JP2020159910A - 電子部品搬送装置の判定方法 - Google Patents

Abstract

【課題】誤った種類の保持ヘッドが検査アームに取り付けられてしまうことを抑制することができる電子部品搬送装置の判定方法を提供すること。【解決手段】ピストンのシリンダー内における位置を第１検出値として検出する第１検出ステップと、シリンダー内の圧力と、ピストンがシリンダー内において所定の第１位置から所定の第２位置まで移動するのに要する移動時間とのいずれかを第２検出値として検出する第２検出ステップと、第１検出値と第２検出値とに基づいて保持ヘッドの種類を特定し、ユーザーにより設定された保持ヘッドの種類と特定した保持ヘッドの種類とが一致しているか否かを判定する判定ステップと、を有する、電子部品搬送装置の判定方法。【選択図】図４

Description

この発明は、電子部品搬送装置の判定方法に関する。

電子部品検査装置についての研究、開発が行われている。

電子部品検査装置は、電子部品の電気的な検査を行う。電子部品は、例えば、ＩＣ（Integrated Circuit）デバイスである。また、電子部品検査装置は、電子部品搬送装置を含む。電子部品搬送装置は、検査アームを有する。検査アームは、電子部品搬送装置が有する領域のうち電子部品の検査を行う検査領域内において電子部品の搬送を行う。このため、検査アームには、検査領域内に供給される電子部品を保持する保持ヘッドが取り付けられる。

このような検査アームとして、保持ヘッドと、保持ヘッドを駆動させる駆動機構と、駆動機構と保持ヘッドとの間に設けられ、駆動機構に対して保持ヘッドを揺動可能に支持するフローティング機構と、駆動機構と保持ヘッドとの間に設けられ、駆動機構から保持ヘッドに対する相対的押圧力を調整する流体圧シリンダーとを有する検査アームが知られている（特許文献１参照）。

ここで、検査アームには、検査領域内に供給される電子部品の種類に応じた種類の保持ヘッドが取り付けられる。例えば、電子部品検査装置が検査を行う対象がある種類Ｘ１の電子部品である場合、検査アームには、種類Ｘ１に応じた種類Ｙ１の保持ヘッドが取り付けられる。そして、電子部品検査装置が検査を行う対象が種類Ｘ１の電子部品からある種類Ｘ２の電子部品に変更された場合、検査アームには、種類Ｙ１の保持ヘッドに代えて、種類Ｘ２に応じた種類Ｙ２の保持ヘッドが取り付けられる。

特開２００２−００５９９０号公報

しかしながら、従来の電子部品搬送装置は、検査アームに取り付けられた保持ヘッドの種類を判定できなかった。そのため、当該電子部品搬送装置には、ユーザーが所望する種類の保持ヘッドと異なる種類の保持ヘッドが検査アームに取り付けられてしまう虞があった。

上記課題を解決するために本発明の一態様は、シリンダーの内部に設けられて圧力に応じて前記シリンダー内における位置を変化させるピストンと、前記ピストンとともに移動する保持ヘッドと、を備えた検査アームを有する電子部品搬送装置が前記保持ヘッドの種類を判定する前記電子部品搬送装置の判定方法であって、前記ピストンの前記シリンダー内における位置を第１検出値として検出する第１検出ステップと、前記シリンダー内の圧力と、前記ピストンが前記シリンダー内において所定の第１位置から所定の第２位置まで移動するのに要する移動時間とのいずれかを第２検出値として検出する第２検出ステップと、前記第１検出値と前記第２検出値とに基づいて前記保持ヘッドの種類を特定し、ユーザーにより設定された前記保持ヘッドの種類と前記特定した前記保持ヘッドの種類とが一致しているか否かを判定する判定ステップと、を有する、電子部品搬送装置の判定方法である。

実施形態に係る電子部品検査装置１の構成の一例を示す斜視図である。 図１に示した電子部品検査装置１に含まれる電子部品搬送装置１０の構成の一例を示す上面図である。 検査アーム１７が有するシリンダー部の構成の一例を示す図である。 制御部８００の機能構成の一例を示す図である。 制御部８００が判定制御を行う処理の流れの一例を示す図である。 第１対応情報の一例を示す図である。 第２対応情報の一例を示す図である。 第３対応情報の一例を示す図である。 制御部８００が保持ヘッドＨＤの重さに応じて検査アーム１７の加速度を変化させる処理の流れの一例を示す図である。

＜実施形態＞
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。

＜電子部品検査装置の構成＞
まず、図１及び図２を参照し、実施形態に係る電子部品検査装置（electronic component tester）１の構成について説明する。なお、図１及び図２のそれぞれに示した三次元直交座標系ＣＣは、各図中における方向を示す。

ここで、以下では、説明の便宜上、三次元直交座標系ＣＣにおけるＸ軸を、単にＸ軸と称して説明する。また、以下では、説明の便宜上、三次元直交座標系ＣＣにおけるＹ軸を、単にＹ軸と称して説明する。また、以下では、説明の便宜上、三次元直交座標系ＣＣにおけるＺ軸を、単にＺ軸と称して説明する。また、以下では、説明の便宜上、Ｘ軸と平行な２つの方向を、まとめてＸ軸方向と称して説明する。また、以下では、説明の便宜上、Ｙ軸と平行な２つの方向を、まとめてＹ軸方向と称して説明する。また、以下では、説明の便宜上、Ｚ軸と平行な２つの方向を、まとめてＺ軸方向と称して説明する。

