JP2018186679A - 振動アクチュエーターの制御装置、振動アクチュエーターの制御方法、ロボット、電子部品搬送装置、プリンター、プロジェクターおよび振動デバイス - Google Patents
振動アクチュエーターの制御装置、振動アクチュエーターの制御方法、ロボット、電子部品搬送装置、プリンター、プロジェクターおよび振動デバイス Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018186679A JP2018186679A JP2017088256A JP2017088256A JP2018186679A JP 2018186679 A JP2018186679 A JP 2018186679A JP 2017088256 A JP2017088256 A JP 2017088256A JP 2017088256 A JP2017088256 A JP 2017088256A JP 2018186679 A JP2018186679 A JP 2018186679A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- phase difference
- vibration
- drive signal
- vibrating bodies
- vibrating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 57
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 89
- 238000013459 approach Methods 0.000 claims description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 24
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 14
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 10
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 239000012636 effector Substances 0.000 description 4
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 4
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 3
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 3
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 3
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052454 barium strontium titanate Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-pyrazole-3-carboxylic acid Chemical compound CC1=CC(C(O)=O)=NN1 WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002033 PVDF binder Substances 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VNSWULZVUKFJHK-UHFFFAOYSA-N [Sr].[Bi] Chemical compound [Sr].[Bi] VNSWULZVUKFJHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 239000013590 bulk material Substances 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N dioxido(oxo)titanium;lead(2+) Chemical compound [Pb+2].[O-][Ti]([O-])=O NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 229920002981 polyvinylidene fluoride Polymers 0.000 description 1
- UKDIAJWKFXFVFG-UHFFFAOYSA-N potassium;oxido(dioxo)niobium Chemical compound [K+].[O-][Nb](=O)=O UKDIAJWKFXFVFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 229910052706 scandium Inorganic materials 0.000 description 1
- SIXSYDAISGFNSX-UHFFFAOYSA-N scandium atom Chemical compound [Sc] SIXSYDAISGFNSX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XMVONEAAOPAGAO-UHFFFAOYSA-N sodium tungstate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-][W]([O-])(=O)=O XMVONEAAOPAGAO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003980 solgel method Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 1
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/0005—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
