JP2020185672A - バリアフィルム - Google Patents

Abstract

【課題】ガスバリア性、遮光性、および耐水密着性に優れるバリアフィルムの提供。【解決手段】本発明によるバリアフィルムは、基材層１１と、第１の物理気相蒸着層１２と、バリアコート層１３と、第２の物理気相蒸着層１４とをこの順に備え、前記基材層１１に酸素プラズマ処理を施した酸素プラズマ処理面が形成され、前記酸素プラズマ処理面上に前記第１の物理気相蒸着層１２が形成され、前記第１の物理気相蒸着層１２が、酸化アルミニウム蒸着膜である。【選択図】図１

Description

本発明は、バリアフィルムに関し、さらに詳細には、基材層と、第１の物理気相蒸着層と、バリアコート層と、第２の物理気相蒸着層とをこの順に備えるバリアフィルムに関する。

近年、酸素あるいは水蒸気等に対するバリア性材料として、フィルム基材に酸化珪素、酸化アルミニウム等の無機酸化物を、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、化学気相成長法等で形成してなる透明ガスバリアフィルムが注目されている。特に、バリアフィルムの用途によっては、高度なガスバリア性を維持する必要があった。このような技術的課題に対して、例えば、プラスチック材料からなる基材と、無機物質で形成され該基材上に接して設けられた第１の蒸着薄膜層と、該第１の蒸着薄膜層に接して設けられ、少なくとも水溶性高分子を含むコーティング剤を塗布して形成されたガスバリア性中間層と、無機物質で形成され該中間層上に直接蒸着された第２の蒸着薄膜層とを具備した積層体が提案されている（特許文献１参照）。

また、バリアフィルムの用途によっては、ガスバリア性に加えて遮光性も必要であった。このような技術的課題に対して、例えば、特許文献１では、第２の蒸着薄膜層として金属アルミニウムを蒸着した積層体が提案されている。また、透明な基材層の少なくとも一方の面に無機酸化物の蒸着薄膜層、ガスバリア性被覆層を積層した透明ガスバリアフィルムのガスバリア性被膜層面にメタル調印刷層、接着剤層、遮光性シーラント層を順次積層した積層体であって、該メタル調印刷層がバインダー樹脂に対し接着性向上の為の表面処理済みアルミニウム金属粉及び無機系パウダーからなるブロッキング防止剤を混合したインキの被膜からなることを特徴とする遮光性バリア包装材料が提案されている（特許文献２参照）。

特許第４０８５８１４号公報 特開２００５−１７５３号公報

近年、バリアフィルムの用途によっては、ガスバリア性に加えて耐水性、特に耐水密着性も必要であった。本発明者らは、特許文献１に記載の二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム／酸化アルミニウム蒸着層（第１の蒸着薄膜層）／ガスバリア性中間層／金属アルミニウム蒸着層（第２の蒸着薄膜層）の層構成を有する積層体では、耐水密着性に劣るという新たな技術的課題を知見した。また、特許文献２に記載の遮光性バリア包装材料では、メタル調印刷層に無機系パウダーを加えたり、遮光性シーラント層にカーボンブラック等の遮光性付与剤を加えたりする必要があるため、各層間の密着性の問題や、コストの問題等が存在している。

本発明は上記の背景技術および新たな技術的課題に鑑みてなされたものであり、本発明の目的は、ガスバリア性、遮光性、および耐水密着性に優れるバリアフィルムを提供することにある。

本発明者らは、上記課題を解決するために鋭意検討した結果、基材層と、第１の物理気相蒸着層と、バリアコート層と、第２の物理気相蒸着層とをこの順に備えるバリアフィルムにおいて、基材層に酸素プラズマ処理を施した酸素プラズマ処理面を形成し、該酸素プラズマ処理面上に第１の物理気相蒸着層として酸化アルミニウム蒸着膜を形成することで、ガスバリア性、遮光性、および耐水密着性に優れるバリアフィルムを提供できることを知見した。本発明は、かかる知見に基づいて完成されたものである。

すなわち、本発明の一態様によれば、
基材層と、第１の物理気相蒸着層と、バリアコート層と、第２の物理気相蒸着層とをこの順に備えるバリアフィルムであって、
前記基材層に酸素プラズマ処理を施した酸素プラズマ処理面が形成され、
前記酸素プラズマ処理面上に前記第１の物理気相蒸着層が形成され、
前記第１の物理気相蒸着層が、酸化アルミニウム蒸着膜である、バリアフィルムが提供される。

本発明の態様においては、前記第２の物理気相蒸着層が、アルミニウム蒸着膜であることが好ましい。

本発明の態様においては、前記基材フィルムが、二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムであることが好ましい。

本発明の態様においては、前記バリアコート層が、金属アルコキシドと水溶性高分子との樹脂硬化膜であることが好ましい。

本発明の態様においては、前記バリアコート層が、金属酸化物とリン化合物とが反応してなる反応生成物を含む樹脂硬化膜であることが好ましい。

本発明の態様においては、前記バリアコート層が、多価金属化合物によって架橋されたカルボキシル基含有重合体を含む樹脂硬化膜であることが好ましい。

本発明の態様においては、前記バリアフィルムは、温度２３℃および湿度９０％ＲＨの環境下でＪＩＳ Ｋ７１２６法に準拠して測定した酸度透過度が、１．０ｃｃ／ｍ^２・ａｔｍ・ｄａｙ以下であることが好ましい。

本発明の態様においては、前記バリアフィルムは、温度４０℃および湿度１００％ＲＨの環境下でＪＩＳ Ｋ７１２９法に準拠して測定した水蒸気透過度が、１．０ｇ／ｍ^２・ｄａｙ以下であることが好ましい。

本発明の態様においては、前記バリアフィルムは、ＪＩＳ Ｋ７３６１に準拠して測定した全光線透過率が１０％以下であることが好ましい。

本発明の別の態様においては、上記のバリアフィルムを備える、防湿シートが提供される。

本発明の別の態様においては、上記のバリアフィルムを備える、断熱材が提供される。

本発明の別の態様においては、上記のバリアフィルムを備える、包装材料が提供される。

本発明によれば、ガスバリア性、遮光性、および耐水密着性に優れるバリアフィルムを提供することができる。このようなバリアフィルムは、高度なガスバリア性、防湿性、遮光性等を要求される用途、例えば、防湿シート、断熱材、包装材料等に好適に用いることができる。

