JP2020502582A

JP2020502582A - ミラーおよびその製造方法

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Publication number: JP2020502582A
Application number: JP2019533566A
Authority: JP
Inventors: 政廣手嶋; ラズミックミルゾヤン; ジュゼッペヴァルセッキ; ロバートバンハム
Original assignee: マックス−プランク−ゲゼルシャフトツールフォーデルングデルヴィッセンシャフテンエー．ヴェー．; メディアラリオエス．アール．エル．
Priority date: 2016-12-21
Filing date: 2017-12-21
Publication date: 2020-01-23
Anticipated expiration: 2037-12-21
Also published as: JP6927536B2; CN110506223A; CN110506223B; EP3559711A1; WO2018115276A1; EP3339918A1; US11550082B2; US20200096682A1

Abstract

望遠鏡ミラーおよびその製造方法。ミラー（２００）は、キャリア（１０）と、キャリア（１０）の主面の上に配置された反射層（２０）と、反射層（２０）の上に配置された透明層（３０）と、を備え、キャリア（１０）は、基体（１１）を有し、基体（１１）は、密度が０．１ｇ／ｃｍ３から１．０ｇ／ｃｍ３の範囲内である材料、多孔質材料、発泡材料、独立気泡を含む構造を有する材料、ハニカム構造を有する材料、および炭素繊維を含む構造の１つ以上を含む。

Description

本開示は、ミラー、特に望遠鏡ミラー、およびその製造方法に関する。

例えば解像型大気チェレンコフ望遠鏡（ＩＡＣＴ：Imaging Air Cherenkov Telescopes）のような望遠鏡のためのミラーのように野外状況で使用されるミラーの主な問題の一つは、砂漠のような場所や高山の標高における悪天候による比較的早い摩耗によるものである。典型的にはこのようなミラーの野外状況における耐久性が十分でないため、過酷な野外状況での使用後、これらのミラーの反射率は著しく損なわれる。一例として、ミラーの反射率は継続的に低下し、３−４年後には既に元のレベルの３／４になる。例えば、約１００台程度になるであろう３種類の異なるサイズ（直径２３ｍ、直径１２ｍ、および直径４ｍ）の望遠鏡のために数千平方メートルの面積を使用するチェレンコフ望遠鏡アレイ（ＣＴＡ：Cherenkov Telescope Array）にとって、この低下が非常に重要な要素になることが判明している。

ミラーが十分に保護されなければ、新しいミラーを作る（これには、非常に高額な費用がかかる）か、または望遠鏡からミラーを取外し、移動し、再度準備し、再度移動し、望遠鏡に設置し、再度調節することが３−４年の期間で必要になる。したがって、長寿命のミラーが、そのような大規模アレイの運用の費用対効果および時間対効果をはるかに高めることができる。他の望遠鏡ミラーまたは例えば太陽熱収集器のような他の目的に使用されるミラーにも同じことが当てはまる。

米国特許出願公開第２０１３／１１４１５５号明細書米国特許第４，４２２，８９３号明細書米国特許第５，３１６，５６４号明細書米国特許出願公開第２０１６／２３８７５２号明細書

本開示の第１の態様によれば、ミラーが、キャリアと、キャリアの主面の上に配置された反射層と、反射層の上に配置された透明保護層と、を備え、キャリアは、基体を有し、基体は、密度が０．１ｇ／ｃｍ^３から１．０ｇ／ｃｍ^３までの範囲内である材料、多孔質材料、発泡材料、独立気泡を含む構造を有する材料、ハニカム構造を有する材料、および炭素繊維を含む構造の１つ以上を含む。

本開示の第２の態様によれば、ミラーの製造方法が、キャリアを用意するステップと、透明層を用意するステップと、透明層の主面に反射層を配置するステップと、反射層をキャリアに向けた状態で前記透明層と前記キャリアとを接続するステップと、を含む。

