JP2020507497A

JP2020507497A - 流体ダイ

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Publication number: JP2020507497A
Application number: JP2019543075A
Authority: JP
Inventors: マクレランド，シーン，ピー; ミリガン，ドナルド，ジェイ; マーティン，エリック，ティー
Original assignee: Hewlett Packard Development Co LP
Current assignee: Hewlett Packard Development Co LP
Priority date: 2017-04-14
Filing date: 2017-04-14
Publication date: 2020-03-12
Anticipated expiration: 2037-04-14
Also published as: US20230191779A1; CN110267816A; US11618253B2; US20230202167A1; EP3548288A4; JP6887511B2; EP3548288B1; KR20190102245A; US20210260870A1; EP3548288A1; US11034147B2; KR102261254B1; US20200122458A1; WO2018190872A1; CN110267816B

Abstract

流体ダイは、流体アクチュエータアドレスラインを支持する基板と、流体アクチュエータアドレスラインに接続される第１及び第２のグループの流体アクチュエータを含むことができる。第１のグループの流体アクチュエータは、異なる動作特性を有する第１及び第２のタイプの流体アクチュエータを含むことができる。第２のグループの流体アクチュエータは、第１及び第２のタイプの流体アクチュエータを含むことができる。第１及び第２のグループの流体アクチュエータは、第１のグループにおける第１のタイプの流体アクチュエータ及び第２のグループにおける第２のタイプの流体アクチュエータの双方が、流体アクチュエータアドレスライン上の信号イネーブルイベントに応じてイネーブルにされるようなアドレスを有する。【選択図】なし

Description

背景
流体ダイは、流体の動き（移動）および吐出を制御することができる。係る流体ダイは、流体の変位を生じさせるために付勢され得る流体アクチュエータを含むことができる。幾つかの例示的な流体ダイは、プリントヘッドであることができ、この場合、流体はインクに対応することができる。

例示的な流体ダイの一部の略図である。別の例示的な流体ダイの一部の略図である（図２ａと図２ｂで１つの図面を構成し、その図面を図２と称する）。別の例示的な流体ダイの一部の略図である（図２ａと図２ｂで１つの図面を構成し、その図面を図２と称する）。別の例示的な流体ダイの一部の略図である。例示的な流体ダイを有する例示的な流体吐出システムの一部の略図である。図４の流体吐出システムの例示的なトリガ論理回路の略図である。流体ダイ上の異なるタイプの流体アクチュエータをイネーブルにするための例示的な方法の流れ図である。別の例示的な流体ダイの略図である（図７ａと図７ｂで１つの図面を構成し、その図面を図７と称する）。別の例示的な流体ダイの略図である（図７ａと図７ｂで１つの図面を構成し、その図面を図７と称する）。別の例示的な流体ダイの略図であり、アドレス指定された流体吐出器および流体ポンプをイネーブルにするための例示的な流体アクチュエータアドレスラインを示す。

図面の全体にわたって、同じ参照符号は、類似するが必ずしも同一でない要素を示す。図面は、必ずしも一律の縮尺に従っておらず、幾つかの部品のサイズは、図示された例をより明確に示すために誇張され得る。更に、図面は、説明と首尾一貫した例および／または具現化形態を提供するが、説明は、図面に提供された例および／または具現化形態に制限されない。

例の詳細な説明
流体ダイの例は、流体アクチュエータを含むことができる。流体アクチュエータは、圧電膜ベースのアクチュエータ、熱抵抗器ベースのアクチュエータ、静電膜アクチュエータ、機械的／インパクト駆動型膜アクチュエータ、磁歪駆動型アクチュエータ、又は電気的付勢に応答して流体の変位を生じさせることができる他の係る要素を含むことができる。本明細書で説明される流体ダイは、流体アクチュエータのアレイと呼ばれ得る複数の流体アクチュエータを含むことができる。更に、本明細書で使用される限り、付勢イベント（事象）は、流体ダイの流体アクチュエータの同時の付勢によって流体変位を生じさせることを意味することができる。単一の付勢イベントに応じて生じるにも関わらず、本明細書で使用される限り、流体アクチュエータの同時付勢は、同時付勢された個々のアクチュエータのそれぞれにおいて及びそれぞれの間で僅かな時間遅延を含むことができ、その結果、流体アクチュエータは同時に付勢されず、ピーク電圧の要件を低減する。

例示的な流体ダイにおいて、流体アクチュエータのアレイは、流体アクチュエータの個々のセット（組）において構成されることができ、この場合、流体アクチュエータの係るセットのそれぞれは、「プリミティブ」又は「噴射プリミティブ」と呼ばれ得る。プリミティブは一般に、それぞれが一意の付勢アドレスを有する流体アクチュエータのグループ又はセット（組）を含む。幾つかの例において、流体ダイの電気的および流体的制約は、各プリミティブのどの流体アクチュエータが所与の付勢イベントに関して同時に付勢され得るかを制限するかもしれない。従って、プリミティブは、所与の付勢イベントに関して同時に付勢され得る流体吐出器サブセットのアドレス指定および後続の付勢を容易にする。個々のプリミティブに対応する流体アクチュエータの数は、プリミティブのサイズと呼ばれ得る。

一例として示すために、流体ダイが４個のプリミティブを含み、ここで、個々のプリミティブのそれぞれが８個の個別の流体アクチュエータを含んでおり（各８個の流体アクチュエータのグループがアドレス０から７を有する）、電気的および流体的制約が付勢を１つのプリミティブ毎に１つの流体アクチュエータに制限する場合、合計４個の流体アクチュエータ（各プリミティブから１個）が所与の付勢イベントに関して同時に付勢され得る。例えば、第１の付勢イベントに関して、０のアドレスを有する各プリミティブの個々の流体アクチュエータが付勢され得る。第２の付勢イベントに関して、１のアドレスを有する各プリミティブの個々の流体アクチュエータが付勢され得る。理解されるように、例は、例示のためだけに提供される。本明細書で企図された流体ダイは、１つのプリミティブ毎により多い又はより少ない流体アクチュエータ、及び１つのダイ毎により多い又はより少ないプリミティブを含むことができる。

例示的な流体ダイにおいて、流体アクチュエータは、流体アクチュエータアドレスラインに沿って伝達される電気信号により生じた単一のアドレスイネーブルイベントにより同時にイネーブルにされ得る。本明細書で使用される限り、アドレスイネーブルイベントは、他のイネーブル信号を受け取ることに応じて後続の付勢のために係る流体アクチュエータを準備するために同じアドレスを有する異なるプリミティブの流体アクチュエータを同時にイネーブルすることを意味することができる。例えば、流体アクチュエータの付勢は、流体アクチュエータが流体アクチュエータアドレスラインにわたって伝達されたアドレスイネーブル信号、及びデータ又はプリミティブ選択ラインにわたって受け取られたプリミティブイネーブル信号を少なくとも受け取ることに応じて生じることができる。本明細書で使用される限り、流体アクチュエータアドレスラインは、ワイヤ又はトレースのような単一の導電性ライン、又はアドレスイネーブルイベントを生じさせるために一組の電気信号を伝達するように協働する一組の導電性ラインを含むことができる。

幾つかの例において、流体アクチュエータは、ノズルに配置されることができ、この場合、ノズルは、流体アクチュエータに加えて、流体チャンバ及びノズルオリフィスを含むことができる。流体アクチュエータは、流体チャンバ内の流体の変位がノズルオリフィスを介した流体滴の吐出を生じることができるように、付勢され得る。従って、ノズルに配置された流体アクチュエータは、流体吐出器と呼ばれ得る。