本発明のバリアフィルムの一実施形態を示した概略断面図である。

＜バリアフィルム＞
本発明によるバリアフィルムは、基材層と、第１の物理気相蒸着層と、バリアコート層と、第２の物理気相蒸着層とをこの順に備えるものである。

バリアフィルムは、温度２３℃および湿度９０％ＲＨの環境下でＪＩＳ Ｋ７１２６法に準拠して測定した酸度透過度が、好ましくは１．００ｃｃ／ｍ^２・ａｔｍ・ｄａｙ以下であり、より好ましくは０．５０ｃｃ／ｍ^２・ａｔｍ・ｄａｙ以下であり、さらに好ましくは０．２０ｃｃ／ｍ^２・ａｔｍ・ｄａｙ以下であり、さらにより好ましくは０．１０ｃｃ／ｍ^２・ａｔｍ・ｄａｙ以下である。酸素透過度が上記数値範囲であれば、好適な酸素バリア性を有しているため、酸素バリア性が要求される様々な用途に利用することができる。なお、酸素透過度は、酸素透過度測定機（ＭＯＣＯＮ社製：ＯＸ−ＴＲＡＮ）を用いて測定することができる。

バリアフィルムは、温度４０℃および湿度１００％ＲＨの環境下でＪＩＳ Ｋ７１２９法に準拠して測定した水蒸気透過度が、好ましくは１．００ｇ／ｍ^２・ｄａｙ以下であり、より好ましくは０．５０ｇ／ｍ^２・ｄａｙ以下であり、さらに好ましくは０．２０ｇ／ｍ^２・ｄａｙ以下であり、さらにより好ましくは０．１０ｇ／ｍ^２・ｄａｙ以下である。
水蒸気透過度が上記数値範囲囲であれば、好適な水蒸気バリア性を有しているため、水蒸気バリア性が要求される様々な用途に利用することができる。なお、水蒸気透過度は、水蒸気透過度測定機（ＭＯＣＯＮ社製：ＰＥＲＭＡＴＲＡＮ）を用いて測定することができる。

バリアフィルムは、ＪＩＳ Ｋ７３６１に準拠して測定した全光線透過率が、好ましくは１０％以下であり、より好ましくは８％以下であり、さらに好ましくは６％以下である。全光線透過率が上記数値範囲内であれば、好適な遮光性を有しているため、遮光性が要求される様々な用途に利用することができる。なお、全光線透過率は、ヘーズメーター（株式会社村上採光研究所製 ＨＭ−１５０）を用いて測定することができる。

バリアフィルムの層構成を、図面を参照しながら説明する。図１に示すバリアフィルム１０は、基材層１１と、第１の物理気相蒸着層１２と、バリアコート層１３と、第２の物理気相蒸着層１４とをこの順に備える。以下、本発明のバリアフィルムを構成する各層について説明する。

（基材層）
本発明のバリアフィルムにおいて使用される基材層としては、特に限定されないが、化学的ないし物理的強度に優れ、化学気相蒸着層を製膜化する条件等に耐え、また、その膜特性を損なうことなく良好に保持し得ることができる樹脂フィルムを使用することができる。具体的には、例えば、ポリエチレン系樹脂あるいはポリプロピレン系樹脂等のポリオレフィン系樹脂、環状ポリオレフィン系樹脂、ポリスチレン系樹脂、アクリロニトリル−スチレン共重合体（ＡＳ樹脂）、アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン共重合体（ＡＢＳ樹脂）、ポリ（メタ）アクリル系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、ポリビニルアルコール系樹脂、エチレン−ビニルエステル共重合体ケン化物、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリエステル系樹脂、各種のナイロン等のポリアミド系樹脂、ポリウレタン系樹脂、アセタール系樹脂、セルロース系樹脂等の各種の樹脂のフィルムを使用することができる。本発明においては、上記の樹脂のフィルムの中でも、特に、ポリエステル系樹脂、ポリオレフィン系樹脂、または、ポリアミド系樹脂のフィルムを使用することが好ましいものである。なお、基材層は、上記樹脂の未延伸フィルムや一軸方向または二軸方向に延伸した樹脂のフィルムなどのいずれのものでも使用することができる。

ポリエステル系樹脂のフィルムとしては一般的な石化燃料由来のポリエチレンテレフタレート以外にも、以下のポリエステルフィルムを使用できる。

（ポリブチレンテレフタレートフィルム（ＰＢＴ））
ポリブチレンテレフタレートフィルムは、熱変形温度が高く、機械的強度、電気的特性にすぐれ、成型加工性も良いことなどから、食品などの内容物を収容する包装袋に用いると、レトルト処理を施す際に包装袋が変形したり、その強度が低下したりすることを抑制することができる。ポリブチレンテレフタレートフィルムは、主成分としてポリブチレンテレフタレート（以下、ＰＢＴとも記す）を含むフィルムであり、好ましく、６０質量％以上のＰＢＴを含む樹脂フィルムである。

（バイオマス由来のポリエステルフィルム）
バイオマス由来のポリエステルフィルムは、ジオール単位とジカルボン酸単位とからなるポリエステルを主成分として含んでなる樹脂組成物からなり、前記樹脂組成物が、ジオール単位がバイオマス由来のエチレングリコールであり、ジカルボン酸単位が化石燃料由来のジカルボン酸であるポリエステルを、樹脂組成物全体に対して、５０〜９５質量％、好ましくは５０〜９０質量％含んでなるものである。

バイオマス由来のエチレングリコールは、サトウキビ、トウモロコシ等のバイオマスを原料として製造されたエタノール（バイオマスエタノール）を原料としたものである。例えば、バイオマスエタノールを、従来公知の方法により、エチレンオキサイドを経由してエチレングリコールを生成する方法等により、バイオマス由来のエチレングリコールを得ることができる。また、市販のバイオマスエチレングリコールを使用してもよく、例えば、インディアグライコール社から市販されているバイオマスエチレングリコールを好適に使用することができる。

ポリエステルのジカルボン酸単位は、化石燃料由来のジカルボン酸を使用する。ジカルボン酸としては、芳香族ジカルボン酸、脂肪族ジカルボン酸、およびそれらの誘導体を使用することができる。芳香族ジカルボン酸としては、テレフタル酸及びイソフタル酸等が挙げられ、芳香族ジカルボン酸の誘導体としては、芳香族ジカルボン酸の低級アルキルエステル、具体的には、メチルエステル、エチルエステル、プロピルエステル及びブチルエステル等が挙げられる。これらの中でも、テレフタル酸が好ましく、芳香族ジカルボン酸の誘導体としては、ジメチルテレフタレートが好ましい。