当業者は、以下の詳細な説明を読み、添付の図面を考慮することにより、さらなる特徴および利点を認識する。

添付の図面は、実施例のさらなる理解を提供するために含まれており、本明細書に組み込まれてその一部を構成している。図面は実施例を示しており、明細書の記載と共に実施例の原理を説明することに役立つ。他の実施例および実施例の意図される利点の多くが、以下の詳細な説明を参照することによってより深く理解されるにつれて容易に理解されるであろう。

第１の態様に係る例示的なミラーの概略断面側面図である。第１の態様に係る例示的なミラーの上面図である。ミラーがキャリアを備え、キャリアが基体と、基体の前面および後面のそれぞれに貼付された前面層および後面層とを有する実施例に係る第１の態様の例示的なミラーの概略断面側面図である。第２の態様に係るミラーの製造方法を説明するためのフロー図を示す。図２に示すようなミラーであって、曲面を有するミラーの製造方法を説明するための概略断面側面図である。図２に示すようなミラーであって、曲面を有するミラーの製造方法を説明するための概略断面側面図である。図２に示すようなミラーであって、曲面を有するミラーの製造方法を説明するための概略断面側面図である。図２に示すようなミラーであって、曲面を有するミラーの製造方法を説明するための概略断面側面図である。図２に示すようなミラーであって、曲面を有するミラーの製造方法を説明するための概略断面側面図である。図２に示すようなミラーであって、曲面を有するミラーの製造方法を説明するための概略断面側面図である。図２に示すようなミラーであって、曲面を有するミラーの製造方法を説明するための概略断面側面図である。図２に示すようなミラーであって、曲面を有するミラーの製造方法を説明するための概略断面側面図である。図２に示すようなミラーであって、曲面を有するミラーの製造方法を説明するための概略断面側面図である。図２に示すようなミラーであって、曲面を有するミラーの製造方法を説明するための概略断面側面図である。図２に示すようなミラーであって、曲面を有するミラーの製造方法を説明するための概略断面側面図である。図２に示すようなミラーであって、曲面を有するミラーの製造方法を説明するための概略断面側面図である。

ここで、態様および実施例を図面を参照しながら説明する。図面では通常、全体を通して同じ要素を指すために同じ参照番号が利用される。以下の記載では、実施例の１つまたは複数の態様を完全に理解してもらうために説明目的で多数の具体的な細部が述べられている。しかしながら、当業者には、具体的な細部を少なくして実施例の１つまたは複数の態様を実施してもよいことが明白であろう。また、実施例の１つまたは複数の態様の説明を容易にするために、既知の構造および要素を概略的な形で示してある。本開示の範囲から逸脱することなく、他の実施例を利用することができ、構造的または論理的な変更を加えることができることを理解されたい。さらに、図面は縮尺通りではない、または必ずしも縮尺通りではないことに留意されたい。

以下の詳細な説明では、本明細書の一部を構成し、本開示を実施することができる特定の態様を例として示す添付の図面を参照する。この点に関して、「上」、「下」、「前」、「後」、「裏」等の方向に関する用語は、説明されている図の向きに関して使用されうる。説明されるミラーの構成要素が多くの様々な向きに位置しうるため、方向に関する用語は、例示目的で使用されてもよく、決して限定的なものではない。本開示の範囲から逸脱することなく、他の態様を利用することができ、構造的または論理的な変更を加えることができることを理解されたい。したがって、以下の詳細な説明は限定的な意味で解釈されるべきではなく、本開示の範囲は添付の特許請求の範囲によって定義される。