また、以下では、説明の便宜上、Ｘ軸とＹ軸との両方を含む平面と平行な複数の平面を、まとめてＸＹ平面と称して説明する。また、以下では、説明の便宜上、ＸＹ平面と平行な方向を、水平又は水平方向と称して説明する。なお、本明細書では、水平には、ＸＹ平面に対して完全に平行な方向のみが含まれるわけではなく、電子部品検査装置１による電子部品の搬送が阻害されない限り、ＸＹ平面に対して若干（例えば±５°未満程度）傾いた方向も含まれる。また、以下では、説明の便宜上、Ｚ軸の正方向を、上又は上方と称して説明する。また、以下では、説明の便宜上、Ｚ軸の負方向を、下又は下方と称して説明する。

図１は、実施形態に係る電子部品検査装置１の構成の一例を示す斜視図である。また、図２は、図１に示した電子部品検査装置１に含まれる電子部品搬送装置（electronic component handler）１０の構成の一例を示す上面図である。

電子部品検査装置１は、図１に示す外観を有する。電子部品検査装置１は、最外装がカバーで覆われている。電子部品検査装置１は、前述した通り、図２に示した電子部品搬送装置１０を含む。

電子部品搬送装置１０は、ハンドラーである。具体的には、電子部品搬送装置１０は、電子部品を搬送する。以下では、一例として、電子部品搬送装置１０が、電子部品９０を搬送する場合について説明する。

電子部品９０は、例えば、ＢＧＡ（Ball Grid Array）パッケージであるＩＣデバイスである。当該ＩＣデバイスは、例えば、ＬＳＩ（Large Scale Integration）、ＣＭＯＳ（Complementary MOS）、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）、ＩＣデバイスを複数のモジュールとしてパッケージ化したモジュールＩＣ、水晶デバイス、圧力センサー、慣性センサー（加速度センサー）、ジャイロセンサー、指紋センサー等である。なお、電子部品９０は、これらのＩＣデバイスに代えて、他のＩＣデバイスであってもよい。また、電子部品９０は、ＩＣデバイスに代えて、他の種類の電子部品であってもよい。

図２に示した例では、電子部品９０の形状は、矩形の平板形状である。なお、電子部品９０の形状は、矩形の平板形状に代えて、円形、楕円形等の丸みを帯びた形状であってもよく、他の形状であってもよい。

電子部品検査装置１は、電子部品搬送装置１０による電子部品の搬送過程において、電子部品９０の検査（test）を行う。電子部品９０の検査は、例えば、電子部品９０の電気的特性の検査、試験等である。なお、電子部品９０の検査には、電子部品９０の電気的特性の検査、試験等に加えて、電子部品９０の他の検査、電子部品９０の他の試験が含まれる構成であってもよい。また、電子部品９０の検査は、電子部品９０の電気的特性の検査、試験等に代えて、電子部品９０の他の検査、電子部品９０の他の試験等であってもよい。

また、電子部品検査装置１は、トレイ供給領域Ａ１と、電子部品供給領域Ａ２と、検査領域Ａ３と、電子部品回収領域Ａ４と、トレイ除去領域Ａ５との５つの領域を有する。当該５つの領域は、隔壁によって仕切られている。そして、電子部品検査装置１では、電子部品９０は、トレイ供給領域Ａ１からトレイ除去領域Ａ５まで、当該５つの領域を矢印α_９０方向に順に経由し、途中の検査領域Ａ３において検査が行われる。このため、電子部品検査装置１は、当該５つの領域を経由するように電子部品９０を搬送する搬送部（transporter）２５と、検査領域Ａ３内で検査を行なう検査部１６を有する。また、図１に示すように、電子部品検査装置１は、電子部品検査装置１の各部を制御する制御部８００と、モニター３００と、シグナルランプ４００と、操作パネル７００を有する。なお、実施形態では、これらの構成から検査部１６を除いた構成によって電子部品搬送装置１０が構成されている。

また、電子部品検査装置１は、電子部品９０の種類毎に交換されるチェンジキットと呼ばれるものを予め搭載して用いられる。チェンジキットには、電子部品９０を載せる支持部、後述する検査アーム１７に取り付けられる保持ヘッドＨＤ等が含まれる。電子部品検査装置１では、この支持部が複数の箇所に設置されている。支持部には、例えば、後述する温度調整部１２と、電子部品供給部１４と、電子部品回収部１８が含まれる。また、チェンジキットには、支持部に加えて、ユーザーが用意するトレイ２００と、回収用トレイ１９と、検査部１６も含まれる。

トレイ供給領域Ａ１は、未検査状態の複数の電子部品９０が配列されたトレイ２００が供給される領域である。各トレイ２００には複数の凹部（recess）が行列状に配置されている。これら複数の凹部のそれぞれは、電子部品９０を１つずつ載せることができる。

電子部品供給領域Ａ２は、トレイ供給領域Ａ１から搬送されたトレイ２００上の電子部品９０を検査領域Ａ３まで搬送する領域である。電子部品検査装置１では、トレイ供給領域Ａ１と電子部品供給領域Ａ２とを跨ぐようにトレイ搬送機構１１Ａ、トレイ搬送機構１１Ｂが設けられている。トレイ搬送機構１１Ａは、搬送部２５の一部である。トレイ搬送機構１１Ａは、トレイ２００を図２中の矢印α_１１Ａ方向に移動させることができる。これにより、電子部品検査装置１は、電子部品９０をトレイ供給領域Ａ１から電子部品供給領域Ａ２に送り込むことができる。また、トレイ搬送機構１１Ｂは、トレイ２００を図２中の矢印α_１１Ｂ方向に移動させることができる移動部である。これにより、電子部品検査装置１は、空のトレイ２００を電子部品供給領域Ａ２からトレイ供給領域Ａ１に移動させることができる。