バイオマス由来のポリエステルフィルムを形成する樹脂組成物中に５〜４５質量％の割合で含まれてもよいポリエステルは、化石燃料由来のポリエステル、化石燃料由来のポリエステル製品のリサイクルポリエステル、バイオマス由来のポリエステル製品のリサイクルポリエステルである。

（リサイクルポリエチレンテレフタレート）
メカニカルリサイクルによりリサイクルされたポリエチレンテレフタレートを含むポリエチレンテレフタレートフィルムで、具体的には、ＰＥＴボトルをメカニカルリサイクルによりリサイクルしたＰＥＴを含み、このＰＥＴは、ジオール成分がエチレングリコールであり、ジカルボン酸成分がテレフタル酸およびイソフタル酸を含む。イソフタル酸成分の含有量は、ＰＥＴを構成する全ジカルボン酸成分中に、０．５モル％以上５モル％以下であることが好ましく、１．０モル％以上２．５モル％以下であることがより好ましい。

ここで、メカニカルリサイクルとは、一般に、回収されたＰＥＴボトル等のポリエチレンテレフタレート樹脂製品を粉砕、アルカリ洗浄してＰＥＴ樹脂製品の表面の汚れ、異物を除去した後、高温・減圧下で一定時間乾燥してＰＥＴ樹脂の内部に留まっている汚染物質を拡散させ除染を行い、ＰＥＴ樹脂からなる樹脂製品の汚れを取り除き、再びＰＥＴ樹脂に戻す方法である。

リサイクルポリエチレンテレフタレートは、リサイクルＰＥＴを５０重量％以上９５重量％以下の割合で含むことが好ましく、ヴァージンＰＥＴを含んでいてもよい。ヴァージンＰＥＴとしては、一般的なジオール成分がエチレングリコールであり、ジカルボン酸成分がテレフタル酸のもの、さらにおよびイソフタル酸を含むものであってもよい。

各種の樹脂のフィルムの膜厚としては、好ましくは６〜２０００μｍ程度、より好ましくは９〜１００μｍ程度が望ましい。

（表面処理）
本発明では、上記の基材層に第１の物理気相蒸着層を形成する前に、予め基材層に酸素プラズマによる表面処理を行う。これによって第１の物理気相蒸着層との接着性を向上させることができる。酸素プラズマによる表面処理としては、例えば、インラインで酸素プラズマ処理を行うことにより、基材層の表面の水分、塵などを除去すると共にその表面の平滑化、活性化等の表面処理を可能とすることができる。本発明では、プラズマ処理としては、プラズマ出力、プラズマガスの種類、プラズマガスの供給量、処理時間、その他の条件を考慮してプラズマ放電処理を行うことが好ましい。また、プラズマを発生する方法としては、直流グロー放電、高周波放電、マイクロ波放電等の装置を使用することができる。また、大気圧プラズマ処理法によりプラズマ処理を行なうこともできる。

基材層への表面処理においては、プラズマガスとしてエチレンガスやアルゴンガスを併用してもよい。エチレンガスを併用することで、表面処理面にダイヤモンドライクカーボンのような膜が形成され、ガスバリア性や耐水密着性をさらに向上させることができる。

（第１の物理気相蒸着層）
本発明によるバリアフィルムを構成する第１の物理気相蒸着層は、物理気相成長法（ＰＶＤ法）により形成される蒸着膜である。本発明において、第１の物理気相蒸着層として酸化アルミニウム蒸着膜を形成することで、ガスバリア性を向上しながら、遮光性を向上させることができる。

物理気相成長法（ＰＶＤ法）としては、例えば、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、イオンクラスタービーム法等が挙げられる。具体的には、例えば、酸化アルミニウムを原料とし、これを加熱して蒸気化し、これを基材層（樹脂フィルム）の酸素プラズマ処理面上に蒸着する真空蒸着法等を用いて酸化アルミニウム蒸着膜を形成することができる。なお、蒸着材料の加熱方式としては、例えば、抵抗加熱方式、高周波誘導加熱方式、エレクトロンビーム加熱方式（ＥＢ）等にて行うことができる。

酸化アルミニウム蒸着膜の膜厚は、好ましくは２０ｎｍ以上５００ｎｍ以下であり、より好ましくは３０ｎｍ以上５００ｎｍ以下であり、より好ましくは４０ｎｍ以上５００ｎｍ以下である。アルミニウム蒸着膜の膜厚が上記範囲内であれば、十分なガスバリア性を発現しながら、遮光性をより向上させることができる。

（バリアコート層）
化学気相蒸着層上に形成するバリアコート層は、ガスバリア性を有する層であり、コーティングによって塗布された塗布膜が、乾燥により硬化した樹脂硬化膜である。

バリアコート層の第１の態様としては、金属アルコキシドの加水分解生成物と水溶性高分子との硬化膜を用いることができる。このバリアコート層は、例えば、下記のガスバリア性塗布膜により形成することができる。ガスバリア性塗布膜は、高温多湿環境下でのガスバリア性を保持する塗膜であり、ガスバリア性塗布膜は、高温多湿環境下でのガスバリア性を保持する塗膜であり、一般式Ｒ^１ _ｎＭ（ＯＲ^２）_ｍ（ただし、式中、Ｒ^１、Ｒ^２は、炭素数１〜８の有機基を表し、Ｍは、金属原子を表し、ｎは、０以上の整数を表し、ｍは、１以上の整数を表し、ｎ＋ｍは、Ｍの原子価を表す。）で表される少なくとも１種以上の金属アルコキシドと、水溶性高分子とを含有し、更に、ゾルゲル法触媒、酸、水、および、有機溶剤の存在下に、ゾルゲル法によって重縮合してなるバリアコート組成物からなる塗布膜である。

上記一般式Ｒ^１ _ｎＭ（ＯＲ^２）_ｍ中、Ｒ^１としては、分岐を有していてもよい炭素数１〜８、好ましくは１〜５、より好ましくは１〜４のアルキル基であり、例えば、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、ｉ−プロピル基、ｎ−ブチル基、ｉ−ブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔ−ブチル基、ｎ−ヘキシル基、ｎ−オクチル基などを挙げることができる。

上記一般式Ｒ^１ _ｎＭ（ＯＲ^２）_ｍ中、Ｒ^２としては、分岐を有していてもよい炭素数１〜８、より好ましくは１〜５、特に好ましくは１〜４のアルキル基であり、例えば、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、ｉ−プロピル基、ｎ−ブチル基、ｓｅｃ−ブチル基等を挙げることができる。なお、同一分子中に複数の（ＯＲ^２）が存在する場合には、（ＯＲ^２）は同一であっても、異なってもよい。

