JP2020182365A - 圧電駆動装置の制御方法、圧電駆動装置およびロボット - Google Patents
圧電駆動装置の制御方法、圧電駆動装置およびロボット Download PDFInfo
- Publication number
- JP2020182365A JP2020182365A JP2019086366A JP2019086366A JP2020182365A JP 2020182365 A JP2020182365 A JP 2020182365A JP 2019086366 A JP2019086366 A JP 2019086366A JP 2019086366 A JP2019086366 A JP 2019086366A JP 2020182365 A JP2020182365 A JP 2020182365A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- drive
- signal
- piezoelectric element
- drive signal
- duty ratio
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 40
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 claims abstract description 84
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 claims abstract description 54
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 56
- 230000008602 contraction Effects 0.000 claims description 30
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 claims description 19
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 12
- 239000000725 suspension Substances 0.000 claims description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 80
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 19
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 13
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 12
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 12
- 230000008859 change Effects 0.000 description 11
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 11
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 10
- 230000006870 function Effects 0.000 description 6
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 5
- 239000012636 effector Substances 0.000 description 4
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 4
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 3
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 230000004044 response Effects 0.000 description 3
- WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-pyrazole-3-carboxylic acid Chemical compound CC1=CC(C(O)=O)=NN1 WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 229910052454 barium strontium titanate Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000013590 bulk material Substances 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 2
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 2
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 2
- 238000003980 solgel method Methods 0.000 description 2
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 1
- 239000002033 PVDF binder Substances 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WOIHABYNKOEWFG-UHFFFAOYSA-N [Sr].[Ba] Chemical compound [Sr].[Ba] WOIHABYNKOEWFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VNSWULZVUKFJHK-UHFFFAOYSA-N [Sr].[Bi] Chemical compound [Sr].[Bi] VNSWULZVUKFJHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 description 1
- JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N bismuth atom Chemical compound [Bi] JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N dioxido(oxo)titanium;lead(2+) Chemical compound [Pb+2].[O-][Ti]([O-])=O NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229920002981 polyvinylidene fluoride Polymers 0.000 description 1
- UKDIAJWKFXFVFG-UHFFFAOYSA-N potassium;oxido(dioxo)niobium Chemical compound [K+].[O-][Nb](=O)=O UKDIAJWKFXFVFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 229910052706 scandium Inorganic materials 0.000 description 1
