JP2020167378A - 発光装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
また、一対の電極と被覆部材とを連続して覆う金属層を形成して、レーザ光を照射して金属層の一部を除去する発光装置の製造方法が知られている(例えば特許文献2)。
それに対し、実施形態における金属ペースト層を用いることにより簡易かつ高精度に配線を形成することができる。また、金属ペースト層は複数の金属粉に樹脂を含むものであるため、金属ペースト層にレーザ光を照射することにより樹脂が飛びやすく、レーザ出力を大幅に抑えることができる。また、レーザ照射時間も大幅に短縮することができ、作業効率の大幅な改善を行うことができる。また、レーザアブレーションによる作業効率の大幅な改善を行えるため、金属ペースト層を厚くすることができ、断線を生じにくくすることができる。さらに、レーザアブレーションを用いて金属ペースト層の一部を除去することにより線幅の細い溝を形成することができ、より小型の発光装置を信頼性高く実現することができる。
導光板上に複数のパッケージを配置するが、その個数は特に問わない。例えば、導光板上に多数のパッケージを配置した後、4行4列の合計16個のパッケージで1セグメントとなるように個片化する。各々の1セグメントを電気的に接続することで拡張可能な大型のディスプレイとすることができるとともに、一部不灯に陥った場合もセグメントごとに取り換えできるため取り換え容易にすることができる。
以下、各工程について詳述する。
第1面側に一対の電極5を備えた発光素子1と、一対の電極5の表面の一部が露出するように発光素子1を覆う第1被覆部材2と、を備えた中間体を準備する。
導光板30上にパッケージ10を載置する。パッケージ10は接着性を持つ第3透光性部材40を介して導光板30上に配置することが好ましい。パッケージ10の第1透光性部材3と導光板30とが接触するように配置することが好ましい。第3透光性部材40は第1透光性部材3の側面と第1被覆部材2の側面とを覆うことが好ましい。これにより発光素子1から出射された光を側方に拡げることができるからである。導光板30上に配置されるパッケージ10は複数であり、縦方向及び横方向と規則的に配列された状態で配置されることが好ましい。導光板30上に配置されたパッケージ10の側方を第2被覆部材50で覆っていることが好ましい。第2被覆部材50の厚みはパッケージ10の厚みより薄いことが好ましいが、同じ又は厚くしてもよい。金属ペースト層25または配線20の形成を容易にするためである。一対の電極5はCuを含むことが好ましい。導電性が良いためである。
露出された一対の電極5と第1被覆部材2とを連続して覆う金属ペースト層を形成する。
導光板30上に複数のパッケージ10が配置され、それぞれパッケージ10は第3透光性部材40を介して配置され、パッケージ10の側方に第2被覆部材50が配置されている。第1被覆部材2及び第2被覆部材50を連続して覆うように金属ペースト層25を配置する。金属ペースト層25を形成する工程は、印刷、又は、噴霧のいずれかの方法で形成することが好ましい。印刷は、グラビア印刷、凸版印刷、平板印刷、スクリーン印刷などのいずれかの方法を用いることができ、スクリーン印刷が好ましい。噴霧は、インクジェット、エアーディスペンス、ジェットディスペンスのいずれかの方法を用いることができる。これによりスパッタや蒸着のような高度な設備を必要とすることなく、簡易に金属ペースト層25、さらには、配線20を形成することができる。金属ペースト層25の厚みは、1μm以上に形成することが好ましく、3μm以上50μm以下が好ましく、5μm以上20μm以下が特に好ましい。所定の厚み以上にすることで導通を確保し、信頼性を向上させることができる。また、金属ペースト層25を所定の厚みにすることで電気抵抗を低くすることができる。このように金属ペースト層25を所定の厚みにした場合でも、レーザアブレーションを利用することで配線20の形成を容易に行うことができる。金属ペースト層25の幅は導通を取れればよく、例えば200μm以上1000μm以下が好ましく、特に400μm以上700μm以下が特に好ましい。
金属ペースト層25は、金属粉の濃度が60重量%以上95重量%以下であることが好ましい。金属粉の濃度を高くすることで導電性を高くするとともに電気抵抗を低く抑えることができる。また、樹脂の割合を所定の範囲にすることで、印刷等しやすくすることができる。
