JP2020177011A - 超音波を用いた構造解析装置及び構造解析方法及びコンピュータプログラム。 - Google Patents
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Abstract
Description
代表的な非破壊解析装置としては、超音波顕微鏡(例えば特許文献1)、X線CT、ロックイン赤外線発熱解析装置等が挙げられる。
また、伝播時間及び各界面へ伝播するときのそれぞれの音速等の情報、材料又は組成の情報に基づいて、各層の絶対膜厚、反り量や歪み量等の測定できる。
また、剥離やクラックやボイド等の有無といった構造物の外形及び内部の構造を良好に解析することができる。
図1は構造解析装置1、超音波顕微鏡2、及び電子部品3の構成を示すブロック図である。
通信部13は、ネットワーク170を介して、構造解析装置1との間で通信を行う機能を有し、所要の情報の送受信を行うことができる。
操作部14は、例えばハードウェアキーボード、マウス、タッチパネル等で構成される。
材料又は組成DB164は、電子部品3の各層を構成する材料の外形寸法(厚み)及び密度等を記憶している。
伝播時間DB166は、後述する方法により算出した界面までの伝播時間を記憶している。
三次元座標データDB168には、三次元座標データ生成プログラム161により生成した電子部品3の三次元座標データが記憶されている。
焦点位置を変化させることにより、図17(a)(b)(c)(d)に図示するように、界面位置におけるピーク波形が変化する。
つまり、所定の閾値を設定し、設定した閾値で処理を行う。閾値は、計測したい対象の物性にあわせて設定する。閾値はデータベース163等に登録しておく。
計測したい対象(界面31a、界面32a、界面33a)によって、トランスデューサ21の焦点位置を変化させる、
トランスデューサ21を所定距離dx、dyで移動させて、位置決めし、焦点位置を変化させて界面位置を、順次、測定位置181での界面位置を求めていく。
なお、本発明は、これには限定されない。例えば、取得したスキャンデータの変化が大きい場合は、単位距離当たりの測定点を増加させる。
制御部11は、伝播時間を伝播時間DB166に記憶する(S4)。
制御部11は、材料又は組成DB164から材料の外形寸法(厚み)を取得する(S5)。
制御部11は、伝播時間、及び前記厚みに基づいて材料の音速を算出する(S6)。
伝播時間をt、厚みをLとしたとき、音速は、下記の式により算出される。
音速=L/t。
制御部11は、音速を音速DB167に記憶する(S7)。
制御部11は、前記で得られたスキャンデータをスキャンデータ(1)DB163に記憶する(S12)。
制御部11は、下層の音響インピーダンスZ2が上層の音響インピーダンスZ1より大きいか否かを判定する(S14)。
音響インピーダンスは、超音波の通りにくさを示し、次式で算出される。
Z(音響インピーダンス)=p(物質の密度)×c(物質固有の音速)。
制御部11は、反射波形39の局所的最大値までの伝播時間を算出する(S15)。
制御部11は、反射波形39の局所的最小値までの伝播時間を算出する(S18)。
制御部11は、算出した界面位置に基づいて、三次元座標データを生成する(S20)。
制御部11は、三次元座標データを三次元座標データDB168に記憶する(S21)。
重ね合わせた材料の上層の音響インピーダンスZ1と下層の音響インピーダンスZ2とした時、界面での音波の振幅反射率は、
(Z2−Z1)/(Z2+Z1)。
演算あるいは計算には、構造物を構成する材料等の寸法、密度などのDBのデータを使用して実施する。
電子部品等の構造物3は、水中に配置され、超音波が印加されて音響インピーダンスが測定される。
図7(c1)の実施例は、樹脂とシリコンの中央部にボイド(空間)36が発生している状態を示している。
制御部41は、三次元座標データを三次元座標データDB802に記憶する(S32)。
一方で、前記以外の場合(S35(a))、各表示項目に応じて、表示を更新する(S34)。
表示項目としては、以下の項目が挙げられる。
・表示項目(1)表示モード
電子部品3を構成する部品の各界面を表示するモードと、各層を表示するモードとのいずれかを設定する。
・表示項目(2)回転閲覧
任意の視点で、表示物を三次元上で回転させて閲覧する。
・表示項目(3)カラーマップ
表示物のカラーマップを変更する。
・表示項目(4)点指定によるスキャンデータ(Z方向データ)表示
平面図上で指定した点のスキャンデータを表示する。座標を数値入力した場合、その座標の点のスキャンデータを表示する。
・表示項目(5)点指定による断面表示
平面図上で指定した点のX方向又はY方向の断面を表示する。座標を数値入力した場合、その座標の点のX方向又はY方向の断面を表示する。
・表示項目(6)線指定による断面表示
平面図上で指定した2点を結ぶ断面を表示する。座標を数値入力した場合、その2点の座標を結ぶ断面を表示する。
・表示項目(7)点指定又は線指定による断面における各層の絶対膜厚表示
・表示項目(8)点指定又は線指定による断面における各層の反り量や歪み量等の表示
・表示項目(9)点指定又は線指定による断面における各層の剥離、クラック、ボイド等の有無の表示
図11は、表示モード(表示項目(1))を界面表示とした時の、界面33aを三次元的に示した画像であり、回転閲覧することができる(表示項目(2))。
図19(a1)に図示するように、本発明を適用することにより、体内の臓器32までの膜厚あるいは距離、臓器32の形状などを測定することができる。
例えば、体表にセンサをあてて超音波を体内に送り、そこから返ってくる反射波を受信し、臓器・組織の形や動きを画像化、異常の早期発見が可能である。
図26、図27、図28、図29は、本発明の構造解析装置、構造解析方法を使用するビジネスモデルの説明図である。
会社Aは、構造解析プログラム1のライセンス料を顧客Aから受け取る。
図27は、第2の実施形態におけるビジネスモデルの説明図である。超音波顕微鏡を所有しない顧客Aに対して実施する。
会社Aは、スキャンデータ取得料及び構造解析プログラム2のライセンス料を顧客Aから受け取る。
会社Aは、構造解析プログラム3の利用料を顧客Aから受け取る。
図29は、第4の実施形態におけるビジネスモデルの説明図である。超音波顕微鏡を所有しない顧客Aに対して実施する。
会社Aは、スキャンデータ取得料及び構造解析プログラム4の利用料を顧客Aから受け取る。
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。
本明細書及び図面に記載した事項あるいは内容は、相互に組み合わせることができることは言うまでもない。
2 超音波顕微鏡
3 電子部品(測定試料)
11 制御部
12 主記憶部
13 通信部
14 操作部
15 表示パネル
16 補助記憶部
21 トランスデューサ
23 送信波
24 受信波
31 第1層
32 第2層
33 第3層
34 第4層
35 第5層
31a 界面
32a 界面
33a 界面
34a 界面
36 ボイド
39 反射波形
161 三次元座標データ生成プログラム
162 音速算出プログラム
163 スキャンデータ(1)DB
164 材料又は組成DB
165 スキャンデータ(2)DB
166 伝播時間DB
167 音速DB
168 三次元座標データDB
171 波形解析プロブラム
169 記録媒体
170 ネットワーク
181 測定位置
802 三次元座標データDB
803 計算プログラム
804 計算プログラム
805 表示プログラム
Claims (10)
- 第1の材料又は第1の組成からなる第1の層と、第2の材料又は第2の組成からなる第2の層とが接する界面を有する構造物の構造解析装置であって、
超音波を発生する超音波発生部と、
前記界面で反射した超音波の反射波形を取得する取得部と、
前記反射波形に基づいて、前記界面へ伝播した伝播時間を算出する算出部と、
前記伝播時間と、超音波が前記界面へ伝播する音速に基づいて前記構造物の構造を解析する解析部とを具備することを特徴とする構造解析装置。 - 前記算出部は、
前記第1の層の音響インピーダンスが前記第2の層の音響インピーダンスが大きい場合に、前記反射波形の振幅が最大値又は所定の範囲内になるときの伝播時間を算出し、
前記第1の層の音響インピーダンスが前記第2の層の音響インピーダンスが小さい場合に、前記反射波形の振幅が最小値になるときの伝播時間を算出することを特徴とする請求項1に記載の構造解析装置。 - 前記解析部は、前記界面への伝播時間と該界面へ超音波が伝播するときの音速に基づいて、前記界面の位置を算出することを特徴とする請求項1に記載の構造解析装置。
- 三次元座標データを生成する生成部を更に有し、
前記超音波発生部は、前記構造物のXY平面上で所定間隔に超音波を照射し、
前記取得部は、前記XY平面に略垂直な方向から前記超音波の反射波形を取得し、
前記解析部は前記反射波形から前記界面の位置を算出し、
前記生成部は、前記界面の位置に基づいて、前記構造物の三次元座標データを生成することを特徴とする請求項1に記載の構造解析装置。 - 第1の材料又は第1の組成からなる第1の層と、第2の材料又は第2の組成からなる第2の層とが接する界面を有する構造物の構造解析方法であって、
前記界面で反射した超音波の反射波形を取得し、
前記反射波形に基づいて、界面へ伝播した伝播時間を算出し、
前記伝播時間と前記界面に伝播するときの音速に基づいて前記構造物の構造を解析することを特徴とする構造解析方法。 - 前記構造物のXY平面上で所定間隔に超音波を照射し、
前記XY平面に略垂直な方向から前記超音波の反射波形を取得して、前記界面の位置を算出し、
前記構造物の三次元座標データを生成することを特徴とする請求項5に記載の構造解析方法。 - 第1の材料又は第1の組成からなる第1の層と、第2の材料又は第2の組成からなる第2の層とが接する界面を有する構造物の構造解析にあって、
前記界面にて反射した超音波の反射波形を取得し、
前記反射波形に基づいて、前記界面へ伝播した伝播時間を算出し、
前記伝播時間と前記界面に伝播するときの音速に基づいて前記構造物の構造を解析する処理を実行することを特徴とするコンピュータプログラム。 - 前記構造物の構造に基づいて前記構造物の三次元座標データを生成する処理を実行することを特徴とする請求項7に記載のコンピュータプログラム。
- 前記構造物の構造に基づいて前記構造物の三次元座標データを生成し、
生成した前記三次元座標データに基づいて、前記構造物の三次元構造を表示する処理を実行する請求項7に記載のコンピュータプログラム。 - 第1の材料又は第1の組成からなる第1の層と、第2の材料又は第2の組成からなる第2の層とが接する界面を有する構造物にあって、
前記構造物のXY平面上で所定間隔に超音波を照射し、前記XY平面に略垂直な方向から前記超音波の反射波形を取得し、
取得した前記反射波形のデータを外部装置へ出力し、
前記外部装置から前記構造物の反射波形のデータを取得し、
前記構造物の構造を三次元で表示する処理を実行することを特徴とするコンピュータプログラム。
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