- SIXSYDAISGFNSX-UHFFFAOYSA-N scandium atom Chemical compound [Sc] SIXSYDAISGFNSX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J13/00—Devices or arrangements of selective printing mechanisms, e.g. ink-jet printers or thermal printers, specially adapted for supporting or handling copy material in short lengths, e.g. sheets
- B41J13/0009—Devices or arrangements of selective printing mechanisms, e.g. ink-jet printers or thermal printers, specially adapted for supporting or handling copy material in short lengths, e.g. sheets control of the transport of the copy material
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J19/00—Character- or line-spacing mechanisms
- B41J19/18—Character-spacing or back-spacing mechanisms; Carriage return or release devices therefor
- B41J19/20—Positive-feed character-spacing mechanisms
- B41J19/202—Drive control means for carriage movement
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J23/00—Power drives for actions or mechanisms
- B41J23/02—Mechanical power drives
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J25/00—Actions or mechanisms not otherwise provided for
- B41J25/304—Bodily-movable mechanisms for print heads or carriages movable towards or from paper surface
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J29/00—Details of, or accessories for, typewriters or selective printing mechanisms not otherwise provided for
- B41J29/38—Drives, motors, controls or automatic cut-off devices for the entire printing mechanism
- B41J29/393—Devices for controlling or analysing the entire machine ; Controlling or analysing mechanical parameters involving printing of test patterns
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/0005—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
- H02N2/001—Driving devices, e.g. vibrators
- H02N2/003—Driving devices, e.g. vibrators using longitudinal or radial modes combined with bending modes
- H02N2/004—Rectangular vibrators
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/0005—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
- H02N2/0075—Electrical details, e.g. drive or control circuits or methods
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/06—Drive circuits; Control arrangements or methods
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/103—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors by pressing one or more vibrators against the rotor
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/14—Drive circuits; Control arrangements or methods
- H02N2/145—Large signal circuits, e.g. final stages
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Robotics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
Description
駆動用圧電素子を有し、前記駆動用圧電素子に周期信号を含む駆動信号が印加されることにより振動する振動体と、
前記振動体の振動により駆動される被駆動部と、
目標パルスデューティー比に基づいて生成されるパルス信号を用いて前記駆動信号を生成する駆動信号生成部と、を有し、
前記駆動信号生成部は、前記駆動用圧電素子に生じる電圧振幅を検出し、前記電圧振幅に基づいて前記目標パルスデューティー比を生成する圧電駆動装置の制御方法であって、
前記駆動信号は、前記周期信号を出力する出力期間と、前記周期信号の出力を中断する中断期間と、で構成されている間欠信号を含み、
前記出力期間における前記電圧振幅を出力期間電圧振幅とし、前記中断期間における前記電圧振幅を中断期間電圧振幅とするとき、
前記駆動信号生成部は、前記出力期間電圧振幅を検出し、前記中断期間電圧振幅を検出しないことを特徴とする。
まず、第1実施形態に係る圧電駆動装置について説明する。
図14に示すように、第1駆動信号48を間欠にすると、第1駆動信号48の振幅の平均値を下げることができる。図14では、説明の便宜のため、正弦波のような周期信号PSの波形が連続する連続信号48Aと、周期信号PSが間欠になっている間欠信号48Bと、を含む第1駆動信号48について図示している。つまり、図14は、連続信号48Aが途中から間欠信号48Bへと変化している例である。
図18に示す第1電圧検出部752は、電圧値抽出部7522と、平均化処理部7524と、を有している。電圧値抽出部7522は、A/Dコンバーターの機能を有しており、図19に示す一定のサンプリング間隔tで出力期間電圧振幅484に含まれた電圧値をサンプリングする。
なお、固定値Fは、0であっても、0以外であってもよい。