幾つかの例示的な流体ダイは、微小（マイクロ）流体チャネルを含む。微小流体チャネルは、流体ダイの基板において、エッチング、微細加工（例えば、フォトリソグラフィー）、マイクロマシニングプロセス、又はそれらの任意の組み合わせを行うことにより形成され得る。幾つかの例示的な基板は、シリコンベースの基板、ガラスベースの基板、ガリウムヒ素ベースの基板、及び／又は微細加工されるデバイス及び構造に適切な他の係るタイプの基板を含むことができる。従って、微小流体チャネル、チャンバ、オリフィス及び／又は他の係る特徴要素は、流体ダイの基板に製作された表面により画定され得る。更に、本明細書で使用される限り、微小流体チャネルは、少量の流体（例えば、ピコリットルスケール、ナノリットルスケール、マイクロリットルスケール、ミリリットルスケールなど）の輸送を容易にするために、十分に小さいサイズ（例えば、ナノメートルサイズのスケール、マイクロメートルサイズのスケール、ミリメートルサイズのスケールなど）のチャネルに対応することができる。本明細書で説明される例示的な流体ダイは、流体アクチュエータが配置され得る微小流体チャネルを含むことができる。係る具現化形態において、微小流体チャネルに配置された流体アクチュエータの付勢は、微小流体チャネルにおいて流体の変位を生じることができる。従って、微小流体チャネルに配置された流体アクチュエータは、流体ポンプと呼ばれ得る。

本明細書で説明される幾つかの例において、流体ダイは、流体アクチュエータアドレスライン及び流体アクチュエータアドレスラインに接続された流体アクチュエータの第１及び第２のプリミティブ又はセット（組）を支持する基板を含むことができる。流体アクチュエータの第１のプリミティブ又はセットは、異なる動作特性を有する第１及び第２のタイプの流体アクチュエータを含むことができる。流体アクチュエータの第２のプリミティブ又はセットは、当該第１及び第２のタイプの流体アクチュエータを含むことができる。第１及び第２の組（セット）の流体アクチュエータは、第１の組における第１のタイプの流体アクチュエータ及び第２の組における第２のタイプの流体アクチュエータの双方が、流体アクチュエータアドレスライン上の単一のイネーブルイベントに応じて、同時にイネーブルにされる。

本明細書で説明される幾つかの例において、第１の組における第１のタイプの流体アクチュエータ及び第２の組における第２の異なるタイプの流体アクチュエータそれぞれは、第１の組のアドレスを有するが、第１の組における第２のタイプの流体アクチュエータ及び第２の組における第１のタイプの流体アクチュエータそれぞれは、第２の組のアドレスを有する。幾つかの例において、第１の組のアドレスは偶数のアドレスであるが、第２の組のアドレスは奇数のアドレスである。

本明細書で説明される幾つかの例において、第１のタイプの流体アクチュエータは、第１の付勢エネルギー要件を有し、この場合、第２のタイプの流体アクチュエータは、第１の付勢エネルギー要件と異なる第２の付勢エネルギー要件を有する。幾つかの例において、第１のタイプの流体アクチュエータは、対応するノズルを介して流体を吐出することになっており、この場合、第２のタイプの流体アクチュエータは、噴射チャンバに流体を循環することになっている。幾つかの例において、第１のタイプの流体アクチュエータは、第１及び第２の組の流体アクチュエータにおいて、第２のタイプの流体アクチュエータと交互になっている。

例示的な方法が本明細書で開示され、この場合、単一のアドレスイネーブルイベントが、流体ダイの流体アクチュエータアドレスラインで、第１の組の流体アクチュエータ及び第２の組の流体アクチュエータのそれぞれに伝達される。単一のアドレスイネーブルイベントは、第１の組および第２の組のそれぞれにおいて付勢のために単一の流体アクチュエータをイネーブルにすることになっている。例示的な方法は、単一のアドレスイネーブルイベントに応じて第１の組の流体アクチュエータにおける第１のタイプの流体アクチュエータの第１の流体アクチュエータをイネーブルにし、単一のアドレスイネーブルイベントに応じて第２の組の流体アクチュエータにおける第２のタイプの流体アクチュエータの第２の流体アクチュエータをイネーブルにすることを含むことができる。第２のタイプの流体アクチュエータそれぞれは、第１のタイプの流体アクチュエータと異なる動作特性を有する。方法は更に、第１の組の流体アクチュエータ及び第２の組の流体アクチュエータに流体アクチュエータイネーブルイベントを伝達することを含むことができる。第１の流体アクチュエータは、単一のアドレスイネーブルイベントによりイネーブルにされている第１の流体アクチュエータ及び第１の流体アクチュエータが流体アクチュエータイネーブルイベントを受け取ることの組み合わせに応じて付勢され得る。第２の流体アクチュエータは、単一のアドレスイネーブルイベントによりイネーブルにされている第２の流体アクチュエータ及び第２の流体アクチュエータが流体アクチュエータイネーブルイベントを受け取ることの組み合わせに応じて付勢され得る。

図１は、例示的な流体ダイ２０の一部を示す略図である。流体ダイ２０は、基板２２、流体アクチュエータアドレスライン２４、並びに流体アクチュエータ３２Ａ、３２Ｂ（まとめて流体アクチュエータ３２と呼ばれる）及び流体アクチュエータ３４Ａ、３４Ｂ（まとめて流体アクチュエータ３４と呼ばれる）を含む。流体アクチュエータアドレスライン２４は、付勢イベント中に予想される後続の付勢のためにアクチュエータ３２、３４をイネーブルにするように、流体アクチュエータ３２、３４のそれぞれと関連付けられた論理回路に電気信号が伝達される少なくとも１つの導電ワイヤ又はトレースを含む。一具現化形態において、流体アクチュエータアドレスライン２４は、複数の導電ワイヤ又はトレースを含む。例えば、流体アクチュエータアドレスライン２４は、少なくとも３ビット又は３つの個別のビットラインを含むことができる。

流体アクチュエータ３２及び３４は、電気的付勢に応じて流体の変位を生じるデバイス又は要素を含む。流体アクチュエータ３２、３４は、圧電膜ベースのアクチュエータ、熱抵抗器ベースのアクチュエータ、静電膜アクチュエータ、機械的／インパクト駆動型膜アクチュエータ、磁歪駆動型アクチュエータ、又は他の係る要素を含むことができる。

流体アクチュエータ３２は、流体アクチュエータ３４と比べて、異なる動作特性を有する。一具現化形態において、流体アクチュエータ３２は、付勢中、流体アクチュエータ３４と異なるエネルギー要件を有し、又は異なる電圧レベル、電流またはエネルギーを利用する。一具現化形態において、流体アクチュエータ３２は、流体吐出器の形態である一方で、流体アクチュエータ３４は流体ポンプの形態である。流体吐出器は、オリフィスを介して吐出チャンバ内の流体を変位させるアクチュエータを含むことができる。流体ポンプは、微小流体チャネルにおいて流体を変位させるアクチュエータを含むことができる。一具現化形態において、流体アクチュエータ３２及び３４の双方は、流体吐出器を含むことができるが、この場合、流体アクチュエータ３２及び３４は、異なる液滴重量または他の異なる動作特性を有する。一具現化形態において、流体アクチュエータ３２及び３４の双方は、流体ポンプを含むことができるが、この場合、流体アクチュエータ３２及び３４は、異なるエネルギー電圧要件を有する。