電子部品供給領域Ａ２には、温度調整部１２と、搬送アーム１３と、トレイ搬送機構１５が設けられる。また、電子部品供給領域Ａ２には、電子部品供給領域Ａ２と検査領域Ａ３とを跨いで移動する電子部品供給部１４が設けられる。

温度調整部１２は、電子部品９０を載せる支持部である。また、温度調整部１２は、載せられた電子部品９０を加熱又は冷却することができるソークプレートと呼ばれる。電子部品検査装置１では、温度調整部１２により、検査部１６で検査される前の電子部品９０を予め加熱し、高温検査に適した温度に調整することができる。また、電子部品検査装置１では、温度調整部１２により、検査部１６で検査される前の電子部品９０を予め冷却し、低温検査に適した温度に調整することができる。図２に示す構成では、温度調整部１２は、Ｙ軸方向に並んで２つ配置されており、トレイ２００上の電子部品９０が搬送アーム１３によっていずれかの温度調整部１２に搬送される。

搬送アーム１３は、電子部品９０を吸着して持ち上げる。換言すると、搬送アーム１３は、電子部品９０を保持する。そして、搬送アーム１３は、電子部品供給領域Ａ２内において、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向のそれぞれに移動することができる。搬送アーム１３は、搬送部２５の一部でもあり、トレイ２００と温度調整部１２との間の電子部品９０の搬送と、温度調整部１２と電子部品供給部１４との間の電子部品９０の搬送とを行うことができる。なお、図２中では、搬送アーム１３のＸ軸方向の移動を矢印α_１３Ｘで示し、搬送アーム１３のＹ軸方向の移動を矢印α_１３Ｙで示している。なお、本明細書において、ある物体を保持するとは、当該物体を持ち上げて移動させることが可能な状態にすること意味する。例えば、保持ヘッドは、電子部品を吸着することにより、保持する。

電子部品供給部１４は、温度調整部１２で温度調整された電子部品９０を載せる支持部である。また、電子部品供給部１４は、載せられた電子部品９０を検査部１６の近傍まで搬送することができる。電子部品供給部１４は、供給用シャトルプレート、又は、供給シャトルと呼ばれることもある。電子部品供給部１４も、搬送部２５の一部となり得る。電子部品供給部１４は、電子部品９０を載せる複数の凹部を有している。

また、電子部品供給部１４は、電子部品供給領域Ａ２と検査領域Ａ３との間を矢印α_１４方向に沿って往復移動することができる。これにより、電子部品供給部１４は、電子部品９０を電子部品供給領域Ａ２から検査領域Ａ３の検査部１６の近傍まで搬送することができる。また、電子部品供給部１４は、検査領域Ａ３で電子部品９０が検査アーム１７によって取り去られた後、電子部品供給領域Ａ２に再び戻ることができる。

図２に示す構成では、電子部品供給部１４は、Ｙ軸方向に並んで２つ配置されている。なお、以下では、説明の便宜上、Ｙ軸の負方向側の電子部品供給部１４を電子部品供給部１４Ａと称し、Ｙ軸の正方向側の電子部品供給部１４を電子部品供給部１４Ｂと称して説明する。温度調整部１２上の電子部品９０は、電子部品供給領域Ａ２内で電子部品供給部１４Ａ又は電子部品供給部１４Ｂまで搬送される。

トレイ搬送機構１５は、全ての電子部品９０が除去された状態の空のトレイ２００を電子部品供給領域Ａ２内で矢印α_１５方向に搬送する機構である。そして、この搬送後、空のトレイ２００は、トレイ搬送機構１１Ｂによって電子部品供給領域Ａ２からトレイ供給領域Ａ１に戻される。

検査領域Ａ３は、電子部品９０を検査する領域である。検査領域Ａ３には、電子部品９０に対して検査を行なう検査部１６と、検査アーム１７が設けられる。

検査アーム１７は、検査領域Ａ３内において、１個以上の電子部品９０を搬送することができる。検査アーム１７が１個以上の電子部品９０を搬送するため、検査アーム１７には、１個以上の電子部品９０を保持する保持ヘッドＨＤが取り付けられる。保持ヘッドＨＤは、例えば、１個以上の電子部品９０のそれぞれを、気体の吸引による吸着、爪部による把持、爪部による挟持等によって保持する。以下では、検査アーム１７には、２つの保持ヘッドＨＤが取り付けられる場合について説明する。また、検査アーム１７が搬送可能な電子部品９０の数は、保持ヘッドＨＤが電子部品９０を保持可能な数によって決まる。例えば、保持ヘッドＨＤが４個の電子部品９０を保持可能であれば、検査アーム１７は、同時に８個の電子部品９０を搬送することができる。また、例えば、保持ヘッドＨＤが２個の電子部品９０を保持可能であれば、検査アーム１７は、同時に４個の電子部品９０を搬送することができる。前述した通り、保持ヘッドＨＤは、チェンジキットの一例である。検査アーム１７の構成の詳細については、後述する。なお、保持ヘッドＨＤの構造は、保持ヘッドＨＤの種類によって変わるため、実施形態では、詳細な説明を省略する。