なお、第1電圧検出部752、第2電圧検出部832および第3電圧検出部1192の制御方法は、いずれも略同じである。以下では、第1電圧検出部752の制御方法について説明し、第2電圧検出部832および第3電圧検出部1192の制御方法については、その説明を省略する。
次に、圧電モーターを備えるロボットの実施形態について説明する。
図22に示すロボット171は、精密機器やこれを構成する部品の給材、除材、搬送および組立等の作業を行うことができる。ロボット171は、6軸ロボットであり、床や天井に固定されるベース172と、ベース172に回動自在に連結された第1アーム173と、第1アーム173に回動自在に連結された第2アーム174と、第2アーム174に回動自在に連結された第3アーム175と、を有する。さらに、ロボット171は、第3アーム175に回動自在に連結された第4アーム176と、第4アーム176に回動自在に連結された第5アーム177と、第5アーム177に回動自在に連結された第6アーム178と、これら第1アーム173〜第6アーム178の駆動を制御する制御装置181と、を有する。
次に、圧電モーターを備えるプリンターの実施形態について説明する。
図23に示すプリンター191は、装置本体192と、装置本体192の内部に設けられている印刷機構193、給紙機構194及び制御装置195と、を備えている。また、装置本体192には、記録用紙196を設置するトレイ197と、記録用紙196を排出する排紙口198と、液晶ディスプレイ等の操作パネル201とが設けられている。
このように、プリンター191は、前述した圧電モーター1を有する。
Claims (10)
- 駆動用圧電素子を有し、前記駆動用圧電素子に周期信号を含む駆動信号が印加されることにより振動する振動体と、
前記振動体の振動により駆動される被駆動部と、
目標パルスデューティー比に基づいて生成されるパルス信号を用いて前記駆動信号を生成する駆動信号生成部と、を有し、
前記駆動信号生成部は、前記駆動用圧電素子に生じる電圧振幅を検出し、前記電圧振幅に基づいて前記目標パルスデューティー比を生成する圧電駆動装置の制御方法であって、
前記駆動信号は、前記周期信号を出力する出力期間と、前記周期信号の出力を中断する中断期間と、で構成されている間欠信号を含み、
前記出力期間における前記電圧振幅を出力期間電圧振幅とし、前記中断期間における前記電圧振幅を中断期間電圧振幅とするとき、
前記駆動信号生成部は、前記出力期間電圧振幅を検出し、前記中断期間電圧振幅を検出しないことを特徴とする圧電駆動装置の制御方法。 - 前記駆動用圧電素子は、前記振動体を伸縮振動させる伸縮圧電素子、および、前記振動体を屈曲振動させる屈曲圧電素子、を含み、
前記駆動信号生成部は、前記屈曲圧電素子に生じる前記中断期間電圧振幅を検出しない請求項1に記載の圧電駆動装置の制御方法。 - 前記駆動用圧電素子は、前記振動体を伸縮振動させる伸縮圧電素子、および、前記振動体を屈曲振動させる屈曲圧電素子、を含み、
前記駆動信号生成部は、前記伸縮圧電素子に生じる前記中断期間電圧振幅を検出しない請求項1に記載の圧電駆動装置の制御方法。 - 前記駆動信号生成部は、前記出力期間と前記中断期間との合計に対する前記出力期間の比により、前記被駆動部の駆動速度を制御する請求項1ないし3のいずれか1項に記載の圧電駆動装置の制御方法。
- 前記駆動信号生成部は、前記出力期間電圧振幅を検出する時間間隔を、前記周期信号の1周期より小さくする請求項1ないし4のいずれか1項に記載の圧電駆動装置の制御方法。
- 前記駆動信号生成部は、
前記中断期間電圧振幅を固定値とし、
前記出力期間電圧振幅と、前記固定値と、を合算した値を時間で平均化する処理を施し、
前記処理の結果に基づいて前記目標パルスデューティー比を生成する請求項1ないし5のいずれか1項に記載の圧電駆動装置の制御方法。 - 前記駆動信号生成部は、前記固定値を0とする請求項6に記載の圧電駆動装置の制御方法。
- 前記駆動信号生成部は、前記固定値を0以外とする請求項6に記載の圧電駆動装置の制御方法。
- 駆動用圧電素子を有し、前記駆動用圧電素子に周期信号を含む駆動信号が印加されることにより振動する振動体と、
前記振動体の振動により駆動される被駆動部と、
目標パルスデューティー比に基づいて生成されるパルス信号を用いて、前記周期信号を出力する出力期間と、前記周期信号の出力を中断する中断期間と、で構成されている間欠信号を含む前記駆動信号を生成する駆動信号生成部と、を有し、
前記駆動信号生成部は、前記中断期間において前記駆動用圧電素子に生じる中断期間電圧振幅を検出せず、前記出力期間において前記駆動用圧電素子に生じる出力期間電圧振幅を検出し、検出した前記出力期間電圧振幅に基づいて前記目標パルスデューティー比を生成することを特徴とする圧電駆動装置。 - 第1アームと、
関節部において前記第1アームと接続している第2アームと、
前記関節部に配置されている請求項9に記載の圧電駆動装置と、
を備えることを特徴とするロボット。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019086366A JP7238581B2 (ja) | 2019-04-26 | 2019-04-26 | 圧電駆動装置の制御方法、圧電駆動装置およびロボット |
CN202010316059.7A CN111865135B (zh) | 2019-04-26 | 2020-04-21 | 压电驱动装置的控制方法、压电驱动装置及机器人 |
US16/857,402 US11205976B2 (en) | 2019-04-26 | 2020-04-24 | Control method for piezoelectric driving device, piezoelectric driving device, and robot |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019086366A JP7238581B2 (ja) | 2019-04-26 | 2019-04-26 | 圧電駆動装置の制御方法、圧電駆動装置およびロボット |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020182365A true JP2020182365A (ja) | 2020-11-05 |
JP7238581B2 JP7238581B2 (ja) | 2023-03-14 |
Family
ID=72917378
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019086366A Active JP7238581B2 (ja) | 2019-04-26 | 2019-04-26 | 圧電駆動装置の制御方法、圧電駆動装置およびロボット |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11205976B2 (ja) |
JP (1) | JP7238581B2 (ja) |
CN (1) | CN111865135B (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002233175A (ja) * | 2001-02-02 | 2002-08-16 | Minolta Co Ltd | アクチュエータ及びその駆動方法 |
US20110037346A1 (en) * | 2007-05-07 | 2011-02-17 | Walter Haussecker | Piezoelectric drive system, and method for the operation thereof |