図１において、破線により示されるように、流体アクチュエータ３２Ａ及び３４Ａはまとめて、流体アクチュエータの第１のセット（組）４０Ａを形成するが、流体アクチュエータ３２Ｂ及び３４Ｂはまとめて、流体アクチュエータの第２のセット（組）４０Ｂを形成する。セット４０Ａ及び４０Ｂ（まとめて、セット４０と呼ばれる）は、互いに隣接して延在し又は基板２２上で連続している。セット４０のそれぞれは、流体アクチュエータ３２のサブセット４２及び流体アクチュエータ３４のサブセット４４を含む。図１は列に物理的に配列された係るアクチュエータ３２、３４を示すが、他の具現化形態において、アクチュエータ３２、３４は、行、アレイ又は他の物理的な配列になっていてもよい。

セット４０は、流体ダイ２０のプリミティブと呼ばれるものを形成し、各セットは、アドレスの同じセット（組）を有する。言い換えれば、セット４０Ａにおける各流体アクチュエータは、セット４０Ｂにおける流体アクチュエータのアドレスと同じアドレスを有する。セット４０のそれぞれはアドレスの同じセットを有するが、セット４０Ａ及び４０Ｂのアドレスは、異なるタイプの流体アクチュエータ間で逆に割り当てられる。図示された例において、セット４０のそれぞれの流体アクチュエータは、アドレスＡ_１，１からＡ_１，ｎ、及びアドレスＡ_２，１からＡ_２，ｎからなるアドレスのセットを有する。しかしながら、セット４０Ａにおいて、流体アクチュエータ３２Ａは、アドレスＡ_１，１からＡ_１，ｎを有するが、セット４０Ｂにおいて、流体アクチュエータ３２ＢはアドレスＡ_２，１からＡ_２，ｎを有する。同様に、セット４０Ａにおいて、流体アクチュエータ３４ＡはアドレスＡ_２，１からＡ_２，ｎを有するが、セット４０Ｂにおいて、流体アクチュエータ３４ＢはアドレスＡ_１，１からＡ_１，ｎを有する。

セット４０におけるアドレスの同じセットが各セット４０における異なるタイプの流体アクチュエータ３２、３４間で逆に割り当てられるので、アドレスライン２４上の単一のアドレスイネーブルイベントは、異なるセット４０における異なるタイプの流体アクチュエータを同時にイネーブルにする。例えば、アドレスＡ_１，１をイネーブルにするためにアドレスライン２４にわたるアドレスイネーブル信号の伝達において結果として生じる単一のアドレスイネーブルイベントは、後続の付勢イベントのためにイネーブルにされているセット４０Ａの（第１のタイプＴ１の）流体アクチュエータ３２Ａという結果になることができると同時に、同じ後続の付勢イベントのためにイネーブルにされている（第２のタイプＴ２の）流体アクチュエータ３４Ｂという結果にもなる。別の例として、アドレスＡ_２，１をイネーブルにするためにアドレスライン２４にわたるアドレスイネーブル信号の伝達において結果として生じる単一のアドレスイネーブルイベントは、後続の付勢イベントのためにイネーブルにされているセット４０Ａの（第２のタイプＴ２の）流体アクチュエータ３４Ａという結果になることができると同時に、同じ後続の付勢イベントのためにイネーブルにされている（第１のタイプＴ１の）流体アクチュエータ３２Ｂという結果にもなる。

流体ダイ２０の例示的なアドレス指定方式は、流体アクチュエータ３２、３４の付勢順序における更なる柔軟性を容易にすることができる。流体アクチュエータ３２、３４が異なるエネルギー要件を有する例において、流体ダイ２０の例示的なアドレス指定方式は、低減されたピーク電流を容易にすることができる。例えば、流体アクチュエータ３２がより高いエネルギー要件を有することができる流体吐出器を含み及び流体アクチュエータ３４がより低いエネルギー要件またはピーク電流を有する流体ポンプを含む一具現化形態において、流体吐出器の数は、各セット４０においてアドレスの総数に広がり、後続の付勢イベント中に予想される付勢のためにイネーブルにされている流体吐出器の総数の全てではなくて半分という結果になる。言い換えれば、流体吐出器の第１の半分が第１の付勢イベント中に予想される付勢のためにイネーブルにされることができると同時に、流体アクチュエータの第２の半分が第２の付勢イベント中に予想される付勢のためにイネーブルにされ得る。

流体アクチュエータ３２及び３４それぞれが、セット４０のそれぞれにおいてクラスター化またはグループ化された流体アクチュエータを含むように模式的に示されるが、理解されるべきは、異なる流体アクチュエータ３２、３４は、各セット４０において互い間で散在され得る。例えば、一具現化形態において、流体アクチュエータ３２及び３４は、各セット４０において互いと交互になることができる。流体アクチュエータ３２は偶数アドレスを有することができるが、流体アクチュエータ３４は奇数アドレスを有する、又は逆もまた同じ。ダイ２０上の場所または相対的配置に関係なく、所与のアドレスを有するセット４０Ａにおける第１のタイプの各流体アクチュエータは、同じ所与のアドレスを有するセット４０Ｂにおける第２のタイプの対応する流体アクチュエータを有する。

図２は、流体ダイ１２０の一部の略図である。流体ダイ１２０は、流体ダイ１２０が流体アクチュエータ３２、３４の少なくとも４個の連続したプリミティブ又はセット４０を含むように示されていることを除いて、流体ダイ２０に類似する。流体ダイ２０のコンポーネントに対応する流体ダイ１２０のこれらコンポーネントは、同様に付番される。図２は、列に物理的に配列された係るアクチュエータ３２、３４を示すが、他の具現化形態において、アクチュエータ３２、３４は行、アレイ又は他の物理的配列になっていてもよい。

図２により示されるように、流体ダイ１２０は、流体アクチュエータ３２Ｃ、３４Ｃ、３２Ｄ、３４Ｄのセット４０Ｃ及び４０Ｄをそれぞれ更に含む。流体アクチュエータ３２Ｃ、３２Ｄはそれぞれ、流体アクチュエータ３２Ａ及び３２Ｂに類似することができる。同様に、流体アクチュエータ３４Ｃ、３４Ｄはそれぞれ、流体アクチュエータ３４Ａ及び３４Ｂに類似することができる。流体ダイ１２０に関して、流体アクチュエータ３２Ａ〜３２Ｄ及び流体アクチュエータ３４Ａ〜３４Ｄはそれぞれ、まとめて流体アクチュエータ３２及び流体アクチュエータ３４と呼ばれる。流体アクチュエータ３２及び３４は全て、流体アクチュエータアドレスライン２４に接続され、当該流体アクチュエータアドレスライン２４は、後続の付勢イベント中に予想される後続の付勢のためにアドレスライン２４に沿って選択されたアドレスをイネーブルにするためにアドレスイネーブルイベントの一部としてアドレスイネーブル信号を伝達する。