上記一般式Ｒ^１ _ｎＭ（ＯＲ^２）_ｍ中、Ｍで表される金属原子としては、珪素、ジルコニウム、チタン、アルミニウム等を例示することができる。

上記一般式Ｒ^１ _ｎＭ（ＯＲ^２）_ｍで表されるアルコキシドとしては、アルコキシドの部分加水分解物、アルコキシドの加水分解縮合物の少なくとも１種以上を使用することができ、また、上記アルコキシドの部分加水分解物としては、アルコキシ基のすべてが加水分解されるものに限定されず、１個以上が加水分解されているもの、および、その混合物であってもよく、更に、加水分解の縮合物としては、部分加水分解アルコキシドの２量体以上のもの、具体的には、２〜６量体のものを使用してもよい。

本発明では、上記一般式Ｒ^１ _ｎＭ（ＯＲ^２）_ｍで表されるアルコキシドとして、ＭがＳｉであるアルコキシシランを好適に使用することができる。好適なアルコキシシランとしては、例えば、テトラメトキシシランＳｉ（ＯＣＨ_３）_４、テトラエトキシシランＳｉ（ＯＣ_２Ｈ_５）_４、テトラプロポキシシランＳｉ（ＯＣ_３Ｈ_７）_４、テトラブトキシシランＳｉ（ＯＣ_４Ｈ_９）_４、メチルトリメトキシシランＣＨ_３Ｓｉ（ＯＣＨ_３）_３、メチルトリエトキシシランＣＨ_３Ｓｉ（ＯＣ_２Ｈ_５）_３、ジメチルジメトキシシラン（ＣＨ_３）_２Ｓｉ（ＯＣＨ_３）_２、ジメチルジエトキシシラン（ＣＨ_３）_２Ｓｉ（ＯＣ_２Ｈ_５）_２等が挙げられる。本発明において、これらのアルコキシシランの縮重合物も使用することができ、具体的には、例えば、ポリテトラメトキシシラン、ポリテトラエメトキシシラン等を使用することができる。

本発明では、上記一般式Ｒ^１ _ｎＭ（ＯＲ^２）_ｍで表されるアルコキシドとして、ＭがＺｒであるジルコニウムアルコキシドも好適に使用することができる。好適なジルコニウムアルコキシドとしては、例えば、テトラメトキシジルコニウムＺｒ（ＯＣＨ_３）_４、テトラエトキシジルコニウムＺｒ（ＯＣ_２Ｈ_５）_４、テトラｉプロポキシジルコニウムＺｒ（ｉｓｏ−ＯＣ_３Ｈ_７）_４、テトラｎブトキシジルコニウムＺｒ（ＯＣ_４Ｈ_９）_４等を例示することができる。

また、上記一般式Ｒ^１ _ｎＭ（ＯＲ^２）_ｍで表されるアルコキシドとして、ＭがＴｉであるチタニウムアルコキシドも好適に使用することができる。好適なチタニウムアルコキシドとしては、例えば、テトラメトキシチタニウムＴｉ（ＯＣＨ_３）_４、テトラエトキシチタニウムＴｉ（ＯＣ_２Ｈ_５）_４、テトライソプロポキシチタニウムＴｉ（ｉｓｏ−ＯＣ_３Ｈ_７）_４、テトラｎブトキシチタニウムＴｉ（ＯＣ_４Ｈ_９）_４等を例示することができる。

また、上記一般式Ｒ^１ _ｎＭ（ＯＲ^２）_ｍで表されるアルコキシドとして、ＭがＡｌであるアルミニウムアルコキシドも好適に使用することができる。好適なアルミニウムアルコキシドとしては、例えば、テトラメトキシアルミニウムＡｌ（ＯＣＨ_３）_４、テトラエトキシアルミニウムＡｌ（ＯＣ_２Ｈ_５）_４、テトライソプロポキシアルミニウムＡｌ（ｉｓｏ−ＯＣ_３Ｈ_７）_４、テトラｎブトキシアルミニウムＡｌ（ＯＣ_４Ｈ_９）_４等を例示することができる。

本発明では、上記アルコキシドは、２種以上を併用してもよい。例えばアルコキシシランとジルコニウムアルコキシドを混合して用いると、得られるバリアフィルムの靭性、耐熱性等を向上させることができる。また、アルコキシシランとチタニウムアルコキシドを混合して用いると、得られるガスバリア性塗布膜の熱伝導率が低くなり、耐熱性が著しく向上する。

本発明で使用する水溶性高分子は、ポリビニルアルコール系樹脂、またはエチレン・ビニルアルコ一ル共重合体を単独で各々使用することができ、あるいは、ポリビニルアルコ一ル系樹脂およびエチレン・ビニルアルコール共重合体を組み合わせて使用することができる。本発明では、ポリビニルアルコール系樹脂および／またはエチレン・ビニルアルコール共重合体を使用することにより、ガスバリア性、耐水性、耐候性、その他等の物性を著しく向上させることができる。

ポリビニルアルコ一ル系樹脂としては、一般に、ポリ酢酸ビニルをケン化して得られるものを使用することができる。ポリビニルアルコール系樹脂としては、酢酸基が数十％残存している部分ケン化ポリビニルアルコール系樹脂でも、酢酸基が残存しない完全ケン化ポリビニルアルコールでも、ＯＨ基が変性された変性ポリビニルアルコール系樹脂でもよく、特に限定されるものではない。

エチレン・ビニルアルコール共重合体としては、エチレンと酢酸ビニルとの共重合体のケン化物、すなわち、エチレン−酢酸ビニルランダム共重合体をケン化して得られるものを使用することができる。例えば、酢酸基が数十モル％残存している部分ケン化物から、酢酸基が数モル％しか残存していないかまたは酢酸基が残存しない完全ケン化物まで含み、特に限定されるものではない。ただし、ガスバリア性の観点から好ましいケン化度は、８０モル％以上、より好ましくは、９０モル％以上、さらに好ましくは、９５モル％以上であるものを使用することが好ましい。なお、上記エチレン・ビニルアルコール共重合体中のエチレンに由来する繰り返し単位の含量（以下「エチレン含量」ともいう）は、通常、０〜５０モル％、好ましくは、２０〜４５モル％であるものことが好ましい。

