JP2020516037A - 3次元ビームを形成するx線源 - Google Patents
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Abstract
Description
本出願は、2017年3月31日に出願された米国仮特許出願第62/479,455号の利益を主張し、その全体が参照により本明細書に組み込まれる。
Claims (35)
- 電子ビームを生成するステップ;
前記電子ビームの経路にターゲット要素を配置するステップ;
前記電子ビームと前記ターゲット要素との相互作用の結果としてX線放射を生成するステップ;
前記X線放射を、前記ターゲット要素に近接して配置されたビームフォーマー構造と相互作用させて、X線ビームを形成するステップ;および
前記X線放射と前記ビームフォーマー構造との相互作用を決定するために、前記電子ビームが前記ターゲット要素と交差する位置を選択的に変化させることにより、前記X線ビームのビームパターンと方向とのうち少なくとも一方を制御するステップを含む、X線放射を制御する方法。 - 電子ビーム操縦ユニットで前記電子ビームを操縦することにより、前記位置を選択的に変化させるステップをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記電子ビームを前記ターゲット要素と相互作用させる前に、真空圧に維持された、閉鎖されたドリフトチューブの延設部を通じて前記電子ビームを案内するステップをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記制御動作は、前記ビームフォーマーで前記X線放射の一部を吸収することにより促進される、請求項1に記載の方法。
- 前記位置を選択的に変化させるステップは、前記ビームフォーマーによって吸収される前記X線ビームの部分を間接的に制御するために使用される、請求項4に記載の方法。
- 前記ターゲット要素を複数のターゲット要素セクタに少なくとも部分的に分割するために、前記ビームフォーマーの少なくとも1つの遮蔽壁を使用するステップをさらに含む、請求項4に記載の方法。
- 前記少なくとも1つの遮蔽壁を使用して、遮蔽された区画を形成するステップをさらに含み、前記遮蔽された区画は、前記電子ビームが前記遮蔽された区画と関連付けられた前記ターゲット要素セクタと交差するときに前記X線放射が放射される方向の範囲を少なくとも部分的に制限する、請求項6に記載の方法。
- 前記ターゲット要素セクタのうちの1つ以上において前記ターゲット要素と選択的に交差するように前記電子ビームを制御することにより前記方向を決定するステップをさらに含む、請求項6に記載の方法。
- 前記電子ビームが前記ターゲット要素セクタのうち特定の1つの中で前記ターゲット要素と交差する位置を選択的に選ぶことにより前記ビームパターンを制御するステップをさらに含む、請求項8に記載の方法。
- 前記電子ビームが1つ以上の前記ターゲット要素セクタと交差するときに使用される、電子ビーム生成器(EBG)の電圧および電子ビーム滞留時間のうち少なくとも一方を選択的に変化させることにより、1つまたは複数の異なる方向にX線ビームによって伝達されるX線量を選択的に制御するステップをさらに含む、請求項8に記載の方法。
- 基板上に配置されたターゲット材料の層を含むように前記ターゲット要素を選択するステップをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記基板がダイヤモンドを含む、請求項11に記載の方法。
- 電子ビームを生成するように構成された電子ビーム生成器(EBG);
前記EBGから所定の距離に配置され、前記電子ビームを妨害するように配置され、前記電子ビームに応答してX線放射を生成するターゲット要素;
前記ターゲット要素に近接して配置され、前記X線放射と相互作用してX線ビームを形成する材料を含むビームフォーマー;および
前記X線放射と前記ビームフォーマー構造との相互作用を決定するために、前記電子ビームが前記ターゲット要素と交差する位置を選択的に変化させることにより、前記X線ビームのビームパターンと方向とのうち少なくとも一方を制御するように構成されたEBG制御システムを備える、X線源。 - 前記EBG制御システムは、電子ビーム操縦ユニットで前記電子ビームを操縦することにより前記位置を選択的に変化させるように構成される、請求項13に記載のX線源。
- 前記EBGと前記ターゲット要素との間に配置されたドリフトチューブをさらに備え、前記EBGは、真空圧に維持された前記ドリフトチューブの閉鎖延設部を通じて前記電子ビームを移動させるように構成される、請求項13に記載のX線源。
- 前記ビームフォーマーは、前記X線ビームの形成を促進するために前記X線放射の一部を吸収するように構成された高Z材料を含む、請求項13に記載のX線源。
- 前記EBG制御システムは、前記電子ビームが前記ターゲット要素と交差する位置を選択的に変化させることにより、前記ビームフォーマーによって吸収される前記X線ビームの部分を間接的に制御する、請求項16に記載のX線源。
- 前記ビームフォーマーは、前記ターゲット要素を複数のターゲット要素セクタに少なくとも部分的に分割するように配置された少なくとも1つの遮蔽壁を備える、請求項16に記載のX線源。
- 前記少なくとも1つの遮蔽壁は複数の遮蔽された区画を画定し、この遮蔽された区画は、前記電子ビームが前記遮蔽された区画に関連付けられた前記ターゲット要素セクタと交差するときに前記X線放射が放射され得る方向の範囲を少なくとも部分的に制限するようにそれぞれ構成される、請求項18に記載のX線源。
- 前記EBG制御システムは、前記複数のターゲット要素セクタのうちのどれが前記電子ビームと交差するかを制御することにより、前記X線ビームの方向を決定するように構成される、請求項18に記載のX線源。
- 前記EBG制御システムは、前記電子ビームが前記ターゲット要素と交差する1つ以上の前記ターゲット要素セクタ中の位置を選択的に制御することにより前記ビームパターンを制御するようにさらに構成される、請求項20に記載のX線源。
- 前記EBG制御システムは、前記電子ビームが前記ターゲット要素セクタの1つ以上と交差するときに適用されるEBG電圧と電子ビーム滞留時間のうち少なくとも1つを選択的に変化させることにより、前記ターゲット要素セクタによって画定される1つまたは複数の異なる方向に前記X線ビームによって伝達されるX線量を選択的に制御するようにさらに構成される、請求項20に記載のX線源。
- 前記ターゲット要素は、基板上に配置されたターゲット材料を含む、請求項13に記載のX線源。
- 前記基板がダイヤモンドを含む、請求項23に記載のX線源。
- 真空チャンバ内に配置された電子ビーム生成器(EBG);
前記真空チャンバの延長部を形成し、前記EBGと一直線上に配置され、ターゲットとビームフォーマーとを備える方向制御ターゲットアセンブリ(DCTA)への電子ビームの伝送を促進する細長い中空穴を規定するドリフトチューブ;
前記ドリフトチューブの細長い延設部を横断するように配置された少なくとも1つの主面を有する平面要素を含み、前記電子ビームに曝されるとX線を発生するターゲット材料の層を含むターゲット;
前記ターゲットの少なくとも1つの主面を横断して延びる少なくとも1つの遮蔽要素を備えるビームフォーマー;および
制御信号に応答し、前記ドリフトチューブ内の前記電子ビームの方向を選択的に変化させるように構成され、これにより、前記電子ビームと前記ターゲットの交差点を変化させることが可能な電子ビーム操縦ユニットを備えるX線源。 - 前記少なくとも1つの遮蔽要素は、前記X線に関連付けられた放射パターンの制御を少なくとも部分的に促進するために前記X線の少なくとも一部を吸収する材料を含む、請求項25に記載のX線源。
- 前記少なくとも1つの遮蔽要素はポストである、請求項26に記載のX線源。
- 前記少なくとも1つの遮蔽要素は、前記少なくとも1つの主面を複数のターゲットセグメントに少なくとも部分的に分離する遮蔽壁である、請求項26に記載のX線源。
- 前記少なくとも1つの遮蔽壁は、前記ターゲットの中心軸から放射状に延びる、請求項26に記載のX線源。
- 前記少なくとも1つの遮蔽壁は、少なくとも、前記ターゲットの第1の主面から横方向に延びる第1の遮蔽壁と前記ターゲットの第2の主面から横方向に延びる第2の遮蔽壁とを備える、請求項29に記載のX線源。
- 前記第1および第2の遮蔽壁が整列している、請求項30に記載のX線源。
- 前記ターゲット材料の層が基板上に配置される、請求項25に記載のX線源。
- 前記基板がダイヤモンドを含む、請求項32に記載のX線源。
- 電子ビーム発生装置で電子ビームを生成するステップ;
前記電子ビーム発生装置によって生成された前記電子ビームを電子的に操縦して、前記電子ビームを含む電子を複数の場所のうちの選択された1つ以上でターゲットに衝突させるステップ;
前記ターゲットに対して横に延びる複数の壁要素を使用して前記ターゲットに1つ以上の区画を規定し、前記壁要素は、前記ターゲットに衝突する前記電子ビームから発生するX線を方向的に制限するように配置されるステップ;および
前記電子が複数の前記壁要素に関連して前記ターゲットに衝突する位置を制御することにより、複数の所定の方向のいずれか1つにX線ビームを選択的に形成するステップを含む、X線ビームを制御する方法。 - 前記複数の壁要素に関連して前記電子が前記ターゲットに衝突する位置を制御することにより、X線ビームパターン形状を選択的に制御することをさらに含む、請求項34に記載の方法。
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