JP6118489B2 - ペースト状金属粒子組成物、金属製部材接合体の製造方法および多孔質金属粒子焼結物の製造方法 - Google Patents
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Description
ところが、(A)球状の開放連通多孔体である銀粒子は無数の細孔が表面から内部まで連通しているので、(B)樹脂の配合量が微量ないし少量の場合は、細孔内に樹脂が浸透してしまい、銀粒子表面にとどまる量が少ないため、熱硬化性樹脂の配合により、接触している部材への接着性を飛躍的に向上する効果がないという問題がある。
ところが、(A)プレート状銀微粒子を必須成分にしているので、収納容器から熱硬化性樹脂組成物を連続的に吐出すると、吐出口手前にプレート状銀微粒子が次第に堆積して詰まりが発生するという問題がある。
しかしながら、この方法は、加熱焼結性金属粒子を含むペースト状金属粒子組成物を加熱して該焼結性金属粒子同士を焼結した後、液状の硬化性樹脂組成物を毛細管現象により含浸させるので、作業効率が低いという問題がある。
しかしながら、この熱伝導性ペーストは低温焼結性銀粒子がいわゆるナノサイズの超微粒子であるため表面活性が高く、該銀粒子同士の凝集を防ぐため多量の表面被覆剤を必要とする。このため該銀粒子の焼結体は必然的に空孔率が高くなり、熱硬化型バインダの比率が少ないと熱衝撃に対する耐久性が低下する。これを防ぐためには多量の熱硬化型バインダを用いることになるが、そうすると該焼結体中に多量の熱硬化型バインダを含むことになる。しかし、エポキシ樹脂等の熱硬化型バインダは有機物であるため耐熱性が低く、該焼結体が高温度下に置かれた場合、その熱分解ガスが多量に発生して周辺の部材を汚染するという問題がある。
「[1] (A)平均粒径が0.7μm以上6μm以下である球状,涙滴状または粒状の加熱焼結性金属粒子であって,該加熱焼結性金属粒子の表面を被覆する極性基を有する有機物の被覆量が0.1〜2.0質量%である加熱焼結性金属粒子と(B)揮発性分散媒と(C)熱硬化性樹脂組成物からなり、該加熱焼結性金属粒子(A)と該熱硬化性樹脂組成物(C)の質量比率が98.5:1.5〜99.9:0.1であるペースト状物であり、70℃以上300℃以下での加熱により、該揮発性分散媒が揮散し、該加熱焼結性金属粒子(A)同士が焼結し該熱硬化性樹脂組成物(C)が硬化して、多孔質金属粒子焼結物となることを特徴とする、ペースト状金属粒子組成物。
[1-1] 極性基を有する有機物が(a)脂肪酸またはそのアルカリ金属塩若しくはエステル、(b)酸性官能基および/または塩基性官能基を有する高分子分散剤、または、(c)含窒素有機化合物であることを特徴とする、[1]に記載のペースト状金属粒子組成物。
[2] 加熱焼結性金属粒子(A)の材質が、金、銀、銅、白金、パラジウム、またはそれらの合金であることを特徴とする、[1]または[1-1]に記載のペースト状金属粒子組成物。
[3] 熱硬化性樹脂組成物が、包接型硬化剤を含む熱硬化性エポキシ樹脂組成物であることを特徴とする、[1]、[1-1]または[2]に記載のペースト状金属粒子組成物。
[4] 多孔質金属粒子焼結物の空隙率が5〜38%であることを特徴とする、[1]〜[3]のいずれかに記載のペースト状金属粒子組成物。
[5] 多孔質金属粒子焼結物の体積抵抗率が1×10−5Ω・cm以下であり、かつ、熱伝導率が100W/m・K以上であることを特徴とする、[1]〜[4]のいずれかに記載のペースト状金属粒子組成物。
[6-1] 極性基を有する有機物が(a)脂肪酸またはそのアルカリ金属塩若しくはエステル、(b)酸性官能基および/または塩基性官能基を有する高分子分散剤、または、(c)含窒素有機化合物であることを特徴とする、[6]に記載の金属製部材接合体の製造方法。
[7] 加熱焼結性金属粒子(A)の材質が、金、銀、銅、白金、パラジウム、またはそれらの合金であることを特徴とする、[6]または[6-1]に記載の金属製部材接合体の製造方法。
[8] 熱硬化性樹脂組成物が、包接型硬化剤を含む熱硬化性エポキシ樹脂組成物であることを特徴とする、[6]、[6-1]、または[7]に記載の金属製部材接合体の製造方法。
[9] 金属製部材の金属が銅、銀、金、白金、パラジウム、または、これら各金属の合金であることを特徴とする、[6]〜[8]のいずれかに記載の金属製部材接合体の製造方法。
[10] 多孔質金属粒子焼結物の空隙率が5〜38%であることを特徴とする、[6]〜[9]のいずれかに記載の金属製部材接合体の製造方法。
[11] 多孔質金属粒子焼結物の体積抵抗率が1×10−5Ω・cm以下であり、かつ、熱伝導率が100W/m・K以上であることを特徴とする、[6]〜[10]のいずれかに記載の金属製部材接合体の製造方法。