一対の電極5と第1被覆部材2とを連続して覆う金属ペースト層25にレーザ光を照射して、この金属ペースト層25の一部を除去し、一対の電極5が短絡しないように一対の配線20となる第1配線20a、第2配線20bを形成する。第1配線20a、第2配線20bは、金属ペースト層25の一部を切断することによって、この金属ペースト層25から形成されるものであり、金属ペースト層25と異なる材料を用いるものでない。また、レーザ光を照射して金属ペースト層25の一部を除去することで、1つの発光素子1の一対の電極5間で金属ペースト層25は分断された状態となり、一対の配線20である第1配線20a、第2配線20bとなるが、隣接する他方の発光素子1の電極5を被覆している金属ペースト層25と連続している状態である。つまり、一方の発光素子1の電極5間の金属ペースト層25を分断し、他方の発光素子1の電極5間の金属ペースト層25が連続したままでは、2つの発光素子の同時駆動用の配線としては機能しない。
レーザ照射により金属ペースト層25の樹脂や金属粉は飛散するため集塵する。集塵は導光板30の表面に平行な方向若しくは導光板30の表面に対して30度以内の角度をつけて集塵することが好ましい。
一対の配線を形成する工程後、少なくとも一対の電極5を絶縁部材60で覆う工程をさらに含んでもよい。一対の電極5がレーザアブレーションにより露出されることもあるため、一対の電極5を絶縁部材60で覆うことにより短絡を防止することができる。絶縁部材60は一対の電極5だけでなく、一対の配線20、第2被覆部材50等も覆ってもよい。一対の電極5を絶縁部材60で覆う工程において、絶縁部材60は着色されていることが好ましい。絶縁部材60は透明、半透明、不透明のいずれであっても良いが、配線20の接続状態を確認するため、測定器の波長領域又は目視において透明又は半透明が好ましい。測定器は分光光度計を用いることが好ましく、例えば、分光光度計はピーク波長が480nmの青色光や、520nmの緑色光、600nmの赤色光等を用いることが好ましいが、この波長に限定されない。また、絶縁部材60は無色透明であることが好ましいが、第1被覆部材2等に絶縁部材60が配置されていることを確認したり、絶縁部材60を通して配線20の接続状態を確認したりすることができる程度に着色されていることが特に好ましい。例えば、絶縁部材60に青色や緑色、赤色等の着色材や色素、顔料、染料が含有されていることが好ましい。絶縁部材60の光透過率は例えば20%以上95%以下とすることができ、30%以上80%以下が好ましい。絶縁部材60の光透過率は透過率測定器を使う。絶縁部材60は膜状であることが好ましく、絶縁部材60の厚みは0.5μm乃至100μmが好ましい。絶縁部材60の大きさはパッケージ10の最大径の0.5乃至3倍の最大径を持つ円形、楕円形、矩形等であることが好ましい。
パッケージ10は、発光素子1と、第1被覆部材2と、を少なくとも備え、さらに、第1透光性部材3、第2透光性部材4なども備えることができる。発光素子1は第1面に一対の電極5を備える。第1被覆部材2は、発光素子1の側面を覆うため、絶縁性であればよい。第1被覆部材2は反射性が好ましいが、透光性であってもよい。反射性の第1被覆部材2は、例えば、シリコーン樹脂にシリカ及び白色の酸化チタンが60wt%程度含有する部材等を用いることができ、圧縮成形、トランスファモールド、射出成形、印刷、スプレー等により形成することができる。また、第1被覆部材は板状に成形し、所定の大きさに切断し直方体とすることができる。
発光素子1としては、例えば発光ダイオード等の半導体発光素子を用いることができ、青色、緑色、赤色等の可視光を発光可能な発光素子を用いることができる。半導体発光素子は、発光層を含む積層構造体と、電極と、を備える。積層構造体は、電極が形成された側の第1面と、それとは反対側の光取り出し面となる第2面と、を備える。
第1被覆部材2は、例えば、シリコーン樹脂、シリコーン変性樹脂、エポキシ樹脂、フェノール樹脂などの熱硬化性樹脂を主成分とする樹脂部材が好ましい。
第1透光性部材3は、発光素子の第2面に配置される。第1透光性部材3の材料は、樹脂、ガラス等が使用できる。樹脂として、シリコーン樹脂、シリコーン変性樹脂、エポキシ樹脂、フェノール樹脂などの熱硬化性樹脂、ポリカーボネート樹脂、アクリル樹脂、メチルペンテン樹脂、ポリノルボルネン樹脂などの熱可塑性樹脂を用いることができる。特に、耐光性、耐熱性に優れるシリコーン樹脂が好適である。