検査アーム１７は、検査領域Ａ３内でＹ軸方向及びＺ軸方向に往復移動することができる。図２中では、検査アーム１７のＹ軸方向の移動を矢印α_１７Ｙで示している。また、図２に示す構成では、検査アーム１７は、Ｙ軸方向に並んで２つ配置されている。なお、以下では、説明の便宜上、Ｙ軸の負方向側の検査アーム１７を検査アーム１７Ａと称し、Ｙ軸の正方向側の検査アーム１７を検査アーム１７Ｂと称して説明する。

検査アーム１７Ａは、検査領域Ａ３内において、電子部品供給部１４Ａから検査部１６へ電子部品９０を搬送する。また、検査アーム１７Ｂは、検査領域Ａ３内において、電子部品供給部１４Ｂから検査部１６へ電子部品９０を搬送する。また、検査アーム１７Ａは、検査領域Ａ３内において、検査部１６から電子部品回収部１８Ａへ電子部品９０を搬送する。また、検査アーム１７Ｂは、検査領域Ａ３内において、検査部１６から電子部品回収部１８Ｂへ電子部品９０を搬送する。

検査部１６は、電子部品９０を載せて、電子部品９０の電気的特性を検査する支持部である。また、検査部１６は、電子部品９０を載せる凹部を有する。当該凹部の底面には、図示しない複数のプローブピンが設けられている。凹部に電子部品９０を載せた場合、電子部品９０の端子とプローブピンとが接触する。これにより、電子部品検査装置１では、電子部品９０の検査が行なえる状態になる。電子部品９０の検査は、検査部１６に接続されるテスターが有する検査制御部に記憶されているプログラムに基づいて行われる。

電子部品回収領域Ａ４は、検査部１６での検査が終了した電子部品９０が回収される領域である。図２に示すように、電子部品回収領域Ａ４には、回収用トレイ１９と、搬送アーム２０と、トレイ搬送機構２１が設けられる。また、電子部品回収領域Ａ４には、検査領域Ａ３と電子部品回収領域Ａ４とを跨いで移動する電子部品回収部１８も設けられる。また、電子部品回収領域Ａ４には、空のトレイ２００も用意されている。

電子部品回収部１８は、検査部１６で検査が終了した電子部品９０が載せられ、当該電子部品９０を電子部品回収領域Ａ４まで搬送することができる支持部である。電子部品回収部１８は、回収用シャトルプレート、又は、単に回収シャトルと呼ばれることもある。電子部品回収部１８も、搬送部２５の一部となり得る。

電子部品回収部１８は、検査領域Ａ３と電子部品回収領域Ａ４との間を矢印α_１８方向に沿って往復移動することができる。図２に示す構成では、電子部品回収部１８は、電子部品供給部１４と同様に、Ｙ軸方向に並んで２つ配置されている。なお、上述したように、説明の便宜上、Ｙ軸の負方向側の電子部品回収部１８を電子部品回収部１８Ａと称し、Ｙ軸の正方向側の電子部品回収部１８を電子部品回収部１８Ｂと称して説明する。そして、電子部品検査装置１では、検査部１６上の電子部品９０は、検査アーム１７によって、電子部品回収部１８Ａまたは電子部品回収部１８Ｂに搬送され、載せられる。

回収用トレイ１９は、検査部１６で検査された電子部品９０を載せる支持部であり、電子部品回収領域Ａ４内で移動しないよう固定されている。なお、図２に示す構成では、回収用トレイ１９は、Ｘ軸方向に沿って３つ配置されている。

また、空のトレイ２００も、Ｘ軸方向に沿って３つ配置されている。この空のトレイ２００も、検査部１６で検査された電子部品９０を載置せる支持部となる。電子部品検査装置１では、電子部品回収領域Ａ４に移動してきた電子部品回収部１８上の電子部品９０は、回収用トレイ１９および空のトレイ２００のうちのいずれかに搬送され、載せられる。例えば、電子部品検査装置１では、電子部品９０の検査結果毎に載せるトレイ２００を分けることにより、電子部品９０をその検査結果毎、例えば、良品／不良品に分類して回収することができる。

搬送アーム２０は、電子部品回収領域Ａ４内でＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向のそれぞれに移動可能である。搬送アーム２０は、搬送部２５の一部であり、電子部品９０を電子部品回収部１８から回収用トレイ１９や空のトレイ２００に搬送することができる。なお、図２中では、搬送アーム２０のＸ軸方向の移動を矢印α_２０Ｘで示し、搬送アーム２０のＹ軸方向の移動を矢印α_２０Ｙで示している。

トレイ搬送機構２１は、トレイ除去領域Ａ５から搬入された空のトレイ２００を電子部品回収領域Ａ４内で矢印α_２１方向に搬送する。そして、この搬送後、空のトレイ２００は、電子部品９０が回収される位置に配されることとなり、前述の３つの空のトレイ２００のうちのいずれかとなり得る。

トレイ除去領域Ａ５は、検査済み状態の複数の電子部品９０が配列されたトレイ２００が回収され、除去される除材部である。トレイ除去領域Ａ５では、多数のトレイ２００を積み重ねることができる。

