JP2020178125A5

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Publication number: JP2020178125A5
Application number: JP2020113252A
Authority: JP
Filing date: 2020-06-30
Publication date: 2021-02-25
Anticipated expiration: 2036-03-31

Description

実施形態に係る基板搬送装置は、
第１の把持板と、
前記第１の把持板により支持され、基板の外周面に当接する当接面を前記第１の把持板の表面に対して上下に有する第１の爪部と、
前記第１の把持板に重なるように設けられた第２の把持板と、
前記第２の把持板により支持され、前記基板の外周面に当接する当接面を前記第１の把持板の表面に対して上下に有する第２の爪部と、
前記第１の爪部及び第前記２の爪部が前記基板の外周面に交わる方向に接離して、前記第１の爪部と前記第２の爪部とで前記基板を把持または開放するように、前記第１の把持板及び前記第２の把持板を相対移動させる把持部と、
を有し、
前記把持部は、
支持板と、
前記支持板に支持され、前記第１の把持板及び前記第２の把持板の前記接離する方向に延伸するリニアガイドと、
前記第１の把持板に固定され、前記リニアガイドに沿って移動する第１の直動ブロックと、
前記第２の把持板に固定され、前記リニアガイドに沿って移動する第２の直動ブロックと、
前記第１の把持板及び前記第２の把持板のうちの一方の把持板に接続され、前記一方の把持板を前記接離する方向に移動させるシリンダと、
前記シリンダによる前記一方の把持板の移動を、前記第１の把持板及び前記第２の把持板のうちの他方の把持板に対して、前記一方の把持板の移動方向とは逆方向の移動となるように変換して伝達する揺動ピン機構と、
を有することを特徴とする。

実施形態に係る基板処理装置は、
複数の基板を所定間隔で積層して収納する収納部と、
前述の実施形態に係る基板搬送装置と、
前記基板を処理する基板処理部と、
を有することを特徴とする。

実施形態に係る基板処理方法は、
複数の基板を所定間隔で積層して収納する収納部から、前述の実施形態に係る基板搬送装置を用いて、第１の基板を取り出す工程と、
前記収納部から取り出された前記第１の基板に処理を行う工程と、
前記処理が行われた前記第１の基板を、前記基板搬送装置を用いて前記収納部に収納する工程と、
前記収納部に収納された前記第１の基板の上または下に位置する第２の基板を、前記基板搬送装置を用いて前記収納部から取り出す工程と、
前記収納部から取り出された前記第２の基板に処理を行う工程と、
前記処理が行われた前記第２の基板を、前記基板搬送装置を用いて前記収納部に収納する工程と、
を有することを特徴とする。

Claims

第１の把持板と、
前記第１の把持板により支持され、基板の外周面に当接する当接面を前記第１の把持板の表面に対して上下に有する第１の爪部と、
前記第１の把持板に重なるように設けられた第２の把持板と、
前記第２の把持板により支持され、前記基板の外周面に当接する当接面を前記第１の把持板の表面に対して上下に有する第２の爪部と、
前記第１の爪部及び前記第２の爪部が前記基板の外周面に交わる方向に接離して、前記第１の爪部と前記第２の爪部とで前記基板を把持または開放するように、前記第１の把持板及び前記第２の把持板を相対移動させる把持部と、
を有し、
前記把持部は、
支持板と、
前記支持板に支持され、前記第１の把持板及び前記第２の把持板の前記接離する方向に延伸するリニアガイドと、
前記第１の把持板に固定され、前記リニアガイドに沿って移動する第１の直動ブロックと、
前記第２の把持板に固定され、前記リニアガイドに沿って移動する第２の直動ブロックと、
前記第１の把持板及び前記第２の把持板のうちの一方の把持板に接続され、前記一方の把持板を前記接離する方向に移動させるシリンダと、
前記シリンダによる前記一方の把持板の移動を、前記第１の把持板及び前記第２の把持板のうちの他方の把持板に対して、前記一方の把持板の移動方向とは逆方向の移動となるように変換して伝達する揺動ピン機構と、
を有することを特徴とする基板搬送装置。
前記第１の爪部は、
前記第１の把持板の上面に設けられ、前記当接面を有する上爪と、
前記第１の把持板の下面に設けられ、前記当接面を有する下爪と、
を有することを特徴とする請求項１に記載の基板搬送装置。
前記把持部を昇降させる昇降部と、
第１の基板を載置する第１の高さ位置から、前記第１の基板の上または下に位置する第２の基板を把持する第２の高さ位置に前記第１の爪部及び前記第２の爪部を位置付けるよう、前記昇降部に前記把持部の上昇または下降を実行させ、前記把持部に前記第１の把持板及び前記第２の把持板の移動を実行させる制御部と、
を有することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の基板搬送装置。
前記把持部を水平方向に移動させるアーム部を有し、
前記制御部は、
前記把持部を、前記第１の爪部及び第２の爪部が前記第1の基板を載置する前記第１の高さ位置に位置付けられる第１の位置まで、移動させるように前記アーム部を制御し、
前記第１の位置に移動した前記把持部に、前記第１の爪部及び前記第２の爪部が離れる方向に前記第１の把持板及び前記第２の把持板を移動させ、
前記第１の把持板及び前記第２の把持板の水平位置を変えずに、前記把持部を、前記第１の爪部及び前記第２の爪部が前記第１の高さ位置の上方または下方に位置する前記第２の高さ位置に位置付けられる第２の位置まで、移動させるように前記昇降部を制御し、
前記第２の位置に移動した前記把持部に、前記第１の爪部及び前記第２の爪部が近づく方向に前記第１の把持板及び前記第２の把持板を移動させることを特徴とする請求項３に記載の基板搬送装置。
前記第２の把持板には、第１の貫通孔と、前記第１の貫通孔より開口サイズが大きい第２の貫通孔が設けられ、
前記第１の把持板には、第３の貫通孔と、前記第３の貫通孔より開口サイズが小さい第４の貫通孔が設けられ、
前記揺動ピン機構は、
前記支持板に設けられ、その中心を回転軸として回転可能な回転体と、
前記回転体に設けられ、前記回転軸を間に対向する位置に位置付けられた第１の揺動ピンと第２の揺動ピンとを有し、
前記第１の揺動ピンは、前記第１の貫通孔と前記第３の貫通孔を貫通し、前記第２の揺動ピンは、前記第２の貫通孔と前記第４の貫通孔を貫通することを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の基板搬送装置。
複数の基板を所定間隔で積層して収納する収納部と、
請求項１から請求項５のいずれか一項に記載された基板搬送装置と、
前記基板を処理する基板処理部と、
を有することを特徴とする基板処理装置。
前記基板処理部は、
基板処理台と、
前記基板処理台に設けられて前記基板を下面から支持する複数の支持部材と、
前記複数の支持部材よりも外側から前記基板を支持して昇降させる基板昇降部と、
を有することを特徴とする請求項６に記載の基板処理装置。
複数の基板を所定間隔で積層して収納する収納部から、請求項１に記載の基板搬送装置を用いて、第１の基板を取り出す工程と、
前記収納部から取り出された前記第１の基板に処理を行う工程と、
前記処理が行われた前記第１の基板を、前記基板搬送装置を用いて前記収納部に収納する工程と、
前記収納部に収納された前記第１の基板の上または下に位置する第２の基板を、前記基板搬送装置を用いて前記収納部から取り出す工程と、
前記収納部から取り出された前記第２の基板に処理を行う工程と、
前記処理が行われた前記第２の基板を、前記基板搬送装置を用いて前記収納部に収納する工程と、
を有することを特徴とする基板処理方法。