[12] 金属製部材が金属製個所を有する、リードフレーム、回路基板または電子部品であることを特徴とする、[6]〜[11]のいずれかに記載の金属製部材接合体の製造方法。
[13-1] 極性基を有する有機物が(a)脂肪酸またはそのアルカリ金属塩若しくはエステル、(b)酸性官能基および/または塩基性官能基を有する高分子分散剤、または、(c)含窒素有機化合物であることを特徴とする、[13]に記載の多孔質金属粒子焼結物の製造方法。
[14] 加熱焼結性金属粒子(A)の材質が、金、銀、銅、白金、パラジウム、またはそれらの合金であることを特徴とする、[13]または[13-1]に記載の多孔質金属粒子焼結物の製造方法。
[15] 熱硬化性樹脂組成物が、包接型硬化剤を含む熱硬化性エポキシ樹脂組成物であることを特徴とする、[13]、[13-1]または[14]に記載の多孔質金属粒子焼結物の製造方法。
[16] 金属製部材の金属が銅、銀、金、白金、パラジウム、または、これら各金属の合金であることを特徴とする、[13]〜[15]のいずれかに記載の多孔質金属粒子焼結物の製造方法。
[17] 多孔質金属粒子焼結物の空隙率が5〜38%であることを特徴とする、[13]〜[16]のいずれかに記載の多孔質金属粒子焼結物の製造方法。
[18] 多孔質金属粒子焼結物の体積抵抗率が1×10−5Ω・cm以下であり、かつ、熱伝導率が100W/m・K以上であることを特徴とする、[13]〜[17]のいずれかに記載の多孔質金属粒子焼結物の製造方法。」により達成される。
このように金属塩の湿式還元法による該加熱焼結性金属粒子は表面から内部まで貫通または連通した多数の細孔を有する多孔質状ではない。
なお、本発明の目的・効果に反しない範囲において、フレーク(薄片)状・針状・角状・樹枝状・不規則形状・板状・極薄板状・六角板状・柱状・棒状・多孔状・繊維状・塊状・海綿状・けい角状・丸み状等の金属粒子(ただし金属は、銀、銅、金、白金およびパラジウムからなる群から選択される)を少量ないし微量併用しても良い。
また、該加熱焼結性金属粒子(A)は、表面から内部まで貫通または連通した多数の細孔を有しない。細孔が多数あり、しかも内部まで細孔が貫通または連通していると、本願のペースト状金属粒子組成物において、少量または微量の配合にとどまる熱硬化性樹脂組成物(C)が、該加熱焼結性金属粒子(A)の内部へ浸透してしまい、該熱硬化性樹脂組成物(C)の配合の効果が発揮できないためである。
また、アミノ基、イミノ基(=NH)、アンモニウム塩基、塩基性窒素原子を有する複素環基が例示されるが、アミノ基であることが好ましい。
炭素原子含有極性基の炭素原子数は好ましくは1〜54であり、より好ましくは1〜18である。
脂肪酸のエステルとして、アルキルエステル(例えば、メチルエステル、エチルエステル)、フェニルエステルが例示される。これらアルキルエステルのアルキル基は炭素原子数1〜6が好ましい。
また、塩基性官能基として、アミノ基、イミノ基(=NH)、アンモニウム塩基、塩基性窒素原子を有する複素環基が例示されるが、アミノ基、アンモニウム塩基(例えば、第3級アンモニウム塩基、第4級アンモニウム塩基)であることが好ましい。アミノ基は、第1級アミノ基(-NH2)、第2級アミノ基(-NHR)、第3級アミノ基(-NRR')のいずれでもよい。前記RとR'はアルキル基、フェニル基、アラルキル基などであり、炭素原子数は好ましくは1〜8である。
酸価とは、高分子分散剤固形分1gあたりの酸価を表し、JIS K 0070に準じ、電位差滴定法によって求めることができる。アミン価とは、高分子分散剤固形分1gあたりのアミン価を表し、0.1Nの塩酸水溶液を用い、電位差滴定法によって求めたのち、水酸化カリウムの当量に換算した値をいう。
また、該揮発性分散媒(B)が非揮発性分散媒ではなく、揮発性分散媒を使用するのは、加熱により該加熱焼結性金属粒子(A)が焼結する際に分散媒が前もって揮散すると該加熱焼結性金属粒子(A)が焼結しやすく、その結果、導電性、熱伝導性、金属製部材への接着性が向上するからである。該揮発性分散媒(B)は、金属粒子表面を変質させず、その沸点は60℃以上であり、300℃以下であることが好ましい。沸点が60℃未満であるとペースト状金属粒子組成物を調製する作業中に該揮発性分散媒(B)が揮散しやすく、沸点が300℃より大であると、該加熱焼結性金属粒子(A)が焼結後も該揮発性分散媒(B)が残留しかねないからである。
この際、圧力や超音波振動を加えつつ加熱しても良い。
なお、加熱硬化性樹脂組成物の硬化物は通常透明であり、多孔質金属粒子焼結物の細孔内に存在しても目に見えず走査型電子顕微鏡写真に写らないので、加熱硬化性樹脂組成物の硬化物は前記空間部分に含まれている。