また、電子部品回収領域Ａ４とトレイ除去領域Ａ５とを跨いで、トレイ２００を１枚ずつＹ軸方向に搬送するトレイ搬送機構２２Ａ、トレイ搬送機構２２Ｂが設けられる。トレイ搬送機構２２Ａは、搬送部２５の一部であり、トレイ２００を矢印α_２２Ａ方向に往復移動させることができる移動部である。これにより、電子部品検査装置１は、検査済みの電子部品９０を電子部品回収領域Ａ４からトレイ除去領域Ａ５に搬送することができる。また、トレイ搬送機構２２Ｂは、電子部品９０を回収するための空のトレイ２００を矢印_α２２Ｂ方向に移動させることができる。これにより、電子部品検査装置１は、空のトレイ２００をトレイ除去領域Ａ５から電子部品回収領域Ａ４に移動させることができる。

制御部８００は、例えば、トレイ搬送機構１１Ａと、トレイ搬送機構１１Ｂと、温度調整部１２と、搬送アーム１３と、電子部品供給部１４と、トレイ搬送機構１５と、検査部１６と、検査アーム１７と、電子部品回収部１８と、搬送アーム２０と、トレイ搬送機構２１と、トレイ搬送機構２２Ａと、トレイ搬送機構２２Ｂとの各部の作動を制御する。また、制御部８００には、外付けの記憶部１０００が取り付けられている。記憶部１０００は、記憶装置であり、例えば、ハードディスクであるが、これに代えて、ＳＳＤ（Solid State Drive）等の他の記憶装置であってもよい。また、制御部８００は、記憶部１０００を内蔵する構成であってもよい。

オペレーターは、モニター３００を介して電子部品検査装置１の動作条件等を設定したり、確認したりすることができる。モニター３００は、例えば、液晶画面で構成された表示画面３０１を有し、電子部品検査装置１の正面側上部に配置されている。図１に示すように、トレイ除去領域Ａ５の図中の右側には、マウスを載せるマウス台６００が設けられている。このマウスは、モニター３００に表示された画面を操作する際に用いられる。

なお、電子部品検査装置１は、トレイ供給領域Ａ１、トレイ除去領域Ａ５が配置されている側、すなわち、図２においてＹ軸の負方向側が、電子部品検査装置１の正面側として使用される。また、電子部品検査装置１は、検査領域Ａ３が配置されている側、すなわち、図２においてＹ軸の正方向側が、電子部品検査装置１の背面側として使用される。

また、モニター３００の近傍には、操作パネル７００が配置されている。操作パネル７００は、電子部品検査装置１に所望の動作を命令するものである。また、シグナルランプ４００は、発光する色の組み合わせにより、電子部品検査装置１の作動状態等を報知することができる。シグナルランプ４００は、電子部品検査装置１の上部に配置されている。また、電子部品検査装置１には、スピーカー５００が内蔵されており、このスピーカー５００によっても電子部品検査装置１の作動状態等を報知することもできる。

以上、電子部品検査装置１の全体構成について簡単に説明した。このような電子部品検査装置１の検査領域Ａ３内では、前述したように、検査アーム１７によって電子部品９０が搬送される。そこで、以下では、このような検査アーム１７の構成についてより詳しく説明する。

＜検査アームの構成＞
以下、検査アーム１７の構成について説明する。

検査アーム１７は、１個以上のシリンダー部を有する。個々のシリンダー部には、前述の保持ヘッドＨＤが取り付けられる。実施形態では、検査アーム１７には、前述した通り、保持ヘッドＨＤが２個取り付けられる。すなわち、実施形態では、検査アーム１７は、２個のシリンダー部を有する。また、実施形態では、これら２個のシリンダー部は、互いに同じ構成であるが、互いに異なる構成であってもよい。

これら２個のシリンダー部は、検査アーム１７の動きに応じて、前述した通り、Ｙ軸、Ｚ軸のそれぞれに対して検査アーム１７とともに移動する。これにより、検査アーム１７は、これら２個のシリンダー部のそれぞれに保持された電子部品９０を搬送することができる。

図３は、検査アーム１７が有するシリンダー部の構成の一例を示す図である。図３では、一例として、検査アーム１７が有する２個のシリンダー部のうちの一方のみを示している。
図３に示したように、検査アーム１７が有するシリンダー部は、シリンダーＳＬと、シリンダーＳＬ内の圧力に応じてシリンダーＳＬ内の位置を変化させるピストンＰＴと、位置検出部Ｓ１を有する。なお、図３では、シリンダー部及び保持ヘッドＨＤのそれぞれについて、形状を簡略化している。

図３に示した例では、シリンダーＳＬ内においてピストンＰＴが移動可能な方向は、Ｚ軸方向と一致している。このため、ピストンＰＴは、ピストンＰＴが有する面のうちＺ軸の負方向側の面から当該負方向に向かって突出するピストンロッドＰＬを有する。以下では、説明の便宜上、ピストンＰＴが有する面のうちピストンロッドＰＬが設けられた面を、第１面Ｍ１と称して説明する。また、以下では、説明の便宜上、ピストンＰＴが有する面のうち第１面Ｍ１と反対側の面を、第２面Ｍ２と称して説明する。

シリンダーＳＬ内において、第１面Ｍ１とシリンダーＳＬの内壁との間の空間には、ばねＳＰが配置されている。ばねＳＰは、第１面Ｍ１をＺ軸の正方向に向かって押し上げる力、すなわち、当該正方向に向かってピストンＰＴに加わる力をピストンＰＴに対して与えるように、当該空間内に配置される。このため、シリンダーＳＬ内では、ピストンＰＴには、ばねＳＰから当該正方向に向かって常に力が加えられる。

