JP2020518763A5 -

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粘性媒体を搬送するためのポンプ装置（１）であって、該ポンプ装置は、
搬送室（８ａ、ｂ）、加圧された作動媒体の供給源（１１５）に流体伝導的に接続可能な作動室（１０ａ、ｂ）、および該作動室（１０ａ、ｂ）を前記搬送室（８ａ、ｂ）から分離する膜（２０ａ、ｂ）を有する膜ポンプ（７）を有し、
制御弁装置（２１）が前記作動媒体供給源（１１５）と前記作動室（１０ａ、ｂ）の間に取り付けられ、前記膜（２０ａ、ｂ）は前記制御弁装置（２１）の作動により前記作動室（１０ａ、ｂ）と前記搬送室（８ａ、ｂ）との間で前後に移動可能であり、
前記ポンプ装置（１）は、電子制御素子（２３）を有し、該電子制御素子（２３）は、前記制御弁装置（２１）に信号伝導的に接続され、前記搬送室（８ａ、ｂ）から出る媒体の流量の関数としての前記制御弁装置（２１）の作動により前記作動室（１０ａ、ｂ）内の圧縮空気量を制御するように設定され、
前記電子制御素子（２３）は、増幅要素、積分要素、および微分要素を有する制御特性を有することを特徴とするポンプ装置。