焼結前の加熱焼結性金属粒子(A)間の隙間が主に細孔になるので、各細孔の最長径は、通常、0.1〜4μmくらいである。
示差熱熱重量同時測定装置(島津製作所株式会社製DTG−60AH型)を用い、加熱焼結性金属粒子を昇温速度10℃/分にて室温(約25℃)から500℃まで昇温して、加熱焼結性金属粒子の減量率を被覆剤量として算出した。加熱焼結性金属粒子が加熱焼結性銅粒子の場合は、大気中の代わりに窒素ガス中にて昇温して測定した。
5mlシリンジ(EFD,Inc.社製)にペースト状金属粒子組成物を3ml充填し、内径0.14mmであり長さが15mmの金属ニードル(武蔵エンジニアリング株式会社製)を取り付け、1秒間隔で圧力200kPaの加圧有りと加圧なしを繰り返して吐出し、詰まりの発生の有無を観察した。
ポリテトラフルオロエチレン樹脂板上に15mm角の開口部を有する厚さ1mmのステンレス製のマスクを置き、ペースト状金属粒子組成物を印刷塗布した。
得られた板状の試験体を自動精密切断装置(日本電子株式会社製、商品名アイソメット)により削り出し、得られた断面を走査型電子顕微鏡で撮影し、その画像を均質な印刷用紙に印刷して多孔質金属粒子焼結物の固体部分と空間部分を切り分け、各々の質量を測定して空間部分の占める割合を空隙率として%で示した。
なお、加熱硬化性樹脂組成物の硬化物は透明であり、多孔質金属粒子焼結物の細孔内に存在しても目に見えず写真に写らないので、加熱硬化性樹脂組成物の硬化物は前記空間部分に含まれている。
幅50mm×長さ50mm×厚さ2.0mmのガラス板上に、幅10mm×長さ10mmの開口部を有する2mm厚のメタルマスクを用いて、ペースト状金属粒子組成物を塗布し、所定の温度の強制循環式オーブン内で所定の1時間加熱して板状の多孔質金属粒子焼結物とした。加熱焼結性金属粒子が加熱焼結性銅粒子の場合は、更に、水素ガス10体積%と窒素ガス90体積%の混合ガスであるフォーミングガス中において、所定の温度で10分間加熱した。
ガラス板からはがした該金属粒子焼結物について、JIS K 7194に準じた方法により体積抵抗率(単位;Ω・cm)を測定した。
幅50mm×長さ50mm×厚さ2.0mmのガラス板上に、幅10mm×長さ10mmの開口部を有する2mm厚のメタルマスクを用いて、ペースト状金属粒子組成物を塗布し、所定の温度の強制循環式オーブン内で所定の1時間加熱して板状の多孔質金属粒子焼結物とした。金属粒子が銅粒子の場合は、更に、水素ガス10体積%と窒素ガス90体積%の混合ガスであるフォーミングガス中において、所定の温度で10分間加熱した。
ガラス板からはがした該多孔質金属粒子焼結物について、レーザーフラッシュ法により熱伝導率(単位;W/m・K)を測定した。
幅25mm×長さ70mm×厚さ1.0mmの銀基板(銀純度99.99%)上に、10mmの間隔をおいて4つの幅2.5mm×長さ2.5mmの開口部を有する100μm厚のメタルマスクを用いてペースト状金属粒子組成物を塗布し、その上に幅2.5mm×長さ2.5mm×厚さ0.5mmの銀チップ(銀純度99.99%)を搭載後、所定の温度の強制循環式オーブン内で1時間加熱して接合した。銅粒子を含む場合は、更に、水素ガス10体積%と窒素ガス90体積%の混合ガスであるフォーミングガス中において、所定の温度で10分間加熱した。
25mm×25mm×厚さ1.0mmの銀メッキ銅基板(銀純度99.9%)上に、幅2.5mm×長さ2.5mmの開口部を有する100μm厚のメタルマスクを用いてペースト状金属粒子組成物を塗布し、その上に幅2.5mm×長さ2.5mm×厚さ0.5mmの銀チップ(銀純度99.99%)を搭載後、所定の温度の強制循環式オーブン内で1時間加熱して接合した。銅粒子を含む場合は、更に、水素ガス10体積%と窒素ガス90体積%の混合ガスであるフォーミングガス中において、所定の温度で10分間加熱した。
[熱硬化性エポキシ樹脂組成物(1)の調製、硬化剤は包接型硬化剤]
ミキサー中で、三菱化学株式会社製4官能性エポキシ樹脂(商品名:jER604、粘度7.5Pa・s(25℃)、エポキシ当量120g)93部、硬化剤として日本曹達株式会社製の包接型硬化材(商品名:TEP−2P4MHZ)7部を均一に混合することにより、熱硬化性エポキシ樹脂組成物(1)を調製した。このエポキシ樹脂組成物を200℃で1時間加熱して生成した硬化物のガラス転移温度は190℃である。なお、TEP−2P4MHZは、2−フェニル−4−メチル−5−ヒドロキシメチルイミダゾールを1,1,2,2−テトラキス(4−ヒドロキシフェニル)エタンに包接したものであり、該イミダゾールを46%含有する。
[熱硬化性エポキシ樹脂組成物(2)の調製、硬化剤は非包接型硬化剤]