また、実施例の特定の特徴または態様が、いくつかの実装形態の１つのみに関して開示されうるものの、そのような特徴または態様を、任意の所定のまたは特定の用途に有利な所望の他の実装形態の１つまたは複数の他の特徴または態様と組み合わせてもよい。さらに、「含む（include）」、「有する（have）」、「有する（with）」という用語、またはこれらの用語の他の変形が詳細な説明または特許請求の範囲のいずれかにおいて使用される限りにおいて、そのような用語は、用語「含む（comprise）」と同様に包括的であることが意図されている。「連結された（coupled）」および「接続された（connected）」という用語およびそれらの派生語が使用されうる。これらの用語は、２つの要素または層が直接物理的または電気的に接触しているかどうか、またはそれらが互いに直接接触していないかどうかにかかわらず、それらが互いに協働または相互作用することを示すために使用されうることを理解されたい。また、「例示的」という用語は、最良または最適ではなく単に例であることを意味する。したがって、以下の詳細な説明は限定的な意味で解釈されるべきではなく、本開示の範囲は添付の特許請求の範囲によって定義される。

ミラーを製造する方法が特定の順序の方法ステップを有するものとして説明されている以上、他の適切な順序の方法ステップが当業者によって採用されうることに言及しておくべきであろう。さらに、方法に関連して言及された特定の方法の特徴または方法のステップは、そのような方法の特徴または方法のステップによって製造されるミラーをも、そのようなミラーが図において明示的に説明または例示されていないとしても、開示するものとして理解されたい。さらに、ミラーに関連して言及されたいかなる特徴、見解、コメントもまた、ミラーのそれぞれの特徴を製造するための特定の方法の特徴または方法ステップを指定する方法の特徴または方法ステップを開示するものとして理解されたい。

図１は、第１の態様に係るミラーの概略断面側面図である。図１に係るミラー１００は、キャリア１０、キャリア１０の主面の上に配置された反射層２０、および反射層２０の上に配置された透明層３０を備える。

ミラー１００を使用する際、ミラー１００によって反射される光線は、ミラー１００の上方から来て、透明層３０を通り抜け、反射層２０に衝突し、反射層２０が光線を所望の方法で反射する。ミラー１００は、平面または曲面を有する。ミラー１００は、望遠鏡ミラーとして使用される場合、他のミラー、レンズ、または検出器に光束が集束されるように事前に定義された曲率半径を有する曲面を有する。

第１の態様のミラー１００の一例によれば、ミラー１００は、キャリア１０を用意し、透明層３０を用意し、透明層３０の主面に反射層２０を配置し、反射層２０をキャリア１０に向けた状態で透明層３０とキャリア１０とを接合または相互接続することによって製造される。第１の態様のミラー１００の一例によれば、透明層３０とキャリア１０とを接合または相互接続することは、例えば、適切な接着剤または粘着剤を使用することによる接着または粘着等の任意の種類の接合技術を含む。特に、既にコーティングされた透明層３０とキャリア１０とを接着する場合、気泡の形成を回避すること、または、透明層３０とキャリア１０との間に残る小さいが依然として肉眼で見える粉塵または塵埃の粒子を回避することが問題となりうる。直径が１００μｍから２００μｍまでの範囲内、特に約１５０μｍの微小球を接着剤に加えることが選択肢の１つでありうる。

例えば蒸発源からの蒸発、スパッタリング、または（電気）化学的手段によって、反射層２０を透明層３０の主面に設けることができる。具体的な方法は、反射層２０の材料に依存する。

したがって、反射層２０を相対的に厚い層、すなわち透明層３０で被覆することができ、これにより、そのようなミラー２００は長寿命化されるはずである。

第１の態様のミラー１００の一例によれば、ミラー１００は、キャリア１０と反射層２０との間に粘着剤または接着剤の層をさらに備える。

第１の態様のミラー１００の一例によれば、透明層３０の厚さは、２０μｍから５００μｍまで、より具体的には３０μｍから４５０μｍまで、より具体的には４０μｍから４００μｍまでの範囲内である。