また、第1透光性部材3には、粘度を調整する等の目的で、各種のフィラー等を含有させてもよい。
第2透光性部材4は、発光素子1と第1透光性部材3とを接着する。第2透光性部材に蛍光体やフィラーを含有させてもよい。
本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない限り任意のものとすることができることは言うまでもない。
(第3透光性部材)
第3透光性部材40は、接着性を備える透光性の部材である。第3透光性部材40は、パッケージ10の第1透光性部材3と導光板30とが接触するように配置することが好ましい。第3透光性部材40は第1透光性部材3の側面と第1被覆部材2の側面とを覆うことが好ましい。これにより発光素子1から出射された光を側方に拡げることができるからである。第3透光性部材40は、第2透光性部材4と同じ材料で形成することができる。
導光板30は平板状だけでなく、一部凹部や凸部があってもよい。凹部にパッケージを配置することができる。また凹部や凸部にレンズ等の機能を持たせてもよい。また導光板30に見切り性を持たせるよう凹みや遮光や反射膜等を形成してもよい。また、パッケージが配置された導光板の反対側に反射膜や遮光膜を設けることでパッケージからの光を導光板を介して水平方向に拡げることができる。
第3実施形態に係る発光装置は、第2の実施形態に係る配線が異なる以外はほぼ同じ形態を採る。配線22は横方向に隣り合うパッケージ10の間、特に隣り合うパッケージ10の中間の位置に幅広部22cを設けている。配線22は、横方向の中央付近に、隣り合うパッケージ10の間に屈曲部が設けられ、段差のある直線状になっているが、隣り合うパッケージ10の中間の位置から外れた箇所に屈曲部を設けている。配線22が屈曲することにより印刷時のかすれや断線を抑制することができる。また、横方向においてパッケージ10が配置されている側と異なる側の配線22に線幅の広い配線部22dを設けている。配線22の線幅を広げることにより電気抵抗を下げたり、断線を防止したりすることができる。配線部22dの横方向の長さは特に問わないが、上下方向の幅広部22cの近傍まで延びていることが好ましい。
第4実施形態に係る発光装置は、パッケージ10を、導光板30に設けた貫通孔30Aに配置することが他の実施形態と異なる。なお、貫通孔30Aは、設置されるパッケージ10ごとに導光板30に形成されている。パッケージ10は、発光素子1と、発光素子1に第2透光性部材4を介して設けた第1透光性部材3と、第1透光性部材3に設けた第1光反射膜13と、第2透光性部材4を介して発光素子1の側面側に設けた第1被覆部材2とを備えている。そして、パッケージ10は、導光板30に第3透光性部材40を介して設置される。また、導光板30上に配置されたパッケージ10の側方を第2被覆部材50で覆っていることが好ましい。第2被覆部材50の厚みはパッケージ10の厚みより薄いことが好ましいが、同じ又は厚くしてもよい。なお、パッケージ10を設けるためには、導光板30に形成した貫通孔30Aの一方の孔開口を塞ぐ作業シートを介してパッケージ10を設置することとしてもよい。
さらに、誘電体多層膜を用いる場合には、例えば、DBR(distributed Bragg reflector:分布ブラッグ反射)膜を用いることができる。第1光反射膜13としては、なかでも、誘電体多層膜を含む膜を用いるのが好ましい。誘電体多層膜であれば金属等で形成された反射膜に比較して透光片からの光の吸収も少なく、効率的に光を反射することができる。第1光反射膜13として金属膜と誘電体多層膜との両者を用いる場合は、設置される面から順に、誘電体多層膜と金属膜とを配置するのがよい。また、第1光反射膜13は、金属膜を用いる場合にはアルミニウム、銀等の単体あるいは合金を用いることができる。
なお、発光装置において、その他の構成は、既に説明したものと同等である。
パッケージ10Aでは、第1透光性部材3Aが、発光素子1の側面及び第2面を覆うように形成されている。この第1透光性部材3Aは、既に説明したものと材質等は同じものである。第1透光性部材3Aが発光素子1の上面である第2面及び側面に亘って形成されていることで、光を発光素子1から導光板30の遠い部分まで送り易くなる。また、パッケージ10Bでは、発光素子1の側面及び第2面に設けた第1透光性部材3Aの下面並びに発光素子1の下面に、発光素子1の素子電極5を露出するように第2光反射膜14を形成することとしてもよい。第2光反射膜14は、拡散反射をすることができる白樹脂を用いることや、既に説明した第2被覆部材と同等の部材で形成することができる。パッケージ10Bでは、第2光反射膜14を備えることで、導光板2側から照射する発光素子1からの光の取出し効率をより高めることができる。
