JP7314206B2 - 低減されたクロストークを有する流体吐出デバイス - Google Patents
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Description
成される。
給送チャネル内の流体のコンプライアンスは、以下によって与えられる。
単一メニスカスのコンプライアンスは、以下によって与えられる。
長方形表面(入口または出口給送チャネルの表面等)のコンプライアンスは、以下によって与えられる(固定端部条件の場合)。
48の陥凹を含む、給送チャネル内のノズル層11のコンプライアンスは、以下によって計算されることができる。
式中、Nは、陥凹の数であって、aは、各陥凹の半径である。Dは、以下によって与えられる。
膜の中心偏向は、以下によって計算されることができる。
膜502内の引張応力は、以下によって計算されることができる。
110 基板
410 ケーシング
420 上側インタポーザ
422 流体供給入口
428 流体帰還出口
430 下側インタポーザ
432 流体供給チャンバ
436 流体帰還チャンバ
440 下側分割器
474 流路
530 上側分割器
Claims (18)
- 流体吐出装置であって、
複数の流体吐出器であって、各流体吐出器は、
圧送チャンバと、
前記圧送チャンバの頂部壁を画定する膜と、
流体を前記圧送チャンバから吐出させるように構成されるとともに、前記膜上に直接配置されるアクチュエータと、
ノズルと、
を備える、流体吐出器と、
各圧送チャンバに流体接続される、給送チャネルと、
前記給送チャネルの表面内に形成される、少なくとも1つのコンプライアント構造であって、前記少なくとも1つのコンプライアント構造は、前記給送チャネルの表面よりコンプライアントである、少なくとも1つのコンプライアント構造と、
を備え、
前記少なくとも1つのコンプライアント構造は、前記給送チャネルの表面内に形成される少なくとも1つのダミーノズルを備え、
各ダミーノズルは、前記表面の内部表面上の第1の開口部と、前記表面の外部表面上の第2の開口部とを含み、
前記複数の流体吐出器のノズルが第1ラインに沿って設けられており、前記給送チャネルが前記第1ラインから横方向にオフセットしており、
前記少なくとも1つのダミーノズルは、前記給送チャネル内の流体圧力の増加に応答して、前記第2の開口部に凸面メニスカスが形成されるように構成され、
前記アクチュエータのうちの1つの作動は、前記給送チャネル内の流体圧力の変化を生じさせ、前記少なくとも1つのコンプライアント構造は、少なくとも部分的に、前記給送チャネル内の流体圧力の変化を減衰させるように構成される、流体吐出装置。 - 各アクチュエータが、前記膜上に配置された圧電層を含む、請求項1に記載の流体吐出装置。
- 各流体吐出器のノズルは、ノズル層内に形成され、前記ダミーノズルは、前記ノズル層内に形成される、請求項1に記載の流体吐出装置。
- 前記ダミーノズルは、前記ノズルと実質的に同一サイズである、請求項1に記載の流体吐出装置。
- 各流体吐出器のノズルは、ノズル層内に形成され、前記ノズル層は、前記給送チャネルの表面を構成する、請求項1に記載の流体吐出装置。
- 流体吐出器を製造する方法であって、
複数のノズルをノズル層内に形成するステップと、
少なくとも1つのコンプライアント構造を前記ノズル層内に形成するステップであって、前記少なくとも1つのコンプライアント構造は、前記ノズル層よりコンプライアントである、ステップと、
前記ノズル層を複数の流体吐出器を備える基板に取り付けるステップであって、各流体吐出器は、圧送チャンバと、前記圧送チャンバの頂部壁を画定する膜と、流体を前記圧送チャンバから吐出させるように構成されるとともに、前記膜上に直接配置されるアクチュエータとを備える、ステップと、
を含み、
前記少なくとも1つのコンプライアント構造を前記ノズル層内に形成するステップが、前記ノズル層に少なくとも1つのダミーノズルを形成することを含み、
各ダミーノズルは、前記ノズル層の内部表面上に第1の開口部を画定するとともに、前記ノズル層の外部表面上の第2の開口部を画定し、
前記ノズル層を複数の流体吐出器を備える基板に取り付けるステップが、各ポンピングチャンバに流体接続する給送チャネルを画定し、
前記複数のノズルが第1ラインに沿って設けられており、前記給送チャネルが前記第1ラインから横方向にオフセットしており、
前記少なくとも1つのダミーノズルは、前記給送チャネル内の流体圧力の増加に応答して、前記第2の開口部に凸面メニスカスが形成されるように構成され、
前記アクチュエータのうちの1つの作動は、前記給送チャネル内の流体圧力の変化を生じさせ、前記少なくとも1つのコンプライアント構造は、少なくとも部分的に、前記給送チャネル内の流体圧力の変化を減衰させるように構成される、方法。 - 各アクチュエータが、前記膜上に配置された圧電層を含む、請求項6に記載の方法。
- 少なくとも1つのコンプライアント構造を前記ノズル層内に形成するステップは、複数の陥凹を前記ノズル層内に形成するステップと、膜を前記陥凹にわたって配置するステップとを含む、請求項6に記載の方法。
- 膜を前記陥凹にわたって配置するステップは、膜層を前記ノズル層の上部表面にわたって堆積するステップと、各ノズルにわたる前記膜層の一部を除去するステップとを含む、請求項8に記載の方法。
- 複数のノズルを形成するステップは、前記複数のノズルを第1の層内に形成するステップを含み、少なくとも1つのコンプライアント構造を形成するステップは、前記少なくとも1つのコンプライアント構造を第2の層内に形成するステップと、前記第1の層を前記第2の層に取り付けるステップとを含む、請求項6に記載の方法。
- 少なくとも1つのコンプライアント構造を前記ノズル層内に形成するステップは、前記少なくとも1つのコンプライアント構造を第1の層内に形成するステップと、前記第1の層をその中に形成される前記複数のノズルを有する第2の層に取り付けるステップであって、前記第1の層および前記第2の層はともに、前記ノズル層を形成する、ステップとを含む、請求項6に記載の方法。
- 前記給送チャネルの流体圧力は、流体を前記少なくとも1つのダミーノズルから吐出させるに十分なほど高くはない、請求項1に記載の流体吐出装置。
- 各流体吐出器は、前記給送チャネルと、前記流体吐出器の圧送チャンバとを流体接続する入口通路を有する、請求項1に記載の流体吐出装置。
- 流体吐出器を操作する方法であって、
複数の流体吐出器を有する流体吐出装置内の流体吐出器を作動させるステップであって、前記流体吐出器の作動は、前記流体吐出器に流体接続される給送チャネル内の流体圧力の変化を生じさせ、各流体吐出器は、圧送チャンバと、前記圧送チャンバの頂部壁を画定する膜と、流体を前記圧送チャンバから吐出させるように構成されるとともに、前記膜上に直接配置されるアクチュエータと、ノズルとを備える、ステップと、
前記流体圧力の変化により、前記給送チャネル内に形成されたダミーノズルの中に流体のメニスカスを外向きに偏向させるステップと、
を含み、
前記複数の流体吐出器のノズルが第1ラインに沿って設けられており、前記給送チャネルが前記第1ラインから横方向にオフセットしており、
前記アクチュエータのうちの1つの作動は、前記給送チャネル内の流体圧力の変化を生じさせ、前記少なくとも1つのコンプライアント構造は、少なくとも部分的に、前記給送チャネル内の流体圧力の変化を減衰させるように構成される、方法。 - 前記複数の流体吐出器のいずれかを作動させるステップは、流体を前記ダミーノズルから吐出させない、請求項14に記載の方法。
- 各アクチュエータが、前記膜上に配置された圧電層を含む、請求項14に記載の方法。
- 前記ダミーノズルの第1の開口部のサイズは、前記ダミーノズルの第2の開口部より大きい、請求項1に記載の流体吐出装置。
- 前記ダミーノズルの第1の開口部のサイズは、前記ダミーノズルの第2の開口部より大きい、請求項6に記載の流体吐出装置。
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CN110303770B (zh) * | 2018-03-27 | 2022-04-01 | 精工爱普生株式会社 | 液体喷射头、液体喷射装置 |
JP7163636B2 (ja) * | 2018-06-29 | 2022-11-01 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッドと液体噴射装置 |
JP7139790B2 (ja) * | 2018-08-30 | 2022-09-21 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置 |
IT201900005794A1 (it) | 2019-04-15 | 2020-10-15 | St Microelectronics Srl | Dispositivo di eiezione di fluido con ridotto numero di componenti e metodo di fabbricazione del dispositivo di eiezione di fluido |
JP7331441B2 (ja) * | 2019-04-26 | 2023-08-23 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 |
JP2020179619A (ja) * | 2019-04-26 | 2020-11-05 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 |
JP7379900B2 (ja) * | 2019-07-22 | 2023-11-15 | セイコーエプソン株式会社 | 液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置 |
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JP6725956B1 (ja) * | 2020-01-27 | 2020-07-22 | 紀州技研工業株式会社 | インクジェットプリンタ |
CN112648456B (zh) * | 2020-12-14 | 2022-07-05 | 天津爱尔普科技发展有限公司 | 一种焊接式暖风器进出水管接头 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6003971A (en) | 1996-03-06 | 1999-12-21 | Tektronix, Inc. | High-performance ink jet print head having an improved ink feed system |
JP2003226010A (ja) | 2002-02-04 | 2003-08-12 | Brother Ind Ltd | インクジェットプリンタヘッドおよびインクジェットプリンタ |
JP2006224672A (ja) | 2005-02-17 | 2006-08-31 | Samsung Electronics Co Ltd | 圧電方式のインクジェットプリントヘッド及びその製造方法 |
JP2008279690A (ja) | 2007-05-11 | 2008-11-20 | Brother Ind Ltd | 液滴吐出装置 |
JP2009196342A (ja) | 2008-01-22 | 2009-09-03 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置および液体噴射ヘッドの製造方法 |
Family Cites Families (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2998764B2 (ja) * | 1991-06-13 | 2000-01-11 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェット式印字ヘッド、インク補給方法、及び気泡除去方法 |
US20040130599A1 (en) | 1997-07-15 | 2004-07-08 | Silverbrook Research Pty Ltd | Ink jet printhead with amorphous ceramic chamber |
US6557989B1 (en) * | 1999-08-24 | 2003-05-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Print head and ink jet printing apparatus |
US6592216B2 (en) * | 2001-06-25 | 2003-07-15 | Xerox Corporation | Ink jet print head acoustic filters |
JP2003311966A (ja) | 2002-04-23 | 2003-11-06 | Canon Inc | インクジェット記録ヘッド |
WO2005037558A2 (en) | 2003-10-10 | 2005-04-28 | Dimatix, Inc. | Print head with thin membrane |
US20050151784A1 (en) * | 2004-01-12 | 2005-07-14 | Xerox Corporation | Drop generating apparatus |
US7399070B2 (en) * | 2004-03-09 | 2008-07-15 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Ink jet printer |
JP4582171B2 (ja) * | 2008-03-27 | 2010-11-17 | ブラザー工業株式会社 | 液滴吐出ヘッド及びインクジェットヘッド |
US20100045740A1 (en) * | 2008-08-19 | 2010-02-25 | Xerox Corporation | Fluid dispensing subassembly with compliant aperture plate |
KR101101467B1 (ko) * | 2009-07-28 | 2012-01-03 | 삼성전기주식회사 | 잉크젯 헤드 및 잉크젯 헤드의 제조 방법 |
JP5475389B2 (ja) * | 2009-10-08 | 2014-04-16 | 富士フイルム株式会社 | 液滴吐出ヘッド、該液滴吐出ヘッドを有する液滴吐出装置、および、該液滴吐出ヘッドに気泡を溜める方法 |
JP5620726B2 (ja) * | 2010-06-30 | 2014-11-05 | 富士フイルム株式会社 | 液体吐出ヘッド及びインクジェット記録装置 |
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US8733903B2 (en) | 2012-07-19 | 2014-05-27 | Eastman Kodak Company | Liquid dispenser including passive pre-stressed flexible membrane |
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US9168747B2 (en) | 2013-10-08 | 2015-10-27 | Xerox Corporation | Multi-layer electroformed nozzle plate with attenuation pockets |
JP6112041B2 (ja) * | 2014-02-26 | 2017-04-12 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
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JP2003226010A (ja) | 2002-02-04 | 2003-08-12 | Brother Ind Ltd | インクジェットプリンタヘッドおよびインクジェットプリンタ |
JP2006224672A (ja) | 2005-02-17 | 2006-08-31 | Samsung Electronics Co Ltd | 圧電方式のインクジェットプリントヘッド及びその製造方法 |
JP2008279690A (ja) | 2007-05-11 | 2008-11-20 | Brother Ind Ltd | 液滴吐出装置 |
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