JP2020170025A - 電気光学装置、電子機器、および電気光学装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】互い重なるコンタクトホールを介して導電層同士を適正に電気的に接続することのできる電気光学装置、電子機器、および電気光学装置の製造方法を提供すること。【解決手段】電気光学装置において、第1コンタクトホール43bの底部43b1で第1導電層4dと第2導電層6dとが接し、第2コンタクトホール44aの底部44a1で第2導電層6dと第3導電層7dとが接している。第3導電層7dは、第1導電材料を含む第1材料層7d0からなり、第2導電層6dは、第1導電材料を含む第2材料層6d1と、第2コンタクトホール44aを設けるためのエッチャーに対するエッチング速度が第1導電材料より低い第2導電材料を含む第3材料層6d2とを含む。従って、底部43b1では、第2材料層6d1が第1導電層4dと接し、第3材料層6d2が第2材料層6d1を覆っている。【選択図】図5
Description
本発明は、コンタクトホールを介して導電層同士が電気的に接続された電気光学装置、電子機器、および電気光学装置の製造方法に関するものである。
投射型表示装置のライトバルブ等として用いられる電気光学装置では、トランジスターと画素電極との間に複数の層間絶縁膜が設けられているため、トランジスターと画素電極とを電気的に接続するにあたって、複数の層間絶縁膜に設けられたコンタクトホールを利用する。この場合、コンクトホールを配線等の遮光層が形成されている遮光領域内で互いにずれた位置に形成することが多い(特許文献1参照)。
明るい画像を表示するために光が透過可能な領域を拡大した場合、遮光領域が狭くなるため、コンクトホールを互いにずれた位置に配置することが困難となる。そこで、第1導電層、第1コンクタクトホールが形成された第1絶縁膜、第2導電層、第2コンクタクトホールが形成された第2絶縁膜、および第3導電層を順に重ねる際、第1コンタクトホールと第2コンタクトホールを平面視で重ねた構造が考えられる。しかしながら、第1コンタクトホールと第2コンタクトホールを重ねると、第2コンタクトホールをエッチングにより形成する際、コンタクトホール内で第2導電層がエッチングされてしまい、接続不良になるおそれがある。それ故、互いに重なるコンタクトホールを介して導電層同士を適正に電気的に接続するのが困難であるという課題がある。
上記課題を解決するために、本発明を適用した電気光学装置の一態様は、第1導電層と、前記第1導電層が底部に位置する第1コンタクトホールが設けられた第1絶縁膜と、前記第1コンタクトホールの底部で前記第1導電層と接する第2導電層と、前記第1コンタクトホールと平面視で重なる第2コンタクトホールが設けられ、前記第2コンタクトホールの底部に前記第2導電層が位置する第2絶縁膜と、前記第2コンタクトホールの底部で前記第2導電層と接する第3導電層と、を備え、前記第3導電層は、第1導電材料を含む第1材料層により構成され、前記第2導電層は、前記第1導電材料を含む第2材料層と、前記第2絶縁膜に前記第2コンタクトホールを設けるためのエッチャーに対するエッチング速度が前記第1導電材料より低い第2導電材料を含む第3材料層と、を含み、前記第1コンタクトホールの底部では、前記第2材料層が前記第1導電層と接し、前記第3材料層が前記第2材料層を前記第1導電層とは反対側から覆っていることを特徴とする。
上記課題を解決するために、本発明を適用した電気光学装置の製造方法の一態様は、第1導電層を形成する第1工程と、前記第1導電層を覆う第1絶縁膜を形成した後、前記第1絶縁膜に前記第1導電層に到る第1コンタクトホールを設ける第2工程と、
第2導電層を形成した後、前記第2導電層をエッチングによりパターニングする第3工程と、前記第2導電層を覆う第2絶縁膜を形成した後、前記第2絶縁膜の前記第1コンタクトホールと重なる位置に前記第1コンタクトホールと連通する第2コンタクトホールを設ける第4工程と、第3導電層を形成した後、前記第3導電層をエッチングによりパターニングする第5工程と、を備え、前記第3導電層は、第1導電材料を含む第1材料層により構成され、前記第2導電層は、前記第1導電材料を含む第2材料層と、前記第4工程で前記第2絶縁膜に前記第2コンタクトホールを設けるためのエッチャーに対するエッチング速度が前記第1導電材料より低い第2導電材料を含む第3材料層と、を含み、前記第5工程を終了した際、前記第1コンタクトホールの底部では、前記第2材料層が前記第1導電層と接し、前記第3材料層が前記第2材料層を前記第1導電層とは反対側から覆っていることを特徴とする。
第2導電層を形成した後、前記第2導電層をエッチングによりパターニングする第3工程と、前記第2導電層を覆う第2絶縁膜を形成した後、前記第2絶縁膜の前記第1コンタクトホールと重なる位置に前記第1コンタクトホールと連通する第2コンタクトホールを設ける第4工程と、第3導電層を形成した後、前記第3導電層をエッチングによりパターニングする第5工程と、を備え、前記第3導電層は、第1導電材料を含む第1材料層により構成され、前記第2導電層は、前記第1導電材料を含む第2材料層と、前記第4工程で前記第2絶縁膜に前記第2コンタクトホールを設けるためのエッチャーに対するエッチング速度が前記第1導電材料より低い第2導電材料を含む第3材料層と、を含み、前記第5工程を終了した際、前記第1コンタクトホールの底部では、前記第2材料層が前記第1導電層と接し、前記第3材料層が前記第2材料層を前記第1導電層とは反対側から覆っていることを特徴とする。