なお、図10A及び図10Bで示すパッケージ10A,10Bのいずれかを導光板30に設置して使用する場合には、第1透光性部材3Aの上面に第1光反射膜13を設けた状態で使用されることになる。
また、第2被覆部材50の上面に湾曲した凹みが生じるため、第1配線21aが細くなったり、薄くなったりし、電気抵抗が高くなるおそれがある。そのため、第1配線21aに第1補助配線21a1を設けると共に、第2配線21bに第2補助配線21b1を設けることで、電気抵抗を下げたり、断線を防止したりすることができる。
第1補助配線21a1及び第2補助配線21b1は、第1配線21a及び第2配線21bと同じように印刷等により形成することができる。そのため、最も凹んでいる部分付近やセルとセルとのつなぎ目にかけて第1補助配線21a1及び第2補助配線21b1を第1配線21a及び第2配線21bに設けることが好ましい。
第3光反射膜15は、第1凹部31aを除き、導光板31の一側表面を覆うように設けられる。第3光反射膜15は、例えば、光を80%以上遮光あるいは反射する材料によって形成することが好ましい。第3光反射膜15としては、金属からなる単層、金属からなる多層膜、又は2種以上の誘電体を複数積層させた誘電体からなる多層膜(誘電体多層膜)を用いることができる。また、第3光反射膜15は、一例として、スパッタリング法により形成することができる。この第3光反射膜15は、すでに説明した第1光反射膜と同等の材料および同等の形成方法を用いることができる。
配線基板90は、基材に配線層91を備え、かつ、配線層91を保護するため絶縁材料からなる被覆層92を備えている。配線基板90は、平板状の支持部材及び支持部材の表面及び/又は内部に配置された配線層91を備えている。なお、配線基板90は、発光素子1の数、素子電極の構成、大きさに応じて電極の形状、大きさ等の構造が設定される。
被覆層92は、配線層91を保護するものである。被覆層92は、パッケージ10の電極5の位置に開口92aを形成して配線層91を覆うように設けられている。被覆層92は、例えば、ベース材としてポリイミドを用いる絶縁部材により形成さている。そして、被覆層92は、例えば、スクリーン印刷等により配線層91を覆い、マスクを介して電極5の位置に開口92aが設けられるように形成される。
なお、配線基板90の配線層91は、パッケージ10の第1電極5a及び第2電極5bと電気的な接続が行われる前に、既に説明した、一対の配線を形成する工程で短絡しないように形成される。
発光装置100Dは、以上のような構成を備えているので、第3光反射膜15により、導光板31からの光の照射効率を下げることなく使用することができる。
第7実施形態に係る発光装置100Eでは、第2被覆部材50に生じる凹みを平坦にするために絶縁部材60を2層になるように設けている点が異なる。
すなわち、発光装置100Eは、導光板31と、導光板31の第2凹部31bに充填される第2被覆部材50と、導光板31の第1凹部31aに設置される発光素子1を有するパッケージ10と、発光素子1の電極5にそれぞれ接続され第2被覆部材50の上に形成される第1配線21a及び第2配線21bと、第1配線21a及び第2配線21bを覆い外部接続部を開口するように設けた絶縁部材60の絶縁膜60aと、第2被覆部材50が硬化するときに収縮して形成される凹み部分に対応して設けた絶縁部材60の補助絶縁膜60bと、を備えている。
このように、発光装置100Eでは、第2被覆部材50の凹み部分を絶縁膜60a及び補助絶縁膜60bで2層となるように覆うことで、平坦性を担保できる。そのため、発光装置100Eでは、各部材の塗布精度の向上、作業速度の効率化(例えば、UPH:unite power hour)をすることができる。補助絶縁膜60bは、1層に限らず2層以上とすることもできる。また、絶縁膜60aは、第2被覆部材50及び一対の配線21の少なくとも一部を覆っていればよい。例えば、絶縁膜60aは、一対の配線21の電気的な接続を行う部分を開口した状態で形成される。
また、各実施形態にあって、幅広部20c、21cを備えることや、絶縁膜60a及び/又は補助絶縁膜60bを備えるように形成しても構わない。
2 第1被覆部材
3 第1透光性部材
4 第2透光性部材
5 電極
5a 第1電極