- H02N2/0075—Electrical details, e.g. drive or control circuits or methods
- H02N2/008—Means for controlling vibration frequency or phase, e.g. for resonance tracking
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/0005—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
- H02N2/001—Driving devices, e.g. vibrators
- H02N2/0015—Driving devices, e.g. vibrators using only bending modes
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/0005—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
- H02N2/001—Driving devices, e.g. vibrators
- H02N2/003—Driving devices, e.g. vibrators using longitudinal or radial modes combined with bending modes
- H02N2/004—Rectangular vibrators
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/06—Drive circuits; Control arrangements or methods
- H02N2/062—Small signal circuits; Means for controlling position or derived quantities, e.g. for removing hysteresis
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/14—Drive circuits; Control arrangements or methods
- H02N2/142—Small signal circuits; Means for controlling position or derived quantities, e.g. speed, torque, starting, stopping, reversing
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/026—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors by pressing one or more vibrators against the driven body
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/103—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors by pressing one or more vibrators against the rotor
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
【解決手段】振動アクチュエーターの制御装置は、複数の振動体のそれぞれから、前記振動体の振動に応じた交流の検出信号を取得する検出信号取得部と、前記複数の振動体のそれぞれについて、駆動信号と前記検出信号との位相差を検出する位相差検出部と、前記複数の振動体から1つを選択する振動体選択部と、前記選択された振動体の前記位相差が目標値に向かうように、前記駆動信号の周波数を調整する駆動信号制御部と、を有する。
【選択図】図1
Description
前記被駆動体に当接する当接部を有する複数の振動体と、を有し、
前記複数の振動体に共通の交流の駆動信号を印加することにより、前記複数の振動体の前記当接部にそれぞれ回転振動を生じさせ、前記複数の振動体の回転振動を伝達して前記被駆動体を相対移動させる振動アクチュエーターの制御装置であって、
前記複数の振動体のそれぞれから、前記振動体の振動に応じた交流の検出信号を取得する検出信号取得部と、
前記複数の振動体のそれぞれについて、前記駆動信号と前記検出信号との位相差を検出する位相差検出部と、
前記複数の振動体から1つを選択する振動体選択部と、
前記選択された振動体の前記位相差が目標値に向かうように、前記駆動信号の周波数を調整する駆動信号制御部と、を有することを特徴とする。
これにより、ロバスト性に優れ、効率的な駆動が可能な振動アクチュエーターの制御装置が得られる。
これにより、振動アクチュエーターをより精度よく制御することができる。
前記目標値は、前記共振周波数に対して高周波数側に設定されていることが好ましい。
これにより、振動アクチュエーターをより精度よく制御することができる。
これにより、振動アクチュエーターの駆動が安定する。
これにより、選択した振動体の位相差を目標値に合わせ込み易くなる。
前記被駆動体に当接する当接部を有する複数の振動体と、を有し、
前記複数の振動体に共通の交流の駆動信号を印加することにより、前記複数の振動体の前記当接部にそれぞれ回転振動を生じさせ、前記複数の振動体の回転振動を伝達して前記被駆動体を相対移動させる振動アクチュエーターの制御装置であって、
前記複数の振動体のそれぞれから、前記当接部の回転振動により生じる交流の検出信号を取得する検出信号取得部と、
前記複数の振動体のそれぞれから取得した検出信号に基づいて、基準となる前記駆動信号との位相差である基準位相差を生成する基準位相差生成部と、
前記基準位相差が目標値に向かうように、前記駆動信号の周波数を調整する駆動信号制御部と、を有することを特徴とする。
これにより、ロバスト性に優れ、効率的な駆動が可能な振動アクチュエーターの制御装置が得られる。
これにより、基準位相差の生成が容易となる。また、複数の振動体をそれぞれより効率的に振動させることができ、振動アクチュエーターの駆動特性がより向上する。
前記被駆動体に当接する当接部を有する複数の振動体と、を有し、
前記複数の振動体に共通の交流の駆動信号を印加することにより、前記複数の振動体の前記当接部にそれぞれ回転振動を生じさせ、前記複数の振動体の回転振動を伝達して前記被駆動体を相対移動させる振動アクチュエーターの制御方法であって、
前記複数の振動体のそれぞれから、前記振動体の振動に応じた交流の検出信号を取得し、
前記複数の振動体のそれぞれについて、前記駆動信号と前記検出信号との位相差を検出し、
前記複数の振動体から1つを選択し、
前記選択した振動体の前記位相差が目標値に向かうように、前記駆動信号の周波数を調整することを特徴とする。
これにより、ロバスト性に優れ、効率的な駆動が可能な振動アクチュエーターの制御方法となる。
前記被駆動体に当接する当接部を有する複数の振動体と、を有し、
前記複数の振動体に共通の交流の駆動信号を印加することにより、前記複数の振動体の前記当接部にそれぞれ回転振動を生じさせ、前記複数の振動体の回転振動を伝達して前記被駆動体を相対移動させる振動アクチュエーターの制御方法であって、
前記複数の振動体のそれぞれから、前記当接部の回転振動により生じる交流の検出信号を取得し、
前記複数の振動体のそれぞれから取得した検出信号に基づいて、基準となる前記駆動信号との位相差である基準位相差を生成し、
前記基準位相差が目標値に向かうように、前記駆動信号の周波数を調整することを特徴とする。
これにより、ロバスト性に優れ、効率的な駆動が可能な振動アクチュエーターの制御方法となる。
これにより、本発明の振動アクチュエーターの制御装置の効果を享受でき、信頼性の高いロボットが得られる。
これにより、本発明の振動アクチュエーターの制御装置の効果を享受でき、信頼性の高い電子部品搬送装置が得られる。
これにより、本発明の振動アクチュエーターの制御装置の効果を享受でき、信頼性の高いプリンターが得られる。
これにより、本発明の振動アクチュエーターの制御装置の効果を享受でき、信頼性の高いプロジェクターが得られる。
前記被駆動体に当接する当接部を有する複数の振動体と、
プロセッサーと、を有し、
前記複数の振動体に共通の交流の駆動信号を印加することにより、前記複数の振動体の前記当接部にそれぞれ回転振動を生じさせ、前記複数の振動体の回転振動を伝達して前記被駆動体を相対移動させる振動デバイスであって、
前記プロセッサーは、前記複数の振動体のそれぞれから、前記振動体の振動に応じた交流の検出信号を取得し、前記複数の振動体のそれぞれについて、前記駆動信号と前記検出信号との位相差を検出し、前記複数の振動体から1つを選択し、前記選択された振動体の前記位相差が目標値に向かうように、前記駆動信号の周波数を調整することを特徴とする。
これにより、ロバスト性に優れ、効率的な駆動が可能な振動デバイスが得られる。
まず、本発明の第1実施形態に係る駆動装置について説明する。
次に、本発明の第2実施形態に係る振動装置について説明する。
次に、本発明の第3実施形態に係る駆動装置について説明する。
図18は、本発明の第3実施形態に係る駆動装置を示す平面図である。
次に、本発明の第4実施形態に係るロボットについて説明する。
図19は、本発明の第4実施形態に係るロボットを示す斜視図である。
次に、本発明の第5実施形態に係る電子部品搬送装置について説明する。
次に、本発明の第6実施形態に係るプリンターについて説明する。
図22は、本発明の第6実施形態に係るプリンターの全体構成を示す概略図である。
次に、本発明の第7実施形態に係るプロジェクターについて説明する。
Claims (14)
- 被駆動体と、
前記被駆動体に当接する当接部を有する複数の振動体と、を有し、
前記複数の振動体に共通の交流の駆動信号を印加することにより、前記複数の振動体の前記当接部にそれぞれ回転振動を生じさせ、前記複数の振動体の回転振動を伝達して前記被駆動体を相対移動させる振動アクチュエーターの制御装置であって、
前記複数の振動体のそれぞれから、前記振動体の振動に応じた交流の検出信号を取得する検出信号取得部と、
前記複数の振動体のそれぞれについて、前記駆動信号と前記検出信号との位相差を検出する位相差検出部と、
前記複数の振動体から1つを選択する振動体選択部と、
前記選択された振動体の前記位相差が目標値に向かうように、前記駆動信号の周波数を調整する駆動信号制御部と、を有することを特徴とする振動アクチュエーターの制御装置。 - 前記駆動信号制御部は、前記駆動信号の周波数を前記振動体の共振周波数よりも高い範囲内で調整する請求項1に記載の振動アクチュエーターの制御装置。
- 前記位相差と前記駆動信号の周波数との関係において、
前記目標値は、前記共振周波数に対して高周波数側に設定されている請求項1または2に記載の振動アクチュエーターの制御装置。 - 前記振動体選択部は、前記複数の振動体から、前記位相差が最大である前記振動体を選択する請求項1ないし3のいずれか1項に記載の振動アクチュエーターの制御装置。
- 前記振動体選択部は、前記複数の振動体から、前記位相差が最少である前記振動体を選択する請求項1ないし3のいずれか1項に記載の振動アクチュエーターの制御装置。
- 被駆動体と、
前記被駆動体に当接する当接部を有する複数の振動体と、を有し、
前記複数の振動体に共通の交流の駆動信号を印加することにより、前記複数の振動体の前記当接部にそれぞれ回転振動を生じさせ、前記複数の振動体の回転振動を伝達して前記被駆動体を相対移動させる振動アクチュエーターの制御装置であって、
前記複数の振動体のそれぞれから、前記当接部の回転振動により生じる交流の検出信号を取得する検出信号取得部と、
前記複数の振動体のそれぞれから取得した検出信号に基づいて、基準となる前記駆動信号との位相差である基準位相差を生成する基準位相差生成部と、
前記基準位相差が目標値に向かうように、前記駆動信号の周波数を調整する駆動信号制御部と、を有することを特徴とする振動アクチュエーターの制御装置。 - 前記基準位相差生成部は、前記複数の振動体のそれぞれについて、前記駆動信号と前記検出信号との位相差を検出し、前記複数の振動体の前記位相差の平均値を前記基準位相差とする請求項6に記載の振動アクチュエーターの制御装置。
- 被駆動体と、
前記被駆動体に当接する当接部を有する複数の振動体と、を有し、
前記複数の振動体に共通の交流の駆動信号を印加することにより、前記複数の振動体の前記当接部にそれぞれ回転振動を生じさせ、前記複数の振動体の回転振動を伝達して前記被駆動体を相対移動させる振動アクチュエーターの制御方法であって、
前記複数の振動体のそれぞれから、前記振動体の振動に応じた交流の検出信号を取得し、
前記複数の振動体のそれぞれについて、前記駆動信号と前記検出信号との位相差を検出し、
前記複数の振動体から1つを選択し、
前記選択した振動体の前記位相差が目標値に向かうように、前記駆動信号の周波数を調整することを特徴とする振動アクチュエーターの制御方法。 - 被駆動体と、
前記被駆動体に当接する当接部を有する複数の振動体と、を有し、
前記複数の振動体に共通の交流の駆動信号を印加することにより、前記複数の振動体の前記当接部にそれぞれ回転振動を生じさせ、前記複数の振動体の回転振動を伝達して前記被駆動体を相対移動させる振動アクチュエーターの制御方法であって、
前記複数の振動体のそれぞれから、前記当接部の回転振動により生じる交流の検出信号を取得し、
前記複数の振動体のそれぞれから取得した検出信号に基づいて、基準となる前記駆動信号との位相差である基準位相差を生成し、
前記基準位相差が目標値に向かうように、前記駆動信号の周波数を調整することを特徴とする振動アクチュエーターの制御方法。 - 請求項1ないし7のいずれか1項に記載の振動アクチュエーターの制御装置を備えること特徴とするロボット。
- 請求項1ないし7のいずれか1項に記載の振動アクチュエーターの制御装置を備えることを特徴とする電子部品搬送装置。
- 請求項1ないし7のいずれか1項に記載の振動アクチュエーターの制御装置を備えることを特徴とするプリンター。
- 請求項1ないし7のいずれか1項に記載の振動アクチュエーターの制御装置を備えることを特徴とするプロジェクター。
- 被駆動体と、
前記被駆動体に当接する当接部を有する複数の振動体と、
プロセッサーと、を有し、
前記複数の振動体に共通の交流の駆動信号を印加することにより、前記複数の振動体の前記当接部にそれぞれ回転振動を生じさせ、前記複数の振動体の回転振動を伝達して前記被駆動体を相対移動させる振動デバイスであって、
前記プロセッサーは、前記複数の振動体のそれぞれから、前記振動体の振動に応じた交流の検出信号を取得し、前記複数の振動体のそれぞれについて、前記駆動信号と前記検出信号との位相差を検出し、前記複数の振動体から1つを選択し、前記選択された振動体の前記位相差が目標値に向かうように、前記駆動信号の周波数を調整することを特徴とする振動デバイス。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017088256A JP6891619B2 (ja) | 2017-04-27 | 2017-04-27 | 振動アクチュエーターの制御装置、振動アクチュエーターの制御方法、ロボット、電子部品搬送装置、プリンターおよびプロジェクター |
CN201810356797.7A CN108809142B (zh) | 2017-04-27 | 2018-04-19 | 振动致动器的控制装置、控制方法、机器人、打印机 |
US15/962,006 US11031884B2 (en) | 2017-04-27 | 2018-04-25 | Control device for vibration actuator, method of controlling vibration actuator, robot, electronic component conveyance apparatus, printer, projector, and vibration device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017088256A JP6891619B2 (ja) | 2017-04-27 | 2017-04-27 | 振動アクチュエーターの制御装置、振動アクチュエーターの制御方法、ロボット、電子部品搬送装置、プリンターおよびプロジェクター |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018186679A true JP2018186679A (ja) | 2018-11-22 |
JP2018186679A5 JP2018186679A5 (ja) | 2020-05-07 |
JP6891619B2 JP6891619B2 (ja) | 2021-06-18 |
Family
ID=63916907
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017088256A Active JP6891619B2 (ja) | 2017-04-27 | 2017-04-27 | 振動アクチュエーターの制御装置、振動アクチュエーターの制御方法、ロボット、電子部品搬送装置、プリンターおよびプロジェクター |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11031884B2 (ja) |
JP (1) | JP6891619B2 (ja) |
CN (1) | CN108809142B (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108325806B (zh) * | 2017-12-29 | 2020-08-21 | 瑞声科技(新加坡)有限公司 | 振动信号的生成方法及装置 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02193835A (ja) * | 1989-01-19 | 1990-07-31 | Canon Inc | シート送り装置 |
JPH1118456A (ja) * | 1997-06-26 | 1999-01-22 | Nikon Corp | 振動アクチュエータの駆動装置 |
JP2006332616A (ja) * | 2005-04-28 | 2006-12-07 | Brother Ind Ltd | 圧電アクチュエータの製造方法 |
JP2007049881A (ja) * | 2005-08-12 | 2007-02-22 | Konica Minolta Opto Inc | 駆動装置 |
JP2007074829A (ja) * | 2005-09-07 | 2007-03-22 | Konica Minolta Opto Inc | 振動アクチュエータ |
JP2008278712A (ja) * | 2007-05-07 | 2008-11-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 駆動装置 |
CN102270941A (zh) * | 2010-06-07 | 2011-12-07 | 佳能株式会社 | 振动型致动器的控制装置和振动型致动器的控制方法 |
JP2012257424A (ja) * | 2011-06-10 | 2012-12-27 | Seiko Epson Corp | 圧電アクチュエーター、ロボットハンド、及びロボット |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002112564A (ja) * | 2000-09-29 | 2002-04-12 | Minolta Co Ltd | アクチュエータの駆動装置 |
JP2002112563A (ja) * | 2000-09-29 | 2002-04-12 | Minolta Co Ltd | アクチュエータの駆動方法および装置 |
US7119475B2 (en) * | 2003-03-31 | 2006-10-10 | Seiko Epson Corporation | Driving method of piezoelectric actuator, driving apparatus of piezoelectric actuator, electronic watch, electronics, control program of piezoelectric actuator, and storage medium |
JP4141990B2 (ja) * | 2004-07-12 | 2008-08-27 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電アクチュエータおよび機器 |
EP1717874B1 (en) | 2005-04-28 | 2010-05-05 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Method of producing piezoelectric actuator |
JP4891053B2 (ja) * | 2006-12-21 | 2012-03-07 | オリンパス株式会社 | 超音波モータ |
DE102007021338A1 (de) * | 2007-05-07 | 2008-11-13 | Robert Bosch Gmbh | Piezoelektrische Antriebsvorrichtung |
WO2013129609A1 (ja) * | 2012-02-28 | 2013-09-06 | 株式会社ニコン | 駆動装置、駆動方法及び光学機器 |
JP6579778B2 (ja) * | 2014-05-14 | 2019-09-25 | キヤノン株式会社 | 振動型駆動装置、振動型駆動装置を備える交換用レンズ、撮像装置、及び振動型駆動装置の製造方法 |
JP2019030091A (ja) * | 2017-07-28 | 2019-02-21 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電駆動装置、圧電駆動装置の駆動方法、ロボット、電子部品搬送装置、プリンター、及び、プロジェクター |
-
2017
- 2017-04-27 JP JP2017088256A patent/JP6891619B2/ja active Active
-
2018
- 2018-04-19 CN CN201810356797.7A patent/CN108809142B/zh active Active
- 2018-04-25 US US15/962,006 patent/US11031884B2/en active Active
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02193835A (ja) * | 1989-01-19 | 1990-07-31 | Canon Inc | シート送り装置 |
JPH1118456A (ja) * | 1997-06-26 | 1999-01-22 | Nikon Corp | 振動アクチュエータの駆動装置 |
JP2006332616A (ja) * | 2005-04-28 | 2006-12-07 | Brother Ind Ltd | 圧電アクチュエータの製造方法 |
JP2007049881A (ja) * | 2005-08-12 | 2007-02-22 | Konica Minolta Opto Inc | 駆動装置 |
JP2007074829A (ja) * | 2005-09-07 | 2007-03-22 | Konica Minolta Opto Inc | 振動アクチュエータ |
JP2008278712A (ja) * | 2007-05-07 | 2008-11-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 駆動装置 |
CN102270941A (zh) * | 2010-06-07 | 2011-12-07 | 佳能株式会社 | 振动型致动器的控制装置和振动型致动器的控制方法 |
US20110298400A1 (en) * | 2010-06-07 | 2011-12-08 | Canon Kabushiki Kaisha | Control apparatus of vibration-type actuator and control method of vibration-type actuator |
JP2011259559A (ja) * | 2010-06-07 | 2011-12-22 | Canon Inc | 振動型アクチュエータの制御装置及び振動型アクチュエータの制御方法 |
JP2012257424A (ja) * | 2011-06-10 | 2012-12-27 | Seiko Epson Corp | 圧電アクチュエーター、ロボットハンド、及びロボット |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN108809142A (zh) | 2018-11-13 |
CN108809142B (zh) | 2023-07-11 |
US11031884B2 (en) | 2021-06-08 |
JP6891619B2 (ja) | 2021-06-18 |
US20180316282A1 (en) | 2018-11-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7102702B2 (ja) | 圧電駆動装置の制御装置および圧電駆動装置の制御方法 | |
US10367432B2 (en) | Piezoelectric drive device, drive method of piezoelectric drive device, robot, electronic component transport apparatus, printer, and projector | |
US11482661B2 (en) | Piezoelectric driving device, driving method of piezoelectric driving device, robot, electronic component transport apparatus, printer, and projector | |
US11205974B2 (en) | Piezoelectric driving device, piezoelectric motor, robot, electronic component conveyance apparatus, printer, and projector | |
JP7103019B2 (ja) | 圧電駆動装置、ロボットおよびプリンター | |
JP2018186680A (ja) | 振動アクチュエーターの制御方法、振動アクチュエーターの異常検出方法、振動アクチュエーターの制御装置、ロボット、電子部品搬送装置、プリンター、プロジェクターおよび振動デバイス | |
US11205973B2 (en) | Method of controlling piezoelectric drive device, method of controlling robot, and method of controlling printer | |
US11031884B2 (en) | Control device for vibration actuator, method of controlling vibration actuator, robot, electronic component conveyance apparatus, printer, projector, and vibration device | |
US10957842B2 (en) | Piezoelectric drive device, drive method of piezoelectric drive device, robot, electronic component transport apparatus, printer, and projector | |
EP3396726B1 (en) | Piezoelectric drive device and drive method of piezoelectric drive device | |
US11430938B2 (en) | Piezoelectric driving device having a detection element at the center of a vibrating portion | |
JP2019146435A (ja) | 圧電駆動装置、圧電アクチュエーターの制御方法、ロボット、電子部品搬送装置、プリンターおよびプロジェクター | |
JP2019114671A (ja) | 圧電アクチュエーター、圧電駆動装置、ロボット、電子部品搬送装置、プリンターおよびプロジェクター | |
US11394320B2 (en) | Control method for piezoelectric drive device, piezoelectric drive device, robot, and printer | |
JP2019146425A (ja) | 圧電駆動装置、ロボットハンド、ロボット、電子部品搬送装置、プリンター、プロジェクターおよび圧電駆動装置の駆動方法 | |
JP2019160975A (ja) | 圧電アクチュエーター、圧電アクチュエーターの付加力検出方法、圧電アクチュエーターの共振状態検出方法、圧電駆動装置、ハンド、ロボット、電子部品搬送装置、プリンターおよびプロジェクター | |
JP2019146365A (ja) | 圧電アクチュエーター、圧電駆動装置、ロボット、電子部品搬送装置、プリンターおよびプロジェクター |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200325 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200325 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20210125 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210216 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210413 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210427 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210510 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6891619 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |