JP2020191406A - 吐出材吐出装置および温度調整方法 - Google Patents
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Abstract
Description
実施形態1では、インプリント装置に適用される吐出材を吐出する吐出材吐出装置(以下、単に「吐出装置」ともいう)を説明する。そして、吐出装置において温度調整を行う構成を説明する。以下では、まずインプリント装置の全体構成を説明し、その後に吐出装置の全体構成を説明する。
図1は、本実施形態に適用可能なインプリント装置101の構成を示す概略図である。インプリント装置101は、半導体デバイスなどの各種のデバイスの製造に使用される。インプリント装置101は、吐出装置10を備える。吐出装置10は、吐出材114(レジスト)を基板111上に吐出する。吐出材114は、紫外線108を受光することにより硬化する性質を有する光硬化性の樹脂である。吐出材114は、半導体デバイス製造工程などの各種条件により適宜選択される。光硬化性の他にも例えば、熱硬化性のレジストである吐出材を用いてもよく、インプリント装置は、熱でレジストを硬化させてインプリント処理を行う装置でもよい。吐出材114のことをインプリント材と呼んでもよい。
図2は、本実施形態の吐出装置10の例を示す図である。まず、吐出装置10の全体的な構成を説明した後に、本実施形態で行う温度調整の構成を説明することとする。吐出装置10は、筐体ユニット100と、圧力制御ユニット150とを有する。筐体ユニット100は、密閉された筐体2と、筐体2の内部に設けられた可撓性部材3と、吐出材114を吐出する吐出ヘッド1と、吐出ヘッド1を制御する制御基板51とを含む。制御基板51は、筐体2の鉛直方向の上方に搭載されており、インプリント装置101の制御部106により制御される。
次に、図2に示したような吐出装置10における温度調整の構成を説明する。吐出ヘッド1による吐出材114の吐出は、吐出ヘッド1に装着されている電気部品である制御基板51によって制御される。吐出装置10の動作時に、制御基板51は発熱し、この発熱が周囲の温度を上昇させる。これにより吐出ヘッド1の温度が上昇し、吐出ヘッド1と連通している第1収容空間21内の吐出材114の温度も上昇する可能性がある。すると、吐出ヘッド1から吐出材114が吐出される際の吐出量または基板111への吐出位置の精度に影響を及ぼす可能性がある。
実施形態1では、吐出ヘッド1の温度上昇の要因が制御基板51において生じる発熱であり得ることを説明し、制御基板51の稼働状態に応じて温度調整ユニット33における冷却制御を行う例を説明した。本実施形態では、温度センサによる測定結果に応じて冷却制御を行う形態を説明する。
実施形態2では、吐出ヘッド1の近傍に、吐出ヘッド1の温度を測定する温度センサ34が配されている形態を説明した。本実施形態では、作動液4を収容している第2収容空間22に温度センサ34が配される形態を説明する。
これまでの実施形態では、第1流路25または第2流路26に温度調整ユニット33が配されている例を説明した。本実施形態では、流路ではなく、圧力制御ユニット150そのものの温度を調整する形態を説明する。
実施形態4では、温度調整ユニット33は、圧力制御ユニット150全体を覆う形態を説明した。本実施形態では、温度調整ユニット33は、圧力制御ユニット150のうちのサブタンク15の温度を調整する形態を説明する。
これまでの実施形態では、温度調整ユニット33による温度調整は、制御基板51の稼働状態または温度センサに応じて行われる例を説明した。本実施形態では、温度調整ユニット33による温度調整が、さらに第2収容空間22に充填されている作動液4の量を考慮して行われる形態を説明する。なお、本実施形態において温度調整ユニット33は、これまでの実施形態で説明した任意の位置に配されていてよい。
これまでの実施形態では、循環して第2収容空間22内に送り込まれる作動液4の温度調整を行う形態を説明した。本実施形態では、熱を発する制御基板51の熱が吐出ヘッド1側に伝わりにくくする形態を説明する。
33 温度調整ユニット
100 筐体ユニット
150 圧力制御ユニット
Claims (17)
- 吐出材を吐出する吐出ヘッドと、前記吐出ヘッドからの吐出材の吐出を制御する制御基板と、前記制御基板を搭載する筐体ユニットと、前記筐体ユニットの外部に配された圧力制御ユニットと、を備え、前記筐体ユニットは、可撓性部材によって、前記吐出ヘッドと導通し前記吐出材を収容する第1収容空間と、前記吐出ヘッドと導通せず作動液を収容する第2収容空間とに分離され、前記圧力制御ユニットが前記第2収容空間の圧力を制御することで、前記吐出ヘッドの圧力を制御可能な吐出材吐出装置であって、
前記圧力制御ユニットと前記第2収容空間との間で前記作動液を循環させる循環手段と、
前記循環手段で循環される前記作動液の温度を調整する温度調整手段と
を有することを特徴とする吐出材吐出装置。 - 前記温度調整手段は、前記制御基板の稼働状況に応じて前記温度の調整を行う、請求項1に記載の吐出材吐出装置。
- 前記温度調整手段は、前記制御基板の稼働量が所定の量よりも多い場合、前記作動液の温度を所定の温度よりも低く調整し、前記制御基板の稼働量が所定の量よりも多くない場合、前記作動液の温度を所定の温度以上に調整する、請求項2に記載の吐出材吐出装置。
- 前記吐出ヘッドの温度を測定する温度測定手段をさらに有し、
前記温度調整手段は、前記温度測定手段で測定された結果に基づいて前記温度の調整を行う、請求項1に記載の吐出材吐出装置。 - 前記第2収容空間の前記作動液の温度を測定する温度測定手段をさらに有し、
前記温度調整手段は、前記温度測定手段で測定された結果に基づいて前記温度の調整を行う、請求項1に記載の吐出材吐出装置。 - 前記温度調整手段は、前記温度測定手段で測定された温度が所定の値よりも高い場合、前記作動液の温度を所定の温度よりも低く調整し、前記温度測定手段で測定された温度が所定の値よりも高くない場合、前記作動液の温度を所定の温度以上に調整する、請求項4または5に記載の吐出材吐出装置。
- 前記圧力制御ユニットと前記第2収容空間との間は、第1流路と第2流路とを介してそれぞれ連通し、前記第2収容空間において前記第1流路が連通する連通部は、前記第2流路が連通する連通部よりも前記制御基板に近く、
前記循環手段は、前記第1流路および前記第2流路を介して循環を行い、
前記温度調整手段で温度調整された作動液は、前記第1流路を通じて前記第2収容空間に供給され、前記第2収容空間の作動液は、前記第2流路を通じて回収される、請求項1から6のいずれか一項に記載の吐出材吐出装置。 - 前記圧力制御ユニットと前記第2収容空間との間は、第1流路と第2流路とを介してそれぞれ連通し、前記第2収容空間において前記第1流路が連通する連通部は、前記第2流路が連通する連通部よりも前記制御基板に近く、
前記循環手段は、前記第1流路および前記第2流路を介して循環を行い、
前記温度調整手段で温度調整された作動液は、前記第2流路を通じて前記第2収容空間に供給され、前記第2収容空間の作動液は、前記第1流路を通じて回収される、請求項1から6のいずれか一項に記載の吐出材吐出装置。 - 前記温度調整手段は、前記第1流路および前記第2流路のうちの少なくとも一方に配されている、請求項7または8に記載の吐出材吐出装置。
- 前記温度調整手段は、前記圧力制御ユニットの温度を調整する、請求項1から8のいずれか一項に記載の吐出材吐出装置。
- 前記圧力制御ユニットは、前記循環手段で循環される前記作動液を収容し、かつ前記第2収容空間と連通するサブタンクと、前記サブタンクに作動液を供給するメインタンクとを含み、
前記温度調整手段は、前記サブタンクの温度を調整する、請求項10に記載の吐出材吐出装置。 - 前記圧力制御ユニットは、前記循環手段で循環される前記作動液を収容し、かつ前記第2収容空間と連通するサブタンクと、前記サブタンクに作動液を供給するメインタンクとを含み、
前記温度調整手段は、少なくとも前記サブタンクおよび前記メインタンクの温度を調整する、請求項10に記載の吐出材吐出装置。 - 前記第2収容空間に収容されている前記作動液の量に応じて、前記温度調整手段によって調整される温度が変更される、請求項1から12のいずれか一項に記載の吐出材吐出装置。
- 前記第2収容空間に収容されている前記作動液の量に応じて、前記循環手段の流量が変更される、請求項1から12のいずれか一項に記載の吐出材吐出装置。
- 前記循環手段は、前記吐出ヘッドから前記吐出材が吐出されていないときに、前記循環を行う、請求項1から14のいずれか一項に記載の吐出材吐出装置。
- 前記制御基板と前記筐体ユニットとの間に断熱材が配されている、請求項1から15のいずれか一項に記載の吐出材吐出装置。
- 吐出材を吐出する吐出ヘッドと、前記吐出ヘッドからの吐出材の吐出を制御する制御基板と、前記制御基板を搭載する筐体ユニットと、前記筐体ユニットの外部に配された圧力制御ユニットと、を備え、前記筐体ユニットは、可撓性部材によって、前記吐出ヘッドと導通し前記吐出材を収容する第1収容空間と、前記吐出ヘッドと導通せず作動液を収容する第2収容空間とに分離され、前記圧力制御ユニットが前記第2収容空間の圧力を制御することで、前記吐出ヘッドの圧力を制御可能な吐出材吐出装置における前記吐出ヘッドの温度を調整する温度調整方法であって、
温度調整ユニットに設定する温度を決定する工程と、
前記圧力制御ユニットと前記第2収容空間との間で前記作動液を循環させる循環手段の流量を決定する工程と、
前記決定した温度が設定された前記温度調整ユニットを駆動する工程と、
前記決定した流量で前記循環が行われるように前記循環手段を駆動する工程と、
を有することを特徴とする吐出ヘッドの温度調整方法。
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