一方、第２面Ｍ２とシリンダーＳＬの内壁との間の空間には、制御部８００による制御に応じた図示しない電空レギュレーターから、当該制御に応じた圧力の圧縮空気が流入させられる。ここで、前述のシリンダーＳＬ内の圧力は、当該空間内の圧力のことである。なお、電空レギュレーターは、当該圧力の圧縮空気に代えて、当該圧力の他の気体を当該空間に流入させる構成であってもよい。このため、第２面Ｍ２には、当該空間内に流入した圧縮空気の圧力が加えられる。還元すると、ピストンＰＴには、当該空間内に圧縮空気が流入した場合、流入した圧縮空気の圧力によって、Ｚ軸の負方向に向かって力が加えられる。なお、圧縮空気は、電空レギュレーターから当該空間内までを繋ぐ図示しない流路を通って当該空間内に流入する。当該流路は、パイプ等によって形成されるが、これに限定されるわけではない。

従って、シリンダーＳＬ内では、ピストンＰＴは、シリンダーＳＬ内においてピストンが動くことが可能な２つの方向のそれぞれに向かってピストンＰＴに加わる力の差分に応じて、位置を変化させる。これにより、検査アーム１７は、例えば、各シリンダー部において、保持ヘッドＨＤに加わる重力を打ち消し、電子部品９０に対して保持ヘッドから過剰な力が加わってしまうことを抑制することができる。

ピストンＰＴが有するピストンロッドＰＬの先端には、保持ヘッドＨＤを取り付け可能な取付部ＦＸが設けられている。図３に示した例では、取付部ＦＸは、ピストンロッドＰＬの先端に設けられたフランジである。なお、取付部ＦＸへの保持ヘッドＨＤの取り付けは、取り付け金具を用いてもよく、ねじを用いてもよく、磁石を用いてもよく、他の方法によって行われてもよい。また、取付部ＦＸは、当該フランジに代えて、保持ヘッドＨＤを取り付け可能な形状であれば、如何なる形状であってもよい。このように保持ヘッドＨＤが取付部ＦＸに取り付けられているため、保持ヘッドＨＤは、ピストンＰＴとともに動くようにピストンＰＴに対して取り付けられていると換言することもできる。

位置検出部Ｓ１は、ピストンＰＴのシリンダーＳＬ内における位置を検出する。ここで、位置検出部Ｓ１は、ピストンＰＴのシリンダーＳＬ内における位置が所定の位置と一致したタイミングをピストンＰＴのシリンダーＳＬ内における位置として検出する構成であってもよく、ピストンＰＴのシリンダーＳＬ内における位置そのものを直接検出する構成であってもよく、ピストンＰＴとともに動く部位の位置をピストンＰＴのシリンダーＳＬ内における位置として検出する構成であってもよい。以下では、一例として、位置検出部Ｓ１が、ピストンＰＴのシリンダーＳＬ内における位置が所定の位置と一致したタイミングをピストンＰＴのシリンダーＳＬ内における位置として検出する場合について説明する。この場合、当該タイミングにおいて、ピストンＰＴのシリンダーＳＬ内における位置は、所定の位置と一致している。また、当該場合、位置検出部Ｓ１は、例えば、近接センサー、接触センサー等である。

図３に示した例では、位置検出部Ｓ１は、近接センサーである。この場合、位置検出部Ｓ１は、取付部ＦＸが有する面のうちＺ軸の正方向側の面が位置検出部Ｓ１と接触したタイミング、又は、当該面が位置検出部Ｓ１から離間したタイミングを、ピストンＰＴのシリンダーＳＬ内における位置が所定の位置と一致したタイミングとして検出する。位置検出部Ｓ１は、検出したタイミングを、ピストンＰＴのシリンダーＳＬ内における位置が所定の位置であることを示す位置情報として、判定部８０５に出力する。以下では、一例として、位置検出部Ｓ１が、取付部ＦＸが有する面のうちＺ軸の正方向側の面が位置検出部Ｓ１から離間したタイミングを、ピストンＰＴのシリンダーＳＬ内における位置が所定の位置と一致したタイミングとして検出する場合について説明する。

なお、位置検出部Ｓ１がピストンＰＴのシリンダーＳＬ内における位置そのものを直接検出する構成、又は、位置検出部Ｓ１がピストンＰＴとともに動く部位の位置をピストンＰＴのシリンダーＳＬ内における位置として検出する構成である場合、位置検出部Ｓ１は、例えば、レーザー距離計等である。

ここで、検査アーム１７には、検査領域Ａ３内に供給される電子部品９０の種類に応じた種類の保持ヘッドＨＤが取り付けられる。例えば、電子部品検査装置１が検査を行う対象がある種類Ｘ１の電子部品９０である場合、検査アーム１７には、種類Ｘ１に応じた種類Ｙ１の保持ヘッドＨＤが取り付けられる。そして、電子部品検査装置１が検査を行う対象が種類Ｘ１の電子部品９０からある種類Ｘ２の電子部品９０に変更された場合、検査アーム１７には、種類Ｙ１の保持ヘッドＨＤに代えて、種類Ｘ２に応じた種類Ｙ２の保持ヘッドＨＤが取り付けられる。すなわち、当該場合、検査アーム１７に取り付けられる保持ヘッドＨＤは、交換される。

このような保持ヘッドＨＤの交換において、ユーザーは、ユーザーが所望する種類の保持ヘッドＨＤを取り付けようとして、当該種類と異なる種類の保持ヘッドＨＤを誤って取り付けてしまう場合がある。しかしながら、従来の電子部品検査装置１は、検査アーム１７に取り付けられた保持ヘッドＨＤの種類を判定できなかった。このため、電子部品検査装置１では、検査アーム１７に取り付けられた保持ヘッドＨＤの種類が正しい種類のものであるか否かをユーザーが目視で確認していた。その結果、電子部品検査装置１では、誤った種類の保持ヘッドＨＤが検査アーム１７に取り付けられてしまうことを抑制することが困難な場合があった。

そこで、電子部品検査装置１が有する制御部８００は、検査アーム１７に取り付けられた保持ヘッドＨＤの種類を判定し、誤った種類の保持ヘッドＨＤが検査アーム１７に取り付けられてしまうことを抑制するための判定制御を行う。以下では、このような判定制御を行う制御部８００の機能構成と、制御部８００が判定制御を行う処理の流れについて詳しく説明する。

＜制御部の機能構成＞
以下、図４を参照し、制御部８００の機能構成について説明する。図４は、制御部８００の機能構成の一例を示す図である。なお、図４では、制御部８００が有するすべての機能構成を示しているわけではなく、説明の便宜上、一部を省略している。しかしながら、制御部８００は、少なくとも、図４に示した機能構成を備えている。

制御部８００は、モニター３００、シグナルランプ４００、スピーカー５００、操作パネル７００、記憶部１０００のそれぞれと通信可能に接続されている。そして、制御部８００は、例えば、表示制御部８０１と、操作受付部８０２と、第１取得部８０３、第２取得部８０４、判定部８０５と、報知制御部８０６と、検査アーム制御部８０７を有する。制御部８００が有するこれらの機能部は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）等のプロセッサーが、記憶部１０００に記憶された各種のプログラムを実行することにより実現される。また、当該機能部のうちの一部又は全部は、ＬＳＩ（Large Scale Integration）、ＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）等のハードウェア機能部であってもよい。

表示制御部８０１は、モニター３００に表示させる各種の画像を生成する。表示制御部８０１は、生成した画像をモニター３００に表示させる。例えば、表示制御部８０１は、ユーザーから受け付けた操作に応じて、ユーザーからの操作を受け付ける操作受付画像を生成する。そして、表示制御部８０１は、生成した操作受付画像をモニター３００に表示させる。

操作受付部８０２は、操作パネル７００に対して行われたユーザーからの操作を受け付ける。

第１取得部８０３は、位置検出部Ｓ１から前述の位置情報を取得する。第１取得部８０３は、取得した位置情報に基づいて、ピストンＰＴのシリンダーＳＬ内における位置が所定の位置であることを特定する。そして、第１取得部８０３は、特定した所定の位置を、第１検出値として判定部８０５に出力する。換言すると、電子部品検査装置１は、当該所定の位置を、第１検出値として検出する。なお、第１取得部８０３は、位置検出部Ｓ１から取得した位置情報がタイミングではなく位置を示す場合、当該位置情報が示す位置を、第１検出値として判定部８０５に出力する。

第２取得部８０４は、位置検出部Ｓ１以外のセンサー、装置、機能部等から出力される情報を取得する。当該情報は、何らかの値を示す。第２取得部８０４は、取得した情報が示す値を、第２検出値として判定部８０５に出力する。例えば、第２取得部８０４は、後述する検査アーム制御部８０７からの制御によって電空レギュレーターがシリンダーＳＬ内に流入させる圧縮空気の圧力を示す圧力情報を、電空レギュレーターから取得する。この場合、第２取得部８０４は、取得した圧力情報が示す圧力を、第２検出値として判定部８０５に出力する。換言すると、電子部品検査装置１は、当該圧力を、第２検出値として検出する。なお、電空レギュレーターは、当該制御に応じた圧力の圧縮空気を、シリンダーＳＬ内に流入させる。すなわち、当該圧力は、シリンダーＳＬ内に流入した気体の圧力とほぼ一致している。

判定部８０５は、制御部８００が行う各種の判定を行う。

報知制御部８０６は、判定部８０５により判定された結果を、モニター３００、シグナルランプ４００、スピーカー５００等を制御してユーザーに報知する。例えば、報知制御部８０６は、当該結果を示す情報をモニター３００に表示させることにより、ユーザーに当該結果を報知する。また、例えば、報知制御部８０６は、当該結果を示す明滅パターンの光をシグナルランプ４００に点灯させることにより、ユーザーに当該結果を報知する。また、例えば、報知制御部８０６は、当該結果を示す音をスピーカー５００に出力させることにより、ユーザーに当該結果を報知する。

検査アーム制御部８０７は、検査アーム１７を制御する。

＜制御部が判定制御を行う処理＞
以下、図５を参照し、制御部８００が判定制御を行う処理について説明する。図５は、制御部８００が判定制御を行う処理の流れの一例を示す図である。

図５に示したフローチャートの処理は、検査アーム１７が有する２つのシリンダー部のそれぞれ毎に行われる。以下では、一例として、当該２つのシリンダー部のうちの一方である第１シリンダー部を例に挙げて、当該処理の流れについて説明する。このため、以下では、説明の便宜上、第１シリンダー部が有するシリンダーＳＬを、第１シリンダーと称し、第１シリンダー部が有するピストンＰＴを第１ピストンと称し、第１シリンダー部が有する取付部ＦＸを第１取付部と称し、第１シリンダー部が有する位置検出部Ｓ１を第１位置検出部と称して説明する。また、以下では、一例として、図５に示したステップＳ１１０の処理が行われるよりも前のタイミングにおいて、第１取付部に、何らかの種類の保持ヘッドＨＤがユーザーにより取り付けられている場合について説明する。