本発明を適用した電気光学装置は、各種電子機器に用いられる。
図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。なお、以下の説明で参照する図においては、各層や各部材を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各層や各部材毎に縮尺を異ならしめてある。また、以下の説明において、第1基板19に形成される層を説明する際、上層側あるいは表面側とは第1基板19が位置する側とは反対側(第2基板29が位置する側)を意味し、下層側とは第1基板19が位置する側を意味する。
なお、以下の説明では、ドレイン電極4aからなる第1導電層4d、中継電極6bからなる第2導電層6d、および中継電極7bからなる第3導電層7dを第1コンタクトホール43b、および第2第2コンタクトホール44aを介して電気的に接続する際に本発明を適用した場合を中心に説明する。
(電気光学装置の構成)
図1は、本発明を適用した電気光学装置100の一態様を示す平面図である。図2は、図1に示す電気光学装置100の断面図である。図1に示すように、電気光学装置100では、素子基板10の基板本体である第1基板19と、対向基板20の基板本体である第2基板29とが所定の隙間を介してシール材107によって貼り合わされており、第1基板19と第2基板29とが対向している。シール材107は第2基板29の外縁に沿うように枠状に設けられており、第1基板19と第2基板29との間でシール材107によって囲まれた領域に液晶層等の電気光学層80が配置されている。従って、電気光学装置100は液晶装置として構成されている。シール材107は、光硬化性を備えた接着剤、あるいは光硬化性および熱硬化性を備えた接着剤であり、両基板間の距離を所定値とするためのグラスファイバー、あるいはガラスビーズ等のギャップ材が配合されている。第1基板19および第2基板29はいずれも四角形であり、電気光学装置100の略中央には、表示領域10aが四角形の領域として設けられており、表示領域10aは矩形枠状の周辺領域10dに囲まれている。
図1は、本発明を適用した電気光学装置100の一態様を示す平面図である。図2は、図1に示す電気光学装置100の断面図である。図1に示すように、電気光学装置100では、素子基板10の基板本体である第1基板19と、対向基板20の基板本体である第2基板29とが所定の隙間を介してシール材107によって貼り合わされており、第1基板19と第2基板29とが対向している。シール材107は第2基板29の外縁に沿うように枠状に設けられており、第1基板19と第2基板29との間でシール材107によって囲まれた領域に液晶層等の電気光学層80が配置されている。従って、電気光学装置100は液晶装置として構成されている。シール材107は、光硬化性を備えた接着剤、あるいは光硬化性および熱硬化性を備えた接着剤であり、両基板間の距離を所定値とするためのグラスファイバー、あるいはガラスビーズ等のギャップ材が配合されている。第1基板19および第2基板29はいずれも四角形であり、電気光学装置100の略中央には、表示領域10aが四角形の領域として設けられており、表示領域10aは矩形枠状の周辺領域10dに囲まれている。
第1基板19の第2基板29と対向する一方面19sにおいて、周辺領域10dの外側には、第1基板19の一辺に沿ってデータ線駆動回路101および複数の端子102が形成されており、この一辺に隣接する他の辺に沿って走査線駆動回路104が形成されている。端子102には、フレキシブル配線基板(図示せず)が接続されており、第1基板19には、フレキシブル配線基板を介して各種電位や各種信号が入力される。
第1基板19の一方面19sにおいて、表示領域10aには、ITO(Indium Tin Oxide)膜等からなる透光性の複数の画素電極9a、および複数の画素電極9aの各々に電気的に接続するトランジスター(図示せず)がマトリクス状に形成されている。画素電極9aに対して第2基板29側には第1配向膜16が形成されており、画素電極9aは、第1配向膜16によって覆われている。
第2基板29において第1基板19と対向する一方面29s側には、ITO膜等からなる透光性の共通電極21が形成されており、共通電極21に対して第1基板19側には第2配向膜26が形成されている。共通電極21は、第2基板29の略全面に形成されており、第2配向膜26によって覆われている。第2基板29において、共通電極21に対して第1基板19とは反対側には、金属または金属化合物からなる遮光性の遮光層27、および保護層28が形成されている。遮光層27は、例えば、表示領域10aの外周縁に沿って延在する額縁状の見切り27aとして形成されている。また、遮光層27は、隣り合う画素電極9aにより挟まれた領域と平面視で重なる領域にブラックマトリクス27bとしても形成されることもある。本形態において、第1基板19の周辺領域10dのうち、見切り27aと平面視で重なるダミー画素領域には、画素電極9aと同時形成されたダミー画素電極9bが形成されている。
