JP2020169386A - 焼結性銀粒子と揮発性分散媒の選定方法 - Google Patents
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Abstract
Description
有機物被覆金属粒子と該有機物自体の各々を、空気気流中における熱分析に供し、該金属粒子の表面を被覆している有機物の熱分解ピーク温度(1)が該有機物自体の熱分解ピーク温度(2)より低い場合は、該有機物被覆金属粒子の加熱焼結性が優れると判定し、
該金属粒子の表面を被覆している有機物の熱分解ピーク温度(1)が該有機物自体の熱分解ピーク温度(2)と同等以上の場合は、該有機物被覆金属粒子の加熱焼結性が劣ると判定することを特徴とする、有機物被覆金属粒子の加熱焼結性の評価方法が記載されている。
金属粒子として銀粒子が規定されている。
該金属粒子の表面を被覆している有機物の熱分解ピーク温度(1)が該有機物自体の熱分解ピーク温度(2)と同等以上の場合は、該有機物被覆金属粒子の加熱焼結性が劣ると判定し、次いで、加熱焼結性が優れると判定された有機物被覆金属粒子を揮発性分散媒と混合してペースト化することを特徴とする、加熱焼結性金属ペーストの製造方法が記載されている。金属粒子として銀粒子が規定されている。
[1] 脂肪酸で表面被覆された平均粒径が0.1〜10μmである焼結性銀粒子(A)と揮発性分散媒(B)を混合してペースト状銀粒子組成物を調製するにあたり、該焼結性銀粒子(A)を大気雰囲気中で昇温速度5℃/分で昇温させて記録された示差熱分析曲線において、該焼結性銀粒子の焼結に起因して現れる単一の発熱ピークのピークトップ温度、または、該焼結性銀粒子の焼結に起因して現れる複数の発熱ピークのうちの最高の発熱ピークのピークトップ温度が175℃〜235℃の範囲内の焼結性銀粒子を選定し、[揮発性分散媒(B)の沸点]−[該焼結性銀粒子の焼結に起因して現れる単一の発熱ピークのピークトップ温度または複数の発熱ピークのうちの最高の発熱ピークのピークトップ温度]が0℃〜+30℃となるような沸点を有する揮発性分散媒(B)を選定することを特徴とする、接着強度の高いペースト状銀粒子組成物用の脂肪酸被覆焼結性銀粒子と揮発性分散媒の選定方法。
[2] 単一の発熱ピークの半値幅または複数の発熱ピークのうちの最高の発熱ピークの半値幅が10℃以下であることを特徴とする[1]に記載の選定方法。
[3] 脂肪酸が炭素原子数4以上の脂肪酸であり、該焼結性銀粒子(A)が銀塩の還元による銀粒子であり、揮発性分散媒(B)は、常圧での沸点が175℃〜265℃であることを特徴とする、[1]または[2]に記載の選定方法。;により達成される。
なお、該ピークトップ温度の下限値は175℃であるが、176℃であることが好ましく、177℃であることがより好ましい。該ピークトップ温度の上限値は235℃であるが、234℃であることが好ましく、233℃であることがより好ましい。
形状は、例えばJIS Z 2500に記載の分類を用いることができ、これらの形状の焼結性銀粒子(A)は2種以上を併用しても良い。フレーク状の焼結性銀粒子(A)は、球状、粒状または涙滴状の焼結性銀粒子をセラミック製のボールとともにボールミルのような回転式ドラム装置で銀粒子を物理的に殴打することにより容易に製造できる。この際、銀粒子の凝集を低減、防止するため微量の脂肪酸を添加しても良い。
また、該焼結性銀粒子の焼結に起因して複数(例えば、2個)のシャープな発熱ピークが現れることがあり得る。その場合は、最高の(最も高い)発熱ピークのピークトップ温度が、本願発明における焼結性銀粒子の焼結に起因する発熱ピークのピークトップ温度である。ピークトップ温度は、示差熱熱重量同時測定装置に付属している解析ソフトにより自動的に表示される。示差熱分析曲線の図から求めてもよい。具体的には、図10において、ピークトップ(T)から横軸方向に垂直に下ろした垂線(TD)と温度変化線との交点における温度がピークトップ温度であり、この温度は右縦軸に示される。
これらのうちでは炭素原子数が4以上であるものが好ましい。
T1−T2が0℃より低い場合、および、T1−T2が30℃を越える場合は、前記した銀焼結物(a)と,銀焼結物(a)間に存在する多数の空隙部(b)とからなる多孔質銀焼結物における、少なくとも二つの空隙部(b)間の銀焼結物(a)が太くならず、ペースト状銀粒子組成物を金属製部材同士の接合に用いた場合、接合強度を大きくすることができない。
少なくとも二つの空隙部(b)間の銀焼結物(a)の太さは、該多孔質銀焼結物の断面を電子顕微鏡で観察することにより知ることができる(例えば、図6〜図9)。実施例である図6と図8の方が、比較例である図7と図9より、銀焼結物(a)が太いことがわかる。
[揮発性分散媒(B)の沸点]−[該焼結性銀粒子の焼結に起因して現れる単一の発熱ピークのピークトップ温度または複数の発熱ピークのうちの最高の発熱ピークのピークトップ温度]の下限値は0℃であるが、+1℃であることが好ましく、+2℃であることがより好ましい。
[揮発性分散媒(B)の沸点]−[該焼結性銀粒子の焼結に起因して現れる単一の発熱ピークのピークトップ温度または複数の発熱ピークのうちの最高の発熱ピークのピークトップ温度]の上限値は+30℃であるが、+29℃であることが好ましく、+28℃であることがより好ましい。
該脂肪酸被覆焼結性銀粒子(A)と揮発性分散媒(B)を混合する際の混合温度は、該焼結性銀粒子同士の焼結が進行しないように、30℃以下であることが好ましい。また、混合後の保管温度も30℃以下が好ましく、0℃以下がより好ましい。