また、バリアコート層にシランカップリング剤を添加してもよい。例えば、メトキシ基、エトキシ基のようなアルコキシ基、アセトキシ基、アミノ基、エポキシ基などの反応基を有するシランカップリング剤が、使用できる。具体的には、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルジメチルメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルジメチルエトキシシラン、あるいは、β−（３、４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン等を使用することができる。

更に、上記のバリアコート組成物において用いられる有機溶媒としては、例えば、メチルアルコール、エチルアルコール、ｎ−プロピルアルコール、イソプロピルアルコール、ｎ−ブタノール等を用いることができる。なお、上記ポリビニルアルコール系樹脂および／またはエチレン・ビニルアルコール共重合体は、上記アルコキシドやシランカップリング剤などを含む塗工液中で溶解した状態で取り扱われることが好ましく、上記有機溶媒の中から適宜選択することができる。例えば、ポリビニルアルコール系樹脂とエチレン・ビニルアルコール共重合体とを組み合わせて使用する場合には、ｎ−ブタノールを使用することが好ましい。

バリアコート層は、以下の方法で製造することができる。まず、上記金属アルコキシド、必要に応じてシランカップリング剤、水溶性高分子、ゾルゲル法触媒、酸、水、有機溶媒等を混合し、バリアコート組成物（バリアコート液）を調製する。

次いで、該バリアコート組成物を上記化学気相蒸着層の上に塗布する。バリアコート組成物を塗布する方法としては、例えば、グラビアロールコーターなどのロールコート、スプレーコート、スピンコート、ディッピング、刷毛、バーコード、アプリケータ等の塗布手段により、１回あるいは複数回の塗布で、乾燥膜厚が、０．０１〜３０μｍ、好ましくは、０．１〜１０μｍ位の塗布膜を形成することができる。

次いで、上記バリアコート組成物を塗布したフィルムを１２０℃〜２００℃、かつバリアフィルムの基材フィルムの樹脂フィルムの融点以下の温度、好ましくは１３０℃〜１８０℃、より好ましくは１４０℃〜１６０℃の範囲の温度で、３秒〜１０分間加熱・乾燥する。これによって、重縮合が行われ、バリアコート層を形成することができる。また、上記バリアコート組成物を化学気相蒸着層の上に重ねて塗布して塗布膜を２層以上重層し、１２０℃〜２００℃、かつ、上記樹脂基材の融点以下の温度で３秒〜１０分間加熱乾燥処理して、バリアコート層を２層以上重層した複合ポリマー層を形成してもよい。以上により、上記バリアコート組成物によるバリアコート層を１層ないし２層以上形成することができる。

バリアコート層の厚さは、特に限定されないが、好ましくは１０ｎｍ以上５０００ｎｍ以下であり、より好ましくは５０ｎｍ以上１０００ｎｍ以下であり、さらに好ましくは１００ｎｍ以上５００ｎｍ以下であり、さらにより好ましくは１５０ｎｍ以上４００ｎｍ以下である。バリアコート層の厚さが上記範囲程度であれば、ガスバリア性が発現できて、かつ柔軟性を備えた層として化学気相蒸着層の表面を被覆することができる。

バリアコート層の第２の態様としては、金属酸化物とリン化合物とが反応してなる反応生成物を含む樹脂硬化膜を用いることができる。この樹脂硬化膜はガスバリア性を有し、８００〜１４００ｃｍ-1の範囲における赤外線吸収スペクトルの赤外線吸収が最大となる波数が１０８０〜１１３０ｃｍ-1の範囲にあるものである。

前記反応生成物において、金属酸化物を構成する金属原子（Ｍ）とリン原子（Ｐ）とが酸素原子（Ｏ）を介して結合したＭ−Ｏ−Ｐで表される結合が生成すると、Ｍ−Ｏ−Ｐの結合に基づく吸収ピークが、１０８０〜１１３０ｃｍ-1の範囲に８００〜１４００ｃｍ-1の領域における最大吸収波数の吸収ピークとして現れるものと考えられている。

この赤外線吸収スペクトルは、バリアコート層の表面を全反射測定法で測定するか、または、バリアコート層をかき取った成分の赤外線吸収スペクトルをＫＢｒ法で測定することによって得ることができる。

金属酸化物は、マグネシウム、カルシウム、アルミニウム、ケイ素、チタン、ジルコニウム等の酸化物である。

そして、金属酸化物は、当該金属原子を含む化合物を加水分解して得ることができ、金属酸化物を加水分解によって生成することができる化合物としては、塩化アルミニウム、アルミニウムトリエトキシド、アルミニウムトリノルマルプロポキシド、アルミニウムトリイソプロポキシド、アルミニウムトリノルマルブトキシド、アルミニウムトリｓ−ブトキシド、アルミニウムトリｔ−ブトキシド、アルミニウムトリアセテート、アルミニウムアセチルアセトネート、硝酸アルミニウム、チタンテトライソプロポキシド、チタンテトラノルマルブトキシド、チタンテトラ（２−エチルヘキソキシド）、チタンテトラメトキシド、チタンテトラエトキシド、チタンアセチルアセトネート、ジルコニウムテトラノルマルプロポキシド、ジルコニウムテトラブトキシド、ジルコニウムテトラアセチルアセトネート等の１種類を単独で使用してもよいし、２種類以上を併用してもよい。

リン化合物は、ハロゲン原子または酸素原子がリン原子に直接結合した構造を有するものを用いることができる。具体的には、リン酸、ポリリン酸、亜リン酸、ホスホン酸およびそれらの誘導体であり、ポリリン酸としては、ピロリン酸、三リン酸、４つ以上のリン酸が縮合したポリリン酸などであり、誘導体の例としては、リン酸、ポリリン酸、亜リン酸、ホスホン酸の、塩、（部分）エステル化合物、ハロゲン化物（塩化物等）、脱水物（五酸化ニリン等）などである。

反応生成物は、金属酸化物とリン化合物とを混合し反応させることにより形成することができる。その際、混合されるリン化合物は、そのものの形態或いはリン化合物と添加樹脂を含む組成物の形態でも良い。

このような添加樹脂は、ポリビニルアルコール、ポリ酢酸ビニルの部分けん化物、ポリエチレングリコール、ポリヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、ポリアクリル酸、ポリメタクリル酸、ポリ（アクリル酸／メタクリル酸）およびそれらの塩、エチレン−ビニルアルコール共重合体、エチレン−無水マレイン酸共重合体、スチレン−無水マレイン酸共重合体、イソブチレン−無水マレイン酸交互共重合体、エチレン−アクリル酸共重合体、エチレン−アクリル酸エチル共重合体のけん化物などである。

