求項14又は15記載の流体吐出装置。
- 前記第1の適合ノズルの形状は前記第2の適合ノズルの形状と異なる、請求項6〜16のいずれかに記載の流体吐出装置。
- 前記第1の適合ノズルは、前記流入供給チャネルの表面の内面上に内側開口と、前記流入供給チャネルの表面の外面上に外側開口とを画定し、
前記第2の適合ノズルは、前記流出供給チャネルの表面の内面上に内側開口と、前記流出供給チャネルの表面の外面上に外側開口とを画定する、請求項6〜17のいずれかに記載の流体吐出装置。 - 前記流入供給チャネルと前記第1の適合組立体の間の流体路内に形成された制限要素を含む請求項1〜18のいずれかに記載の流体吐出装置。
- 前記吐出ノズルはノズル層内に形成され、前記ノズル層は前記流入チャネルの表面と前記流出チャネルの表面とを含む、請求項1〜19のいずれかに記載の流体吐出装置。
- 流体吐出装置の流体吐出器を作動させ、流体を吐出ノズルを通って吐出させる工程であって、前記流体吐出器に流体的に接続された流入供給チャネル内と前記流体吐出器に流体的に接続された流出供給チャネル内との流体圧を変化させる前記流体吐出器を作動させる工程と、
前記流入供給チャネル内と前記流出供給チャネル内との流体圧の前記変化に応答して、前記流入供給チャネルの表面に形成された第1の適合組立体内と前記流出供給チャネルの表面に形成された第2の適合組立体内とに流体の凸形メニスカスを形成する工程と
を含み、
前記第1の適合組立体の適合度合は前記第2の適合組立体の適合度合と異なる、方法。 - 前記第1の適合組立体の適合度合は、前記第2の適合組立体の適合度合より小さい、請求項21記載の方法。
- 前記第1の適合組立体内と前記第2の適合組立体内とに流体の前記凸形メニスカスを形成する工程は、前記第1の適合組立体からも前記第2の適合組立体からも流体を吐出しない工程を含む、請求項21又は22記載の流体吐出装置。
- 前記流体吐出器を作動させる工程は、前記流入供給チャネル内の流体圧を前記第1の適合組立体の気泡圧未満のままにさせ、前記流出供給チャネル内の流体圧を前記第2の適合組立体の気泡圧未満のままにさせる、請求項21〜23のいずれかに記載の方法。
- 前記流入又は流出供給チャネルの表面の外面上に位置する流体を前記第1の適合組立体、前記第2の適合組立体、又は両方内に受け入れる工程を含む、請求項21〜24のいずれかに記載の方法。
- ノズル層内に吐出ノズル、第1の適合組立体、及び第2の適合組立体を形成する工程であって、前記第1の適合組立体の適合度合は前記第2の適合組立体の適合度合と異なる、工程と、
ポンプ室と、流体を前記ポンプ室から前記ノズルを通って吐出させるよう構成されたアクチュエータとを備えた流体吐出器を備える基板に前記ノズル層を取り付けて流体吐出装置を形成する工程と
を含み、
前記流体吐出装置では、前記第1の適合組立体は前記ポンプ室の流体入口に流体的に接続された流入供給チャネルの壁を画定する前記ノズル層の一部に形成され、前記第2の適合組立体は前記ポンプ室の流体出口に流体的に接続された流出供給チャネルの壁を画定する前記ノズル層の一部に形成される、方法。 - 前記第1の適合組立体を形成する工程は、前記ノズル層を貫通して第1の適合ノズルを形成する工程を含み、前記第2の適合組立体を形成する工程は、前記ノズル層を貫通して第2の適合ノズルを形成する工程を含む、請求項26記載の方法。
- 前記第1の適合ノズルの長さは、前記第1の適合ノズルの幅より大きい、請求項27記載の方法。
- 前記第2の適合ノズルを形成する工程は、前記第1の適合ノズルと異なる寸法を有する適合ノズルを形成する工程を含む、請求項27又は28記載の方法。
- 前記第1の適合ノズルの幅は、前記第2の適合ノズルの幅より小さい、請求項29記載の方法。
- 前記第1の適合ノズルの長さは、前記第2の適合ノズルの長さより大きい、請求項29又は30記載の方法。
- 前記第1及び第2の適合ノズルを形成する工程は、前記吐出ノズルと異なる寸法を有する適合ノズルを形成する工程を含む、請求項27〜31のいずれかに記載の方法。
- 前記第1の適合組立体を形成する工程は、前記ノズル層を貫通して複数の第1の適合ノズルを形成する工程を含み、前記第2の適合組立体を形成する工程は、前記ノズル層を貫通して複数の第2の適合ノズルを形成する工程を含み、第1の適合ノズルの数は第2の適合ノズルの数と異なる、請求項26〜32のいずれかに記載の方法。
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