JP2020512190A - 基板コーティング装置及び方法 - Google Patents
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Abstract
Description
リザーバと前記リザーバの調整可能な深さを画成する調整可能なダムとを含む容器と、
前記容器に対して回転可能に取り付けられたローラであって、前記ローラの外周の一部が前記リザーバの前記調整可能な深さ内に配置されている、ローラと、
を含む、基板コーティング装置。
前記調整可能なダムの上部エッジの上に広がる前記液体の自由表面を有する、前記リザーバ内に配置された液体と、接触角で前記液体に接触する前記ローラとを含む、実施形態1に記載の基板コーティング装置。
液体がエッチング液を含む、実施形態2に記載の基板コーティング装置。
前記調整可能なダムを調整する工程が、前記自由表面の高さを変化させる、実施形態2又は3に記載の基板コーティング装置。
前記接触角が90°〜180°未満である、実施形態2〜4のいずれかに記載の基板コーティング装置。
前記ローラの前記外周の一部が、0.5mmから前記ローラの直径の50%まで、前記自由表面の下の湛水深へと延びる、実施形態2〜5のいずれかに記載の基板コーティング装置。
前記ローラの直径が約20mm〜約50mmである、実施形態1〜5のいずれかに記載の基板コーティング装置。
前記ローラの前記外周が多孔質材料によって画成される、実施形態1〜7のいずれかに記載の基板コーティング装置。
前記リザーバが、第1の端部及び前記第1の端部とは反対側の第2の端部を含み、前記第2の端部が前記調整可能なダムによって少なくとも部分的に画成される、実施形態1〜8のいずれかに記載の基板コーティング装置。
前記調整可能なダムの調節された位置に対応する前記リザーバの深さが、前記第1の端部から前記第2の端部に向かう方向に増加する、実施形態9に記載の基板コーティング装置。
前記ローラの回転軸が、前記第1の端部から前記第2の端部に向かう方向に延びる、実施形態9に記載の基板コーティング装置。
前記リザーバの前記第1の端部内へと開口する入口ポートをさらに含む、実施形態9〜11のいずれかに記載の基板コーティング装置。
前記リザーバの前記第2の端部内へと開口する出口ポートをさらに含む、実施形態12に記載の基板コーティング装置。
前記調整可能なダムが、出口ポートと前記入口ポートとの間に位置付けられる、実施形態12に記載の基板コーティング装置。
基板をコーティングする方法であって、
容器のリザーバを液体で満たす工程;
ローラの外周の一部を接触角で前記液体と接触させる工程;
前記リザーバ内の前記液体の自由表面の高さを変えて前記接触角を変化させる工程;及び
回転軸を中心に前記ローラを回転させて、前記リザーバから前記基板の主面に液体を移送する工程
を含む、方法。
前記ローラを回転させることにより、前記移送された液体が前記リザーバから引き上げられて、前記基板の主面に接触する、実施形態15に記載の方法。
前記基板の主面が、前記自由表面の上に離間して配置され、前記自由表面に面している、実施形態15又は16に記載の方法。
前記接触角が90°〜180°未満である、実施形態15〜17のいずれかに記載の方法。
前記移送液体の一部が、前記リザーバから前記基板の主面に前記液体を移送する間、前記基板を前記ローラとの接触から離間する、実施形態15〜18のいずれかに記載の方法。
前記自由表面の高さを変える工程が、調整可能なダムの高さを調整する工程を含む、実施形態15〜19のいずれかに記載の方法。
調整可能なダムの上部エッジを上昇させて前記接触角を低下させることによって、前記液体の移送速度を増加させる工程をさらに含む、実施形態15〜19のいずれかに記載の方法。
調整可能なダムの上部エッジを下降させて前記接触角を増加させることによって、前記液体の移送速度を低下させる工程をさらに含む、実施形態15〜19のいずれかに記載の方法。
前記液体の移送速度を低下させる工程が、前記ローラに接近する前記基板の後端に応答して行われる、実施形態22に記載の方法。
前記液体のある量が、前記リザーバから前記調整可能なダムの前記上部エッジの上に連続的に溢れ出る、実施形態20〜23のいずれかに記載の方法。
前記自由表面の高さを変える工程が、前記リザーバを満たす流入液体の充填速度を変化させる工程及び前記リザーバを出る流出液体の出口速度を変化させる工程のいずれか一方若しくは両方を含む、実施形態15〜24のいずれかに記載の方法。
前記基板がガラスを含む、実施形態15〜25のいずれかに記載の方法。
前記液体がエッチング液を含む、実施形態15〜26のいずれかに記載の方法。
基板をコーティングする方法において、
容器のリザーバを液体で満たす工程であって、前記液体の自由表面が調整可能なダムの上部エッジの上に広がり、前記液体のある量が前記リザーバから前記調整可能なダムの前記上部エッジの上に連続的に溢れ出る、工程;
ローラの外周の一部を接触角で前記液体と接触させる工程;
前記調整可能なダムの前記上部エッジを調整して前記リザーバ内の前記液体の前記自由表面の高さを変えて前記接触角を変化させる工程;及び
回転軸を中心に前記ローラを回転させて、前記リザーバから前記基板の主面に液体を移送する工程
を含む、方法。
前記ローラを回転させることにより、前記移送された液体が前記リザーバから引き上げられて、前記基板の主面に接触する、実施形態28に記載の方法。
前記基板の主面が、前記自由表面の上に離間して配置され、前記自由表面に面している、実施形態28又は29に記載の方法。
前記接触角が90°〜180°未満である、実施形態28〜30のいずれかに記載の方法。
前記移送液体の一部が、前記リザーバから前記基板の主面に前記液体を移送する間、前記基板を前記ローラとの接触から離間する、実施形態28〜31のいずれかに記載の方法。
前記調整可能なダムの前記上部エッジを上昇させて、前記接触角を低下させることによって、前記液体の移送速度を増加させる工程をさらに含む、実施形態28〜32のいずれかに記載の方法。
前記調整可能なダムの前記上部エッジを下降させて前記接触角を増加させることによって、前記液体の移送速度を低下させる工程をさらに含む、実施形態28〜32のいずれかに記載の方法。
前記液体の移送速度を低下させる工程が、前記ローラに接近する前記基板の後端に応答して行われる、実施形態34に記載の方法。
前記自由表面の高さを変える工程がさらに、前記リザーバを満たす流入液体の充填速度を変化させる工程及び前記リザーバを出る流出液体の出口速度を変化させる工程のいずれか一方又は両方を含む、実施形態28〜35のいずれかに記載の方法。
前記基板がガラスを含む、実施形態28〜36のいずれかに記載の方法。
前記液体がエッチング液を含む、実施形態28〜37のいずれかに記載の方法。
103a 第1の主面
103b 第2の主面
105 基板
105b 後端
107 液体
109 容器
111 リザーバ
111a 第1の端部
117 供給タンク
119 入口導管
121 出口導管
125 コントローラ
201 調整可能なダム
203 上部エッジ
205,205a,205b 自由表面
207 オーバーフロー収納領域
208a 入口ポート
208b 出口ポート
208c 出口ポート
210 液体
211 収納壁
215 キャップ
217 収集容器
219 トランスデューサ装置
223 キャップ
225 ポンプ
227 ローラ
233 回転軸
235 外周
241 アクチュエータ
301 第1の側壁
303 第2の側壁
305 垂直面
313 接触平面
317 延長部
319 交差線
401 基準高さ
601、701、801、901、1001 センサ
Claims (10)
- リザーバと前記リザーバの調整可能な深さを画成する調整可能なダムとを含む容器と、
前記容器に対して回転可能に取り付けられたローラであって、前記ローラの外周の一部が前記リザーバの前記調整可能な深さ内に配置されている、ローラと
を含む、基板コーティング装置。 - 前記調整可能なダムの上部エッジの上に広がる前記液体の自由表面を有する、前記リザーバ内に配置された液体と、90°〜180°未満の範囲の接触角で前記液体と接触する前記ローラと
を含む、請求項1に記載の基板コーティング装置。 - 前記調整可能なダムを調整することにより、前記自由表面の高さが変化する、請求項2に記載の基板コーティング装置。
- 前記ローラの前記外周の一部が、0.5mmから前記ローラの直径の50%まで、前記自由表面の下の湛水深へと延びる、請求項2又は3に記載の基板コーティング装置。
- 前記ローラの直径が約20mm〜約50mmである、請求項1〜4のいずれか一項に記載の基板コーティング装置。
- 前記リザーバが、第1の端部及び前記第1の端部とは反対側の第2の端部を含み、前記第2の端部が前記調整可能なダムによって少なくとも部分的に画成される、請求項1〜5のいずれか一項に記載の基板コーティング装置。
- 基板をコーティングする方法であって、
容器のリザーバを液体で満たす工程;
ローラの外周の一部を接触角で前記液体と接触させる工程;
前記リザーバ内の前記液体の自由表面の高さを変えて前記接触角を変化させる工程;及び
回転軸を中心に前記ローラを回転させて、前記リザーバから前記基板の主面に液体を移送する工程
を含む、方法。 - 前記ローラを回転させることにより、前記移送された液体が前記リザーバから引き上げられて、前記基板の主面に接触する、請求項7に記載の方法。
- 前記移送液体の一部が、前記リザーバから前記基板の主面に前記液体を移送する間、前記基板を前記ローラとの接触から離間する、請求項7又は8に記載の方法。
- 前記自由表面の高さを変える工程が、調整可能なダムの高さを調整する工程を含む、請求項7〜9のいずれか一項に記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
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