第1配向膜16および第2配向膜26は、SiOx(x<2)、SiO2、TiO2、MgO、Al2O3等の斜方蒸着膜からなる無機配向膜(垂直配向膜)であり、電気光学層80に用いた負の誘電率異方性を備えた液晶分子を傾斜配向させている。このため、液晶分子は、第1基板19および第2基板29に対して所定の角度を成している。このようにして、電気光学装置100は、VA(Vertical Alignment)モードの液晶装置として構成されている。
第1基板19には、シール材107より外側において第2基板29の角部分と重なる領域に、第1基板19と第2基板29との間で電気的導通をとるための基板間導通用電極109が形成されている。基板間導通用電極109には、導電粒子を含んだ基板間導通材109aが配置されており、第2基板29の共通電極21は、基板間導通材109aおよび基板間導通用電極109を介して、第1基板19側に電気的に接続されている。このため、共通電極21は、第1基板19の側から共通電位が印加されている。
本形態の電気光学装置100において、第1基板19および第2基板29は、石英基板やガラス基板等の透光性基板である。また、画素電極9aおよび共通電極21がITO膜(透光性導電膜)により形成されており、電気光学装置100は、透過型液晶装置として構成されている。かかる電気光学装置100では、第1基板19および第2基板29のうち、一方側の基板から入射した光が他方側の基板を透過して出射される間に変調されて画像を表示する。本形態では、矢印Lで示すように、第2基板29から入射した光が第1基板19を透過して出射される間に電気光学層80によって画素毎に変調され、画像を表示する。なお、電気光学装置100は、反射型液晶装置として構成される場合があり、この場合、例えば、画素電極9aを反射性金属によって形成する。反射型液晶装置では、第2基板29から入射した光が第1基板19の側で反射して再び第2基板29の側から出射される間に電気光学層80によって画素毎に変調し、画像を表示する。
(画素の具体的構成)
図3は、図1に示す電気光学装置100の画素の平面図である。図4は、図3に示す画素のF−F′断面図である。なお、図3では、各層を以下の線で表してある。また、図3では、互いの端部が平面視で重なり合う層については、層の形状等が分かりやすいように、端部の位置をずらしてある。
第1遮光層8a=細くて長い破線
半導体層1a=細くて短い点線
走査線3a=太い実線
第1導電層4d(ドレイン電極4a)=細い実線
データ線6aおよび第2導電層6d(中継電極6b)=細い一点鎖線
容量線5a=太い一点鎖線
第2遮光層7aおよび第3導電層6d(中継電極7b)=細い二点鎖線
画素電極9a=太い破線
図3は、図1に示す電気光学装置100の画素の平面図である。図4は、図3に示す画素のF−F′断面図である。なお、図3では、各層を以下の線で表してある。また、図3では、互いの端部が平面視で重なり合う層については、層の形状等が分かりやすいように、端部の位置をずらしてある。
第1遮光層8a=細くて長い破線
半導体層1a=細くて短い点線
走査線3a=太い実線
第1導電層4d(ドレイン電極4a)=細い実線
データ線6aおよび第2導電層6d(中継電極6b)=細い一点鎖線
容量線5a=太い一点鎖線
第2遮光層7aおよび第3導電層6d(中継電極7b)=細い二点鎖線
画素電極9a=太い破線
図3に示すように、第1基板19において第2基板29と対向する面には、複数の画素の各々に画素電極9aが形成されており、隣り合う画素電極9aにより挟まれた画素間領域に沿ってデータ線6aおよび走査線3aが形成されている。画素間領域は縦横に延在しており、走査線3aは画素間領域のうち、X方向に延在する第1画素間領域に沿って直線的に延在し、データ線6aは、Y方向に延在する第2画素間領域に沿って直線的に延在している。また、データ線6aと走査線3aとの交差に対応してトランジスター30が形成されており、本形態において、トランジスター30は、データ線6aと走査線3aとの交差領域およびその付近を利用して形成されている。さらに、第1基板19には容量線5aが形成されており、かかる容量線5aには共通電位Vcomが印加されている。容量線5aは、走査線3aおよびデータ線6aに重なるように延在して格子状に形成されている。トランジスター30の下層側には第1遮光層8aが形成されており、第1遮光層8aは、走査線3aと重なるように延在する主線部分と、主線部分からデータ線に沿って突出した凸部とを有している。トランジスター30の上層側には第2遮光層7aが形成されており、第2遮光層7aは、データ線6aに重なるように延在している。
図4に示すように、第1基板19において、一方面19s側には、導電性のポリシリコン膜、金属シリサイド膜、金属膜あるいは金属化合物膜等の導電膜からなる第1遮光層8aが形成されている。第1遮光層8aは、タングステンシリサイド(WSi)、タングステン、窒化チタン等の遮光膜からなり、電気光学装置100を透過した後の光が他の部材で反射した際、かかる反射光が半導体層1aに入射してトランジスター30で光電流に起因する誤動作が発生することを防止する。第1遮光層8aを走査線として構成する場合もある。
第1基板19の一方面19s側において、第1遮光層8aの上層側には、シリコン酸化膜からなる透光性の層間絶縁膜41が形成され、層間絶縁膜41の上層側に、半導体層1aを備えたトランジスター30が形成されている。トランジスター30は、データ線6aの延在方向に長辺方向を向けた半導体層1aと、半導体層1aの長さ方向と直交する方向に延在して半導体層1aの長さ方向の中央部分に重なるゲート電極3bとを備えており、本形態において、ゲート電極3bは走査線3aの一部からなる。トランジスター30は、半導体層1aとゲート電極3bとの間に透光性のゲート絶縁層2を有している。半導体層1aは、ゲート電極3bに対してゲート絶縁層2を介して対向するチャネル領域1gを備えているとともに、チャネル領域1gの両側にソース領域1bおよびドレイン領域1cを備えている。本形態において、トランジスター30は、LDD構造を有している。従って、ソース領域1bおよびドレイン領域1cは各々、チャネル領域1gの両側に低濃度領域を備え、低濃度領域に対してチャネル領域1gとは反対側で隣接する領域に高濃度領域を備えている。
半導体層1aは、ポリシリコン膜(多結晶シリコン膜)等によって構成されている。ゲート絶縁層2は、半導体層1aを熱酸化したシリコン酸化膜からなる第1ゲート絶縁層2aと、減圧CVD法等により形成されたシリコン酸化膜からなる第2ゲート絶縁層2bとの2層構造からなる。ゲート電極3bおよび走査線3aは、導電性のポリシリコン膜、金属シリサイド膜、金属膜あるいは金属化合物膜等の導電膜からなる。本形態において、走査線3aは、ゲート絶縁層2および層間絶縁膜41を貫通するコンタクトホール41aを介して電気的に接続されている。
ゲート電極3bの上層側にはシリコン酸化膜等からなる透光性の層間絶縁膜42が形成され、層間絶縁膜42の上層には第1導電層4dが形成されている。第1導電層4dはドレイン電極4aである。第1導電層4dは、導電性のポリシリコン膜、金属シリサイド膜、金属膜あるいは金属化合物膜等の導電膜からなる。第1導電層4dは、半導体層1aのドレイン領域1cと一部が重なるように形成されており、層間絶縁膜42およびゲート絶縁層2を貫通するコンタクトホール42aを介してドレイン領域1cに導通している。
第1導電層4dの上層側には透光性の誘電体層40が形成されており、かかる誘電体層40の上層側には容量線5aが形成されている。誘電体層40としては、シリコン酸化膜やシリコン窒化膜等のシリコン化合物を用いることができる他、アルミニウム酸化膜、チタン酸化膜、タンタル酸化膜、ニオブ酸化膜、ハフニウム酸化膜、ランタン酸化膜、ジルコニウム酸化膜等の高誘電率の誘電体層を用いることができる。容量線5aは、導電性のポリシリコン膜、金属シリサイド膜、金属膜あるいは金属化合物膜等の導電膜からなる。容量線5aは、誘電体層40を介して第1導電層4dと重なっており、保持容量55を構成している。
容量線5aの上層側には、シリコン酸化膜等からなる透光性の第1絶縁膜43が形成されており、第1絶縁膜43の上層側には、データ線6aおよび第2導電層6dが同一の導電膜により形成されている。第2導電層6dは中継電極6bである。第2絶縁膜44の表面は平坦化されている。データ線6aおよび第2導電層6dは、導電性のポリシリコン膜、金属シリサイド膜、金属膜あるいは金属化合物膜等の導電膜によって構成することができる。データ線6aは、第1絶縁膜43、層間絶縁膜42、およびゲート絶縁層2を貫通するコンタクトホール43aを介してソース領域1bに導通している。第2導電層6dは、第1絶縁膜43を貫通する第1コンタクトホール43bを介して第1導電層4dに導通している。
データ線6aおよび第2導電層6dの上層側にはシリコン酸化膜等からなる透光性の第2絶縁膜44が形成されており、第2絶縁膜44の上層側には、第2遮光層7aおよび第3導電層7dが同一の導電膜によって形成されている。第3導電層7dは中継電極7bである。第2絶縁膜44の表面は平坦化されている。第2遮光層7aおよび第3導電層7dは、導電性のポリシリコン膜、金属シリサイド膜、金属膜あるいは金属化合物膜等の導電膜からなる。第3導電層7dは、第2絶縁膜44を貫通する第2コンタクトホール44aを介して第2導電層6dに導通している。第2遮光層7aは、データ線6aと重なるように延在しており、遮光層として機能している。なお、第2遮光層7aに定電位を印加し、シールド層として利用してもよい。
第2遮光層7aおよび第3導電層7dの上層側には、シリコン酸化膜等からなる透光性の層間絶縁膜45が形成されており、かかる層間絶縁膜45の上層側にはITO膜等からなる画素電極9aが形成されている。層間絶縁膜45の表面は平坦化されている。層間絶縁膜45には、第3導電層7dまで到達したコンタクトホール45aが形成されており、画素電極9aは、コンタクトホール45aを介して第3導電層7dに電気的に接続している。その結果、画素電極9aは、第3導電層7d、第2導電層6dおよび第1導電層4dを介してドレイン領域1cに電気的に接続している。画素電極9aの表面側には、ポリイミドや無機配向膜からなる透光性の第1配向膜16が形成されている。
(第1導電層4dと第3導電層7dとの接続構造)