流体ダイ２０と同様に、セット４０のそれぞれにおけるアドレスの同じセットが各セット４０における異なるタイプの流体アクチュエータ３２、３４間で逆に割り当てられるので、アドレスライン２４上の単一のアドレスイネーブルイベントは、異なるセット４０における異なるタイプの流体アクチュエータを同時にイネーブルにする。例えば、アドレスＡ_１，１をイネーブルにするためにアドレスライン２４にわたるアドレスイネーブル信号の伝達において結果として生じる単一のアドレスイネーブルイベントは、後続の付勢イベントのためにイネーブルにされているセット４０Ａの（第１のタイプＴ１の）流体アクチュエータ３２Ａ、後続の付勢イベントのためにイネーブルにされている（第２のタイプＴ２の）流体アクチュエータ３４Ｂ、後続の付勢イベントのためにイネーブルにされているセット４０Ｃの（第１のタイプＴ１の）流体アクチュエータ３２Ｃ、及び同じ後続の付勢イベントのためにイネーブルにされている（第２のタイプＴ２の）流体アクチュエータ３４Ｄという結果になることができる。別の例として、アドレスＡ_２，１をイネーブルにするためにアドレスライン２４にわたるアドレスイネーブル信号の伝達において結果として生じる単一のアドレスイネーブルイベントは、後続の付勢イベントのためにイネーブルにされているセット４０Ａの（第２のタイプＴ２の）流体アクチュエータ３４Ａ、後続の付勢イベントのためにイネーブルにされている（第１のタイプＴ１の）流体アクチュエータ３２Ｂ、後続の付勢イベントのためにイネーブルにされているセット４０Ｃの（第２のタイプＴ２の）流体アクチュエータ３４Ｃ、及び同じ後続の付勢イベントのためにイネーブルにされている（第１のタイプＴ１の）流体アクチュエータ３２Ｄという結果になることができる。

図３は、例示的な流体ダイ２２０の一部を示す略図である。流体ダイ２２０は、流体ダイ２２０がアドレスライン２４に沿って互いと交互になっている流体吐出器と流体ポンプの形態の異なるタイプの流体アクチュエータを有するように特に示されていることを除いて、流体ダイ２０及び１２０に類似する。一具現化形態において、流体吐出器は、流体ポンプと比べて、異なるエネルギー電圧要件を有する。流体ダイ２０及び１２０のコンポーネントに対応する流体ダイ２２０のこれらコンポーネントは、同様に付番される。

図３により示されるように、流体ダイ２２０は、流体吐出器２３２Ａ、２３２Ｂ（まとめて流体吐出器２３２と呼ばれる）の形態の流体アクチュエータ、及び流体ポンプ２３４Ａ、２３４Ｂ（まとめて流体ポンプ２３４と呼ばれる）の形態の流体アクチュエータを含む。各流体吐出器２３２は、より大きなノズル２５０の一部であり、この場合、各ノズル２５０は、関連した流体吐出器２３２により生じた変位を通じて流体が吐出されるオリフィスを有する。図示された例において、流体吐出器２３２／ノズル２５０及び流体ポンプ２３４は、アドレスライン２４に沿って交互になっており、この場合、流体吐出器２３２及び流体ポンプ２３４が対にされ、流体ポンプ２３４は、対にされた又は関連付けられた流体吐出器２３２／ノズル２５０へ及び／又は当該流体吐出器２３２／ノズル２５０から流体を循環させる。他の具現化形態において、散在したノズル２５０及び流体ポンプ２３４は、他の配列またはパターンを有することができる。

破線により示されるように、流体吐出器２３２及び流体ポンプ２３４は、流体アクチュエータの２つのセット２４０Ａ及び２４０Ｂ（まとめてセット２４０と呼ばれる）を形成する。セット２４０のそれぞれは、流体吐出器２３２のサブセット２４２及び流体ポンプ２３４のサブセット２４４を含む。セット２４０は、流体ダイ２２０のプリミティブと呼ばれ得るものを形成し、各セットはアドレスの同じセットを有する。言い換えれば、セット２４０Ａにおける各流体アクチュエータは、セット２４０Ｂにおける流体アクチュエータのアドレスと同じアドレスを有する。セット２４０のそれぞれがアドレスの同じセットを有するが、セット２４０Ａ及び２４０Ｂのアドレスは、異なるタイプの流体アクチュエータ間で逆に割り当てられる。図示された例において、セット４０のそれぞれの流体アクチュエータは、アドレスＡ_１〜Ａ_ｎからなるアドレスのセットを有する。図示された例において、セット２４０Ａの流体吐出器２３２Ａは偶数アドレス（例えば、０、２、４、・・ｎ−１）を有するが、セット２４０Ａの流体ポンプ２３４は奇数アドレス（例えば、１、３、５、・・ｎ）を有する。逆に、セット２４０Ｂの流体吐出器２３２Ｂは奇数アドレス（例えば、１、３、５、・・ｎ）を有するが、流体ポンプ２３４Ｂは偶数アドレス（例えば、０、２、４、・・ｎ−１）を有する。

セット２４０におけるアドレスの同じセットが各セット２４０における流体吐出器２３２と流体ポンプ２３４との間で逆に割り当てられるので、アドレスライン２４上の単一のアドレスイネーブルイベントは、異なるセット２４０における異なるタイプの流体アクチュエータを同時にイネーブルにする。例えば、アドレスＡ_３をイネーブルにするためにアドレスライン２４にわたるアドレスイネーブル信号の伝達において結果として生じる単一のアドレスイネーブルイベントは、後続の付勢イベントのためにイネーブルにされているセット２４０ＡのアドレスＡ_３における流体吐出器２３２Ａという結果になることができると同時に、同じ後続の付勢イベントのためにイネーブルにされているセット２４０ＢのアドレスＡ_３における流体ポンプ２３４Ｂという結果にもなる。別の例として、アドレスＡ_４をイネーブルにするためにアドレスライン２４にわたるアドレスイネーブル信号の伝達において結果として生じる単一のアドレスイネーブルイベントは、後続の付勢イベントのためにイネーブルにされているセット２４０ＡのアドレスＡ_４における流体ポンプ２３４Ａという結果になることができると同時に、同じ後続の付勢イベントのためにイネーブルにされているセット２４０ＢのアドレスＡ_４における吐出器２３２Ｂという結果にもなる。

流体ダイ２２０の例示的なアドレス指定方式は、流体吐出器２３２及び流体ポンプ２３４の付勢順序における更なる柔軟性を容易にすることができる。流体吐出器２３２及び流体ポンプ２３４が異なるエネルギー要件を有する例において、流体ダイ２２０の例示的なアドレス指定方式は、低減されたピーク電流を容易にすることができる。例えば、流体吐出器２３２がより高いエネルギー要件を有し及び流体ポンプ２３４がより低いエネルギー要件またはピーク電流を有する一具現化形態において、流体吐出器の数は、セット２４０のそれぞれにおいてアドレスの総数に広がり、後続の付勢イベント中に予想される付勢のためにイネーブルにされている流体吐出器の総数の全てではなくて半分という結果になる。言い換えれば、流体吐出器の第１の半分が第１の付勢イベント中に予想される付勢のためにイネーブルにされることができると同時に、流体アクチュエータの第２の半分が第２の付勢イベント中に予想される付勢のためにイネーブルにされ得る。

図４及び図５は、流体ダイ２２０に関して上述されたような同じアドレス指定方式を用いる、流体吐出コントローラ３１０及び流体ダイ３２０を有する例示的な流体吐出システム３００の一部を模式的に示す。流体ダイ２２０と同様に、流体ダイ３２０は、流体アクチュエータアドレスライン２４に接続された流体吐出器３３２及び流体ポンプ３３４の形態における流体アクチュエータのアレイを含む。流体吐出器３３２及び流体ポンプ３３４は、アドレスライン２４に沿って対にされ、この場合、流体ポンプ３３４のそれぞれが、関連する流体吐出器３３２へ及び／又は当該流体吐出器３３２から流体を循環させる。流体吐出器３３２及び流体ポンプ３３４は、流体吐出器／流体ポンプのプリミティブ又はセット３４０Ａ、３４０Ｂに構成される。図４は、図示を簡単にするために、セット３４０Ａ、３４０Ｂのそれぞれの流体吐出器３３２及び関連するポンプ３３４の一対を示すが、理解されるべきは、セット３４０Ａ、３４０Ｂはそれぞれ、アドレスライン２４に沿って流体吐出器３３２／流体ポンプ３３４の対のアレイを含むことができる。