ミキサー中で、三菱化学株式会社製多官能タイプエポキシ樹脂(商品名:jER152、粘度1.5Pa・s(52℃)、エポキシ当量177g)97部、硬化剤として三菱化学株式会社製の2−フェニル−4−メチル−5−ヒドロキシメチルイミダゾール3部を均一に混合することにより、熱硬化性エポキシ樹脂組成物(2)を調製した。このエポキシ樹脂組成物を200℃で1時間加熱して生成した硬化物のガラス転移温度は178℃である。
[非熱硬化性エポキシ樹脂]
三菱化学株式会社製4官能性エポキシ樹脂(商品名:jER604、粘度7.5Pa・s(25℃)、エポキシ当量120g)をそのまま用いた。このエポキシ樹脂は200℃で1時間加熱しても硬化しなかった。
ミキサー内で、硝酸銀の湿式還元法で製造され,平均粒径が0.8μmであり,表面がオレイン酸で被覆された(オレイン酸量は0.5質量%である)涙滴状の加熱焼結性銀粒子91.2部、揮発性分散媒としてオクタンジオール(協和発酵ケミカル株式会社製、沸点244℃(以後同様))7.7部、および、参考例1で調製した熱硬化性エポキシ樹脂組成物(1)1.1部を均一に混合してペースト状銀粒子組成物を調製した。該加熱焼結性銀粒子と該熱硬化性エポキシ樹脂組成物の質量比率は、98.8:1.2である。
以上の結果を表1にまとめて示した。このペースト状銀粒子組成物は、微小吐出が可能であり、多孔質銀粒子焼結物の導電性、熱伝導性が高く、複数の銀製部材を極めて強固に接合して、しかも熱衝撃に対する耐久性が高いことがわかる。
ミキサー内で、硝酸銀の湿式還元法で製造され,平均粒径が0.7μmであり,表面がオクタン酸で被覆された(オクタン酸量は1.4質量%である)涙滴状の加熱焼結性銀粒子90.9部、揮発性分散媒としてn−ヘキサン(和光純薬工業ケミカル株式会社製の試薬、沸点69℃)8.1部、および、参考例1で調製した熱硬化性エポキシ樹脂組成物(1)1.0部を均一に混合してペースト状銀粒子組成物を調製した。該加熱焼結性銀粒子と該熱硬化性エポキシ樹脂組成物の質量比率は、98.9:1.1である。
以上の結果を表1にまとめて示した。このペースト状銀粒子組成物は、微小吐出が可能であり、多孔質銀粒子焼結物の導電性、熱伝導性が高く、複数の銀製部材を極めて強固に接合して、しかも熱衝撃に対する耐久性が高いことがわかる。
ミキサー内で、硝酸銀の湿式還元法で製造され,平均粒径が6.0μmであり,表面がステアリン酸で被覆された(ステアリン酸量は0.2質量%である)球状の加熱焼結性銀粒子92.3部、揮発性分散媒としてオクタンジオール(協和発酵ケミカル株式会社製)7.0部、および、参考例1で調製した熱硬化性エポキシ樹脂組成物(1)0.7部を均一に混合してペースト状銀粒子組成物を調製した。該加熱焼結性銀粒子と該熱硬化性エポキシ樹脂組成物の質量比率は、99.2:0.8である。
以上の結果を表1にまとめて示した。このペースト状銀粒子組成物は、微小吐出が可能であり、多孔質銀粒子焼結物の導電性、熱伝導性が高く、複数の銀製部材を極めて強固に接合して、しかも熱衝撃に対する耐久性が高いことがわかる。
ミキサー内で、硝酸銀の湿式還元法で製造され,平均粒径が3.0μmであり,表面がオレイン酸カリウムで被覆された(オレイン酸カリウム量は0.3質量%である)球状の加熱焼結性銀粒子91.3部、揮発性分散媒としてα−ターピネオール(関東化学株式会社製)7.7部、および、参考例1で調製した熱硬化性エポキシ樹脂組成物(1)1.0部を均一に混合してペースト状銀粒子組成物を調製した。該加熱焼結性銀粒子と該熱硬化性エポキシ樹脂組成物の質量比率は、98.9:1.1である。
以上の結果を表2にまとめて示した。このペースト状銀粒子組成物は、微小吐出が可能であり、多孔質銀粒子焼結物の導電性、熱伝導性が高く、複数の銀製部材を極めて強固に接合して、しかも熱衝撃に対する耐久性が高いことがわかる。
ミキサー内で、硝酸銀の湿式還元法で製造され,平均粒径が1.0μmであり, 表面がリン酸エステル基とアミノ基を有する両性高分子分散剤であるビックケミー・ジャパン株式会社製のDISPERBYK-2020(酸価:37mgKOH/g、アミン価:36mgKOH/g)で被覆された(DISPERBYK-2020量は0.3量%である)粒状の加熱焼結性銀粒子92.1部、揮発性分散媒としてオクタンジオール(協和発酵ケミカル株式会社製)7.4部、および、京セラケミカル株式会社製の熱硬化性ポリイミド樹脂(品番CT4112。固形分は17.5質量%であり、残りは揮発性溶媒のN,N−ジメチルアセトアミド(沸点166℃)である)2.9部を均一に混合してペースト状銀粒子組成物を調製した。該加熱焼結性銀粒子と該熱硬化性ポリイミド樹脂組成物の質量比率は、99.5:0.5である。
以上の結果を表2にまとめて示した。このペースト状銀粒子組成物は、微小吐出が可能であり、多孔質銀粒子焼結物の導電性、熱伝導性が高く、複数の銀製部材を極めて強固に接合して、しかも熱衝撃に対する耐久性が高いことがわかる。