JP2016082834A (ja) * | 2014-10-22 | 2016-05-16 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電駆動装置及びその駆動方法、ロボット及びその駆動方法 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2986654B2 (ja) * | 1993-07-13 | 1999-12-06 | シャープ株式会社 | 圧電体振動制御装置 |
JPH11168888A (ja) * | 1997-12-03 | 1999-06-22 | Canon Inc | 振動型駆動装置の制御装置、振動装置の制御装置およびこれらを備えた装置 |
JP2000032783A (ja) * | 1998-07-14 | 2000-01-28 | Canon Inc | 振動波装置の駆動制御装置および振動波モータ装置 |
JP4438278B2 (ja) * | 2002-10-17 | 2010-03-24 | セイコーエプソン株式会社 | 振動体駆動制御装置、駆動体駆動制御装置および振動体駆動制御方法 |
US20070040471A1 (en) * | 2005-08-17 | 2007-02-22 | Nokia Corporation | Load adaptive class de driving amplifier for piezoelectric actuators |
JP4894308B2 (ja) * | 2006-03-13 | 2012-03-14 | コニカミノルタオプト株式会社 | 駆動装置 |
JP2009131117A (ja) * | 2007-11-27 | 2009-06-11 | Canon Inc | 振動波アクチュエータの駆動装置、及びその制御方法 |
JP5893307B2 (ja) | 2011-09-13 | 2016-03-23 | キヤノン株式会社 | 振動型アクチュエータの駆動装置 |
JP6164044B2 (ja) * | 2013-10-30 | 2017-07-19 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電モーター、ロボットハンド、ロボット、指アシスト装置、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、送液ポンプ、印刷装置、電子時計、投影装置 |
JP6572645B2 (ja) * | 2015-07-01 | 2019-09-11 | セイコーエプソン株式会社 | 液体吐出装置 |
JP2017143602A (ja) * | 2016-02-08 | 2017-08-17 | キヤノン株式会社 | 振動型アクチュエータの制御方法、振動型駆動装置及び電子機器 |
-
2019
- 2019-04-26 JP JP2019086366A patent/JP7238581B2/ja active Active
-
2020
- 2020-04-21 CN CN202010316059.7A patent/CN111865135B/zh active Active
- 2020-04-24 US US16/857,402 patent/US11205976B2/en active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002233175A (ja) * | 2001-02-02 | 2002-08-16 | Minolta Co Ltd | アクチュエータ及びその駆動方法 |
US20110037346A1 (en) * | 2007-05-07 | 2011-02-17 | Walter Haussecker | Piezoelectric drive system, and method for the operation thereof |
JP2016082834A (ja) * | 2014-10-22 | 2016-05-16 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電駆動装置及びその駆動方法、ロボット及びその駆動方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN111865135B (zh) | 2023-05-23 |
JP7238581B2 (ja) | 2023-03-14 |
US20200343830A1 (en) | 2020-10-29 |
US11205976B2 (en) | 2021-12-21 |
CN111865135A (zh) | 2020-10-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10031316B2 (en) | Vibration type driving apparatus, interchangeable lens and imaging apparatus including vibration type driving apparatus, and method for adjusting vibration type driving apparatus | |
CN110784122B (zh) | 压电驱动装置、机器人以及打印机 | |
US11205973B2 (en) | Method of controlling piezoelectric drive device, method of controlling robot, and method of controlling printer | |
JP7238581B2 (ja) | 圧電駆動装置の制御方法、圧電駆動装置およびロボット | |
JP2020182364A (ja) | 圧電駆動装置の制御方法、圧電駆動装置およびロボット | |
JP2020054152A (ja) | 圧電駆動装置の制御方法、圧電駆動装置、ロボットおよびプリンター | |
JP7388174B2 (ja) | 圧電駆動装置の制御方法、圧電駆動装置、および、ロボット | |
CN111130381B (zh) | 压电驱动装置、机器人以及打印机 | |
JP2020137276A (ja) | 圧電駆動装置の制御方法、圧電駆動装置およびロボット | |
JP7205163B2 (ja) | 圧電駆動装置の制御方法、圧電駆動装置、ロボットおよびプリンター | |
US11515812B2 (en) | Control method for piezoelectric drive device, piezoelectric drive device, and robot | |
JP2018186679A (ja) | 振動アクチュエーターの制御装置、振動アクチュエーターの制御方法、ロボット、電子部品搬送装置、プリンター、プロジェクターおよび振動デバイス | |
JP7363563B2 (ja) | 異常検出方法、圧電モーターおよびロボット |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220331 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20230118 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230131 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230213 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7238581 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |