JP2020204565A - モーメントセンサ - Google Patents

Abstract

【課題】計装による性能の劣化を抑制可能としたモーメントセンサを提供する。【解決手段】３次元空間におけるＹ軸方向に加えられた力に対しては高い剛性を有し、他のＸ軸方向及びＺ軸方向に加えられた力に対しては柔軟性を有する連結部６〜９が設けられることで指向性が得られるモーメントセンサであって、前記Ｘ軸方向及びＺ軸方向の変形については、連結部６〜９が変形することで、台座１への伝達が軽減される。また、連結部６〜９の先端部６２〜９２には幅方向に沿った長穴状のネジ穴６４〜９４が設けられ、前記Ｙ軸方向の変形については、この長穴状のネジ穴６４〜９４により、台座１への伝達が軽減される。【選択図】図７

Description

この発明は、モーメントを計測するモーメントセンサに関する。

従来から、モーメントを計測するモーメントセンサが知られている（例えば特許文献１参照）。モーメントセンサの計装は、一般的に、ネジによる締結で行われている。

特開２００２−１３９３９１号公報

しかしながら、従来のモーメントセンサでは、計装によって性能を損ねた状態（例えばゼロ点出力シフトが生じた状態）となってしまう可能性があり、改善が求められている。

この発明は、上記のような課題を解決するためになされたもので、計装による性能の劣化を抑制可能とするモーメントセンサを提供することを目的としている。

この発明に係るモーメントセンサは、センシング部、及び当該センシング部が取付けられた取付部材から成るセンシングユニット部と、センシングユニット部が取付けられた台座と、直交する３方向のうちの第１の方向への変形に対する剛性が他の２方向への変形に対する剛性より高く、台座を計測対象に連結する第１の連結部と、第１の方向で第１の連結部と隣り合い、当該第１の方向への変形に対する剛性が他の２方向への変形に対する剛性より高く、台座を計測対象に連結する第２の連結部と、第１の方向への変形に対する剛性が他の２方向への変形に対する剛性より高く、台座を計測対象に連結する第３の連結部と、第１の方向で第３の連結部と隣り合い、当該第１の方向への変形に対する剛性が他の２方向への変形に対する剛性より高く、台座を計測対象に連結する第４の連結部とを備え、第１の連結部及び第２の連結部は、台座のうちのセンシングユニット部が取付けられた領域を挟んで一方側に接続され、第３の連結部及び第４の連結部は、台座のうちのセンシングユニット部が取付けられた領域を挟んで他方側に接続され、第１の連結部及び第３の連結部と、第２の連結部及び第４の連結部とのうちの少なくとも一方は、計測対象に接する面に、幅方向に沿った長穴状のネジ穴を有することを特徴とする。

この発明によれば、上記のように構成したので、計装による性能の劣化を抑制可能となる。

実施の形態１に係るモーメントセンサの構成例を示す斜視図である。 実施の形態１に係るモーメントセンサによる効果を説明するための斜視図である。 実施の形態１に係るモーメントセンサによる効果を説明するための斜視図である。 実施の形態１に係るモーメントセンサによる効果を説明するための斜視図である。 実施の形態１に係るモーメントセンサによる効果を説明するための斜視図である。 実施の形態１に係るモーメントセンサの別の構成例を示す斜視図である。 実施の形態１に係るモーメントセンサの別の構成例を示す斜視図である。

以下、この発明の実施の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。
実施の形態１．
図１は実施の形態１に係るモーメントセンサの構成例を示す図である。
モーメントセンサは、モーメントを計測する。モーメントセンサは、図１に示すように、台座１、板状部（第１の板状部）２、板状部（第２の板状部）３、センシング部４、連結棒５、連結部（第１の連結部）６、連結部（第２の連結部）７、連結部（第３の連結部）８及び連結部（第４の連結部）９を備えている。

台座１は、台座部（第１の台座部）１１、台座部（第２の台座部）１２及び台座部（第３の台座部）１３を有している。台座１は、例えばステンレスから構成される。

台座部１１は、ブロック状の部材である。
台座部１２は、ブロック状の部材である。
台座部１３は、台座部１１が有する一側面と台座部１２が有する一側面とを接続する。

台座１は、例えば、１つのブロック状部材に矩形状の開口が１つ以上（図１では２つ）形成されることで、台座部１１、台座部１２及び台座部１３が構成される。図１に示す台座１では、台座部１３は３枚の薄板部材から構成される。

板状部２は、幅広面が台座部１１が有する上記一側面を向き、一端が台座部１１が有する上面に接続されている。板状部２は、台座１に対し、センシング部４と熱物性（熱膨張係数）の近い材料から構成されている。例えば、センシング部４がシリコンから構成されたセンサ素子である場合には、板状部２は、鉄にニッケル及びコバルトを配合した合金等から構成される。
図１では、板状部２は、台座部１１が有する上面における、台座部１１が有する上記一側面付近に、配置されている。

板状部３は、幅広面が台座部１２が有する上記一側面を向き、一端が台座部１２が有する上面に接続されている。板状部３は、台座１に対し、センシング部４と熱物性（熱膨張係数）の近い材料から構成されている。例えば、センシング部４がシリコンから構成されたセンサ素子である場合には、板状部３は、鉄にニッケル及びコバルトを配合した合金等から構成される。
図１では、板状部３は、台座部１２が有する上面における、台座部１２が有する上記一側面付近に、配置されている。

センシング部４は、板状部２が有する２つの幅広面及び板状部３が有する２つの幅広面のうちの少なくとも１つの面に取付けられている。図１では、センシング部４は、板状部２が有する外側の幅広面に搭載されている。センシング部４としては、例えば、センサ素子、歪ゲージ、又は成膜された抵抗ゲージが挙げられる。図１では、センシング部４としてセンサ素子が用いられている。

連結棒５は、一端が板状部２の他端側に接続され、他端が板状部３の他端側に接続されている。連結棒５は、板状部２及び板状部３に対し、台座１と熱物性（熱膨張係数）の近い材料から構成されている。連結棒５は、例えば、台座１と同一材料から構成される。

なお、板状部（第１の板状部）２、板状部（第２の板状部）３及び連結棒５は、センシング部４が取付けられた取付部材を構成する。
また、センシング部４及び取付部材は、センシングユニット部を構成する。

連結部６〜９は、計測対象である物体が有する設置面に台座１をネジ等により連結するための部位である。図１では、連結部６〜９は台座１と一体に構成されているが、これに限らず、別体に構成されていてもよい。

連結部６は、幅方向が厚み方向に対して広い板状部材が折り曲げられることで構成されている。連結部６は、台座１が有する一対の側面のうちの一方側に、幅方向が当該側面に沿った向きに接続されている。連結部６は、付け根部６１、先端部６２及び継手部６３を有している。

付け根部６１は、一端が台座１に接続されている。図１では、付け根部６１は、一端が、台座１が有する下面における一端側に接続されている。
先端部６２は、台座１が有する下面に平行（略平行の意味を含む）であり、計測対象である物体が有する設置面に設置される部位である。先端部６２には、幅方向に沿った長穴状のネジ穴６４が設けられている。
継手部６３は、付け根部６１と先端部６２とを接続する。すなわち、継手部６３は、一端が付け根部６１の他端に接続され、他端が先端部６２の一端に接続されている。図１では、継手部６３は、双方の側面に突出した波状に折り曲げられている。

連結部７は、幅方向が厚み方向に対して広い板状部材が折り曲げられることで構成されている。連結部７は、台座１が有する一対の側面のうちの一方側に、幅方向が当該側面に沿った向きに、連結部６と並んで接続されている。連結部７は、付け根部７１、先端部７２及び継手部７３を有している。

付け根部７１は、一端が台座１に接続されている。図１では、付け根部７１は、一端が、台座１が有する下面における一端側に、付け根部６１と並んで接続されている。
先端部７２は、台座１が有する下面に平行（略平行の意味を含む）であり、計測対象である物体が有する設置面に設置される部位である。先端部７２には、幅方向に沿った長穴状のネジ穴７４が設けられている。
継手部７３は、付け根部７１と先端部７２とを接続する。すなわち、継手部７３は、一端が付け根部７１の他端に接続され、他端が先端部７２の一端に接続されている。図１では、継手部７３は、双方の側面に突出した波状に折り曲げられている。

連結部８は、幅方向が厚み方向に対して広い板状部材が折り曲げられることで構成されている。連結部８は、台座１が有する一対の側面のうちの他方側に、幅方向が当該側面に沿った向きに接続されている。連結部８は、付け根部８１、先端部８２及び継手部８３を有している。

付け根部８１は、一端が台座１に接続されている。図１では、付け根部８１は、一端が、台座１が有する下面における他端側に接続されている。
先端部８２は、台座１が有する下面に平行（略平行の意味を含む）であり、計測対象である物体が有する設置面に設置される部位である。先端部８２には、幅方向に沿った長穴状のネジ穴８４が設けられている。
継手部８３は、付け根部８１と先端部８２とを接続する。すなわち、継手部８３は、一端が付け根部８１の他端に接続され、他端が先端部８２の一端に接続されている。図１では、継手部８３は、双方の側面に突出した波状に折り曲げられている。

連結部９は、幅方向が厚み方向に対して広い板状部材が折り曲げられることで構成されている。連結部９は、台座１が有する一対の側面のうちの他方側に、幅方向が当該側面に沿った向きに、連結部８と並んで接続されている。連結部９は、付け根部９１（不図示）、先端部９２及び継手部９３を有している。

付け根部９１は、一端が台座１に接続されている。図１では、付け根部９１は、一端が、台座１が有する下面における他端側に、付け根部８１と並んで接続されている。
先端部９２は、台座１が有する下面に平行（略平行の意味を含む）であり、計測対象である物体が有する設置面に設置される部位である。先端部９２には、幅方向に沿った長穴状のネジ穴９４（不図示）が設けられている。
継手部９３は、付け根部９１と先端部９２とを接続する。すなわち、継手部９３は、一端が付け根部９１の他端に接続され、他端が先端部９２の一端に接続されている。図１では、継手部９３は、双方の側面に突出した波状に折り曲げられている。

そして、図１に示すモーメントセンサを、計測対象である物体が有する設置面に設置する場合には、作業員は、連結部６〜９に対してネジ締めを行う。この際、作業員は、例えば、先端部６２〜９２の回転を抑制する冶具を押し当てながらネジ締めを行う。

また、図１に示すモーメントセンサでは、台座部１１と台座部１２を互い違いに変位させる力が加えられると、台座部１１及び台座部１２は変位するが連結棒５は変位しないため、センシング部４にせん断が生じる。よって、センシング部４は上記力により生じるモーメントを計測可能である。

次に、図１に示すモーメントセンサによる効果について説明する。
ここで、実施の形態１に係るモーメントセンサでは、所望の方向に加えられた力に対しては高い剛性を有し、他の方向に加えられた力に対しては柔軟性を有する連結部６〜９が設けられている。これにより、実施の形態１に係るモーメントセンサは指向性が得られる。

例えば図２に示すように、連結部６に対して設置面からＸ軸方向の力が加えられた場合、連結部６の先端部６２はＸ軸方向に移動させられる。この際、連結部６の継手部６３が初期状態よりも設置面に平行な方向に倒れることになり、連結部６の付け根部６１のＸ軸方向への移動は先端部６２よりも大幅に抑制される。

また、図３，４に示すように、連結部６に対して設置面からＺ軸方向の力が加えられた場合、連結部６の先端部６２はＺ軸方向に移動させられる。この際、連結部６の継手部６３が伸縮することになり、連結部６の付け根部６１のＺ軸方向への移動は先端部６２よりも大幅に抑制される。

また、図５に示すように、連結部６に対して設置面からＹ軸方向の力が加えられた場合、台座１は連結棒５に対して回転しようとするため、付け根部６１のＹ軸方向への移動は、先端部６２のＹ軸方向への移動より軽減されるものの、他の方向の力が加えられた場合よりは効率的に付け根部６１が変位される。

連結部７〜９についても連結部６と同様である。

すなわち、連結部６及び連結部７にＹ軸方向における一方向の力が加えられ、連結部８及び連結部９にＹ軸方向における他方向の力が加えられることによってモーメントが加えられると、他の方向の力が加えられた場合に対し、効率的にセンシング部４に変位が伝達される。すなわち、実施の形態１に係るモーメントセンサは、指向性を持ったモーメントセンサとなり得る。

また、上述したように、従来のモーメントセンサでは、計装によって性能を損ねた状態（例えばゼロ点出力シフトが生じた状態）となってしまう可能性がある。これは、従来のモーメントセンサが有する連結部の下面と、計測対象である物体が有する設置面との間での傾きにより生じるものと考えられる。
これに対し、実施の形態１に係るモーメントセンサでは、上記の連結部６〜９が設けられることで、３次元空間におけるＸ軸方向及びＺ軸方向の変形については、連結部６〜９が変形することで、台座１への伝達が軽減される。また、実施の形態１に係るモーメントセンサでは、先端部６２〜９２には幅方向に沿った長穴状のネジ穴６４〜９４が設けられている。これにより、実施の形態１に係るモーメントセンサでは、３次元空間におけるＹ軸方向の変形については、この長穴状のネジ穴６４〜９４により、台座１への伝達が軽減される。

なお、ネジ穴６４〜９４は、長穴状ではなく、通常よりも径を大きくすることで対応させる方法も考えられる。しかしながら、この場合には、ネジ締めの際に、ネジ頭で締め付ける面の確保が困難となる。

また、実施の形態１に係るモーメントセンサでは、板状部２及び板状部３は、連結棒５側が拘束されておらず、長手方向に自由に伸縮可能に構成されている。また、板状部２及び板状部３は、台座１に対し、センシング部４と熱物性の近い材料から構成されている。これにより、実施の形態１に係るモーメントセンサは、従来構成に対して熱応力が抑制され、すなわち、温度変化によりセンシング部４に不要な歪が生じることを軽減可能となる。
また、実施の形態１に係るモーメントセンサは、連結棒５が、板状部２及び板状部３に対し、台座１と熱物性の近い材料から構成されている。これにより、実施の形態１に係るモーメントセンサは、温度変化により板状部２及び板状部３が曲げられる影響も軽減可能となる。

また図１では、連結部６〜９が台座１が有する下面に取付けられた場合を示した。しかしながら、これに限らず、連結部６〜９は、台座１が有する他の面（側面）に取付けられていてもよい。

また図１では、継手部６３〜９３が双方の側面に突出した波状に折り曲げられている。しかしながら、これに限らず、継手部６３〜９３は、側面方向に対する力を吸収可能な形状であればよく、例えば、厚み方向に突出した部位が波状以外の形状に構成されていてもよいし、例えば板状のままでもよい。

また、連結部６〜９の構成は、図１に示す構成に限らず、直交する３方向（Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向）のうちの第１の方向への変形に対する剛性が他の２方向への変形に対する剛性より高く、台座１を計測対象である物体に連結する構成であればよい。
例えば図６では、図１に示す連結部６に対し、付け根部６１及び継手部６３が円筒部６５に変更されている。円筒部６５は、軸心方向が上記第１の方向を向き、一つの辺が台座１に接続され、当該一つの辺に対向する辺が先端部６２に接続されている。連結部７〜９についても同様である。
また、図６に示す連結部６に対し、円筒部６５が角筒部に変更されてもよい。この場合、角筒部は、軸心方向が上記第１の方向を向き、一つの角が台座１に接続され、当該一つの角に対向する角が先端部６２に接続される。連結部７〜９についても同様である。

また、連結部６〜９は、第１の方向への変形に対する剛性が他の２方向への変形に対する剛性に対して１０倍以上高いことが望ましい。

また図１では、モーメントセンサが板状部２，３を有する場合を示した。しかしながら、これに限らず、モーメントセンサは、板状部２，３に代えて、２つの四角柱部材である棒部（第１の棒部及び第２の棒部）を有していてもよい。
この場合、一方の棒部は、一側面が台座部１１が有する上記一側面を向き、一端が台座部１１が有する上面に接続される。また、他方の棒部は、一側面が台座部１２が有する上記一側面を向き、一端が台座部１２が有する上面に接続される。２つの棒部の材質については板状部２，３と同様である。また、センシング部４は、一方の棒部が有する４つの側面及び他方の棒部が有する４つの側面のうちの少なくとも１つの面に取付けられる。

また図１では、モーメントセンサが、温度変化の際にセンシング部４に不要な歪が生じることを軽減可能な構成とされた場合を示した。しかしながら、これに限らず、連結部６〜９以外の構成（台座１から上の構成）は、センシングユニット部と、センシングユニット部が取付けられた台座１とを備え、連結部６，７が台座１のうちのセンシングユニット部が取付けられた領域を挟んで一方側に接続され、連結部８，９が台座１のうちのセンシングユニット部が取付けられた領域を挟んで他方側に接続された構成であればよい。

例えば図７に示すモーメントセンサは、連結部６〜９以外の構成として、台座１、板状部２ｂ、センシング部４を備えている。
台座１は、図１に示す台座１と同様である。
板状部２ｂは、台座部１１と台座部１２とを橋渡しするように接続されている。
センシング部４は、構成自体は図１に示すセンシング部４と同様であり、板状部２ｂ上に取付けられている。
なお、板状部２ｂは、センシング部４が取付けられた取付部材を構成する。

また図１，６，７では、台座部１３が薄板部材から構成された場合を示した。しかしながら、これに限らず、台座部１３は、第１の方向への変形に対する剛性が台座部１１，１２の第１の方向への変形に対する剛性に対して低い構成、又は、第１の方向への変形に対する剛性が他の２方向への変形に対する剛性よりも低い構成であればよい。

また図１，６，７では、台座１が台座部１１〜１３から構成された場合を示した。しかしながら、これに限らず、台座１は台座部１１，１２から構成され、台座部１１の一側面と台座部１２の一側面とがセンシングユニット部により接続されていてもよい。この場合、センシングユニット部は、第１の方向への変形に対する剛性が他の２方向への変形に対する剛性より低い。

また図１，６，７では、ネジ穴６４〜９４が全て長穴状である場合を示した。しかしながら、これに限らず、ネジ穴６４及びネジ穴８４と、ネジ穴７４及びネジ穴９４とのうちの少なくとも一方が長穴状であればよい。

以上のように、この実施の形態１によれば、モーメントセンサは、センシング部４、及び当該センシング部４が取付けられた取付部材から成るセンシングユニット部と、センシングユニット部が取付けられた台座１と、直交する３方向のうちの第１の方向への変形に対する剛性が他の２方向への変形に対する剛性より高く、台座１を計測対象に連結する連結部６と、第１の方向で連結部６と隣り合い、当該第１の方向への変形に対する剛性が他の２方向への変形に対する剛性より高く、台座１を計測対象に連結する連結部７と、第１の方向への変形に対する剛性が他の２方向への変形に対する剛性より高く、台座１を計測対象に連結する連結部８と、第１の方向で連結部８と隣り合い、当該第１の方向への変形に対する剛性が他の２方向への変形に対する剛性より高く、台座１を計測対象に連結する連結部９とを備え、連結部６及び連結部７は、台座１のうちのセンシングユニット部が取付けられた領域を挟んで一方側に接続され、連結部８及び連結部９は、台座１のうちのセンシングユニット部が取付けられた領域を挟んで他方側に接続され、連結部６及び連結部８と、連結部７及び連結部９とのうちの少なくとも一方は、計測対象に接する面に幅方向に沿った長穴状のネジ穴を有する。これにより、実施の形態１に係るモーメントセンサは、計装による性能の劣化を抑制可能となる。

なお、本願発明はその発明の範囲内において、実施の形態の任意の構成要素の変形、若しくは実施の形態の任意の構成要素の省略が可能である。

１ 台座
２ 板状部（第１の板状部）
３ 板状部（第２の板状部）
４ センシング部
５ 連結棒
６ 連結部（第１の連結部）
７ 連結部（第２の連結部）
８ 連結部（第３の連結部）
９ 連結部（第４の連結部）
１１ 台座部
１２ 台座部
１３ 台座部
６１ 付け根部
６２ 先端部
６３ 継手部
６４ ネジ穴
７１ 付け根部
７２ 先端部
７３ 継手部
７４ ネジ穴
８１ 付け根部
８２ 先端部
８３ 継手部
８４ ネジ穴
９１ 付け根部
９２ 先端部
９３ 継手部
９４ ネジ穴

Claims (14)

1. センシング部、及び当該センシング部が取付けられた取付部材から成るセンシングユニット部と、
   前記センシングユニット部が取付けられた台座と、
   直交する３方向のうちの第１の方向への変形に対する剛性が他の２方向への変形に対する剛性より高く、前記台座を計測対象に連結する第１の連結部と、
   前記第１の方向で前記第１の連結部と隣り合い、当該第１の方向への変形に対する剛性が他の２方向への変形に対する剛性より高く、前記台座を前記計測対象に連結する第２の連結部と、
   前記第１の方向への変形に対する剛性が他の２方向への変形に対する剛性より高く、前記台座を前記計測対象に連結する第３の連結部と、
   前記第１の方向で前記第３の連結部と隣り合い、当該第１の方向への変形に対する剛性が他の２方向への変形に対する剛性より高く、前記台座を前記計測対象に連結する第４の連結部とを備え、
   前記第１の連結部及び前記第２の連結部は、前記台座のうちの前記センシングユニット部が取付けられた領域を挟んで一方側に接続され、
   前記第３の連結部及び前記第４の連結部は、前記台座のうちの前記センシングユニット部が取付けられた領域を挟んで他方側に接続され、
   前記第１の連結部及び前記第３の連結部と、前記第２の連結部及び前記第４の連結部とのうちの少なくとも一方は、前記計測対象に接する面に、幅方向に沿った長穴状のネジ穴を有する
   ことを特徴とするモーメントセンサ。
2. 前記第１の連結部、前記第２の連結部、前記第３の連結部及び前記第４の連結部は各々、
   一端が前記台座に接続された付け根部と、
   前記台座が有する下面に平行な先端部と、
   前記付け根部と前記先端部とを接続する継手部とを有する
   ことを特徴とする請求項１記載のモーメントセンサ。
3. 前記継手部は、幅方向が厚み方向に対して広い板状部材から成り、幅方向が前記第１の方向を向いている
   ことを特徴とする請求項２記載のモーメントセンサ。
4. 前記継手部は、厚み方向に突出した部位を有する
   ことを特徴とする請求項３記載のモーメントセンサ。
5. 前記部位は、厚み方向に双方に突出した波状である
   ことを特徴とする請求項４記載のモーメントセンサ。
6. 前記第１の連結部、前記第２の連結部、前記第３の連結部及び前記第４の連結部は各々、前記第１の方向への変形に対する剛性が他の２方向への変形に対する剛性より１０倍以上高い
   ことを特徴とする請求項１から請求項５のうちの何れか１項記載のモーメントセンサ。
7. 前記台座は、第１の台座部、第２の台座部、及び、当該第１の台座部が有する一側面と当該第２の台座部が有する一側面とを接続した第３の台座部を有し、
   前記第１の台座部は、前記第１の連結部、前記第２の連結部、及び前記センシングユニット部の一端が接続され、
   前記第２の台座部は、前記第３の連結部、前記第４の連結部、及び前記センシングユニット部の他端が接続され、
   前記第３の台座部は、前記第１の方向への変形に対する剛性が、前記第１の台座部及び前記第２の台座部における前記第１の方向への変形に対する剛性より低い
   ことを特徴とする請求項１から請求項６のうちの何れか１項記載のモーメントセンサ。
8. 前記台座は、第１の台座部、第２の台座部、及び、当該第１の台座部が有する一側面と当該第２の台座部が有する一側面とを接続した第３の台座部を有し、
   前記第１の台座部は、前記第１の連結部、前記第２の連結部、及び前記センシングユニット部の一端が接続され、
   前記第２の台座部は、前記第３の連結部、前記第４の連結部、及び前記センシングユニット部の他端が接続され、
   前記第３の台座部は、前記第１の方向への変形に対する剛性が他の２方向への変形に対する剛性より低い
   ことを特徴とする請求項１から請求項７のうちの何れか１項記載のモーメントセンサ。
9. 前記第３の台座部は、前記第１の方向における総厚さが、前記第１の台座部及び前記第２の台座部より薄い
   ことを特徴とする請求項７又は請求項８記載のモーメントセンサ。
10. 前記センシングユニット部は、
    幅広面が前記第１の台座部が有する前記一側面を向き、一端が当該第１の台座部が有する上面に接続された第１の板状部と、
    幅広面が前記第２の台座部が有する前記一側面を向き、一端が当該第２の台座部が有する上面に接続された第２の板状部と、
    一端が前記第１の板状部の他端側に接続され、他端が前記第２の板状部の他端側に接続された連結棒とを備え、
    前記センシング部は、前記第１の板状部が有する２つの幅広面及び前記第２の板状部が有する２つの幅広面のうちの少なくとも１つの面に取付けられ、
    前記第１の板状部及び前記第２の板状部は、前記台座に対し、前記センシング部と熱物性の近い材料から構成され、
    前記連結棒は、前記第１の板状部及び前記第２の板状部に対し、前記台座と熱物性の近い材料から構成された
    ことを特徴とする請求項１から請求項９のうちの何れか１項記載のモーメントセンサ。
11. 前記センシングユニット部は、
    一側面が前記第１の台座部が有する前記一側面を向き、一端が当該第１の台座部が有する上面に接続された四角柱部材である第１の棒部と、
    一側面が前記第２の台座部が有する前記一側面を向き、一端が当該第２の台座部が有する上面に接続された四角柱部材である第２の棒部と、
    一端が前記第１の棒部の他端側に接続され、他端が前記第２の棒部の他端側に接続された連結棒とを備え、
    前記センシング部は、前記第１の棒部が有する４つの側面及び前記第２の棒部が有する４つの側面のうちの少なくとも１つの面に取付けられ、
    前記第１の棒部及び前記第２の棒部は、前記台座に対し、前記センシング部と熱物性の近い材料から構成され、
    前記連結棒は、前記第１の棒部及び前記第２の棒部に対し、前記台座と熱物性の近い材料から構成された
    ことを特徴とする請求項１から請求項９のうちの何れか１項記載のモーメントセンサ。
12. 前記センシング部は、シリコンから成るセンサ素子であり、
    前記第１の板状部及び前記第２の板状部は、鉄にニッケル及びコバルトを配合した合金から構成された
    ことを特徴とする請求項１０記載のモーメントセンサ。
13. 前記センシング部は、シリコンから成るセンサ素子であり、
    前記第１の棒部及び前記第２の棒部は、鉄にニッケル及びコバルトを配合した合金から構成された
    ことを特徴とする請求項１１記載のモーメントセンサ。
14. 前記台座は、第１の台座部及び第２の台座部を有し、
    前記第１の台座部は、前記第１の連結部及び前記第２の連結部が接続され、
    前記第２の台座部は、前記第３の連結部及び前記第４の連結部が接続され、
    前記センシングユニット部は、一端が前記第１の台座部が有する一側面に接続され、他端が前記第２の台座部が有する一側面に接続され、
    前記センシングユニット部は、前記第１の方向への変形に対する剛性が他の２方向への変形に対する剛性より低い
    ことを特徴とする請求項１から請求項６のうちの何れか１項記載のモーメントセンサ。

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