ミキサー内で、硝酸銀の湿式還元法で製造され,平均粒径が1.0μmであり,表面がオレイン酸で被覆された(オレイン酸量は0.3質量%である)粒状の加熱焼結性銀粒子92.9部、揮発性分散媒としてオクタンジオール(協和発酵ケミカル株式会社製)7.0部、および、参考例1で調製した熱硬化性エポキシ樹脂組成物(1)0.093部を均一に混合してペースト状銀粒子組成物を調製した。該加熱焼結性銀粒子と該熱硬化性エポキシ樹脂組成物の質量比率は、99.9:0.1である。
以上の結果を表2にまとめて示した。このペースト状銀粒子組成物は、微小吐出が可能であり、多孔質銀粒子焼結物の導電性、熱伝導性が高く、複数の銀製部材を極めて強固に接合して、しかも熱衝撃に対する耐久性が高いことがわかる。
ミキサー内で、硫酸銅の湿式還元法で製造され,平均粒径が1.0μmであり,表面がステアリン酸で被覆された(ステアリン酸量は0.3質量%である)球状の加熱焼結性銅粒子90.9部、揮発性分散媒としてオクタンジオール(協和発酵ケミカル株式会社製)7.7部、および、参考例2で調製した熱硬化性エポキシ樹脂組成物(2)1.4部を均一に混合してペースト状銅粒子組成物を調製した。該加熱焼結性銅粒子と該熱硬化性エポキシ樹脂組成物の質量比率は、98.5:1.5である。
以上の結果を表3にまとめて示した。このペースト状銅粒子組成物は、微小吐出が可能であり、多孔質銅粒子焼結物の導電性、熱伝導性が高く、複数の銀製部材を極めて強固に接合して、しかも熱衝撃に対する耐久性が高いことがわかる。
ミキサー内で、硝酸銀の湿式還元法で製造され,平均粒径が1.0μmであり,表面がオレイン酸で被覆された(オレイン酸量は0.3質量%である)粒状の加熱焼結性銀粒子92.3部、および、揮発性分散媒としてオクタンジオール(協和発酵ケミカル株式会社製)7.7部を均一に混合してペースト状銀粒子組成物を調製した。該銀粒子と熱硬化性エポキシ樹脂組成物の質量比率は、100.0:0.0である。
以上の結果を表4にまとめて示した。このペースト状銀粒子組成物は、微小吐出が可能で多孔質銀粒子焼結物の導電性、熱伝導性は高いものの、複数の銀製部材を極めて強固に接合できず、しかも熱衝撃に対する耐久性が乏しいことがわかる。
ミキサー内で、硝酸銀の湿式還元法で製造され,平均粒径が1.0μmであり,表面がオレイン酸で被覆された(オレイン酸量は0.3質量%である)粒状の加熱焼結性銀粒子92.25部、揮発性分散媒としてオクタンジオール(協和発酵ケミカル株式会社製)7.7部、および、参考例1で調製した熱硬化性エポキシ樹脂組成物(1)0.05部を均一に混合してペースト状銀粒子組成物を調製した。該加熱焼結性銀粒子と該熱硬化性エポキシ樹脂組成物の質量比率は、99.95:0.05である。
以上の結果を表4にまとめて示した。このペースト状銀粒子組成物は、微小吐出が可能で多孔質銀粒子焼結物の導電性、熱伝導性は高いものの、複数の銀製部材を極めて強固に接合できず、しかも熱衝撃に対する耐久性が乏しいことがわかる。
ミキサー内で、硝酸銀の湿式還元法で製造され,平均粒径が0.5μmであり,表面がオレイン酸で被覆された(オレイン酸量は2.1質量%である)球状の加熱焼結性銀粒子87.0部、揮発性分散媒としてオクタンジオール(協和発酵ケミカル株式会社製)12.0部、および、参考例1で調製した熱硬化性エポキシ樹脂組成物(1)1.0部を均一に混合してペースト状銀粒子組成物を調製した。該加熱焼結性銀粒子と該熱硬化性エポキシ樹脂組成物の質量比率は、98.9:1.1である。
以上の結果を表4にまとめて示した。このペースト状銀粒子組成物は、微小吐出が可能で多孔質銀粒子焼結物の導電性、熱伝導性は高いものの、複数の銀製部材を極めて強固に接合できず、しかも熱衝撃に対する耐久性が乏しいことがわかる。
ミキサー内で、硝酸銀の湿式還元法で製造され,平均粒径が1.0μmであり,表面がオレイン酸で被覆された(オレイン酸量は0.3質量%である)粒状の加熱焼結性銀粒子91.3部、揮発性分散媒としてオクタンジオール(協和発酵ケミカル株式会社製)7.7部、および、参考例3記載の非熱硬化性エポキシ樹脂1.0部を均一に混合してペースト状銀粒子組成物を調製した。該加熱焼結性銀粒子と該非熱硬化性エポキシ樹脂の質量比率は、98.9:1.1である。
以上の結果を表5にまとめて示した。このペースト状銀粒子組成物は、微小吐出が可能で多孔質銀粒子焼結物の導電性、熱伝導性は高いものの、複数の銀製部材を極めて強固に接合できず、しかも熱衝撃に対する耐久性が乏しいことがわかる。
ミキサー内で、硝酸銀の湿式還元法で製造された粒状の銀粒子を転動ボールミルによりフレーク化した,平均粒径が7.0μmであり,表面がステアリン酸で被覆された(ステアリン酸量は0.4質量%である)フレーク状の加熱焼結性銀粒子92.3部、揮発性分散媒としてオクタンジオール(協和発酵ケミカル株式会社製)7.0部、および、参考例1で調製した熱硬化性エポキシ樹脂0.7部を均一に混合してペースト状銀粒子組成物を調製した。該加熱焼結性銀粒子と該熱硬化性エポキシ樹脂の質量比率は、99.2:0.8である。
以上の結果を表5にまとめて示した。このペースト状銀粒子組成物は、微小吐出が不可能で、多孔質銀粒子焼結物の導電性、熱伝導性は高いものの、複数の銀製部材を極めて強固に接合できず、しかも熱衝撃に対する耐久性が乏しいことがわかる。
特開2014−51590の記載に準じて、表面から内部まで貫通または連通した多数の細孔を有する多孔質の銀粒子を以下の方法により製造した。
硝酸銀水溶液10kg(濃度10mol%/L)、クエン酸水溶液4kg(濃度10mol%/L)、25℃の純水20kgをそれぞれ秤量した後、50リットル(L)のステンレス製タンクに投入し、室温(25℃±10℃)で、撹拌機(島崎製作所製、商品名:ジェット式アジター)を用いて30分撹拌し、硝酸銀及びクエン酸の混合液を調製した。
次に、アスコルビン酸水溶液17kg(L−アスコルビン酸水溶液;濃度5mol%/L)、25℃の純水300kgをそれぞれ秤量した後、450リットルのステンレス反応タンクに投入し、室温(25℃±10℃)で、撹拌機(島崎製作所製、商品名:ジェット式アジター)を用いて30分撹拌し、調製した。硝酸銀とクエン酸とアスコルビン酸の添加割合は、モル比率(硝酸銀:クエン酸:アスコルビン酸)で1:0.4:0.85であった。
硝酸銀及びクエン酸の混合液に、アスコルビン酸水溶液を添加した後、数秒後に還元反応が始まり、還元反応に伴う発泡現象が終了した後、15〜25℃で30分間撹拌を継続し、その後、撹拌を停止した。還元反応後における硝酸銀、クエン酸及びアスコルビン酸の混合液のpHは2であった。
反応液を静置後、上澄み液を除去し、沈殿している銀粒子をヌッチェを用いて濾過し、濾過した銀粒子Aをステンレスバッド上に広げ、60℃に保持した乾燥機中で15時間乾燥した。
このように製造された銀粒子は、平均粒径が2.5μmであり、凝集性が低いため表面は有機物で被覆されておらず、該銀粒子の表面には内部まで貫通または連通した多数の細孔が露出している。
以上の結果を表6にまとめて示した。このペースト状銀粒子組成物は、微小吐出が可能で多孔質銀粒子焼結物の導電性、熱伝導性は高いものの、複数の銀製部材を極めて強固に接合できず、しかも熱衝撃に対する耐久性が乏しいことがわかる。
ミキサー内で、硝酸銀の湿式還元法で製造され,平均粒径が1.0μmであり,表面がオレイン酸で被覆された(オレイン酸量は0.3質量%である)粒状の加熱焼結性銀粒子90.8部、揮発性分散媒としてオクタンジオール(協和発酵ケミカル株式会社製)7.7部、および、参考例1で調製した熱硬化性エポキシ樹脂組成物(1)1.5部を均一に混合してペースト状銀粒子組成物を調製した。該加熱焼結性銀粒子と該熱硬化性エポキシ樹脂組成物の質量比率は、98.4:1.6である。
以上の結果を表6にまとめて示した。このペースト状銀粒子組成物は、微小吐出が可能であり、多孔質銀粒子焼結物の導電性、熱伝導性は高いものの、複数の銀製部材を極めて強固に接合できず、しかも熱衝撃に対する耐久性が乏しいことがわかる。
ミキサー内で、酢酸銀の湿式還元法で製造され,平均粒径が0.06μmであり,表面が3−メトキシプロピルアミンで被覆された(3−メトキシプロピルアミン量は5.5質量%である)球状の加熱焼結性銀粒子85.3部、揮発性分散媒としてベンジルアルコール(関東化学株式会社製)13.0部、および、参考例1で調製した熱硬化性エポキシ樹脂組成物(1)1.7部を均一に混合してペースト状銀粒子組成物を調製した。該加熱焼結性銀粒子と該熱硬化性エポキシ樹脂組成物の質量比率は、98.0:2.0(すなわち100:2.0)である。
以上の結果を表6にまとめて示した。このペースト状銀粒子組成物は、微小吐出が可能であるももの、多孔質銀粒子焼結物の導電性、熱伝導性が低く、複数の銀製部材を極めて強固に接合できず、しかも熱衝撃に対する耐久性が乏しいことがわかる。
ミキサー内で、酢酸銀の湿式還元法で製造され,平均粒径が0.06μmであり,表面が3−メトキシプロピルアミンで被覆された(3−メトキシプロピルアミン量は5.5質量%である)球状の加熱焼結性銀粒子83.6部、揮発性分散媒としてベンジルアルコール(関東化学株式会社製)13.0部、および、参考例1で調製した熱硬化性エポキシ樹脂組成物(1)3.4部を均一に混合してペースト状銀粒子組成物を調製した。該加熱焼結性銀粒子と該熱硬化性エポキシ樹脂組成物の質量比率は、96.1:3.9(すなわち100:4.1)である。