5b 第2電極
10 パッケージ
13 第1光反射膜
14 第2光反射膜
15 第3光反射膜
20、21、22 配線
20a、21a、91a 第1配線
20b、21b、91b 第2配線
20c、21c 幅広部
22d 配線部
25 金属ペースト層
30、31 導光板
31a 第1凹部
31b 第2凹部
31c 第3凹部
40 第3透光性部材
50 第2被覆部材
60 絶縁部材
60a 絶縁層
60b 補助絶縁層
70 反射部材
80 遮光部材
90 配線基板
100 発光装置
Claims (19)
- 第1面側に一対の電極を備えた発光素子と、前記一対の電極の表面の一部が露出するように前記発光素子を覆う第1被覆部材と、を備えた中間体を準備する工程と、
前記露出された前記一対の電極と前記第1被覆部材とを連続して覆う金属ペースト層を形成する工程と、
前記一対の電極上の前記金属ペースト層及び前記第1被覆部材上の前記金属ペースト層にレーザ光を照射して、前記一対の電極間の前記金属ペースト層及び前記第1被覆部材上の前記金属ペースト層の一部を除去し、前記一対の電極が短絡しないように一対の配線を形成する工程と、
を含む発光装置の製造方法。 - 前記一対の配線を形成する工程後、少なくとも前記一対の電極を絶縁部材で覆う工程と、を含む請求項1に記載の発光装置の製造方法。
- 前記一対の配線を形成する工程は、前記一対の電極の距離よりも幅の狭い前記レーザ光を照射する工程を含む請求項1又は請求項2に記載の発光装置の製造方法。
- 前記金属ペースト層を形成する工程は、印刷、または、噴霧のいずれかの方法で形成する工程を含む請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の発光装置の製造方法。
- 前記中間体を準備する工程において、
前記発光素子は前記第1面と反対の第2面側に第1透光性部材が配置され、
前記第1透光性部材は、導光板に配置されている請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載の発光装置の製造方法。 - 前記中間体を準備する工程において、前記発光素子の前記第1面上、かつ、前記一対の電極間に前記第1被覆部材が配置されており、
前記一対の配線を形成する工程において、前記発光素子の前記第1面上、かつ、前記一対の電極間に配置される前記第1被覆部材は、前記レーザ光により一部除去される請求項1乃至請求項5のいずれか一項に記載の発光装置の製造方法。 - 前記中間体を準備する工程において、前記発光素子の前記一対の電極を認識し、
前記一対の配線を形成する工程において、前記中間体を準備する工程において認識した前記発光素子の前記一対の電極の間に前記レーザ光を照射する請求項1乃至請求項6のいずれか一項に記載の発光装置の製造方法。 - 前記中間体を準備する工程において、前記発光素子を複数使用し、
前記金属ペースト層を形成する工程において、前記複数の発光素子をそれぞれ連続して覆い、
前記配線を形成する工程において、前記複数の発光素子が電気的に接続される請求項1乃至請求項7のいずれか一項に記載の発光装置の製造方法。 - 前記金属ペースト層を形成する工程において使用する前記金属ペースト層は、複数の金属粉中に樹脂が含有されている請求項1乃至請求項8のいずれか一項に記載の発光装置の製造方法。
- 前記金属粉は、銀粉、銅粉、又は、金属膜で覆われた銀粉若しくは銅粉の少なくともいずれかを含む請求項9に記載の発光装置の製造方法。
- 前記金属ペースト層を形成する工程において使用する前記金属ペースト層は、前記金属粉の濃度が60重量%以上95重量%以下である請求項9または10に記載の発光装置の製造方法。
- 前記金属ペースト層を形成する工程において、前記金属ペースト層の厚みを1μm以上に形成する請求項1乃至請求項11のいずれか一項に記載の発光装置の製造方法。
- 前記金属粉は、0.01μm以上10μm以下の粒子である請求項9乃至請求項11のいずれか一項に記載の発光装置の製造方法。
- 前記一対の電極を絶縁部材で覆う工程において、前記絶縁部材は着色されている請求項2に記載の発光装置の製造方法。
- 前記導光板は、前記発光素子が配置される複数の第1凹部と、隣り合う前記第1凹部の間に第2凹部と、を備え、第2凹部には反射部材が配置されており、前記反射部材を覆う第2被覆部材が配置され、前記配線は前記第2被覆部材上に配置され、