なお、本発明の脂肪酸被覆焼結性銀粒子と揮発性分散媒の選定方法は、示差熱分析における昇温速度が5℃/分以外の昇温速度の場合にも適用可能である。
本ペースト状銀粒子組成物の、脂肪酸で表面被覆された平均粒径が0.1〜10μmである焼結性銀粒子(A)の表面被覆剤の量、揮発性分散媒(B)の量は、熱重量分析(TGA)により容易に測定することができる。TGA装置は多数市販されている。
酸化されやすい金属製部材(D1、D2)が銅を含む場合は、水素ガスを含む還元性ガス、または、実質的に酸素ガスを含まない、あるいは酸素ガス濃度が4体積%以下の窒素ガス等の不活性ガスが好ましく、また、酸化性ガス中で金属製部材(D1、D2)を接続した後、還元性ガス中で加熱して還元してもよい。
大気圧下で焼結させた場合は、主に連続気泡であって独立気泡は少なく、空隙率は大きい(例えば30〜45%)。加熱温度を高くする、あるいは、加圧すると連続気泡は少なくなり、空隙率は小さく(例えば20%以下)なって緻密な銀焼結物にすることができる。
該脂肪酸被覆焼結性銀粒子(A)中の焼結性銀粒子の焼結に起因する発熱ピークのピークトップ温度および被覆剤(脂肪酸)の量、該焼結性銀粒子の焼結に起因して現れる発熱ピークの半値幅、ペースト状銀粒子組成物を加熱して生成した銀粒子焼結物の体積抵抗率と熱伝導率、および、加熱して接合した接合体の接着強さは以下の方法により測定した。測定は、大気中で、室温(約25℃)でおこなった。なお、揮発性分散媒(B)の粘度は、20℃における値である。
示差熱熱重量同時測定装置(島津製作所株式会社製DTG−60AH型)を用い、大気雰囲気中で該脂肪酸被覆焼結性銀粒子(A)を昇温速度5℃/分にて室温(約25℃)から400℃まで昇温して記録された示差熱分析曲線において、該焼結性銀粒子の焼結に起因して現れる単一の発熱ピークのピークトップにおける温度、または、該焼結性銀粒子の焼結に起因して現れる複数の発熱ピークのうちの最高の発熱ピークのピークトップにおける温度をピークトップ温度とし、その温度を図中に記した。また、この間における減量を被覆剤量とした。ピークトップ温度は該示差熱熱重量同時測定装置に付属している解析ソフトにより自動的に得られる。
なお、図3および図4における示差熱分析曲線の横軸は昇温時間を示し、左側の縦軸は示差熱を示し、右側の縦軸は温度を示す。ピークを有する曲線が該脂肪酸被覆焼結性銀粒子(A)の示差熱分析曲線であり、右肩上がりの直線は温度変化線である。図5における示差熱分析曲線の横軸は温度を示し、左側の縦軸は示差熱を示す。ピークを有する曲線が該脂肪酸被覆焼結性銀粒子(A)の示差熱分析曲線である。
横軸が時間(分)である図3(実施例1における、脂肪酸被覆焼結性銀粒子についての大気中における示差熱分析の結果を示すチャートである)を例に取り半値幅の測定方法を説明する。図3における、右側の高くシャープなピークは、表面被覆脂肪酸が酸化分解して消失した焼結性銀粒子自体の焼結に起因して現れる発熱ピークである。図4、図5についても同様である。
図10の示差熱分析曲線において、示差熱分析曲線が立ち上がった点(A)と示差熱変化が収束した点(B)とを結んだ直線(AB)を半値幅測定用のベースラインとする。なお、二つのピークが重なっている場合は、両ピーク間の変曲点(C)から横軸方向に垂直に下ろした垂線をベースラインまで引き、その垂線を境としてそれぞれ単独のピークと見なす。
次に、ベースラインからの高さが最高であるピークのピークトップ(T)から横軸方向に垂直に下ろした垂線をベースラインまで引き、交点(D)までの距離(TD)をピーク高さとする。
そして、
(1)該ピーク高さの1/2の距離の点でベースラインと平行な水平線を引き、ピーク曲線との交点(F)と交点(E)間の距離(FE)に相当する温度差を本願発明における半値幅とする。
(3)ピーク曲線の右側の点Fから上方に引いた垂線が温度変化線と交差する点Gの温度T2と、ピークの左側の点Eから上方に引いた垂線が温度変化線と交差する点Hの温度T1との差(T2−T1)を半値幅(℃)とすることができる。なお、温度変化線が焼結による発熱反応の影響によりピークを生じている場合、温度変化線は該ピークがない直線とみなす。
(4)あるいは、半値幅におけるピーク曲線の右側の点Fにおける時間t2と、ピークの左側の点Eにおける時間t1との時間差(t2−t1)は、示差熱分析における昇温速度が5℃/分であるから、1分間=5℃の関係でもって温度差に変換しても良い。
幅50mm×長さ50mm×厚さ2.0mmのガラス板上に、幅10mm×長さ10mmの開口部を有する2mm厚のメタルマスクを用いて、ペースト状銀粒子組成物を塗布し、200℃(実施例15においては250℃、実施例16においては180℃)の強制循環式オーブン(雰囲気は大気雰囲気である。以下同様)内で1時間加熱して板状の多孔質銀焼結物とした。ガラス板からはがした該板状の多孔質銀焼結物について、JIS K 7194に準じた方法により体積抵抗率(単位;Ω・cm)を測定した。
幅50mm×長さ50mm×厚さ2.0mmのガラス板上に、幅10mm×長さ10mmの開口部を有する2mm厚のメタルマスクを用いて、ペースト状銀粒子組成物を塗布し、200℃(実施例15においては250℃、実施例16においては180℃)の強制循環式オーブン内で1時間加熱して板状の多孔質銀焼結物とした。ガラス板からはがした該板状の多孔質銀焼結物について、レーザーフラッシュ法により熱伝導率(単位;W/m・K)を測定した。
幅25mm×長さ70mm×厚さ1.0mmの銀メッキ基板(銀純度99.99%)上に、10mmの間隔をおいて4つの幅2.5mm×長さ2.5mmの開口部を有する100μm厚のメタルマスクを用いて、ペースト状銀粒子組成物を塗布した。塗布したペースト状銀粒子組成物の上に、幅2.5mm×長さ2.5mm×厚さ1mmの金メッキしたシリコンチップ(金メッキチップ)をそれぞれ搭載した後、200℃(実施例15においては250℃、実施例16においては180℃)の強制循環式オーブン内で1時間加熱して、該ペースト状銀粒子組成物中の焼結性銀粒子を焼結することにより、該銀メッキ基板と該金メッキチップを接合した。
[表面がカプリル酸で被覆された焼結性銀粒子(カプリル酸量0.3質量%)の調製方法]
硝酸銀の湿式還元法による、平均粒径が0.9μmであり、表面がオレイン酸で被覆された粒状の焼結性銀粒子(オレイン酸量0.3質量%)を、以下の置換方法1により、オレイン酸をカプリル酸に置換した焼結性銀粒子(カプリル酸量0.3質量%)を調製した。
[表面がカプリル酸で被覆された焼結性銀粒子(カプリル酸量0.4質量%)の調製方法]
硝酸銀の湿式還元法による、平均粒径が1.3μmであり、表面がステアリン酸で被覆された涙滴状の焼結性銀粒子(ステアリン酸量0.3質量%)を、以下の置換方法1により、ステアリン酸をカプリル酸に置換した焼結性銀粒子(カプリル酸量0.4質量%)を調製した。
ビーカに、オレイン酸またはステアリン酸で被覆された銀粒子100部と、カプリル酸(和光純薬工業株式会社製、試薬1級)100部を投入し、マグネチックスターラーを用いて25℃で5時間攪拌した。10分間静置して上澄み液(オレイン酸またはステアリン酸を含むカプリル酸をできるだけ取り除いてから、アセトン(和光純薬工業株式会社製、試薬1級)100部を添加して、マグネチックスターラーを用いて同様に25℃で10分間攪拌した。同様に静置して上澄み液をできるだけ取り除いてから、再度アセトンを添加して同様に銀粒子を洗浄した。これを5回繰返してから銀粒子を取り出し、25℃で16時間風乾した。
[表面がミリスチン酸で被覆された焼結性銀粒子(ミリスチン酸量0.2質量%)の調製方法]
硝酸銀の湿式還元法による、平均粒径が3.1μmであり、表面がアルキルアミンで被覆された球状の焼結性銀粒子(アルキルアミン量0.1質量%)を、以下の置換方法2により、アルキルアミンをミリスチン酸に置換した焼結性銀粒子(ミリスチン酸量0.2質量%)を調製した。
ビーカに、アルキルアミンで被覆された銀粒子100部と、ミリスチン酸(和光純薬工業株式会社製、試薬1級)100部を投入し、マグネチックスターラーを用いて25℃で5時間攪拌した。10分間静置して上澄み液(アルキルアミンを含むミリスチン酸をできるだけ取り除いてから、アセトン(和光純薬工業株式会社製、試薬1級)100部を添加して、マグネチックスターラーを用いて同様に25℃で10分間攪拌した。同様に静置して上澄み液をできるだけ取り除いてから、再度アセトンを添加して同様に銀粒子を洗浄した。これを5回繰返してから、アルキルアミンをミリスチン酸に置換した銀粒子を取り出し、25℃で16時間風乾した。
[表面がカプロン酸で被覆された焼結性銀粒子(カプロン酸量0.3質量%)の調製方法]
硝酸銀の湿式還元法による、平均粒径が0.9μmであり、表面がオレイン酸で被覆された粒状の焼結性銀粒子(オレイン酸量0.3質量%)を、以下の置換方法3により、オレイン酸をカプロン酸に置換した焼結性銀粒子(カプロン酸量0.3質量%)を調製した。
ビーカに、オレイン酸で被覆された銀粒子100部と、カプロン酸(和光純薬工業株式会社製、試薬1級)100部を投入し、マグネチックスターラーを用いて25℃で5時間攪拌した。10分間静置して上澄み液(オレイン酸を含むカプロン酸をできるだけ取り除いてから、アセトン(和光純薬工業株式会社製、試薬1級)100部を添加して、マグネチックスターラーを用いて同様に25℃で10分間攪拌した。同様に静置して上澄み液をできるだけ取り除いてから、再度アセトンを添加して同様に銀粒子を洗浄した。これを5回繰返してから、オレイン酸をカプロン酸に置換した銀粒子を取り出し、25℃で16時間風乾した。
硝酸銀の湿式還元法による、平均粒径が0.9μmであり、表面がオレイン酸で被覆された粒状の焼結性銀粒子(オレイン酸量0.3質量%)(A)について、該焼結性銀粒子の焼結に起因する単一の発熱ピークのピークトップ温度を測定したところ、227℃であった(図3参照)。この単一の発熱ピークの半値幅は5℃であった(図3、図10、図11参照)。オレイン酸の酸化分解に起因する低くブロードな発熱ピークの半値幅は38℃であった。
前記段落に例示されている、多数の揮発性分散媒の中から、ジプロピレングリコール(沸点232℃。粘度107mPa・s。和光純薬工業株式会社製)を選定した。[該揮発性分散媒の沸点]−[該焼結性銀粒子の焼結に起因する単一の発熱ピークのピークトップ温度]は、232℃―227℃=+5℃である。
撹拌羽付きミキサーを使用して、硝酸銀の還元による、平均粒径が0.9μmであり、表面がオレイン酸で被覆された前記粒状の焼結性銀粒子(オレイン酸量0.3質量%、発熱ピークのピークトップ温度227℃)100部、および、揮発性分散媒(B)である前記ジプロピレングリコール(沸点232℃。粘度107mPa・s。和光純薬工業株式会社製)10部を室温(約25℃)で均一に混合してペースト状銀粒子組成物を調製した
以上の結果を表1にまとめて示した。このペースト状銀粒子組成物は、焼結物の導電性および熱伝導性が高く、しかも、金属製部材(D1)と金属製部材(D2)を強固に接合できている。
実施例1において、揮発性分散媒(B)であるジプロピレングリコールの代わりに、ブチルカルビトール(ジエチレングリコールモノブチルエーテル、沸点230℃。粘度7mPa・s。和光純薬工業株式会社製)を選定した。[該揮発性分散媒の沸点]−[該焼結性銀粒子の焼結に起因する単一の発熱ピークのピークトップ温度]は、230℃―227℃=+3℃である。
以上の結果を表1にまとめて示した。このペースト状銀粒子組成物は、焼結物の導電性および熱伝導性が高く、しかも、金属製部材(D1)と金属製部材(D2)を強固に接合できている。
実施例1において、揮発性分散媒(B)であるジプロピレングリコールの代わりに、ジエレングリコールジブチルエーテル(沸点254℃。メルク社製)を選定した。[該揮発性分散媒の沸点]−[該焼結性銀粒子の焼結に起因する単一の発熱ピークのピークトップ温度]は、+27℃である。
以上の結果を表1にまとめて示した。このペースト状銀粒子組成物は、焼結物の導電性および熱伝導性が高く、しかも、金属製部材(D1)と金属製部材(D2)を強固に接合できている。
実施例1において、揮発性分散媒(B)であるジプロピレングリコールの代わりに、オクタンジオール(沸点244℃。粘度320mPa・s。協和発酵ケミカル株式会社製)を選定した。[該揮発性分散媒の沸点]−[該焼結性銀粒子の焼結に起因する単一の発熱ピークのピークトップ温度]は、+17℃である。
以上の結果を表1にまとめて示した。このペースト状銀粒子組成物は、焼結物の導電性および熱伝導性が高く、しかも、金属製部材(D1)と金属製部材(D2)を強固に接合できている。
実施例1において、揮発性分散媒(B)であるジプロピレングリコールの代わりに、トリグライム(トリエチレングリコールジメチルエーテル、沸点216℃。和光純薬工業株式会社製)を選定した。[該揮発性分散媒の沸点]−[該焼結性銀粒子の焼結に起因する単一の発熱ピークのピークトップ温度]は、−11℃である。
以上の結果を表2にまとめて示した。このペースト状銀粒子組成物は、焼結物の導電性および熱伝導性が高いものの、金属製部材(D1)と金属製部材(D2)を強固に接合できない。
実施例1において、揮発性分散媒(B)であるジプロピレングリコールの代わりに、トリエチレングリコールブチルメチルエーテル(沸点261℃。粘度3mPa・s。和光純薬工業株式会社製)を選定した。[該揮発性分散媒の沸点]−[該焼結性銀粒子の焼結に起因する単一の発熱ピークのピークトップ温度]は、+34℃である。
以上の結果を表2にまとめて示した。このペースト状銀粒子組成物は、焼結物の導電性および熱伝導性が高いものの、金属製部材(D1)と金属製部材(D2)を強固に接合できない。
実施例1において、揮発性分散媒(B)であるジプロピレングリコールの代わりに、テトラエチレングリコールジメチルエーテル(沸点275℃。粘度4mPa・s。和光純薬工業株式会社製)を選定した。[該揮発性分散媒の沸点]−[該焼結性銀粒子の焼結に起因する単一の発熱ピークのピークトップ温度]は、+48℃である。
以上の結果を表2にまとめて示した。このペースト状銀粒子組成物は、焼結物の導電性および熱伝導性が高いものの、金属製部材(D1)と金属製部材(D2)を強固に接合できない。
実施例1において、揮発性分散媒(B)であるジプロピレングリコールの代わりに、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート(沸点218℃。和光純薬工業株式会社製)を選定した。[該揮発性分散媒の沸点]−[該焼結性銀粒子の焼結に起因する単一の発熱ピークのピークトップ温度]は、−9℃である。
以上の結果を表2にまとめて示した。このペースト状銀粒子組成物は、焼結物の導電性および熱伝導性が高いものの、金属製部材(D1)と金属製部材(D2)を強固に接合できない。
硝酸銀の湿式還元法による、平均粒径が0.9μmであり、表面がオレイン酸で被覆された粒状の焼結性銀粒子(オレイン酸量0.3質量%)を、置換方法1により、オレイン酸をカプリル酸に置換した焼結性銀粒子(カプリル酸量0.3質量%)(A)について、焼結性銀粒子の焼結に起因する発熱ピークのピークトップ温度を測定したところ、198℃であった。
前記段落に例示されている、多数の揮発性分散媒の中から、トリグライム(トリエチレングリコールジメチルエーテル、沸点216℃。和光純薬工業株式会社製)を選定した。
[該揮発性分散媒の沸点]−[該焼結性銀粒子の焼結に起因する単一の発熱ピークのピークトップ温度]は、+18℃である。
以上の結果を表3にまとめて示した。このペースト状銀粒子組成物は、焼結物の導電性および熱伝導性が高く、しかも、金属製部材(D1)と金属製部材(D2)を強固に接合できている。
実施例5において、揮発性分散媒(B)であるトリグライムの代わりに、ジエチレングリコールモノエチルエーテル(沸点202℃。和光純薬工業株式会社製)を選定した。
[該揮発性分散媒の沸点]−[該焼結性銀粒子の焼結に起因する単一の発熱ピークのピークトップ温度]は、+4℃である。
以上の結果を表3にまとめて示した。このペースト状銀粒子組成物は、焼結物の導電性および熱伝導性が高く、しかも、金属製部材(D1)と金属製部材(D2)を強固に接合できている。
実施例5において、揮発性分散媒(B)であるトリグライムの代わりに、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート(沸点218℃。和光純薬工業株式会社製)を選定した。[該揮発性分散媒の沸点]−[該焼結性銀粒子の焼結に起因する単一の発熱ピークのピークトップ温度]は、+20℃である。
以上の結果を表3にまとめて示した。このペースト状銀粒子組成物は、焼結物の導電性および熱伝導性が高く、しかも、金属製部材(D1)と金属製部材(D2)を強固に接合できている。
実施例5において、揮発性分散媒(B)であるトリグライムの代わりに、ベンジルアルコール(沸点205℃。粘度6mPa・s。和光純薬工業株式会社製)を選定した。 [該揮発性分散媒の沸点]−[該焼結性銀粒子の焼結に起因する単一の発熱ピークのピークトップ温度]は、+7℃である。
以上の結果を表3にまとめて示した。このペースト状銀粒子組成物は、焼結物の導電性および熱伝導性が高く、しかも、金属製部材(D1)と金属製部材(D2)を強固に接合できている。
実施例5において、揮発性分散媒(B)であるトリグライムの代わりに、オクタンジオール(沸点244℃。粘度320mPa・s。協和発酵ケミカル株式会社製)を選定した。 [該揮発性分散媒の沸点]−[該焼結性銀粒子の焼結に起因する単一の発熱ピークのピークトップ温度]は、+46℃である。
以上の結果を表4にまとめて示した。このペースト状銀粒子組成物は、焼結物の導電性および熱伝導性が高いものの、金属製部材(D1)と金属製部材(D2)を強固に接合できない。
実施例5において、揮発性分散媒(B)であるトリグライムの代わりに、ジエチレングリコールモノメチルエーテル(沸点194℃。和光純薬工業株式会社製)を選定した。 [該揮発性分散媒の沸点]−[該焼結性銀粒子の焼結に起因する単一の発熱ピークのピークトップ温度]は、−4℃である。
以上の結果を表4にまとめて示した。このペースト状銀粒子組成物は、焼結物の導電性および熱伝導性が高いものの、金属製部材(D1)と金属製部材(D2)を強固に接合できない。
実施例5において、揮発性分散媒(B)であるトリグライムの代わりに、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル(沸点188℃。粘度4mPa・s。和光純薬工業株式会社製)を選定した。 [該揮発性分散媒の沸点]−[該焼結性銀粒子の焼結に起因する単一の発熱ピークのピークトップ温度]は、−10℃である。
以上の結果を表4にまとめて示した。このペースト状銀粒子組成物は、焼結物の導電性および熱伝導性が高いものの、金属製部材(D1)と金属製部材(D2)を強固に接合できない。
実施例5において、揮発性分散媒(B)であるトリグライムの代わりに、ジプロピレングリコール(沸点232℃。粘度107mPa・s。和光純薬工業株式会社製)を選定した。[該揮発性分散媒の沸点]−[該焼結性銀粒子の焼結に起因する単一の発熱ピークのピークトップ温度]は、+34℃である。
以上の結果を表4にまとめて示した。このペースト状銀粒子組成物は、焼結物の導電性および熱伝導性が高いものの、金属製部材(D1)と金属製部材(D2)を強固に接合できない。
硝酸銀の湿式還元法による、平均粒径が3.1μmであり、表面がアルキルアミンで被覆された球状の焼結性銀粒子(アルキルアミン量0.1質量%)を、置換方法2により、アルキルアミンをミリスチン酸に置換した焼結性銀粒子(ミリスチン酸量0.2質量%)(A)について、焼結性銀粒子の焼結に起因する単一の発熱ピークのピークトップ温度を測定したところ、221℃であった。この単一の発熱ピークの半値幅は3℃であった(図4、[0059]参照)。
ミリスチン酸の酸化分解に起因する低くブロードな発熱ピークの半値幅は23℃であった。
前記段落に例示されている、多数の揮発性分散媒の中から、オクタンジオール(沸点244℃。粘度320mPa・s。協和発酵ケミカル株式会社製)を選定した。[該揮発性分散媒の沸点]−[該焼結性銀粒子の焼結に起因する単一の発熱ピークのピークトップ温度]は、+23℃である。
撹拌羽付きミキサーを使用して、硝酸銀の還元法による、平均粒径が3.1μmであり、表面がミリスチン酸で被覆された前記球状の焼結性銀粒子(ミリスチン酸量0.2質量%。発熱ピークのピークトップ温度221℃)100部、および、揮発性分散媒(B)である前記オクタンジオール(沸点244℃。粘度320mPa・s。協和発酵ケミカル株式会社製)8部を室温(約25℃)で均一に混合してペースト状銀粒子組成物を調製した。
以上の結果を表5にまとめて示した。このペースト状銀粒子組成物は、焼結物の導電性および熱伝導性が高く、しかも、金属製部材(D1)と金属製部材(D2)を強固に接合できている。
実施例9において、揮発性分散媒(B)であるオクタンジオールの代わりに、ジエチレングリコール(沸点245℃。粘度32mPa・s。和光純薬工業株式会社製)を選定した。[該揮発性分散媒の沸点]−[該焼結性銀粒子の焼結に起因する単一の発熱ピークのピークトップ温度]は、+24℃である。
以上の結果を表5にまとめて示した。このペースト状銀粒子組成物は、焼結物の導電性および熱伝導性が高く、しかも、金属製部材(D1)と金属製部材(D2)を強固に接合できている。
実施例9において、揮発性分散媒(B)であるオクタンジオールの代わりに、ブチルカルビトール(ジエチレングリコールモノブチルエーテル、沸点230℃。粘度7mPa・s。和光純薬工業株式会社製)を選定した。 [該揮発性分散媒の沸点]−[該焼結性銀粒子の焼結に起因する単一の発熱ピークのピークトップ温度]は、+9℃である。
以上の結果を表5にまとめて示した。このペースト状銀粒子組成物は、焼結物の導電性および熱伝導性が高く、しかも、金属製部材(D1)と金属製部材(D2)を強固に接合できている。
実施例9において、揮発性分散媒(B)であるオクタンジオールの代わりに、ジプロピレングリコール(沸点232℃。粘度107mPa・s。和光純薬工業株式会社製)を選定した。[該揮発性分散媒の沸点]−[該焼結性銀粒子の焼結に起因するミリスチン酸発熱ピークのピークトップ温度]は、+11℃である。
以上の結果を表5にまとめて示した。このペースト状銀粒子組成物は、焼結物の導電性および熱伝導性が高く、しかも、金属製部材(D1)と金属製部材(D2)を強固に接合できている。
実施例9において、揮発性分散媒(B)であるオクタンジオールの代わりに、トリグライム(トリエチレングリコールジメチルエーテル、沸点216℃。和光純薬工業株式会社製)を選定した。[該揮発性分散媒の沸点]−[該焼結性銀粒子の焼結に起因する単一の発熱ピークのピークトップ温度]は、−5℃である。
以上の結果を表6にまとめて示した。このペースト状銀粒子組成物は、焼結物の導電性および熱伝導性が高いものの、金属製部材(D1)と金属製部材(D2)を強固に接合できない。
実施例9において、揮発性分散媒(B)であるオクタンジオールの代わりに、ジエチレングリコールブチルメチルエーテル(沸点212℃。粘度2mPa・s。和光純薬工業株式会社製)を選定した。 [該揮発性分散媒の沸点]−[該焼結性銀粒子の焼結に起因する単一の発熱ピークのピークトップ温度]は、−9℃である。
以上の結果を表6にまとめて示した。このペースト状銀粒子組成物は、焼結物の導電性および熱伝導性が高いものの、金属製部材(D1)と金属製部材(D2)を強固に接合できない。
実施例9において、揮発性分散媒(B)であるオクタンジオールの代わりに、ジエチレングリコールジブチルエーテル(沸点254℃。粘度2mPa・s。メルク社製)を選定した。[該揮発性分散媒の沸点]−[該焼結性銀粒子の焼結に起因する単一の発熱ピークのピークトップ温度]は、+33℃である。
以上の結果を表6にまとめて示した。このペースト状銀粒子組成物は、焼結物の導電性および熱伝導性が高いものの、金属製部材(D1)と金属製部材(D2)を強固に接合できない。
実施例9において、揮発性分散媒(B)であるオクタンジオールの代わりに、トリエチレングリコールブチルメチルエーテル(沸点261℃。粘度3mPa・s。和光純薬工業株式会社製)を選定した。[該揮発性分散媒の沸点]−[該焼結性銀粒子の焼結に起因する単一の発熱ピークのピークトップ温度]は、+40℃である。
以上の結果を表6にまとめて示した。このペースト状銀粒子組成物は、焼結物の導電性および熱伝導性が高いものの、金属製部材(D1)と金属製部材(D2)を強固に接合できない。
硝酸銀の還元による、平均粒径が1.3μmであり、表面がステアリン酸で被覆された涙滴状の焼結性銀粒子(ステアリン酸量0.3質量%)を、置換方法1により、ステアリン酸をカプリル酸に置換した焼結性銀粒子(カプリル酸量0.4質量%)(A)について、焼結性銀粒子の焼結に起因する発熱ピークのピークトップ温度を測定したところ、202℃であった。
前記段落に例示されている、多数の揮発性分散媒の中から、ブチルカルビトール(ジエチレングリコールモノブチルエーテル、沸点230℃。粘度7mPa・s。和光純薬工業株式会社製)を選定した。[該揮発性分散媒の沸点]−[該焼結性銀粒子の焼結に起因する単一の発熱ピークのピークトップ温度]は、+28℃である。
撹拌羽付きミキサーを使用して、硝酸銀の還元による平均粒径が1.3μmであり、表面がカプリル酸で被覆された前記涙滴状の焼結性銀粒子(カプリル酸量0.4質量%。発熱ピークのピークトップ温度202℃)100部、および、揮発性分散媒(B)である前記ブチルカルビトール(ジエチレングリコールモノブチルエーテル、沸点230℃。粘度7mPa・s。和光純薬工業株式会社製)10部を室温(約25℃)で均一に混合してペースト状銀粒子組成物を調製した。
以上の結果を表9にまとめて示した。このペースト状銀粒子組成物は、焼結物の導電性および熱伝導性が高く、しかも、金属製部材(D1)と金属製部材(D2)を強固に接合できている。
硝酸銀の湿式還元法による、平均粒径が8.8μmであり、表面がステアリン酸で被覆されたフレーク状の焼結性銀粒子(ステアリン酸量0.2質量%)(A)について、焼結性銀粒子の焼結に起因する発熱ピークのピークトップ温度を測定したところ、233℃であった。
前記段落に例示されている、多数の揮発性分散媒の中から、オクタンジオール(沸点244℃。粘度320mPa・s。協和発酵ケミカル株式会社製)を選定した。[該揮発性分散媒の沸点]−[該焼結性銀粒子の焼結に起因する単一の発熱ピークのピークトップ温度]は、+11℃である。
撹拌羽付きミキサーを使用して、硝酸銀の還元による、平均粒径が8.8μmであり、表面がステアリン酸で被覆された前記フレーク状の焼結性銀粒子(ステアリン酸量0.2質量%。発熱ピークのピークトップ温度233℃)100部、および、揮発性分散媒(B)である前記オクタンジオール(沸点244℃。粘度320mPa・s。協和発酵ケミカル株式会社製)7部を室温(約25℃)で均一に混合してペースト状銀粒子組成物を調製した。
以上の結果を表9にまとめて示した。このペースト状銀粒子組成物は、焼結物の導電性および熱伝導性が高く、しかも、金属製部材(D1)と金属製部材(D2)を強固に接合できている。
実施例3において、ペースト状銀粒子組成物の加熱条件を250℃、1時間とした以外は実施例3と同様に、ペースト状銀粒子組成物中の該銀粒子の多孔質焼結物について、体積抵抗率および熱伝導率を測定したところ、体積抵抗率は低く、熱伝導率は高かった。また、この組成物による接合体の接着強さを測定したところ、接着性は高かった。
以上の結果を表9にまとめて示した。このペースト状銀粒子組成物は、焼結物の導電性および熱伝導性が高く、しかも、金属製部材(D1)と金属製部材(D2)を強固に接合できている。
実施例6において、ペースト状銀粒子組成物の加熱条件を180℃、1時間とした以外は実施例6と同様に、ペースト状銀粒子組成物中の該銀粒子の多孔質焼結物について、体積抵抗率および熱伝導率を測定したところ、体積抵抗率は低く、熱伝導率は高かった。また、この組成物による接合体の接着強さを測定したところ、接着性は高かった。
以上の結果を表9にまとめて示した。このペースト状銀粒子組成物は、焼結物の導電性および熱伝導性が高く、しかも、金属製部材(D1)と金属製部材(D2)を強固に接合できている。
硝酸銀の湿式還元法による、平均粒径が0.9μmであり、表面がオレイン酸で被覆された粒状の焼結性銀粒子(オレイン酸量0.3質量%)を、置換方法3により、オレイン酸をカプロン酸に置換した焼結性銀粒子(カプロン酸量0.3質量%)(A)について、焼結性銀粒子の焼結に起因する発熱ピークのピークトップ温度を測定したところ、177℃であった。この単一の発熱ピークの半値幅は1.5℃であった(図5参照)。カプリル酸の酸化分解に起因する低くブロードな発熱ピークの半値幅は16℃であった。
前記段落に例示されている、多数の揮発性分散媒の中から、ジエチレングリコールイソプロピルメチルエーテル、沸点179℃。東邦化学工業株式会社製)を選定した。
[該揮発性分散媒の沸点]−[該焼結性銀粒子の焼結に起因する単一の発熱ピークのピークトップ温度]は、+2℃である。
撹拌羽付きミキサーを使用して、平均粒径が0.9μmであり、表面がカプロン酸で被覆された前記粒状の焼結性銀粒子(カプロン酸量0.3質量%。発熱ピークのピークトップ温度177℃)100部、および、揮発性分散媒(B)である前記ジエチレングリコールイソプロピルメチルエーテル、沸点179℃。東邦化学工業株式会社製)10部を室温(約25℃)で均一に混合してペースト状銀粒子組成物を調製した。
以上の結果を表10にまとめて示した。このペースト状銀粒子組成物は、焼結物の導電性および熱伝導性が高く、しかも、金属製部材(D1)と金属製部材(D2)を強固に接合できている。
実施例17において、揮発性分散媒(B)であるジエチレングリコールイソプロピルメチルエーテルの代わりに、ベンジルアルコール(沸点205℃。粘度6mPa・s。和光純薬工業株式会社製)を選定した。
[該揮発性分散媒の沸点]−[該焼結性銀粒子の焼結に起因する単一の発熱ピークのピークトップ温度]は、+28℃である。
以上の結果を表10にまとめて示した。このペースト状銀粒子組成物は、焼結物の導電性および熱伝導性が高く、しかも、金属製部材(D1)と金属製部材(D2)を強固に接合できている。
実施例17において、揮発性分散媒(B)であるジエチレングリコールイソプロピルメチルエーテルの代わりに、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル(沸点188℃。粘度4mPa・s。東邦化学工業株式会社製)を選定した。
[該揮発性分散媒の沸点]−[該焼結性銀粒子の焼結に起因する単一の発熱ピークのピークトップ温度]は、+11℃である。
以上の結果を表10にまとめて示した。このペースト状銀粒子組成物は、焼結物の導電性および熱伝導性が高く、しかも、金属製部材(D1)と金属製部材(D2)を強固に接合できている。
実施例17において、揮発性分散媒(B)であるジエチレングリコールイソプロピルメチルエーテルの代わりに、ジエチレングリコールモノメチルエーテル(沸点194℃。和光純薬工業株式会社製)を選定した。
[該揮発性分散媒の沸点]−[該焼結性銀粒子の焼結に起因する単一の発熱ピークのピークトップ温度]は、+17℃である。
以上の結果を表10にまとめて示した。このペースト状銀粒子組成物は、焼結物の導電性および熱伝導性が高く、しかも、金属製部材(D1)と金属製部材(D2)を強固に接合できている。
実施例17において、揮発性分散媒(B)であるジエチレングリコールイソプロピルメチルエーテルの代わりに、ジエチレングリコールジメチルエーテル(沸点162℃。粘度1mPa・s。東邦化学工業株式会社製)を選定した。
[該揮発性分散媒の沸点]−[該焼結性銀粒子の焼結に起因する単一の発熱ピークのピークトップ温度]は、−15℃である。
以上の結果を表11にまとめて示した。このペースト状銀粒子組成物は、焼結物の導電性および熱伝導性が高いものの、金属製部材(D1)と金属製部材(D2)を強固に接合できない。
実施例17において、揮発性分散媒(B)であるジエチレングリコールイソプロピルメチルエーテルの代わりに、ジプロピレングリコールジメチルエーテル(沸点171℃。東邦化学工業株式会社製)を選定した。
[該揮発性分散媒の沸点]−[該焼結性銀粒子の焼結に起因する単一の発熱ピークのピークトップ温度]は、−6℃である。
以上の結果を表11にまとめて示した。このペースト状銀粒子組成物は、焼結物の導電性および熱伝導性が高いものの、金属製部材(D1)と金属製部材(D2)を強固に接合できない。
実施例17において、揮発性分散媒(B)であるジエチレングリコールイソプロピルメチルエーテルの代わりに、ジエチレングリコールブチルメチルエーテル(沸点212℃。粘度2mPa・s。和光純薬工業株式会社製)を選定した。
[該揮発性分散媒の沸点]−[該焼結性銀粒子の焼結に起因する単一の発熱ピークのピークトップ温度]は、+35℃である。
以上の結果を表11にまとめて示した。このペースト状銀粒子組成物は、焼結物の導電性および熱伝導性が高いものの、金属製部材(D1)と金属製部材(D2)を強固に接合できない。
実施例17において、揮発性分散媒(B)であるジエチレングリコールイソプロピルメチルエーテルの代わりに、トリグライム(トリエチレングリコールジメチルエーテル、沸点216℃。和光純薬工業株式会社製)を選定した。
[該揮発性分散媒の沸点]−[該焼結性銀粒子の焼結に起因する単一の発熱ピークのピークトップ温度]は、+39℃である。