以上の結果を表7にまとめて示した。このペースト状銀粒子生物は、微小吐出が可能であり、熱衝撃性は良好なものの、多孔質銀粒子焼結物の導電性および熱伝導性が低く、しかも複数の銀製部材を極めて強固に接合できないことがわかる。
ミキサー内で、酢酸銀の湿式還元法で製造され,平均粒径が0.3μmであり,表面がオレイン酸で被覆された(オレイン酸は2.4質量%である)粒状の加熱焼結性銀粒子87.7部、揮発性分散媒としてベンジルアルコール(関東化学株式会社製)10.5部、および、参考例1で調製した熱硬化性エポキシ樹脂組成物(1)1.8部を均一に混合してペースト状銀粒子組成物を調製した。該加熱焼結性銀粒子と該熱硬化性エポキシ樹脂組成物の質量比率は、98.0:2.0(すなわち100:2.0)である。
以上の結果を表7にまとめて示した。このペースト状銀粒子組成物は、微小吐出が可能であり多孔質銀粒子焼結物の熱伝導性は良好なものの、導電性が低く、複数の銀製部材を極めて強固に接合できず、しかも熱衝撃に対する耐久性が乏しいことがわかる。
本発明の金属製部材接合体の製造方法による金属製部材接合体は、金属系基板や金属製個所を有する電子部品、電子装置、電気部品、電気装置などにおける金属製部材として有用である。
本発明の多孔質金属粒子焼結物の製造方法による多孔質金属粒子焼結物は、複数の金属製部材同士間の接合層として有用であり、回路基板上に形成される導電性の配線回路の形成に有用である。
1 銀基板
2 ペースト状銀粒子組成物またはペースト状銅粒子組成物(加熱焼結後は多孔質銀または多孔質銅)
3 銀チップ
Claims (11)
- (A)平均粒径が0.7μm以上6μm以下である球状、涙滴状または粒状の加熱焼結性金属粒子であって,表面から内部まで貫通または連通した多数の細孔を有する多孔質状でなく,該加熱焼結性金属粒子の表面を被覆する極性基を有する有機物の被覆量が0.1〜2.0質量%である加熱焼結性金属粒子と(B)揮発性分散媒と(C)包接型硬化剤を含む熱硬化性エポキシ樹脂組成物からなり、該加熱焼結性金属粒子(A)と該熱硬化性エポキシ樹脂組成物(C)の質量比率が98.5:1.5〜99.9:0.1であるペースト状物であり、70℃以上300℃以下での加熱により、該揮発性分散媒が揮散し、該加熱焼結性金属粒子(A)同士が焼結し該熱硬化性エポキシ樹脂組成物(C)が硬化して、多孔質金属粒子焼結物となることを特徴とする、ペースト状金属粒子組成物。
- 加熱焼結性金属粒子(A)の材質が、金、銀、銅、白金、パラジウム、またはそれらの合金であることを特徴とする、請求項1に記載のペースト状金属粒子組成物。
- 多孔質金属粒子焼結物の空隙率が5〜38%であることを特徴とする、請求項1または請求項2に記載のペースト状金属粒子組成物。
- 多孔質金属粒子焼結物の体積抵抗率が1×10−5Ω・cm以下であり、かつ、熱伝導率が100W/m・K以上であることを特徴とする、請求項1〜請求項3のいずれかに記載のペースト状金属粒子組成物。
- (A)平均粒径が0.7μm以上6μm以下である球状,涙滴状または粒状の加熱焼結性金属粒子であって,表面から内部まで貫通または連通した多数の細孔を有する多孔質状でなく,該加熱焼結性金属粒子の表面を被覆する極性基を有する有機物の被覆量が0.1〜2.0質量%である加熱焼結性金属粒子と(B)揮発性分散媒と(C)包接型硬化剤を含む熱硬化性エポキシ樹脂組成物からなり、該加熱焼結性金属粒子(A)と該熱硬化性エポキシ樹脂組成物(C)の質量比率が98.5:1.5〜99.9:0.1であるペースト状金属粒子組成物を、複数の金属製部材間に介在させ、70℃以上300℃以下で加熱して該揮発性分散媒を揮散させ、該加熱焼結性金属粒子(A)同士を焼結させ該熱硬化性エポキシ樹脂組成物(C)を硬化させて多孔質金属粒子焼結物とすることにより、複数の金属製部材同士を接合させることを特徴とする、金属製部材接合体の製造方法。
- 加熱焼結性金属粒子(A)の材質が、金、銀、銅、白金、パラジウム、またはそれらの合金であることを特徴とする、請求項5に記載の金属製部材接合体の製造方法。
- 金属製部材の金属が銅、銀、金、白金、パラジウム、または、これら各金属の合金であることを特徴とする、請求項5または請求項6に記載の金属製部材接合体の製造方法。
- 多孔質金属粒子焼結物の空隙率が5〜38%であることを特徴とする、請求項5〜請求項7のいずれかに記載の金属製部材接合体の製造方法。
- 多孔質金属粒子焼結物の体積抵抗率が1×10−5Ω・cm以下であり、かつ、熱伝導率が100W/m・K以上であることを特徴とする、請求項5〜請求項8のいずれかに記載の金属製部材接合体の製造方法。