本発明においては、このバリアコート層は化学気相蒸着層に、金属酸化物とリン化合物が混合した塗布液をコーティングし、乾燥することで積層することができ、その厚さは、０．０５〜１μｍである。

なお、前記塗布液は、まず、金属酸化物を加水分解によって生成することができる化合物を分散・溶解して金属酸化物が生成した水溶液を、リン化合物を分散・溶解した溶媒、或いはリン化合物と添加樹脂を含む組成物を分散・溶解した溶媒に加えることで作ることができる。

バリアコート層の第３の態様としては、多価金属化合物によって架橋されたカルボキシル基含有重合体を含む樹脂硬化膜を用いることができる。この樹脂硬化膜はガスバリア性を有する。

カルボキシル基含有重合体は、カルボキシル基を２個以上含有する重合体であって、具体的には、ポリアクリル酸、ポリメタクリル酸、アクリル酸とメタクリル酸との共重合体、あるいはこれらの２種以上の混合物である。

多価金属化合物は、ベリリウム、マグネシウム、カルシウム、チタン、ジルコニウム、クロム、マンガン、鉄、コバルト、ニッケル、銅、亜鉛、アルミニウムの金属化合物およびそれらの酸化物、炭酸塩、有機酸塩である。これら酸化物、炭酸塩としては、酸化亜鉛、酸化マグネシウム、酸化銅、酸化ニッケル、酸化コバルトなどの酸化物；炭酸カルシウムなどの炭酸塩；乳酸カルシウム、乳酸亜鉛、アクリル酸カルシウムなどの有機酸塩である。多価金属化合物によって架橋されたカルボキシル基含有重合体を含む樹脂膜は、カルボキシル基含有重合体と多価金属化合物を混合した樹脂硬化膜として作ることができる。

また、この樹脂膜の別の形態としては、カルボキシル基含有重合体を含む樹脂層に隣接して多価金属化合物を含む層を積層した２層構成とすることで、作ることができる。カルボキシル基含有重合体を含む樹脂層が、離接している多価金属化合物を含む層から移行した多価金属イオンによってイオン架橋されて、硬化樹脂膜となる。

カルボキシル基含有重合体を含む樹脂層には、カルボキシル基を２個以上含有する重合体のほか、ポリビニールアルコール、グリセリンのようなポリアルコール類を含むことができる。そして、カルボキシル基を２個以上含有する重合体とポリビニールアルコールは、９９：１〜２０：８０の重量比で混合される。

多価金属化合物を含む層は、上述した金属化合物を、混合用樹脂のアルキド樹脂、メラミン樹脂、アクリル樹脂、ウレタン樹脂、ニトロセルロース、エポキシ樹脂、ポリエステル樹脂、フェノール樹脂、アミノ樹脂、フッ素樹脂、イソシアネートの群から選ばれた少なくとも一種の樹脂に混在させた層である。多価金属化合物と樹脂との重量割合（金属化合物／樹脂）は、０．０１〜１０００である。多価金属化合物は、平均粒径が１５ｎｍ〜５００ｎｍの粒子の形で樹脂層に混在している。

本発明においては、このバリアコート層は化学気相蒸着層に、カルボキシル基含有重合体と多価金属化合を混合した樹脂を水、メチルアルコール、エチルアルコール、イソプロピルアルコールなどのアルコール類；Ｎ，Ｎ−ジメチルスルホキシド、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、アセトン、メチルエチルケトン、ジエチルエーテル、ジオキサン、テトラヒドロフラン、酢酸エチル、酢酸ブチルの単体あるいは混合液に分散・溶解した塗布液をコーティングし、乾燥することで積層することができ、その厚さは、０．１〜１０μｍである。

別の方法としては、化学気相蒸着層に、まず、カルボキシル基含有重合体を含有する層を積層する。この積層は、カルボキシル基含有重合体とその他必要な添加物を、水、メチルアルコール、エチルアルコール、イソプロピルアルコールなどのアルコール類；Ｎ，Ｎ−ジメチルスルホキシド、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミドなどの溶媒に溶解または分散させた塗布液をコーティングし、乾燥することでなされ、その厚さは、０．１〜１０μｍである。

次に、多価金属化合物と樹脂を、前記溶媒のほか、アセトン、メチルエチルケトン、ジエチルエーテル、ジオキサン、テトラヒドロフラン、酢酸エチル、酢酸ブチルなどの溶媒に溶解または分散させた塗布液を用いて、カルボキシル基含有重合体を含む樹脂層のコーティングし乾燥することで、多価金属化合物を含む層を、厚さ０．１〜１０μｍで積層する。

このようにカルボキシル基含有重合体を含む樹脂層上に多価金属化合物を含む層を積層することにより、多価金属化合物を含む層から移行した多価金属イオンによってカルボキシル基含有重合体イオン架橋されて、樹脂硬化膜となる。多価金属イオンの移行促進のため、２層を形成した後に、３０〜１３０度の加温環境下でエージングを行うことがある。

（表面処理）
本発明においては、バリアコート層上にさらに表面処理を行い、第２の物理気相蒸着層との接着性を向上させることもできる。このような表面処理としては、コロナ放電処理、オゾン処理、酸素ガス若しくは窒素ガス等を用いた低温プラズマ処理、グロー放電処理、化学薬品等を用いて処理する酸化処理等の前処理などがある。

このような表面処理の中でも、特に、コロナ処理やプラズマ処理を行うことが好適である。例えばプラズマ処理としては、気体をアーク放電により電離させることにより生じるプラズマガスを利用して表面改質を行なうプラズマ処理がある。プラズマガスとしては、上記のほかに、酸素ガス、窒素ガス、アルゴンガス、ヘリウムガス等の無機ガスを使用することができる。例えば、インラインでプラズマ処理を行うことにより、基材層の表面の水分、塵などを除去すると共にその表面の平滑化、活性化等の表面処理を可能とすることができる。また、蒸着後にプラズマ処理を行い、接着性を向上させることもできる。本発明では、プラズマ処理としては、プラズマ出力、プラズマガスの種類、プラズマガスの供給量、処理時間、その他の条件を考慮してプラズマ放電処理を行うことが好ましい。また、プラズマを発生する方法としては、直流グロー放電、高周波放電、マイクロ波放電等の装置を使用することができる。また、大気圧プラズマ処理法によりプラズマ処理を行なうこともできる。

（第２の物理気相蒸着層）
本発明によるバリアフィルムを構成する第２の物理気相蒸着層は、物理気相成長法（ＰＶＤ法）により形成される蒸着膜である。本発明において、第２の物理気相蒸着層としてアルミニウム蒸着膜を形成することが好ましい。第２の物理気相蒸着層としてアルミニウム蒸着膜を形成することで、ガスバリア性を向上しながら、遮光性を向上させることができる。

物理気相成長法（ＰＶＤ法）としては、例えば、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、イオンクラスタービーム法等が挙げられる。具体的には、例えば、アルミニウムを原料とし、これを加熱して蒸気化し、これを基材層（樹脂フィルム）の一方の上に蒸着する真空蒸着法等を用いて蒸着膜を形成することができる。なお、蒸着材料の加熱方式としては、例えば、抵抗加熱方式、高周波誘導加熱方式、エレクトロンビーム加熱方式（ＥＢ）等にて行うことができる。

アルミニウム蒸着膜の膜厚は、好ましくは２０ｎｍ以上５００ｎｍ以下であり、より好ましくは３０ｎｍ以上５００ｎｍ以下であり、より好ましくは４０ｎｍ以上５００ｎｍ以下である。アルミニウム蒸着膜の膜厚が上記範囲内であれば、十分なガスバリア性を発現しながら、遮光性をより向上させることができる。

＜用途＞
本発明によるバリアフィルムは、高度なガスバリア性、遮光性、耐水密着性等を要求される様々な分野の製品に適用することができる。例えば、防湿シート、断熱材、包装材料、医療器具等の製品が挙げられる。これらの製品に用いられる場合には、本発明のバリアフィルムからなるバリア層を備えることで、ガスバリア性、遮光性、耐水密着性を向上させることができる。

＜バリアフィルムの製造＞
［実施例１］
基材層として、厚さ１２μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムを準備した。次に、該ＰＥＴフィルムに酸素プラズマによる表面処理を下記の条件で実施した。
（プラズマ処理条件）
・投入電力 ０．３ｋＷ
・ガス組成 Ｏ_２
・ガス流量 ９００ｓｃｃｍ
・チャンバー圧力 ３Ｐａ
・フィルム搬送速度 ４ｍ／ｍｉｎ

続いて、該ＰＥＴフィルムをプラズマ化学気相成長装置の送り出しロールに装着し、次いで、該ＰＥＴフィルムの酸素プラズマ処理面上に、下記条件において真空蒸着法の加熱手段として反応性抵抗加熱方式により、厚さ２０ｎｍの酸化アルミニウム蒸着膜（第１の物理気相蒸着層）を形成した。
（酸化アルミニウム成膜条件）
・真空度：８．１×１０^−２Ｐａ

また、表１に示す組成に従って、調製した組成Ａの混合液に、予め調製した組成Ｂの加水分解液を加えて攪拌し、無色透明のバリアコート組成物を得た。

次に、酸化アルミニウム蒸着膜上に、上記で調製したバリアコート組成物をダイレクトグラビア法によりコーティングした。その後、１４０℃で６０秒間、加熱処理して、厚さ０．３μｍ（乾操状態）のバリアコート層を形成した。

続いて、バリアコート層上に、グロー放電プラズマ発生装置を使用し、アルゴン１．０ｓｌｍ、電流２０Ａを加えて、プラズマ処理を施した。その後、該プラズマ処理面に、原料としてアルミニウムを用いて、エレクトロンビーム加熱方式の真空蒸着法によって、真空チャンバー内の真空度を２×１０^−４ｍｂａｒとし、蒸着チャンバー内の真空度を２．０×１０^−２ｍｂａｒの条件で、厚さ４０ｎｍのアルミニウム蒸着膜（物理気相蒸着層）を形成して、バリアフィルム（層構成：ＰＥＴ（酸素プラズマ処理面）／酸化アルミニウム蒸着膜（第１の物理気相蒸着層）／バリアコート層／アルミニウム蒸着膜（第２の物理気相蒸着層））を得た。

［実施例２］
酸化アルミニウム蒸着膜（第１の物理気相蒸着層）の厚さを４０ｎｍに変更した以外は、実施例１と同様にして、バリアフィルム（層構成：ＰＥＴ（酸素プラズマ処理面）／酸化アルミニウム蒸着膜（第１の物理気相蒸着層）／バリアコート層／アルミニウム蒸着膜（第２の物理気相蒸着層））を得た。

［比較例１］
基材層として、厚さ１２μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムを準備した。続いて、該ＰＥＴフィルム上にグロー放電プラズマ発生装置を使用し、アルゴン１．０ｓｌｍ、電流２０Ａを加えて、プラズマ処理を施した。その後、該プラズマ処理面に、原料としてアルミニウムを用いて、エレクトロンビーム加熱方式の真空蒸着法によって、真空チャンバー内の真空度を２×１０^−４ｍｂａｒとし、蒸着チャンバー内の真空度を２．０×１０^−２ｍｂａｒの条件で、厚さ４０ｎｍのアルミニウム蒸着膜（物理気相蒸着層）を形成して、バリアフィルム（層構成：ＰＥＴ／アルミニウム蒸着膜（物理気相蒸着層））を得た。

［比較例２］
基材層として、厚さ１２μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムを準備した。続いて、該ＰＥＴフィルム上にグロー放電プラズマ発生装置を使用し、アルゴン１．０ｓｌｍ、電流２０Ａを加えて、プラズマ処理を施した。その後、該プラズマ処理面に、原料としてアルミニウムとを用いて、エレクトロンビーム加熱方式の真空蒸着法によって、真空チャンバー内の真空度を２×１０^−４ｍｂａｒとし、蒸着チャンバー内の真空度を２．０×１０^−２ｍｂａｒの条件で昇華させ、酸素ガス１０ｓｌｍと混合して、厚さ２０ｎｍの酸化アルミニウム蒸着膜（物理気相蒸着層）を形成した。