図４により更に示されるように、各流体吐出器３３２は、オリフィス３５４を有し及び流体吐出器３３２が配置される吐出チャンバ３５２を有するノズル３５０の一部である。各吐出チャンバ３５２は、流体入力３５８及び微小流体チャネル３６０により、流体供給部３５６に流体連絡する。図示された例において、各流体入力３５８及び微小流体チャネル３６０は、吐出チャンバ３５２へ、吐出チャンバ３５２を介して及び横切って吐出チャンバ３５２から流体供給部３５６に戻る流体の循環を容易にする。図示された例において、係る循環は、微小流体チャネル３６０内の流体ポンプ３３４によって容易にされる。

一具現化形態において、流体供給部３５６は、ダイ３２０のセット３４０のそれぞれにおける流体吐出器３３２のそれぞれに流体を供給する細長いスロットを含む。別の具現化形態において、流体供給部３５６は、インク供給穴のアレイを含むことができる。一具現化形態において、流体供給部３５６は更に、流体供給部３５６の反対側に配置された流体吐出器３３２及び流体ポンプ３３４のプリミティブ又はセット３４０に流体を供給する。幾つかの具現化形態において、流体ダイ３２０は、流体ダイ１２０で示された構成に類似する複数のプリミティブ又はセットを含むことができる。

図示された例において、各流体吐出器３３２及び各流体ポンプ３３４は、流体吐出器３３２の形態または流体ポンプ３３４の形態である、流体アクチュエータの噴射または付勢を制御するトリガ論理回路（Ｌ）３７０を含む。図５は、流体ダイ３２０上にあり、流体吐出器３３２又は流体ポンプ３３４の形態である、流体アクチュエータと関連付けられるトリガ論理回路３７０の一例を模式的に示す。図５により示されるように、トリガ論理回路３７０は、トランジスタ３７２及び論理要素（ＬＥ）３７４を含む。トランジスタ３７２は、論理要素３７４から受け取った信号に応じて、流体吐出器３３２又は流体ポンプ３３４に電圧Ｖｐｐを選択的に伝達するスイッチである。

論理要素３７４は、プリミティブイネーブルライン又はアドレスライン３７８及びアドレスライン２４の双方がアクティブであることに応じて、トランジスタ３７２に付勢信号または噴射信号を送る電子回路およびコンポーネントを含む。一具現化形態において、論理要素３７４は、アドレスライン２４からのアドレス信号を受け取ること、及びデータ、プリミティブ選択またはプリミティブイネーブルライン３７８からプリミティブイネーブルデータ信号も受け取ることに応じて、噴射パルスライン３７６から受け取った制御信号または噴射パルス信号をトランジスタ３７２のゲートに伝達するゲート又は他のＡＮＤ論理回路（模式的に示された）を含む。図示を簡単にするために図４に示されていないが、噴射パルスライン３７６及びプリミティブイネーブルライン３７８も、流体ダイ３２０の基板２２上に存在する。他の具現化形態において、論理要素３７４は、他の形態の電気回路を含むことができる。例えば、他の具現化形態において、プリミティブイネーブルデータ信号および噴射パルス信号は、上流へ（プリミティブのレベルにおいてのように）組み合わされ得る、又は反転され得る。

理解されるべきは、幾つかの具現化形態において、流体吐出器３３２及び流体ポンプ３３４のような異なるタイプの流体アクチュエータは、異なる周波数、異なる振幅および／または異なる持続時間を有する噴射パルスのような、異なる特性を有する噴射パルスを伝達する別個の又は専用の噴射パルスライン３７６を有することができる。例えば、流体吐出器３３２のそれぞれは、第１の噴射パルスライン３７６に接続され得るが、流体ポンプ３３４のそれぞれは、別個の及び異なる噴射パルスライン３７６に接続される。

プリミティブイネーブルライン３７８は、流体吐出器３３２、流体ポンプ３３４が属する特定のプリミティブ又はセット３４０が噴射のためにイネーブルにされるべきである時にデータ信号を受け取る。図示された例において、アドレスライン２４上のアドレスイネーブル信号およびプリミティブイネーブルライン３７８上のプリミティブイネーブル信号またはデータ信号の組み合わせを受け取ることに応じて、流体吐出器３３２、流体アクチュエータ３３４は、ライン３７６上で受け取った噴射パルスに従って付勢される。

流体吐出コントローラ３１０は、情報のパケットを流体ダイ３２０に伝達し、この場合、ダイ３２０上の論理回路は、特定の付勢イベントに関してどのアドレスがイネーブルにされるべきか、及びアドレスイネーブル信号およびプリミティブイネーブル信号の双方を受け取る異なるセット３４０のこれら流体吐出器３３２及び流体ポンプ３３４がライン３７６上で受け取った噴射パルス信号に従って付勢されるように、どのプリミティブ又はセット３４０もイネーブルにされるべきかに関係する命令を構文解析する。図６は、異なる動作特性を有し及び流体ダイ上で異なるプリミティブ又はセットに構成された流体アクチュエータを付勢するための例示的な方法４００の流れ図である。方法４００は、流体吐出器および流体ポンプの形態の異なる流体アクチュエータを有する例示的な流体吐出システム３００により実行されるように説明されるが、方法４００は、異なる動作特性を有する異なる流体アクチュエータの任意のセットでも実行され得る。例えば、方法４００は、異なる液滴重量または他の異なる動作特性を有する異なるタイプの流体吐出器のような、各セットが少なくとも２つのタイプの流体吐出器を有する、異なる流体吐出器のセットで同様に実行され得る。方法４００は、各セットが異なるエネルギー要件を有する少なくとも２つのタイプの流体ポンプを有する、異なる流体ポンプのセットで同様に実行され得る。

ブロック４０４により示されるように、アドレスライン２４が、アドレスイネーブル信号を流体アクチュエータ３３２、３３４の第１のセット（組）３４０Ａ及び第２のセット（組）３４０Ｂのそれぞれに伝達する。アドレスイネーブル信号は、ダイ２０の流体アクチュエータライン２４上の単一のアドレスをイネーブルにする。

ブロック４０６により示されるように、ブロック４０４において伝達されたアドレスイネーブル信号に応じて、アドレスイネーブル信号によりイネーブルにされたアドレスを有し、流体アクチュエータの第１のセット３４０Ａにおける第１のタイプの流体アクチュエータの第１のアクチュエータが、後続の付勢イベント中に付勢のためにイネーブルにされる。図５を参照して、アドレスイネーブル信号は、第１の流体アクチュエータの論理要素３７４により受け取られる。

ブロック４０８により示されるように、ブロック４０４において伝達されたアドレスイネーブル信号に応じて、アドレスイネーブル信号によりイネーブルにされたアドレスを有し、流体アクチュエータの第２のセット３４０Ｂにおける第２のタイプの流体アクチュエータの第２のアクチュエータが、後続の付勢イベント中に付勢のためにイネーブルにされる。図５を参照して、アドレスイネーブル信号は、第２の流体アクチュエータの論理要素３７４により受け取られる。第１の流体アクチュエータ及び第２の流体アクチュエータは、異なるタイプの流体アクチュエータである。例示的な流体ダイ３２０に関して、第１のアクチュエータは、流体吐出器３３２の形態であることができるが、第２のアクチュエータは流体ポンプ３３４の形態であることができ、逆もまた同じである。

ブロック４１０により示されるように、プリミティブイネーブル信号（時としてデータ信号とも呼ばれる）が、流体アクチュエータの第１のセット３４０Ａ及び流体アクチュエータの第２のセット３４０Ｂの各流体アクチュエータ（各流体吐出器３３２及び各流体ポンプ３３４）に伝達される。図５を参照して、プリミティブイネーブル信号は、流体アクチュエータの第１のセット３４０Ａ及び流体アクチュエータの第２のセット３４０Ｂの各流体吐出器３３２及び各流体ポンプ３３４のライン３７８にわたって論理要素３７４により、受け取られる。ブロック４０６及び４０８がブロック４１０より前に生じるように示されるが、理解されるべきは、ブロック４０６、４０８及び４１０は任意の順序で実行され得る。

ブロック４１２により示されるように、噴射パルス信号が、流体アクチュエータの第１のセット及び流体アクチュエータの第２のセットに伝達される。噴射パルス信号は、付勢中に流体アクチュエータに伝達される各論理パルスのタイミング、周波数および持続時間を制御する。上述されたように、幾つかの具現化形態において、噴射パルス信号は、プリミティブイネーブル信号およびアドレス信号に無関係に伝達され得る。他の具現化形態において、噴射パルス信号は、プリミティブイネーブル／データ信号と上流へ組み合わされ得る。

ブロック４１４により示されるように、第１の流体アクチュエータがアドレスライン２４上のアドレスイネーブル信号およびプリミティブイネーブルライン３７８上のプリミティブイネーブル信号の組み合わせを受け取ることに応じて、流体アクチュエータの第１のセット３４０Ａにおける第１のタイプの第１のアクチュエータが、関連する噴射パルスライン３７６で受け取った噴射パルスに従って付勢される。ブロック４１６により示されるように、第１の流体アクチュエータがアドレスライン２４上のアドレスイネーブル信号およびプリミティブイネーブルライン３７８上のプリミティブイネーブル信号の組み合わせを受け取ることに応じて、流体アクチュエータの第２のセット３４０Ｂにおける第２のタイプの第２のアクチュエータが、関連する噴射パルスライン３７６で受け取った噴射パルスに従って付勢される。場合によっては、第１のアクチュエータは、アドレスライン２４上のアドレスイネーブル信号を受け取ることができるが、プリミティブイネーブルライン３７８上のプリミティブイネーブル信号を受け取ることができず、第１のアクチュエータが付勢または噴射されないという結果になる。同様に、場合によっては、第１のアクチュエータは、プリミティブイネーブルライン３７８上のプリミティブイネーブル信号を受け取ることができるが、アドレスライン２４上のアドレスイネーブル信号を受け取ることができず、第１のアクチュエータが噴射されないという結果になる。同じロジックは、第２のアクチュエータに関して適用される。

図７は、別の例示的な流体ダイ５２０の略図である。微小流体ダイ５２０は、微小流体ダイ５２０が３１３６個の流体アクチュエータに流体を供給する流体スロット５５６の形態の流体供給部を含み、当該流体アクチュエータがスロット５５６の両側で流体ポンプと流体吐出器を繰り返しており、プリミティブ又はセット５４０（１〜３９１）に構成され、各セットが８個の流体アクチュエータ（４個の流体吐出器および４個の流体ポンプ）を含むように示されていることを除いて、微小流体ダイ３２０に類似する。図７に模式的に示されるように、吐出器は、ノズルオリフィス３５４と関連付けられるが、ポンプは微小流体チャネル３６０内に入れられて当該微小流体チャネル３６０と関連付けられる。

図７は、流体ダイ２０、１２０及び３２０に関して上述されたアドレス指定方式を大規模に使用することを示す。図７により示されたように、スロット５５６の片側の隣接する又は連続したプリミティブの各対、及びセット又はプリミティブ５４０におけるアドレスのセットは、吐出器３３２及びポンプ３３４に逆に割り当てられる。例えば、プリミティブ２において、吐出器は偶数アドレス（０、２、４、６）を有するが、ポンプは奇数アドレス（１、３、５、７）を有する。逆に、隣接する又は連続したプリミティブ４において、吐出器は奇数アドレス（１、３、５、７）を有するが、ポンプは偶数アドレス（０、２、４、６）を有し、同じ手法はプリミティブ１、３、プリミティブ３９０、３９２、プリミティブ３８９、３９１などに関して適用される。

上述された流体ダイ２２０と同様に、流体ダイ５２０の例示的なアドレス指定方式は、流体吐出器３３２及び流体ポンプ３３４の付勢順序における更なる柔軟性を容易にすることができる。流体吐出器３３２及び流体ポンプ３３４が異なるエネルギー要件を有する例において、流体ダイ５２０の例示的なアドレス指定方式は、低減されたピーク電流を容易にすることができる。例えば、流体吐出器３３２がより高いエネルギー要件を有し及び流体ポンプ３３４がより低いエネルギー要件またはピーク電流を有する一具現化形態において、流体吐出器の数はセット５４０のそれぞれにおけるアドレスの総数に広がり、後続の付勢イベント中に予想される付勢のためにイネーブルにされている流体吐出器の総数の全てではなくて半分という結果になる。言い換えれば、流体吐出器の第１の半分が第１の付勢イベント中に予想される付勢のためにイネーブルにされることができると同時に、流体アクチュエータの第２の半分が第２の付勢イベント中に予想される付勢のためにイネーブルにされ得る。

図８は、データパッド６２１、データパーサー６２２及びアドレスライン６２４を有する別の例示的な流体ダイ６２０の一部の略図である。流体ダイ６２０は更に、流体吐出器３３２及び流体ポンプ３３４の形態の異なる流体吐出器、並びに流体入力３５８、微小流体チャネル３６０、及び吐出チャンバ３５２とオリフィス３５４のようなノズル３５０のコンポーネントからなるプリミティブ又はセット３４０のような図４及び図５に示され及び図４及び図５に関連して上述されたこれらコンポーネントのそれぞれを含む。図示された例において、各セット３４０は、８個の流体アクチュエータ（４個の流体吐出器３３２及び４個の流体ポンプ３３４）を含む。理解されるべきは、他の具現化形態において、例えばプリミティブ又はセットは、より多い又はより少ない数の係る流体アクチュエータを含むことができる。各流体吐出器３３２、流体ポンプ３３４は、上記で示された及び上述されたように、トリガ論理要素３７０を含むことができるが、この場合、図８に示されたように、流体アクチュエータアドレスライン２４は、流体アクチュエータアドレスライン６２４に置き換えられる。

データパッド６２１は、データパケットが流体吐出コントローラ３１０（図５に示された）から受け取られる電気接続を含み、データパーサー６２２は、特定の付勢イベントに対してイネーブルにされるべき指定された流体アクチュエータのアドレスを識別するためにデータパケットを構文解析する電子回路または論理回路を含む。データパーサー６２２は、指定された流体アクチュエータのアドレスに基づいて、アドレスライン６２４に沿って信号を伝達することができる。

図８は、流体アクチュエータアドレスライン６２４、及びセット３４０Ａ及び３４０Ｂの流体吐出器３３２及び流体ポンプ３３４に対するその接続を示す。流体アクチュエータアドレスライン６２４は、アドレスビットライン６８０、相補的なアドレスビットライン６８２及びアドレス復号論理要素６８２を含む。アドレスビットライン６８０は、３つのビット、Addr（０）、Addr（１）及びAddr（２）を表し、及び個々のアドレス復号論理要素６８２に接続される流体アクチュエータ３３２、３３４の２進数アドレスに基づいて個々のアドレス復号論理要素６８２に接続される又は接続されない、基板２２上の導電ワイヤ又はトレースを含む。例えば、図８により示されたように、「０」のアドレスを有するセット３４０Ａの最上部の流体吐出器３３２は、Addr（２）（０のビット値）に接続されない、Addr（１）（０のビット値）に接続されない、及びAddr（０）（０のビット値）に接続されない関連する論理要素６８２を有し、０００又はゼロの２進値を形成する。同様に、「１」のアドレスを有するセット３４０Ａの最上部の流体ポンプ３３４は、Addr（２）（０のビット値）に接続されない、Addr（１）（０のビット値）に接続されない、及びAddr（０）（１のビット値）に接続される関連する論理要素６８２を有し、００１又は１の２進値を形成する。アドレス「２」を有する流体吐出器の形態の次のアクチュエータは、Addr（２）（０のビット値）に接続されない、Addr（１）（１のビット値）に接続される、及びAddr（０）（０のビット値）に接続されない関連する論理要素６８２を有し、０１０又は２の２進数アドレス値を形成する。この２進数接続方式は、セット３４０Ａの流体吐出器３３２及び流体ポンプ３３４の残りのアドレス３〜７にわたって続く。

セット３４０Ａに関連して上述された同じ２進数接続は、セット３４０Ｂ（及び流体ダイ６２０の任意の他のプリミティブ又はセット）に適用される。しかしながら、図８により示されたように、セット３４０Ｂにおけるアドレス０〜７のセットは、流体吐出器３３２及び流体ポンプ３３４に逆に割り当てられる。流体吐出器３３２が偶数アドレスに割り当てられ及び流体ポンプ３３４が奇数アドレスに割り当てられる代わりに、流体ポンプが偶数アドレスに割り当てられると同時に、流体吐出器が奇数アドレスに割り当てられる。セット３４０Ａと同様に、流体アクチュエータアドレスライン６２４のアドレスビットライン６８０は、流体吐出器３３２又は流体ポンプ３３４のアドレスに基づいて、各流体吐出器３３２又は流体ポンプ３３４の論理要素６８２に接続される。例えば、「７」のアドレスを有する流体吐出器３３２は、Addr（２）（１のビット値）に接続される、Addr（１）（１のビット値）に接続される、及びAddr（０）（１のビット値）に接続されるアドレス復号論理要素６８２を有し、１１１又は７の２進数アドレス値を形成する。

相補的なアドレスビットライン６８２は、アドレスビットライン６８０と協働して、個々のアドレス復号論理要素６８２が、ライン６２４によりアドレス指定されている個々の流体吐出器３３２又は流体ポンプ３３４に応じて、アドレスイネーブル信号をその個々の流体吐出器３３２又は流体ポンプ３３４に伝達するように、信号を伝達する。相補的なアドレスビットライン６８２は、個々の流体吐出器３３２、流体ポンプ３３４のアドレスに基づいて、異なる流体吐出器３３２及び流体ポンプ３３４の論理要素６８２に接続される又は接続されない、基板２２上の導電ワイヤ又はトレースを含む。特定の流体吐出器３３２又は流体ポンプ３３４の特定の論理要素６８２に関する相補的なアドレスビットライン６８２は、同じ特定の流体吐出器３３２又は流体ポンプ３３４に対する個々のアドレスビットライン６８０の接続の反対である接続を有する。例えば、セット３４０Ａにおいて、「４」のアドレスを有する流体吐出器３３２は、４の値を有する１００の２進数アドレスを形成するために、アドレスビットラインAddr（２）に接続されるが、残りのアドレスビットラインAddr（１）及びAddr（０）に接続されない論理要素６８２を有する。従って、「４」のアドレスを有する流体吐出器３３２の同じアドレス復号論理要素６８２は、相補的または反対の態様でアドレスビットライン６８２に接続され、Addr（２）に接続されないが、Addr（１）及びAddr（０）に接続される。一具現化形態において、論理要素６８２とアドレスビットライン６８０と相補的なアドレスビットライン６８２のそれぞれの間の接続は、金属２層ジャンパーを用いて基板２２上で行われる。

図８に示された例において、流体吐出器３３２及び流体ポンプ３３４からなるセット３４０のそれぞれにおいてイネーブルにされるべきアドレスは、異なるアドレスビットライン６８０及び相補的なアドレスビットライン６８２を、ハイ（高）「１」電圧レベル又はロー（低）「０」電圧レベルに選択的に接続することにより、実行される。係る選択的な接続は、トランジスタ又は他のスイッチを利用する付勢論理回路により、行われ得る。例えば、アドレス「５」を有する、セット３４０Ａにおける流体ポンプ３３４、及びアドレス「５」を有する、セット３４０Ｂにおける流体吐出器３３２を同時にイネーブルにするようにライン６２４に沿ってアドレス「５」を伝達するために、アドレスビットライン６８０のアドレスビットラインAddr（２）及びAddr（０）、及び相補的なアドレスビットラインＮAddr（１）が、ハイ「１」電圧レベルに接続される。同時に、アドレスビットライン６８０のアドレスラインビットAddr（１）及び相補的なアドレスビットライン６８２のアドレスビットラインＮAddr（２）及びＮAddr（０）が、ロー「０」電圧（ヌル又はゼロ電圧、又は負の電圧）に接続される。他の流体吐出器３３２及び流体ポンプ３３４は、同様に流体アクチュエータアドレスライン６２４を介してイネーブル信号を受け取ることができる。

図示された例において、アドレス復号論理要素６８２は、ＡＮＤ論理を提供するゲート又は他の電子回路のような、ＡＮＤ論理回路を含み、この場合、出力は、アクティブである入力ラインの全て又は信号の応答という結果になる。他の具現化形態において、アドレス復号論理要素６８２は、ビットライン６８０及び６８２に沿って伝達されているアドレスを復号する他の電子回路を含むことができる。更に他の具現化形態において、アドレスは、他の数値またはビットラインの組み合わせ、並びに他のアドレス復号回路または要素を用いて、アドレスデータライン６２４に沿って伝達され得る。

図４、図５及び図８に示された例において、埋め込まれたアドレス指定方式の例が説明される。理解されるべきは、他の具現化形態において、埋め込まれたアドレス指定方式以外の他のアドレス指定方式が採用され得る。例えば、アドレスラインの直接的な配線を採用するアドレス指定方式が、利用されることができ、この場合、流体アクチュエータのプリミティブのイネーブル順序または噴射順序は、上述されたように交互にされる。

本開示は、例示的な具現化形態に関連して説明されたが、当業者は認識するように、特許請求された主題の思想および範囲から逸脱せずに、変更が、形態および細部に行われ得る。例えば、様々な例示的な具現化形態が、１つ又は複数の特徴を含み及び１つ又は複数の利益を提供するように説明されたかもしれないが、説明された特徴は、説明された例示的な具現化形態または他の代替の具現化形態において、互いに入れ換えられ得る、又は代案として互いと組み合わされ得ることが企図されている。本開示の技術は比較的複雑であるので、当該技術における全ての変更は予測できない。例示的な具現化形態に関連して説明され及び以下の特許請求の範囲に記載された本開示は、できる限り広くなるように明白に意図されている。例えば、特に断りのない限り、単一の特定要素を記載する請求項は、複数の係る特定の要素も包含する。請求項における用語「第１」、「第２」、及び「第３」などは、単に異なる要素を区別し、特に断りのない限り、本開示における特定の順序、又は要素の特定の付番に特に関連付けられるべきでない。

Claims

流体ダイであって、
流体アクチュエータアドレスラインを支持する基板と、
前記流体アクチュエータアドレスラインに接続される第１の組の流体アクチュエータであって、第１の組の流体アクチュエータが、
第１のタイプの流体アクチュエータからなる流体アクチュエータの第１のサブセットと、
前記第１のタイプの流体アクチュエータと異なる動作特性を有する第２のタイプの流体アクチュエータからなる流体アクチュエータの第２のサブセットとを含む、第１の組の流体アクチュエータと、
前記流体アクチュエータアドレスラインに接続される第２の組の流体アクチュエータであって、第２の組の流体アクチュエータが、
前記第１のタイプの流体アクチュエータの第３のサブセットと、
前記第２のタイプの流体アクチュエータの第４のサブセットとを含む、第２の組の流体アクチュエータとを含み、
前記流体アクチュエータの第１のサブセットの１つ、及び前記流体アクチュエータの第４のサブセットの１つが、前記流体アクチュエータアドレスライン上の単一のアドレスイネーブルイベントにより、双方をイネーブルにするようなアドレスを有する、流体ダイ。
前記流体アクチュエータの第１のサブセット、及び前記流体アクチュエータの第４のサブセットがそれぞれ、第１の組のアドレスを有し、前記流体アクチュエータの第２のサブセット、及び前記流体アクチュエータの第３のサブセットがそれぞれ、第２の組のアドレスを有する、請求項１に記載の流体ダイ。
前記第１の組のアドレスが偶数のアドレスであり、前記第２の組のアドレスが奇数のアドレスである、請求項２に記載の流体ダイ。
前記第１のタイプの流体アクチュエータが第１の付勢エネルギー要件を有し、前記第２のタイプの流体アクチュエータが、前記第１の付勢エネルギー要件と異なる第２の付勢エネルギー要件を有する。請求項１に記載の流体ダイ。
前記第１のタイプの流体アクチュエータが、対応するノズルを介して流体を吐出することになっており、前記第２のタイプの流体アクチュエータが、流体を噴射チャンバに循環することになっている、請求項３に記載の流体ダイ。
前記第１のタイプの流体アクチュエータが、対応するノズルを介して流体を吐出することになっており、前記第２のタイプの流体アクチュエータが、流体を噴射チャンバに循環することになっている、請求項１に記載の流体ダイ。
前記流体アクチュエータアドレスラインに接続され、前記第２の組の流体アクチュエータに隣接する第３の組の流体アクチュエータを更に含み、前記第２の組の流体アクチュエータが、前記第１の組の流体アクチュエータと前記第２の組の流体アクチュエータとの間に存在し、前記第３の組の流体アクチュエータが、
前記第１のタイプの流体アクチュエータからなる流体アクチュエータの第５のサブセットと、
前記第２のタイプの流体アクチュエータからなる流体アクチュエータの第６のサブセットを含み、
前記流体アクチュエータの第５のサブセットの１つが、前記流体アクチュエータアドレスライン上の単一のアドレスイネーブルイベントにより、イネーブルにされるようなアドレスを有する、請求項１に記載の流体ダイ。
前記流体アクチュエータアドレスラインは、第１の組のビットライン、及び第２の組の相補的なビットラインを含み、前記流体アクチュエータの第１のサブセットの前記１つ、及び前記流体アクチュエータの第４のサブセットの前記１つがそれぞれ、前記第１の組のビットラインの同じ組み合わせ及び前記第２の組の相補的なビットラインの同じ組み合わせに結合された論理回路を有する、請求項１に記載の流体ダイ。
前記流体アクチュエータの第１のサブセットの流体アクチュエータは、前記第１の組の流体アクチュエータにおける流体アクチュエータの前記第２のサブセットの流体アクチュエータと交互になり、前記流体アクチュエータの第３のサブセットの流体アクチュエータは、前記第２の組の流体アクチュエータにおける流体アクチュエータの前記第４のサブセットの流体アクチュエータと交互になる、請求項１に記載の流体ダイ。
流体ダイであって、
流体アクチュエータアドレスラインを支持する基板と、
前記流体アクチュエータアドレスラインに接続される第１の組の流体アクチュエータであって、第１の組の流体アクチュエータが、
流体吐出器の第１のサブセットと、
流体ポンプの第１のサブセットとを含む、第１の組の流体アクチュエータと、
前記流体アクチュエータアドレスラインに接続される第２の組の流体アクチュエータであって、第２の組の流体アクチュエータが、
流体吐出器の第２のサブセットと、
流体ポンプの第２のサブセットとを含む、第２の組の流体アクチュエータとを含み、
前記流体吐出器の第１のサブセットの流体吐出器および前記流体アクチュエータの第２のサブセットの流体吐出器が第１の組のアドレスを有し、前記流体ポンプの第１のサブセットの流体ポンプおよび前記流体吐出器の第２のサブセットの流体ポンプが第２の組のアドレスを有する、流体ダイ。
前記流体吐出器の第１のサブセット及び前記流体吐出器の第２のサブセットの流体吐出器がそれぞれ、第１の付勢エネルギー要件を有し、前記流体吐出器の第１のサブセット及び前記流体吐出器の第２のサブセットの流体ポンプがそれぞれ、前記第１の付勢エネルギー要件より小さい第２の付勢エネルギー要件を有する、請求項１０に記載の流体ダイ。
前記第１の組のアドレスが偶数のアドレスであり、前記第２の組のアドレスが奇数のアドレスである、請求項１０に記載の流体ダイ。
前記流体吐出器の第１のサブセットの流体吐出器は、前記第１の組の流体アクチュエータにおける流体ポンプの前記第１のサブセットの流体ポンプと交互になり、前記流体吐出器の第２のサブセットの流体吐出器は、前記第２の組の流体アクチュエータにおける流体ポンプの前記第２のサブセットの流体ポンプと交互になる、請求項１０に記載の流体ダイ。
流体ダイの流体アクチュエータアドレスライン上の単一アドレスをイネーブルにするアドレスイネーブル信号を、第１の組の流体アクチュエータ及び第２の組の流体アクチュエータのそれぞれに伝達し、
前記アドレスイネーブル信号に応じて、前記第１の組の流体アクチュエータにおいてアドレスを有する第１のタイプの流体アクチュエータの第１の流体アクチュエータをイネーブルにし、
前記アドレスイネーブル信号に応じて、前記第２の組の流体アクチュエータにおいて前記アドレスを有する第２のタイプの流体アクチュエータの第２の流体アクチュエータをイネーブルにし、前記第２のタイプの流体アクチュエータがそれぞれ、前記第１のタイプの流体アクチュエータと異なる動作特性を有し、
前記第１の組の流体アクチュエータ及び前記第２の組の流体アクチュエータにプリミティブイネーブル信号を伝達し、
前記第１の流体アクチュエータが前記アドレスイネーブル信号および前記プリミティブイネーブル信号の組み合わせを受け取ることに応じて、前記第１の流体アクチュエータを付勢し、
前記第２の流体アクチュエータが前記アドレスイネーブル信号および前記プリミティブイネーブル信号の組み合わせを受け取ることに応じて、前記第２の流体アクチュエータを付勢することを含む、方法。
前記第１の流体アクチュエータが流体吐出器を含み、前記第２の流体アクチュエータが流体ポンプを含む、請求項１４に記載の方法。