前記第2凹部上に配置された前記配線は、前記第1凹部上に配置された前記配線よりも幅の広い部分を備える請求項5に記載の発光装置の製造方法。 - 前記導光板は、前記発光素子が配置される複数の第1凹部と、隣り合う前記第1凹部の間に第2凹部と、を備え、第2凹部には反射部材が配置されており、前記反射部材を覆う第2被覆部材が配置され、前記配線は前記第2被覆部材上に配置され、
前記第2凹部上に配置された前記配線は、前記反射部材及び/又は前記第2被覆部材の部材の硬化時の収縮による凹みに複数を重ねて形成される請求項5に記載の発光装置の製造方法。 - 前記中間体を準備する工程において、
前記発光素子は前記第1面と反対の第2面側に第1透光性部材が配置され、
前記第1透光性部材は、導光板の貫通孔に光反射膜を設けて配置されている請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載の発光装置の製造方法。 - 前記導光板は、前記発光素子が配置される複数の第1凹部と、隣り合う前記第1凹部の間に第2凹部と、を備え、第2凹部を形成する導光板面に光反射膜を設け、
前記配線は、前記発光素子の一対の電極に電気的に接続される配線層を備える配線基板に形成される請求項5又は請求項17に記載の発光装置の製造方法。 - 前記導光板は、前記発光素子が配置される複数の第1凹部と、隣り合う前記第1凹部の間に第2凹部と、を備え、前記第2凹部には硬化時の収縮による凹みが形成されるように第2被覆部材が配置され、前記一対の配線は前記第2被覆部材上に配置されており、
前記一対の配線を形成する工程後、前記一対の配線及び前記第2被覆部材の少なくとも一部を覆う絶縁膜、及び、前記凹みに対応する位置の前記絶縁膜を覆う補助絶縁膜、を配置する請求項5に記載の発光装置の製造方法。
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JP2009295953A (ja) * | 2008-01-28 | 2009-12-17 | Tokyo Electron Ltd | アニール装置 |
WO2014013899A1 (ja) * | 2012-07-20 | 2014-01-23 | 東洋紡株式会社 | レーザーエッチング加工用導電性ペースト、導電性薄膜および導電性積層体 |
JP2016082002A (ja) * | 2014-10-14 | 2016-05-16 | 大日本印刷株式会社 | 配線基板および実装基板 |
JP2018056397A (ja) * | 2016-09-29 | 2018-04-05 | 日亜化学工業株式会社 | メタルベース基板の製造方法、半導体装置の製造方法、メタルベース基板、及び、半導体装置 |
JP2019012681A (ja) * | 2017-06-30 | 2019-01-24 | 日亜化学工業株式会社 | 発光モジュールの製造方法及び発光モジュール |
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US10199533B2 (en) * | 2015-12-21 | 2019-02-05 | Nichia Corporation | Method of manufacturing light emitting device |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009295953A (ja) * | 2008-01-28 | 2009-12-17 | Tokyo Electron Ltd | アニール装置 |
WO2014013899A1 (ja) * | 2012-07-20 | 2014-01-23 | 東洋紡株式会社 | レーザーエッチング加工用導電性ペースト、導電性薄膜および導電性積層体 |
JP2016082002A (ja) * | 2014-10-14 | 2016-05-16 | 大日本印刷株式会社 | 配線基板および実装基板 |
JP2018056397A (ja) * | 2016-09-29 | 2018-04-05 | 日亜化学工業株式会社 | メタルベース基板の製造方法、半導体装置の製造方法、メタルベース基板、及び、半導体装置 |
JP2019012681A (ja) * | 2017-06-30 | 2019-01-24 | 日亜化学工業株式会社 | 発光モジュールの製造方法及び発光モジュール |
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