図5および図6を参照して、第1コンタクトホール43bおよび第2コンタクトホール44aを介して、第3導電層7dを第1導電層4dと電気的に接続する構造、および電気光学装置100の製造方法のうち、第3導電層7dを第2導電層6dを介して第1導電層4dに接続するための方法を説明する。図5は、図4に示す第1コンタクトホール43bおよび第2コンタクトホール44a等の説明図である。図6は、図5に示す第3導電層7dを形成するまでの工程断面図である。なお、第2絶縁膜44に第2コンタクトホール44aを形成した際、第1コンタクトホール43bの内部に第2絶縁膜44の一部が残る場合があるが、図5および図6では、第1コンタクトホール43bに残る第2絶縁膜44の図示を省略してある。
図5および図6を参照して、第1コンタクトホール43bおよび第2コンタクトホール44aを介して、第3導電層7dを第1導電層4dと電気的に接続する構造、および電気光学装置100の製造方法のうち、第3導電層7dを第2導電層6dを介して第1導電層4dに接続するための方法を説明する。図5は、図4に示す第1コンタクトホール43bおよび第2コンタクトホール44a等の説明図である。図6は、図5に示す第3導電層7dを形成するまでの工程断面図である。なお、第2絶縁膜44に第2コンタクトホール44aを形成した際、第1コンタクトホール43bの内部に第2絶縁膜44の一部が残る場合があるが、図5および図6では、第1コンタクトホール43bに残る第2絶縁膜44の図示を省略してある。
本形態では、第1導電層4d(ドレイン電極4a)、第2導電層6d(中継電極6b)、および第3導電層7d(中継電極7b)を第1コンタクトホール43b、および第2第2コンタクトホール44aを介して電気的に接続するにあたって、図5に示す構造が採用されている。
まず、第1導電層4dを覆う第1絶縁膜43には、第1導電層4dが底部43b1に位置する第1コンタクトホール43bが設けられている。第1絶縁膜43の表面には第2導電層6dが形成されており、第2導電層6dの一部は第1コンタクトホール43bの内部に位置する。従って、第1コンタクトホール43bの底部43b1では、第1導電層4dと第2導電層6dとが接している。第2導電層6dは、第1絶縁膜43の表面に厚く形成されているのに対して、第1コンタクトホール43bの内部では薄く形成されている。
第1絶縁膜43および第2導電層6dを覆う第2絶縁膜44には、第1コンタクトホール43bと平面視で重なる第2コンタクトホール44aが設けられており、第2コンタクトホール44aの底部44a1には、第2導電層6dが位置する。第2絶縁膜44の表面には第3導電層7dが形成されており、第3導電層7dの一部は第2コンタクトホール44aの内部に位置する。第3導電層7dは、第2絶縁膜44の表面に厚く形成されているのに対して、第2コンタクトホール44aの内部では薄く形成されている。また、第3導電層7dは、第1コンタクトホール43bには形成されておらず、第2絶縁膜44の表面から第2コンタクトホール44aの底部44a1まで到達している。従って、第3導電層7dは、第2コンタクトホール44aの底部44a1で第2導電層6dと接している。
本形態において、第3導電層7dは、第1導電材料を含む第1材料層7d0により構成され、第2導電層6dは、第1導電材料を含む第2材料層6d1と、第2絶縁膜44に第2コンタクトホール44aを設けるためのエッチャーに対するエッチング速度が第1導電材料より低い第2導電材料を含む第3材料層6d2とを含んでいる。
かかる構造は、図6に示す方法によって構成される。まず、図6に示すように、第1工程ST1において第1導電層4dを形成する。具体的には、第1導電層4dを成膜した後、第1導電層4dをエッチングによりパターニングする。次に、第2工程ST2では、第1導電層4dを覆う第1絶縁膜43を形成した後、第1絶縁膜43に第1導電層4dに到る第1コンタクトホール43bを設ける。次に、第3工程ST3では、第2導電層6dを成膜した後、第2導電層6dをエッチングによりパターニングする。第2導電層6dを成膜した際、第2導電層6dは、第1絶縁膜43の表面には厚く形成されるのに対して、第1コンタクトホール43bの内部では薄く形成される。
次に、第4工程ST4では、第2導電層6dを覆う第2絶縁膜44を形成した後、第2絶縁膜44の第1コンタクトホール43bと重なる位置に第2コンタクトホール44aを設ける。その結果、第2コンタクトホール44aは、第1コンタクトホール43bと連通する。
ここで、第2導電層6dは、第1導電材料を含む第2材料層6d1と、第2絶縁膜44に第2コンタクトホール44aを設けるためのエッチャーに対するエッチング速度が第1導電材料より低い第2導電材料を含む第3材料層6d2とを含んでいる。
第1導電材料は、例えば、チタン(Ti)またはアルミニウム(Al)であり、第2導電材料は、例えば、タングステン(W)である。従って、第1材料層7d0は、窒化チタン(TiN)層の単層膜、またはAl層にTi層が積層された積層膜である。第2材料層6d1は、Ti層の単層膜、TiN層の単層膜、またはAl層にTi層が積層された積層膜である。第3材料層6d2は、タングステンシリサイド(WSi)層の単層膜である。Al層は、電気的抵抗が小さいという利点がある一方、エッチングされやすいとともに、マイグレーションが発生しやすいという欠点がある。窒化チタン層およびTiN層は、WSi層に比してエッチングされやすいが、Al層よりエッチングされにいとともに、Al層より熱的安定性が高いという利点がある。また、TiN層は、Al層より光の反射性が低いという利点がある。WSi層は、耐エッチング性が高く、光の反射性が低いという利点がある。図5および図6には、第3導電層7dを構成する第1材料層7d0がTiN層の単層膜であり、第2導電層6dに用いた第2材料層6d1が、Ti層、Al層およびTi層が順に積層された積層膜である場合を示してある。