次に、酸化アルミニウム蒸着膜上に、実施例１と同様にしてバリアコート層を形成した。

続いて、バリアコート層上に、グロー放電プラズマ発生装置を使用し、アルゴン１．０ｓｌｍ、電流２０Ａを加えて、プラズマ処理を施した。その後、該プラズマ処理面に、原料として酸化アルミニウムを用いて、エレクトロンビーム加熱方式の真空蒸着法によって、真空チャンバー内の真空度を２×１０^−４ｍｂａｒとし、蒸着チャンバー内の真空度を２．０×１０^−２ｍｂａｒの条件で昇華させ、酸素ガス１０ｓｌｍと混合して、厚さ２０ｎｍの酸化アルミニウム蒸着膜（物理気相蒸着層）を形成して、バリアフィルム（層構成：ＰＥＴ／酸化アルミニウム蒸着膜（物理気相蒸着層）／バリアコート層／酸化アルミニウム蒸着膜（物理気相蒸着層））を得た。

［比較例３］
物理気相蒸着層として、アルミニウム蒸着膜の代わりに酸化アルミニウム蒸着膜を形成した以外は、実施例１と同様にして、バリアフィルム（層構成：ＰＥＴ／酸化珪素蒸着膜（化学気相蒸着層）／バリアコート層／酸化アルミニウム蒸着膜（物理気相蒸着層））を得た。

［比較例４］
物理気相蒸着層として、酸化アルミニウム蒸着膜の代わりにアルミニウム蒸着膜を形成した以外は、比較例２と同様にして、バリアフィルム（層構成：ＰＥＴ／酸化アルミニウム蒸着膜（物理気相蒸着層）／バリアコート層／アルミニウム蒸着膜（物理気相蒸着層））を得た。

＜バリアフィルムの性能評価＞
上記の実施例および比較例で製造したバリアフィルムに下記の測定を行った。

（酸素透過度の測定）
バリアフィルムについて、温度２３℃および湿度９０％ＲＨの環境下で、酸素透過度測定装置（ＭＯＣＯＮ社製：ＯＸ−ＴＲＡＮ）を用いて、ＪＩＳ Ｋ７１２６に準拠して、酸素透過度（ｃｃ／ｍ^２・ａｔｍ・ｄａｙ）を測定した。測定結果を表２に示した。

（水蒸気透過度の測定）
バリアフィルムについて、温度４０℃および湿度１００％ＲＨの環境下で、水蒸気透過度測定機（ＭＯＣＯＮ社製：ＰＥＲＭＡＴＲＡＮ）を用いて、ＪＩＳ Ｋ７１２９に準拠して、温水蒸気透過度（ｇ／ｍ^２・ｄａｙ）を測定した。測定結果を表２に示した。

（全光線透過率の測定）
バリアフィルムについて、濁度計（日本電色工業（株）製）を用い、ＪＩＳ Ｋ７３６１−１に準拠して、全光線透過率（％）を測定した。測定結果を表２に示した。

＜ラミネートフィルムの作製＞
まず、ポリエステルを主成分とする主剤、脂肪族系ポリイソシアネートを含む硬化剤、および酢酸エチルを、重量配合比が主剤：硬化剤：酢酸エチル＝１０：１：１４となるように混合し、２液硬化型のポリエステルウレタン系接着剤を調製した。

続いて、該ポリエステルウレタン系接着剤を用いて、上記のバリアフィルムの物理気相蒸着層面と被着体（無延伸ポリプロピレンフィルム７０ＭＣ）とを貼り合わせて、ラミネートフィルムを得た。

また、上記で得られたラミネートフィルムを温度６０℃および湿度９０％ＲＨの環境下で１２０時間保存した。

（耐水密着性の評価）
上記で得られたラミネートフィルムおよび高湿度環境下で保存後のラミネートフィルムについて、それぞれ、バリアフィルム／被着体界面で予め一部剥離したサンプル片を作成し、水道水に１分間浸した。その後、引張り試験機（テンシロン万能試験機ＲＴＣ１３１０Ａ、オリエンテック社製）を用いて、測定速度５０ｍｍ／ｍｉｎでＴ字剥離を行い、耐水接着強度（Ｎ／１５ｍｍ）を測定した。測定結果を表２に示した。

（ラミネートフィルムの評価）
上記で得られたラミネートフィルムおよび高湿度環境下で保存後のラミネートフィルムについて、バリアフィルムの性能評価と同様にして、酸素透過度、水蒸気透過度、および全光線透過率を測定した。測定結果を表２に示した。

１０ バリアフィルム
１１ 基材層
１２ 第１の物理気相蒸着層
１３ バリアコート層
１４ 第２の物理気相蒸着層

Claims (12)

1. 基材層と、第１の物理気相蒸着層と、バリアコート層と、第２の物理気相蒸着層とをこの順に備えるバリアフィルムであって、
   前記基材層に酸素プラズマ処理を施した酸素プラズマ処理面が形成され、
   前記酸素プラズマ処理面上に前記第１の物理気相蒸着層が形成され、
   前記第１の物理気相蒸着層が、酸化アルミニウム蒸着膜である、バリアフィルム。
2. 前記第２の物理気相蒸着層が、アルミニウム蒸着膜である、請求項１に記載のバリアフィルム。
3. 前記基材フィルムが、二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムである、請求項１または２に記載のバリアフィルム。
4. 前記バリアコート層が、金属アルコキシドと水溶性高分子との樹脂硬化膜である、請求項１〜３のいずれか一項に記載のバリアフィルム。
5. 前記バリアコート層が、金属酸化物とリン化合物とが反応してなる反応生成物を含む樹脂硬化膜である、請求項１〜３のいずれか一項に記載のバリアフィルム。
6. 前記バリアコート層が、多価金属化合物によって架橋されたカルボキシル基含有重合体を含む樹脂硬化膜である、請求項１〜３のいずれか一項に記載のバリアフィルム。
7. 温度２３℃および湿度９０％ＲＨの環境下でＪＩＳ Ｋ７１２６法に準拠して測定した酸度透過度が、１．０ｃｃ／ｍ^２・ａｔｍ・ｄａｙ以下である、請求項１〜６のいずれか一項に記載のバリアフィルム。
8. 温度４０℃および湿度１００％ＲＨの環境下でＪＩＳ Ｋ７１２９法に準拠して測定した水蒸気透過度が、１．０ｇ／ｍ^２・ｄａｙ以下である、請求項１〜７のいずれか一項に記載のバリアフィム。
9. ＪＩＳ Ｋ７３６１に準拠して測定した全光線透過率が１０％以下である、請求項１〜８のいずれか一項に記載のバリアフィム。
10. 請求項１〜９のいずれか一項に記載のバリアフィルムを備える、防湿シート。
11. 請求項１〜９のいずれか一項に記載のバリアフィルムを備える、断熱材。
12. 請求項１〜９のいずれか一項に記載のバリアフィルムを備える、包装材料。

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