第１の態様のミラー１００の一例によれば、反射層２０の厚さは、５０ｎｍから２００ｎｍまで、より具体的には８０ｎｍから１２０ｎｍまでの範囲内である。

第１の態様のミラー１００の一例によれば、透明層３０は、概して、任意の種類の自由に処理・移動することができる板であって、反射層２０が設けられ（すなわち、反射層２０で被覆され）、次いでキャリア１０と接続されうる板である。

第１の態様のミラー１００の一例によれば、透明層３０は、ガラス層、特にガラス板またはガラス薄板である。特に、このガラス板を、市販されているものとすることができ、例えばＳｃｈｏｔｔ社および／またはＣｏｒｎｉｎｇ社のようなガラス製造会社によって製造され、例えば、超薄板ガラス（Ultra-Thin Glass）の名称で知られるガラス板とすることができる。

第１の態様のミラー１００の一例によれば、透明層３０の透明度は、概して、紫外線から赤外線における、または少なくとも可視スペクトルにおける高い透明度または少なくとも部分的な透明度を指す。より具体的には、透明層３０の透明度は、紫外線から赤外線の、特に４００ｎｍから１０００ｎｍの光スペクトルの少なくとも大部分において少なくとも９０％の分光透過率を指す。第１の態様のミラー１００のさらなる例によれば、ＵＶにおける分光透過率、または例えば３００ｎｍにおける分光透過率は、少なくとも５０％、より具体的には少なくとも６０％、より具体的には少なくとも７０％、より具体的には少なくとも８０％である。

第１の態様のミラー１００の一例によれば、反射層２０の反射率は、４００ｎｍから１０００ｎｍのスペクトル域における反射率を指し、この反射率は少なくとも８０％、より具体的には少なくとも９０％である。

第１の態様のミラー１００の一例によれば、透明層３０の材料は、高シリカガラスまたは溶融石英ガラスである。

第１の態様のミラー１００の一例によれば、反射層２０は、ＡｌまたはＡｇを含むか、あるいはＡｌまたはＡｇからなる。純Ａｌは約９０％のピーク反射率を示し、Ａｇは、５００ｎｍ以上の波長に対して９６％〜９８％の反射率を示し、４００ｎｍの波長からの波長に対して少なくともＡｌよりも良好な反射率を示しうる。したがって、例えば、大気中の空気シャワーからのチェレンコフ光の、３００ｎｍから６５０ｎｍの典型的な波長域の全スペクトルをまとめると、Ａｌが近紫外線域、すなわち３００ｎｍから４００ｎｍにおいてよりよく反射するという事実にもかかわらず、ＡｌのミラーとＡｇのミラーでは、非常に類似する量の光が集められる。

第１の態様のミラー１００の一例によれば、反射層２０は誘電材料、より具体的には様々な誘電材料の層のスタックを含む。

第１の態様のミラー１００の一例によれば、ミラー１００の直径または一方向に沿う最大長さが少なくとも０．５ｍ、より具体的には少なくとも１．０ｍ、より具体的には少なくとも２．０ｍである（例えば、ＣＴＡの直径２３ｍのＬＳＴ望遠鏡は、約２ｍのサイズのミラーを使用している）。円形ミラーの場合、これらの数字は円の直径を指し、図１Ｂに示すような正方形または長方形のミラーの場合、これらの数字は、ミラーの２つの側縁部の一方またはより長い方を指す。

第１の態様のミラー１００の一例によれば、ミラー１００は、ミラーの用途に応じて特定の曲率を有する。特に、チェレンコフ望遠鏡アレイ（ＣＴＡ）用のミラーを考える場合、各ミラーの曲率半径は、１ｍから約６０ｍまでの範囲内（例えば、ＣＴＡの直径２３ｍのＬＳＴ望遠鏡は、曲率半径が約６０ｍであるミラーを使用している）、より具体的には２ｍから６ｍまでの範囲内、より具体的には３ｍから５ｍまでの範囲内、より具体的には約４ｍである。例えば太陽熱収集器のようなミラーの他の用途の場合には、曲率半径を１ｍ未満とすることもできる。ミラーの用途に応じて、ミラーは放物線状または円筒状の湾曲を含んでもよい。例えば、カリフォルニアの太陽熱巨大アレイでは、円筒状のミラーが使用されており、これらのミラーの焦点には、約７５０℃で流れる溶融塩が充填された長い管が位置している。管またはその中心軸に常に焦点が合っているため、望遠鏡が太陽を追う必要がない。