- 金属製部材が金属製個所を有する、リードフレーム、回路基板または電子部品であることを特徴とする、請求項5〜請求項9のいずれか1項に記載の金属製部材接合体の製造方法。
- (A)平均粒径が0.7μm以上6μm以下である球状,涙滴状または粒状の加熱焼結性金属粒子であって,表面から内部まで貫通または連通した多数の細孔を有する多孔質状でなく,該加熱焼結性金属粒子の表面を被覆する極性基を有する有機物の被覆量が0.1〜2.0質量%である加熱焼結性金属粒子と(B)揮発性分散媒と(C)包接型硬化剤を含む熱硬化性エポキシ樹脂組成物からなり、該加熱焼結性金属粒子(A)と該熱硬化性エポキシ樹脂組成物(C)の質量比率が98.5:1.5〜99.9:0.1であるペースト状物を、70℃以上300℃以下で加熱して該揮発性分散媒を揮散させ、該加熱焼結性金属粒子(A)同士を焼結させ該熱硬化性エポキシ樹脂組成物(C)を硬化させて多孔質金属粒子焼結物とすることを特徴とする、多孔質金属粒子焼結物の製造方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015024174 | 2015-02-10 | ||
JP2015024174 | 2015-02-10 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016148104A JP2016148104A (ja) | 2016-08-18 |
JP6118489B2 true JP6118489B2 (ja) | 2017-04-19 |
Family
ID=56687733
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015250603A Active JP6118489B2 (ja) | 2015-02-10 | 2015-12-22 | ペースト状金属粒子組成物、金属製部材接合体の製造方法および多孔質金属粒子焼結物の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6118489B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6870258B2 (ja) | 2016-09-23 | 2021-05-12 | 日亜化学工業株式会社 | 導電性接着剤および導電性材料 |
JP6796448B2 (ja) * | 2016-10-20 | 2020-12-09 | Dowaエレクトロニクス株式会社 | 導電性ペーストおよびその製造方法、ならびに太陽電池セル |
JP2018181453A (ja) * | 2017-04-04 | 2018-11-15 | 名古屋ファインケミカル株式会社 | 耐熱導電接着剤 |
JP6556302B1 (ja) * | 2018-07-10 | 2019-08-07 | ニホンハンダ株式会社 | ペースト状銀粒子組成物、金属製部材接合体の製造方法および多孔質の銀粒子焼結物と樹脂硬化物の複合物の製造方法 |
WO2021075639A1 (ko) * | 2019-10-18 | 2021-04-22 | 한양대학교에리카산학협력단 | 열계면층을 포함하는 반도체 소자 패키지 및 그 제조 방법 |
KR20230123475A (ko) * | 2020-12-25 | 2023-08-23 | 가부시끼가이샤 레조낙 | 필름상 접착제 및 그 제조 방법, 다이싱·다이본딩 일체형 필름 및 그 제조 방법, 및 반도체 장치 및 그 제조 방법 |
KR102423123B1 (ko) * | 2021-06-22 | 2022-07-20 | 엡실론 주식회사 | 전도성 실리콘 페이스트 및 이로부터 제조된 전자파 차폐 가스켓 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2827341A4 (en) * | 2012-10-30 | 2016-03-30 | Kaken Tech Co Ltd | GUIDANCE PASTE AND CHIP BONDING PROCESS |
JP5510531B1 (ja) * | 2012-11-29 | 2014-06-04 | 住友金属鉱山株式会社 | 銀粉及び銀ペースト |
-
2015
- 2015-12-22 JP JP2015250603A patent/JP6118489B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016148104A (ja) | 2016-08-18 |
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