JP2020205456A - リードフレームおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
まず、図1乃至図5により、本実施の形態によるリードフレームの概略について説明する。図1乃至図5は、本実施の形態によるリードフレームを示す図である。
図1および図3に示すように、これらリード連結部18およびリード非連結部19は、コネクティングバー17の長手方向に沿って、交互に配置されている。
次に、図6により、本実施の形態によるリードフレームを用いて作製された半導体装置について説明する。図6は、半導体装置を示す断面図である。
次に、図1乃至図5に示すリードフレーム10の製造方法について、図7(a)−(f)を用いて説明する。図7(a)−(f)は、本実施の形態によるリードフレームの製造方法を示す断面図であって、図1のVII−VII線断面図に対応する図である。
次に、図6に示す半導体装置20の製造方法について、図8(a)−(f)により説明する。図8(a)−(f)は、本実施の形態による半導体装置の製造方法を示す断面図である。
本実施の形態によれば、コネクティングバー17の薄肉部51に、コネクティングバー17の長手方向に沿って延びる複数の突起部52が形成されている。すなわち、コネクティングバー17の一部の板厚を、加工前の金属基板31に近い厚みまで残すことにより、コネクティングバー17の強度を維持している。これにより、例えばエッチング工程(図7(d))の後、あるいはめっき処理工程(図7(f))の後に、コネクティングバー17が変形してしまう不具合を防止することができる。とりわけ、本実施の形態において、各コネクティングバー17にそれぞれ2本ずつ突起部52が形成されていることにより、突起部52をブレード38が当接する位置から外すことができる。また、コネクティングバー17の断面積を増やすことができる。特に、上述したように、突起部52の頂部52aをリードフレーム10の表面よりも低くした場合にも、その分の断面積の損失を補うことができる。
次に、図9乃至図14により、本実施の形態によるリードフレームの変形例について説明する。図9および図14において、図1乃至図8に示す実施の形態と同一部分には同一の符号を付して、詳細な説明は省略する。
図9は、本実施の形態の変形例(変形例1)を示す部分拡大平面図である。図9において、図1乃至図8に示す実施の形態と異なり、コネクティングバー17は、その長手方向に終端する終端部17cを有している。この場合、コネクティングバー17の終端部17cは、それぞれ連結部材44に連結されている。また終端部17cは、当該コネクティングバー17に直交する方向に延びる他のコネクティングバー17から離間して配置されている。すなわち連結部材44によって囲まれた開口領域45が形成されており、X方向およびY方向に延びる合計4本のコネクティングバー17の終端部17cが、開口領域45周縁に配置されている。これにより、コネクティングバー17の終端部17cの周囲に存在する金属量を減らし、ソーイング時におけるブレード38の消耗を抑えることができる。
図10は、本実施の形態の変形例(変形例2)を示す断面図(図4に対応する図)である。図10において、図1乃至図8に示す実施の形態と異なり、薄肉部51は、コネクティングバー17の裏面17bに形成されている。この場合、ソーイング時に発生するバリが、半導体装置20の裏面側に突出することを抑えることができる。
図11は、本実施の形態の変形例(変形例3)を示す断面図(図4に対応する図)である。図11において、図1乃至図8に示す実施の形態と異なり、コネクティングバー17に4本の突起部52が形成されている。なお、各コネクティングバー17に形成される突起部52の本数は、3本あるいは5本以上としても良い。
図12は、本実施の形態の変形例(変形例4)を示す断面図(図4に対応する図)である。図12において、図1乃至図8に示す実施の形態と異なり、コネクティングバー17に1本の突起部52が形成されている。この場合、ソーイング加工時に、ブレード38の面方向内側部分のみがリードフレーム10と当接するため、ブレード38の摩耗を低減することができる。
図13および図14(a)(b)は、本実施の形態の変形例(変形例5)を示す図である。本変形例において、各コネクティングバー17には、1本の突起部52が形成されている。図13に示すように、コネクティングバー17のうち、互いに隣接するリード部16同士の間には端子間領域Raが形成され、コネクティングバー17のうち、交差部42と、交差部42に最も近いリード部16との間には端子外領域Rbが形成されている。
14 リードフレーム要素
15 ダイパッド
16 リード部
17 コネクティングバー
18 リード連結部
19 リード非連結部
20 半導体装置
21 半導体素子
22 ボンディングワイヤ(導電部)
24 封止樹脂部
51 薄肉部
52 突起部
Claims (1)
- 半導体装置用のリードフレームにおいて、
それぞれ半導体素子を載置するダイパッドと、前記ダイパッドの周囲に設けられた複数のリード部とを含む、複数のリードフレーム要素を備え、
隣接する前記リードフレーム要素間において、対応する一対の前記リード部がコネクティングバーを介して連結され、
前記コネクティングバーは、連結部材に接続され、
前記コネクティングバーと前記連結部材との接続部分は、一方の面側から薄肉化された薄肉部を有し、
前記接続部分の前記薄肉部に、突起部が形成され、
前記突起部は稜線状に形成されており、前記突起部の頂部は前記コネクティングバーの幅方向に沿って幅を有していない、リードフレーム。
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