第１の態様のミラー１００の一例によれば、キャリア１０および透明層３０の材料は、それぞれの熱膨張係数（ＣＴＥ：Coefficients of Thermal Expansion）が等しいか、またはＣＴＥの生じうる偏差が所定の閾値未満であるように選択されうる。さらに以下の実施例によって概説するように、キャリア１０は、基体と、基体の主面に貼付された１層以上の層とを備えうる。このような場合、例えば、基体の材料は、当該材料のＣＴＥが透明層３０のＣＴＥと等しいか、または各ＣＴＥ間の差が高い方のＣＴＥの１０％以下、より具体的には５％以下、より具体的には２％以下、より具体的には１％以下であるように選択されうる。

第１の態様のミラー１００の一例によれば、キャリア１０は、基体と、基体に、特に基体の主面に配置された１層以上の層とを備える。第１の態様のミラー１００の一例について、さらに以下に示し説明する。

第１の態様のミラー１００の一例によれば、ミラー１００は、反射層２０と透明層３０との間に配置された１層以上の追加層をさらに備える。１層以上の追加層は、反射層２０の硬度、耐久性、および抵抗の１つ以上を改善するように構成されている。第１の態様のミラー１００のさらなる例によれば、１層以上の追加層は、クロム層、ＳｉＯ_２層、特に石英層、および五酸化タンタル層を含みうる。そのような１層以上の追加層を、最後のステップで反射層２０を層スタックの上に設ける前に、透明層３０の主面に設けてもよい。

第１の態様のミラー１００の一例によれば、ミラー１００は、透明層３０の上面に配置された１層以上の追加層、特に、紫外線から赤外線のスペクトル（特に、当該スペクトルの可視部分）における光に対する反射防止層として機能する層を有する。

第１の態様のミラー１００の一例によれば、透明層３０の上面は、図１に示すように平坦であってもよい。他の例によれば、この上面は、等軸構造とすることも、非等軸構造とすることもできる構造を有しうる。光線の不要な反射を（さらに）減らし、その代わりにより多くの光線が反射層２０に到達することを援助するようにこの構造を構成してもよい。

図２は、第１の態様に係るミラーの一例を示す。図２のミラー２００は、キャリア１０、キャリア１０の主面の上に配置された反射層２０、および反射層２０の上に配置された透明層３０を備える。

図２のミラー２００の例によれば、キャリア１０は、基体１１と、基体１１の上側主面に設けられた前面層１２と、基体１１の下側主面に設けられた後面層１３とを有する。

図２のミラー２００の一例によれば、前面層１２および後面層１３の一方または両方をガラス板で構成することができる。あるいは、前面層および後面層の一方または両方を、プラスチック材料、または例えば任意の非金属材料のような任意の他の適切な材料で構成することができる。前面層１２および後面層１３は、キャリア１０の安定化に役立つが、少なくとも原理上は、キャリアが基体１１のみからなるように前面層１２および後面層１３を省略することもできる。

図２のミラー２００の例によれば、基体１１の密度は、０．１ｇ／ｃｍ^３から３．０ｇ／ｃｍ^３までの範囲内（例えば、固体ガラスの場合、基体１１の密度は２．７ｇ／ｃｍ^３である）、特に０．１ｇ／ｃｍ^３から１．０ｇ／ｃｍ^３までの範囲内である。基体１１の嵩密度がこの範囲内にあると、一方では機械的強度がミラーの支持基部として適切な十分な強さになること、および、他方ではミラーの重量が十分に小さいためミラー自体の重力による機械的変形の問題を受けにくくなることが保証される。

図２のミラー２００の一例によれば、基体１１の厚さは、２０ｍｍから６０ｍｍまで、より具体的には３０ｍｍから５０ｍｍまで、より具体的には３５ｍｍから４５ｍｍまでの範囲内である。

図２のミラー２００の例によれば、前面層１２および後面層１３の１層または複数層の厚さは、１ｍｍから３ｍｍまで、より具体的には１．５ｍｍから２．５ｍｍまでの範囲内である。

図２のミラー２００の例によれば、基体１１は、多孔質材料、発泡材料、独立気泡を含む構造を有する材料、ハニカム構造を有する材料、および炭素繊維を含む構造の１つ以上を含むか、あるいは基体１１は、単に中実体である。

図２のミラー２００のさらなる例によれば、基体１１は、アルミニウム材料の壁によって形成されたハニカムセルが規則的に配置されたアルミニウムハニカム構造を有していてもよい。

図２のミラー２００の他の例では、基体１１は、水酸基を有する二酸化ケイ素からなる溶融石英ガラスの粉末をアンモニア雰囲気下で加熱することにより製造された溶融石英ガラスの多孔質発泡体を含む。この多孔質発泡体は、主に独立気泡を有する。

図２のミラー２００の例によれば、前面層１２および後面層１３がいずれも、粘着剤または接着剤によって基体１１に貼付されているため、基体１１の両側には、基体１１の上面と前面層１２との間および基体１１の下面と後面層１３との間に配置された粘着層が存在する。

その結果、反射層２０は、２つの相対的に厚い層、すなわち前面層１２（特に前面ガラス板１２）および透明層３０によって封止され、これにより、そのようなミラー２００は長寿命化されるはずである。

原理上は、前面層１２および後面層１３の一方または両方を省略することも、それらの一方または両方を類似の材料特性を有する他の層で置き換えることもできる。

図３は、第２の態様に係るミラーの製造方法のフロー図を示す。方法３００は、キャリアを用意するステップ（３０１）、透明層を用意するステップ（３０２）、透明層の主面に反射層を配置するステップ（３０３）、および反射層をキャリアに向けた状態で透明層をキャリアと接続するステップ（３０４）を含む。

第２の態様の方法の一例によれば、キャリアを用意するステップは、前面層と後面層との間に配置された基体を用意するステップを含む。第２の態様の方法のさらなる例によれば、基体が前述のように製造され、前面層が基体の上側主面に貼付され、後面層が基体の下側主面に貼付される。前面層および後面層は、基体の上側主面および下側主面に接着剤または粘着剤を塗布し、次いで前面層および後面層を上側主面および下側主面に押圧することによって基体に貼付されうる。

第２の態様の方法の一例によれば、透明板をキャリアの主面に貼付するステップも、接着剤または粘着剤をキャリアに塗布し、次いで透明板をキャリアに接合することによって行われる。

第２の態様の方法の一例によれば、透明板をキャリアに接合して得られた組立体を正確に必要とされる曲率の凸状研磨マスターに対して載置することによって所望の曲率がミラーに与えられる。第２の態様の方法の一例について、以下に示し説明する。他の可能性としては、封止された箱の内側の十分に封止された基板に複合ミラーを置き、箱の内側の透明層側に圧力を発生させるか、あるいは同様に反対側から負圧、吸気圧力、または真空を発生させることもできる（効果は同じであり、ミラーは放物線形状になる）。

第２の態様に係る方法のさらなる例を、第１の態様のミラーおよび図１および図２に関連して先に提示した任意の例または細部と組み合わせることによって形成することができる。

図４は、図４Ａ〜図４Ｆを含み、第２の態様に係るミラーを製造するための例示的な方法を示す。図面が一定の縮尺ではないことに再度言及しておくべきであろう。

図４Ａは、透明層３０、特に、様々な例を用いて上述したようなガラス板を設けるステップを示す。透明層３０の形状およびサイズを、製造されるミラーと同じにすることができる。

図４Ｂは、透明板３０に反射層２０を配置するステップを示す。先に説明したように、反射層２０は、特に反射層２０の材料に応じた任意の適切な方法で成膜される。例えば、Ａｌの場合、蒸着またはスパッタリングによって反射層を成膜することができる。厚さを、８０ｎｍから１２０ｎｍまで、より具体的には９０ｎｍから１１０ｎｍまでの範囲内とすることができる。

図４Ｃは、反射層２０を有する透明板３０をキャリア１０に、すなわちキャリア１０の前面ガラス板１２の上面に、例えば接着または粘着によって接合するステップを示す。キャリア１０は、基体１１、前面ガラス板１２および後面ガラス板１３を備える。

図４Ｄは、ミラーの所望の湾曲を補完する形状の湾曲を有する上面を有する型４０を用意するステップを示す。型４０は、型４０とミラー組立体との最終的なＣＴＥのミスマッチを最小化するために適切な材料から作られる。型４０はマッフル５０内に載置され、ミラー組立体は型４０の上に載置される。マッフル５０は、加熱素子６０によって示される炉内に載置される。

図４Ｅは、加熱要素６０の作動を示し、特定の条件に合わせた熱サイクルが所定のウォームアップ、保持時間および冷却速度で適用される。プロセスの間、ミラー組立体が型４０の表面に押し付けられるようにミラー組立体に均一な圧力が加えられる。この手法によって、確実にミラー組立体は型４０に完全に接触する。

図４Ｅは、ミラー組立体の全体が型４０の表面と接触することによってミラー組立体が型４０の形状を写しとった熱サイクルの終わりを示す。その後、成形されたミラー組立体の冷却・硬化ステップが行われる。

図４Ｆは、炉およびマッフル５０から取り出されたミラー組立体を示す。

図５は、図５Ａ〜図５Ｆを含み、第２の態様に係るミラーを製造するための他の例示的な方法を示す。

図５Ａおよび図５Ｂは、図４Ａおよび図４Ｂと同じステップを含んでいてもよい。図４の方法との主な違いは、図５Ｃによれば、透明層３０と反射層２０との組立体のみを型４０に載置し、次いで、図５Ｄによれば特に図４Ｅに関連して上述したような方法で組立体を実質的に型４０の表面形状に一致させる点である。その後、図５Ｅによれば、キャリア１０（具体的には基体１１、前面ガラス板１２および後面ガラス板１３を備えるキャリア１０）が、透明層３０と反射層２０との組立体が依然として型４０に置かれている状態で、またさらに特に図４Ｃに関連して上述したような方法で反射層２０の上面に貼付される。キャリア１０は、透明層３０と反射層２０との組立体と同じ曲率半径を有する湾曲形状を有するように予め形成されている。図５Ｆは、炉およびマッフル５０から取り出されたミラー組立体を示す。

本開示のさらなる態様によれば、ミラーが、上記のようなキャリア、キャリアの主面の上に配置された上記のような反射層、および反射層の上に配置された上記のような透明保護層を備え、キャリアは、上記のような基体を有する。ミラーは、基体と反射層との間において基体の第１の主面に配置された上記のような第１の層をさらに備える。さらなる態様に係るミラーは、基体の第１の主面とは反対側の第２の主面に配置された上記のような第２の層をさらに備えていてもよい。さらなる態様に係るミラーは、第１の態様のミラーに関連して本明細書で開示されているような様々な特徴、実施例および従属請求項のいずれか１つをさらに含むことができる。

本開示に係るミラーまたは本開示全体にわたって説明された実施例のいずれか１つに係るミラーを望遠鏡、特に（解像型）チェレンコフ望遠鏡に使用することができる。このミラーを、太陽熱収集器のような他の目的のために使用することも、家屋（特に、高層ビル）の反射窓に使用することも、ミラーまたは反射面が用いられる任意の他の用途に使用することもできる。

他の用途の１つとしては、反射層の代わりに特定の吸収層が使用されて、ミラーについてはもはや言及され得ないようなものがあり得る。吸収層を、下方から来る光を選択的に吸収して所望の波長域のみを通過させるようにすることができる。

本開示を１つまたは複数の実装形態に関して例示および説明してきたが、添付の特許請求の範囲の趣旨および範囲から逸脱することなく、例示された例に変更および／または修正を加えることができる。特に上述の構成要素または構造（組立体、装置、回路、システム等）によって実行される様々な機能に関し、特に明記しない限り、そのような構成要素を説明するために使用される用語（「手段」への言及を含む）は、本明細書において例示した本開示の例示的な実装形態における機能を実行する開示された構造と構造的に等価でないとしても、記載された（例えば、機能の点で等価な）構成要素の特定の機能を実行する任意の構成要素または構造に対応することが意図されている。

Claims

キャリア（１０）と、
前記キャリア（１０）の主面の上に配置された反射層（２０）と、
前記反射層（２０）の上に配置された透明層（３０）と、を備え、
前記キャリア（１０）は、基体（１１）を有し、
前記基体（１１）は、密度が０．１ｇ／ｃｍ^３から１．０ｇ／ｃｍ^３までの範囲内である材料、多孔質材料、発泡材料、独立気泡を含む構造を有する材料、ハニカム構造を有する材料、および炭素繊維を含む構造の１つ以上を含む、
ミラー（２００）。
前記キャリア（１０）は、前記基体（１１）に配置された１層以上の層（１２，１３）をさらに有する、
請求項１に記載のミラー（２００）。
前記１層以上の層（１２，１３）は、前面層（１２）および後面層（１３）を含み、前記基体（１１）は、前記前面層（１２）と前記後面層（１３）との間に配置されている、
請求項２に記載のミラー（２００）。
前記前面層（１２）および前記後面層（１３）の１層または複数層は、ガラス板で構成されている、
請求項３に記載のミラー（２００）。
前記前面層（１２）および前記後面層（１３）の１層または複数層の厚さは、１ｍｍから３ｍｍまでの範囲内である、
請求項３または４に記載のミラー。
前記透明層（３０）の厚さは、２０μｍから５００μｍまでの範囲内である、
請求項１〜５のいずれか一項に記載のミラー（２００）。
前記透明層（３０）は、ガラス層である、
請求項１〜６のいずれか一項に記載のミラー（２００）。
前記反射層（２０）は、Ａｌ、Ａｇ、または誘電材料を含む、
請求項１〜７のいずれか一項に記載のミラー（２００）。
前記基体（１１）の厚さは、２０ｍｍから６０ｍｍまでの範囲内である、
請求項１〜８のいずれか一項に記載のミラー（２００）。
前記反射層と前記透明層との間に配置され、前記反射層の硬度、耐久性、および抵抗の１つ以上を改善するように構成された１層以上の追加層をさらに備える、
請求項１〜９のいずれか一項に記載のミラー（２００）。
前記１層以上の追加層は、クロムを主成分とする層、五酸化タンタル層、石英層、およびＳｉＯ_２層の１つ以上を含む、
請求項１０に記載のミラー。
前記ミラーの直径または一方向に沿う最大長さが少なくとも０．５ｍである、
請求項１〜１１のいずれか一項に記載のミラー。
キャリアを用意するステップと、
透明層を用意するステップと、
前記透明層の主面に反射層を配置するステップと、
前記反射層を前記キャリアに向けた状態で前記透明層と前記キャリアとを接続するステップと、を含む、
ミラーの製造方法。
キャリアを用意するステップは、前面層と後面層との間に配置された基体を用意するステップを含む、
請求項１４の記載の製造方法。