JP2020510839A - エンコーダ装置 - Google Patents
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Abstract
Description
fは、スケールのピッチであり、
hは、打ち消される(特定の)高調波の次数であり、
sは、源の数であり、
niは、整数であり(理解されるように、整数はゼロを含む)、
Mは、エンコーダの倍率である。
F=fM
である。
任意選択で、
uは、源からスケールまでの距離であり、
vは、スケールから検出器までの距離である。
少なくとも1つの電磁放射源は、シャドウキャスト縞パターンの第3高調波の大きさが、基本/第1高調波の大きさの3%以下であるように構成され、および/またはシャドウキャスト縞パターンの第5高調波の大きさが、基本/第1高調波の大きさの3%以下であるように構成される。
fは、スケールのピッチであり、
hは、打ち消される高調波の次数であり、
sは、源の数であり、
niは、(同じであるかまたは間隔ごとに異なることがある)整数であり、
Mは、エンコーダの倍率である。
λは、EMR波長であり、
uは、EMR源からスケールまでの距離である。
I(x)は、細長いスケール方向に実質的に横向きの方向における源の放射電力(すなわち、使用中、細長いスケール方向に実質的に平行なそれの広がりに沿った与えられた点において、EMR源によって放出される放射電力)であり、
fは、スケールのピッチであり、
xは、細長いスケール方向に実質的に平行な方向における位置であり、
kは、スケーリング定数である。
I(x)は、細長いスケール方向に実質的に横向きの方向における源の放射電力(すなわち、使用中、細長いスケール方向に実質的に平行なそれの広がりに沿った与えられた点において、EMR源によって放出される放射電力)であり、
fは、スケールのピッチであり、
xは、細長いスケール方向に実質的に平行な方向における位置であり、
kは、スケーリング定数である。
fは、スケールピッチであり、
uは、EMR源からスケールまでの距離であり、
vは、スケールから検出器までの距離である。
fは、スケールのピッチであり、
hは、打ち消される高調波の次数であり、
sは、源の数であり、
niは、(同じであるかまたは間隔ごとに異なることがある)整数であり、
Mは、倍率である。
倍率Mは、
uは、源からスケールまでの距離であり、
vは、スケールから電子格子までの距離である。
n1=1、h=3、s=2である。この例においては、第3高調波成分は、完全に逆位相であり、シャドウキャスト縞パターンは、第3高調波成分を有さない。
Claims (15)
- スケールと、リードヘッドとを備える、シャドウキャストエンコーダ装置であって、前記リードヘッドは、シャドウキャスト縞パターンを、前記シャドウキャスト縞パターンを検出するように構成された検出器において生成するために、前記スケールを照明するための少なくとも1つの電磁放射源を備え、
前記シャドウキャスト縞パターンの合算高調波歪みが6%以下であるように構成される
シャドウキャストエンコーダ装置。 - 前記シャドウキャスト縞パターンの前記合算高調波歪みが3%以下である請求項1に記載のシャドウキャストエンコーダ。
- 前記シャドウキャスト縞パターンの第3高調波の大きさが、前記縞パターンの第1高調波の大きさの3%以下であり、および/または前記シャドウキャスト縞パターンの第5高調波の大きさが、前記第1高調波の前記大きさの3%以下である請求項1に記載のシャドウキャストエンコーダ。
- 前記複数の電磁放射源は、2つの電磁放射源、または3つの電磁放射源を備える請求項4に記載のシャドウキャストエンコーダ。
- 前記第1高調波の高調波は、前記第3高調波または前記第5高調波である請求項4または5に記載のシャドウキャストエンコーダ。
- 前記電磁放射源は、前記装置測定方向に平行なそれの広がりに沿ったそれの放射電力が、前記シャドウキャスト縞の前記合算高調波歪みが達成されるように変化するように構成されるように構成される請求項1乃至6のいずれか一項に記載のシャドウキャストエンコーダ。
- 前記少なくとも1つの電磁放射源は、放射電力のそのような変化を生成するために、それの幅がそれの広がりに沿って変化するように成形される請求項1乃至7のいずれか一項に記載のシャドウキャストエンコーダ。
- 前記少なくとも1つの電磁放射源は、三角形である放射電力プロファイルを生成する請求項9または請求項10に記載のシャドウキャストエンコーダ。
- スケール周期が少なくとも40μmである請求項1乃至9のいずれか一項に記載のシャドウキャストエンコーダ。
- 前記エンコーダがインクリメンタルエンコーダである請求項1乃至10のいずれか一項に記載のシャドウキャストエンコーダ。
- 細分誤差(SDE)が0.15μm未満である請求項1乃至11のいずれか一項に記載のシャドウキャストエンコーダ。
- 前記少なくとも1つの電磁放射源は、前記シャドウキャスト縞パターンの前記合算高調波歪みが6%以下であるように構成される請求項1乃至12のいずれか一項に記載のシャドウキャストエンコーダ。
- スケールと、リードヘッドとを備える、シャドウキャストエンコーダ装置であって、前記リードヘッドは、シャドウキャスト縞パターンを、前記シャドウキャスト縞パターンを検出するように構成された検出器において生成するために、前記スケールを照明するための少なくとも1つの電磁放射源を備え、
前記少なくとも1つの電磁放射源は、前記シャドウキャスト縞パターンの第3高調波の大きさが、前記シャドウキャスト縞パターンの第1高調波の大きさの3%以下を含み、3%以下であり、および/または前記シャドウキャスト縞パターンの第5高調波の大きさが、前記第1高調波の前記大きさの3%以下であるように構成される
シャドウキャストエンコーダ装置。 - スケールと、リードヘッドとを備える、シャドウキャストエンコーダ装置であって、前記リードヘッドは、シャドウキャスト縞パターンを生成するために、前記スケールを照明するための複数の電磁放射源からなる少なくとも1つのグループと、前記シャドウキャスト縞パターンを検出するための検出器とを備え、
前記電磁放射源は、装置測定方向において、距離Dだけ間隔を空けられ、
fは、前記スケールのピッチであり、
hは、打ち消される高調波の次数であり、
sは、源の数であり、
niは、3つ以上の源が存在する場合、同じであるかまたは間隔ごとに異なることがある整数であり、
Mは、倍率である
シャドウキャストエンコーダ装置。
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