以上の結果を表11にまとめて示した。このペースト状銀粒子組成物は、焼結物の導電性および熱伝導性が高いものの、金属製部材(D1)と金属製部材(D2)を強固に接合できない。
特許文献1(特開2009−289745)の実施例1−実施例3、比較例1−比較例3について、ペースト状銀粒子組成物中の該焼結性銀粒子の焼結に起因する発熱ピークのピークトップ温度(T2)を測定して表7に記載し、ペースト状銀粒子組成物中の揮発性分散媒の沸点(T1)または蒸留範囲を表7に記載し、(T1−T2)および(蒸留範囲−T2)を表7に記載した。ペースト状銀粒子組成物の焼結物による接合体の接着強さを表7に転記し、MPaへの換算値を併記した。
特許文献2(国際公開第2007/034833号パンフレット)の実施例1−実施例3、比較例1−比較例3について、ペースト状銀粒子組成物中の該焼結性銀粒子の焼結に起因する発熱ピークのピークトップ温度(T2)を測定して表8に記載し、ペースト状銀粒子組成物中の揮発性分散媒の沸点(T1)または蒸留範囲を表8に記載し、(T1−T2)および(蒸留範囲−T2)を算出して表8に記載した。固着強度、すなわち、ペースト状銀粒子組成物の焼結物による接合体の接着強さを表7に転記し、MPaへの換算値を併記した。
1 銀基板
2 ペースト状銀粒子組成物(加熱して焼結後は空隙を有する固体状銀)
3 Auメッキしたシリコンチップ
Claims (3)
- 脂肪酸で表面被覆された平均粒径が0.1〜10μmである焼結性銀粒子(A)と揮発性分散媒(B)を混合してペースト状銀粒子組成物を調製するにあたり、該焼結性銀粒子(A)を大気雰囲気中で昇温速度5℃/分で昇温させて記録された示差熱分析曲線において、該焼結性銀粒子の焼結に起因して現れる単一の発熱ピークのピークトップ温度、または、該焼結性銀粒子の焼結に起因して現れる複数の発熱ピークのうちの最高の発熱ピークのピークトップ温度が175℃〜235℃の範囲内の焼結性銀粒子を選定し、[揮発性分散媒(B)の沸点]−[該焼結性銀粒子の焼結に起因して現れる単一の発熱ピークのピークトップ温度または複数の発熱ピークのうちの最高の発熱ピークのピークトップ温度]が0℃〜+30℃となるような沸点を有する揮発性分散媒(B)を選定することを特徴とする、接着強度の高いペースト状銀粒子組成物用の脂肪酸被覆焼結性銀粒子と揮発性分散媒の選定方法。
- 単一の発熱ピークの半値幅または複数の発熱ピークのうちの最高の発熱ピークの半値幅が10℃以下であることを特徴とする請求項1に記載の選定方法。
- 脂肪酸が炭素原子数4以上の脂肪酸であり、該焼結性銀粒子(A)が銀塩の還元による銀粒子であり、揮発性分散媒(B)は常圧での沸点が175℃〜265℃であることを特徴とする、請求項1または請求項2に記載の選定方法。
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Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011095244A (ja) * | 2009-04-16 | 2011-05-12 | Nippon Handa Kk | 有機物被覆金属粒子の加熱焼結性の評価方法、加熱焼結性金属ペーストの製造方法、および金属製部材接合体の製造方法 |
JP2016115560A (ja) * | 2014-12-16 | 2016-06-23 | ニホンハンダ株式会社 | ペースト状金属粒子組成物、接合方法および電子装置 |
JP2016148104A (ja) * | 2015-02-10 | 2016-08-18 | ニホンハンダ株式会社 | ペースト状金属粒子組成物、金属製部材接合体の製造方法および多孔質金属粒子焼結物の製造方法 |
-
2020
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011095244A (ja) * | 2009-04-16 | 2011-05-12 | Nippon Handa Kk | 有機物被覆金属粒子の加熱焼結性の評価方法、加熱焼結性金属ペーストの製造方法、および金属製部材接合体の製造方法 |
JP2016115560A (ja) * | 2014-12-16 | 2016-06-23 | ニホンハンダ株式会社 | ペースト状金属粒子組成物、接合方法および電子装置 |
JP2016148104A (ja) * | 2015-02-10 | 2016-08-18 | ニホンハンダ株式会社 | ペースト状金属粒子組成物、金属製部材接合体の製造方法および多孔質金属粒子焼結物の製造方法 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7288133B1 (ja) | 2021-12-06 | 2023-06-06 | Dowaエレクトロニクス株式会社 | 銀粉及び銀粉の製造方法ならびに導電性ペースト |
WO2023106245A1 (ja) * | 2021-12-06 | 2023-06-15 | Dowaエレクトロニクス株式会社 | 銀粉及び銀粉の製造方法ならびに導電性ペースト |
JP2023084112A (ja) * | 2021-12-06 | 2023-06-16 | Dowaエレクトロニクス株式会社 | 銀粉及び銀粉の製造方法ならびに導電性ペースト |
TWI830525B (zh) * | 2021-12-06 | 2024-01-21 | 日商同和電子科技股份有限公司 | 銀粉、銀粉的製造方法及導電糊 |
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