このように第2導電層6dを構成した場合、第2コンタクトホール44aを設けるためのエッチングガス(エッチャー)、および第2コンタクトホール44aを設けた後の洗浄工程で使われる洗浄液に対して、第2導電層6dに用いた第2材料層6d1のエッチング速度は高いが、第2導電層6dに用いた第3材料層6d2のエッチング速度は遅い。
より具体的には、第4工程ST4では、シリコン酸化膜からなる第2絶縁膜44を、フッ素系のエッチングガス(四フッ化炭素(CF4)等)を用いてエッチングして、第2絶縁膜44に第2コンタクトホール44aを設け、第2コンタクトホール44aを開口した後のウエット工程(洗浄工程)で、フッ素を含む洗浄液(フッ化水素酸(HF)、希フッ酸(DHF)等)を用いた洗浄を行う。
そして、第4工程ST4において、第2絶縁膜44をエッチングする際、および第2コンタクトホール44aを洗浄する際、第2材料層6d1は、第3材料層6d2によって覆われている。このため、第2コンタクトホール44aを設ける際、第1コンタクトホール43bの底部43b1、および第2コンタクトホール44aの底部44a1では、第2材料層6d1および第3材料層6d2が残る。
よって、第1コンタクトホール43bの底部43b1では、第2材料層6d1が第1導電層4dと接し、第1コンタクトホール43bの底部43b1、および第2コンタクトホール44aの底部44a1では、第3材料層6d2が第2材料層6d1を第1導電層4dとは反対側から覆う構造となる。それ故、第2導電層6dを第1導電層4dと確実に電気的に接続することができる。よって、第1コンタクトホール43bと第2コンタクトホール44aとを平面視で重ねることにより、第1コンタクトホール43bおよび第2コンタクトホール44aが平面視で占める面積を狭めた場合でも、第2導電層6dを介して第3導電層7dを第1導電層4dに適正に電気的に接続することができる。
第5工程ST5では、第3導電層7dを成膜した後、第3導電層7dをエッチングによりパターニングする。第3導電層7dを成膜した際、第3導電層7dは、第2絶縁膜44の表面に厚く形成されているのに対して、第1コンタクトホール43bおよび第2コンタクトホール44aの内部では薄く形成される。従って、第3導電層7dをパターニングした際、第3導電層7dは、第2コンタクトホール44aの内部には残るが、第1コンタクトホール43bの内部には残らない。
第3導電層7dは、第1導電材料を含む第1材料層7d0により構成され、第2導電層6dは、第1導電材料を含む第2材料層6d1と、第1導電材料をエッチングするためのエッチャーに対するエッチング速度が第1導電材料より低い第2導電材料を含む第3材料層6d2とを含んでいる。このように第2導電層6dを構成した場合、第1材料層7d0をエッチングするためのエッチャーに対しては、第2導電層6dに用いた第2材料層6d1のエッチング速度は高いが、第2導電層6dに用いた第3材料層6d2のエッチング速度は遅い。
本形態では、第5工程ST5においては、塩素を含むエッチングガス(エッチャー)を用いて第3導電層7d(第1材料層7d0)をドライエッチングによりパターニングする。
ここで、第5工程ST5において第3導電層7dをエッチングする際、第2材料層6d1は、第3材料層6d2によって覆われている。このため、第3導電層7dをパターニングするために第1材料層7d0をエッチングした際、第1コンタクトホール43bの底部43b1、および第2コンタクトホール44aの底部44a1では、第2材料層6d1および第3材料層6d2が残る。
このように本形態では、第1コンタクトホール43bの底部43b1では、第2材料層6d1が第1導電層4dと接し、第1コンタクトホール43bの底部43b1、および第2コンタクトホール44aの底部44a1では、第3材料層6d2が第2材料層6d1を第1導電層4dとは反対側から覆う構造となる。それ故、第2導電層6dを第1導電層4dと確実に電気的に接続することができ、第3導電層7dを第2導電層6dと確実に電気的に接続することができる。よって、第1コンタクトホール43bと第2コンタクトホール44aとを平面視で重ねることにより、第1コンタクトホール43bおよび第2コンタクトホール44aが平面視で占める面積を狭めた場合に、第2導電層6dおよび第3導電層7dに共通の導電材料を用いた場合でも、第2導電層6dを介して第3導電層7dを第1導電層4dに適正に電気的に接続することができる。
(比較例の説明)
図7は、本発明の比較例の説明図であり、図7を参照して、本発明の比較例において、第1コンタクトホール43bおよび第2コンタクトホール44aを介して、第3導電層7dを第1導電層4dと電気的に接続した場合を説明する。なお、本例の基本的な構成は、実施形態と同様であるため、共通する部分には同一の符号を付して説明する。
図7は、本発明の比較例の説明図であり、図7を参照して、本発明の比較例において、第1コンタクトホール43bおよび第2コンタクトホール44aを介して、第3導電層7dを第1導電層4dと電気的に接続した場合を説明する。なお、本例の基本的な構成は、実施形態と同様であるため、共通する部分には同一の符号を付して説明する。
図7に示すように、比較例では、第2導電層6dが第2材料層6d1のみからなり、第3材料層6d2が設けられていない。従って、第3導電層7dはTiN層の単層膜(第1材料層7d0)であり、第2導電層6dは、Ti層、Al層およびTi層が順に積層された積層膜(第2材料層6d1)からなる。
かかる構成の場合、第1工程ST1〜第4工程ST4を行った後、第3導電層7dを形成し、その後、第5工程ST5において、第3導電層7dをエッチングによりパターニングするまでの間に、第1コンタクトホール43bの底部43b1では、第2導電層6dがエッチングされてしまう。それ故、第1導電層4dから第3導電層7dまでの間では、接続抵抗が極めて大きくなるか、断線状態となってしまう。
[他の実施の形態]
上記実施の形態では、第1材料層7d0がTiN層の単層膜、またはAl層にTi層が積層された積層膜であり、第2材料層6d1がTi層の単層膜、TiN層の単層膜、またはAl層にTi層が積層された積層膜であり、第3材料層6d2がWSiの単層膜である場合を説明した。但し、第3導電層7dが第1導電材料を含む第1材料層7d0により構成され、第2導電層6dが、第1導電材料を含む第2材料層6d1と、第1導電材料をエッチングするためのエッチャーに対するエッチング速度が第1導電材料より低い第2導電材料を含む第3材料層6d2とを含んでいる構成であれば、上記導電材料以外の材料を用いてもよい。
上記実施の形態では、第1材料層7d0がTiN層の単層膜、またはAl層にTi層が積層された積層膜であり、第2材料層6d1がTi層の単層膜、TiN層の単層膜、またはAl層にTi層が積層された積層膜であり、第3材料層6d2がWSiの単層膜である場合を説明した。但し、第3導電層7dが第1導電材料を含む第1材料層7d0により構成され、第2導電層6dが、第1導電材料を含む第2材料層6d1と、第1導電材料をエッチングするためのエッチャーに対するエッチング速度が第1導電材料より低い第2導電材料を含む第3材料層6d2とを含んでいる構成であれば、上記導電材料以外の材料を用いてもよい。
上記実施形態では、ドレイン電極4aと中継電極6b、7bの電気的な接続に本発明を適用したが、他の部分での電気的な接続に本発明を適用してもよい。
本発明では、液晶装置からなる電気光学装置に本発明を適用したが、有機エレクトロルミネッセンス表示装置等の電気光学装置に本発明を適用してもよい。
[電子機器への搭載例]
上述した実施形態に係る電気光学装置100を用いた電子機器について説明する。図8は、本発明を適用した電気光学装置100を用いた投射型表示装置の概略構成図である。図8には、偏光板等の光学素子の図示を省略してある。図8に示す投射型表示装置2100は、電気光学装置100を用いた電子機器の一例である。
上述した実施形態に係る電気光学装置100を用いた電子機器について説明する。図8は、本発明を適用した電気光学装置100を用いた投射型表示装置の概略構成図である。図8には、偏光板等の光学素子の図示を省略してある。図8に示す投射型表示装置2100は、電気光学装置100を用いた電子機器の一例である。
図8に示す投射型表示装置2100において、上記実施形態に係る電気光学装置100がライトバルブとして用いられ、装置を大きくすることなく高精細で明るい表示が可能である。図8に示すように、投射型表示装置2100の内部には、ハロゲンランプ等の白色光源を有するランプユニット2102(光源部)が設けられている。ランプユニット2102から射出された投射光は、内部に配置された3枚のミラー2106および2枚のダイクロイックミラー2108によってR(赤)色、G(緑)色、B(青)色の3原色に分離される。分離された投射光は、各原色に対応するライトバルブ100R、100G、100Bにそれぞれ導かれ、変調される。なお、B色の光は、他のR色やG色と比較すると光路が長いので、その損失を防ぐために、入射レンズ2122、リレーレンズ2123および出射レンズ2124を有するリレーレンズ系2121を介して導かれる。
ライトバルブ100R、100G、100Bによってそれぞれ変調された光は、ダイクロイックプリズム2112に3方向から入射する。そして、ダイクロイックプリズム2112において、R色およびB色の光は90度に反射し、G色の光は透過する。したがって、各原色の画像が合成された後、スクリーン2120には、投射レンズ群2114(投射光学系)によってカラー画像が投射される。
(他の投射型表示装置)
なお、投射型表示装置については、光源部として、各色の光を出射するLED光源等を用い、かかるLED光源から出射された色光を各々、別の液晶装置に供給するように構成してもよい。
なお、投射型表示装置については、光源部として、各色の光を出射するLED光源等を用い、かかるLED光源から出射された色光を各々、別の液晶装置に供給するように構成してもよい。
(他の電子機器)
本発明を適用した電気光学装置100を備えた電子機器は、上記実施形態の投射型表示装置2100に限定されない。例えば、投射型のHUD(ヘッドアップディスプレイ)やHMD(ヘッドマウントディスプレイ)、パーソナルコンピューター、デジタルスチルカメラ、液晶テレビ等の電子機器に用いてもよい。
本発明を適用した電気光学装置100を備えた電子機器は、上記実施形態の投射型表示装置2100に限定されない。例えば、投射型のHUD(ヘッドアップディスプレイ)やHMD(ヘッドマウントディスプレイ)、パーソナルコンピューター、デジタルスチルカメラ、液晶テレビ等の電子機器に用いてもよい。
1a…半導体層、1b…ソース領域、1c…ドレイン領域、1g…チャネル領域、2…ゲート絶縁層、3a…走査線、3b…ゲート電極、4a…ドレイン電極、4d…第1導電層、5a…容量線、6a…データ線、6b、7b…中継電極、6d…第2導電層、6d1…第2材料層、6d2…第3材料層、7a…第2遮光層、7d…第3導電層、7d0…第1材料層、8a…第1遮光層、9a…画素電極、10…素子基板、10a…表示領域、19…第1基板、20…対向基板、21…共通電極、29…第2基板、30…トランジスター、40…誘電体層、43…第1絶縁膜、43b…第1コンタクトホール、43b1、44a1…底部、44…第2絶縁膜、44a…第2コンタクトホール、80…電気光学層、100…電気光学装置、100B、100G、100R…ライトバルブ、2100…投射型表示装置、2102…ランプユニット(光源部)、2114…投射レンズ群(投射光学系)、ST1…第1工程、ST2…第2工程、ST3…第3工程、ST4…第4工程、ST5…第5工程。
Claims (7)
- 第1導電層と、
前記第1導電層が底部に位置する第1コンタクトホールが設けられた第1絶縁膜と、
前記第1コンタクトホールの底部で前記第1導電層と接する第2導電層と、
前記第1コンタクトホールと平面視で重なる第2コンタクトホールが設けられ、前記第2コンタクトホールの底部に前記第2導電層が位置する第2絶縁膜と、
前記第2コンタクトホールの底部で前記第2導電層と接する第3導電層と、
を備え、
前記第3導電層は、第1導電材料を含む第1材料層により構成され、
前記第2導電層は、前記第1導電材料を含む第2材料層と、前記第2絶縁膜に前記第2コンタクトホールを設けるためのエッチャーに対するエッチング速度が前記第1導電材料より低い第2導電材料を含む第3材料層と、を含み、
前記第1コンタクトホールの底部では、前記第2材料層が前記第1導電層と接し、前記第3材料層が前記第2材料層を前記第1導電層とは反対側から覆っていることを特徴とする電気光学装置。 - 請求項1に記載の電気光学装置において、
前記第1導電材料はチタンまたはアルミニウムであり、
前記第2導電材料はタングステンであることを特徴とする電気光学装置。 - 請求項2に記載の電気光学装置において、
前記第1材料層は、窒化チタン層の単層膜、またはアルミニウム層にチタン層が積層された積層膜であり、
前記第2材料層は、チタン層の単層膜、窒化チタン層の単層膜、またはアルミニウム層にチタン層が積層された積層膜であり、
前記第3材料層は、タングステンシリサイド層の単層膜であることを特徴とする電気光学装置。 - 請求項1から3までの何れか一項に記載の電気光学装置を備えたことを特徴とする電子機器。
- 第1導電層を形成する第1工程と、
前記第1導電層を覆う第1絶縁膜を形成した後、前記第1絶縁膜に前記第1導電層に到る第1コンタクトホールを設ける第2工程と、
第2導電層を形成した後、前記第2導電層をエッチングによりパターニングする第3工程と、
前記第2導電層を覆う第2絶縁膜を形成した後、前記第2絶縁膜の前記第1コンタクトホールと重なる位置に前記第1コンタクトホールと連通する第2コンタクトホールを設ける第4工程と、
第3導電層を形成した後、前記第3導電層をエッチングによりパターニングする第5工程と、
を備え、
前記第3導電層は、第1導電材料を含む第1材料層により構成され、
前記第2導電層は、前記第1導電材料を含む第2材料層と、前記第4工程で前記第2絶縁膜に前記第2コンタクトホールを設けるためのエッチャーに対するエッチング速度が前記第1導電材料より低い第2導電材料を含む第3材料層と、を含み、
前記第5工程を終了した際、前記第1コンタクトホールの底部では、前記第2材料層が前記第1導電層と接し、前記第3材料層が前記第2材料層を前記第1導電層とは反対側から覆っていることを特徴とする電気光学装置の製造方法。 - 請求項5に記載の電気光学装置の製造方法において、
前記第1導電材料はチタンまたはアルミニウムであり、
前記第2導電材料はタングステンであることを特徴とする電気光学装置の製造方法。 - 請求項6に記載の電気光学装置の製造方法において、
前記第1材料層は、窒化チタン層の単層膜、またはアルミニウム層にチタン層が積層された積層膜であり、
前記第2材料層は、チタン層の単層膜、窒化チタン層の単層膜、またはアルミニウム層にチタン層が積層された積層膜であり、
前記第3材料層は、タングステンシリサイドの単層膜であることを特徴とする電気光学装置の製造方法。
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