判定部８０５は、第１取付部に取り付けられている保持ヘッドＨＤの種類を示す種類情報が、電子部品検査装置１に設定されるまで待機する（ステップＳ１１０）。ここで、電子部品検査装置１には、前述の操作受付画像を介してユーザーから当該種類情報が設定される。なお、電子部品検査装置１は、操作受付画像に代えて、モニター３００に表示される他の画像を介してユーザーから当該種類情報が設定される構成であってもよい。

第１取付部に取り付けられている保持ヘッドＨＤの種類を示す種類情報が操作受付画像を介して電子部品検査装置１に設定されたと判定部８０５が判定した場合（ステップＳ１１０−ＹＥＳ）、検査アーム制御部８０７は、第１シリンダー部の電空レギュレーターを制御し、第１シリンダー内へ圧縮空気を流入させ始めるとともに、第１シリンダー内に流入させる圧縮空気の圧力を上昇させ始める（ステップＳ１２０）。この際、検査アーム制御部８０７は、当該圧力の上昇率が所定の上昇率となるように、当該電空レギュレーターを制御する。所定の上昇率は、判定制御に支障を生じさせる上昇率でなければ、如何なる上昇率であってもよい。ステップＳ１２０の処理により、保持ヘッドＨＤの位置は、第１シリンダー内の圧力の上昇とともに、Ｚ軸の負方向に向かって移動し始める。ここで、保持ヘッドＨＤの位置は、保持ヘッドの重さが重いほど速く移動する。

次に、判定部８０５は、第１取得部８０３が第１位置検出部から位置情報を取得するまで待機する（ステップＳ１３０）。

第１位置検出部から位置情報を取得したと判定部８０５が判定した場合（ステップＳ１３０−ＹＥＳ）、検査アーム制御部８０７は、第１シリンダー部の電空レギュレーターを制御し、第１シリンダー内に流入させる圧縮空気の圧力の上昇を停止する（ステップＳ１４０）。

次に、第１取得部８０３は、所定の位置を、第１検出値として判定部８０５に出力する。すなわち、判定部８０５は、第１取得部８０３から第１検出値を取得する（ステップＳ１５０）。

なお、図５に示したフローチャートにおいて、ステップＳ１４０の処理とステップＳ１５０の処理とは、逆の順で行われてもよく、並列に行われてもよい。

次に、第２取得部８０４は、第１シリンダー部の電空レギュレーターが第１シリンダー内に現在流入させている圧縮空気の圧力を示す圧力情報を取得する。そして、第２取得部８０４は、取得した圧力情報が示す圧力を、第２検出値として判定部８０５に出力する。すなわち、判定部８０５は、第２取得部８０４から第２検出値を取得する（ステップＳ１６０）。

次に、判定部８０５は、記憶部１０００に予め記憶された第１対応情報を記憶部１０００から読み出す（ステップＳ１７０）。ここで、第１対応情報について説明する。第１対応情報は、例えば、図６に示したように、第１ピストンの第１シリンダー内における位置と、第１シリンダー内の圧力と、保持ヘッドＨＤの種類とが対応付けられた情報のことである。図６は、第１対応情報の一例を示す図である。図６に示した「ｐｓｎ１」、「ｐｓｎ２」、「ｐｓｎ３」のそれぞれは、第１ピストンの第１シリンダー内における位置を示す。また、図６に示した「ｐｒｓ１」、「ｐｒｓ２」、「ｐｒｓ３」のそれぞれは、第１シリンダー内の圧力を示す。図６に示した「ｔｙｐ１」、「ｔｙｐ２」のそれぞれは、保持ヘッドＨＤの種類を示す。第１対応情報は、例えば、第１取付部に取り付ける保持ヘッドＨＤを交換する毎に、第１ピストンの第１シリンダー内における位置が所定の位置である場合における第１シリンダー内の圧力を測定することによって得ることができる。第１対応情報は、例えば、第１取付部に取り付けられた保持ヘッドＨＤの種類が「ｔｙｐ１」である場合において第１ピストンの第１シリンダー内における位置が「ｐｓｎ１」である場合、第１シリンダー内の圧力が「ｐｒｓ１」になることを示している。なお、実施形態では、位置検出部Ｓ１が位置ではなくタイミングを検出するため、「ｐｓｎ１」、「ｐｓｎ２」、「ｐｓｎ３」のそれぞれは、互いに同じ位置、すなわち、前述の所定の位置を示す。この場合、第１対応情報からは、保持ヘッドＨＤの重さが重いほど、第１ピストンの第１シリンダー内における位置が所定の位置と一致する場合における第１シリンダー内の圧力が、小さくなることを読み取ることもできる。これは、前述した通り、保持ヘッドＨＤの位置は、第１シリンダー内の圧力を上昇させた場合、保持ヘッドの重さが重いほど速く移動するためである。ここで、第１シリンダー内の圧力は、近似的に、第１シリンダー部の電空レギュレーターから第１シリンダー内に流入させられた圧縮空気の圧力と同じである。このことから、判定部８０５は、第１対応情報と、ステップＳ１５０において第１取得部８０３から取得した第１検出値と、ステップＳ１６０において第２取得部８０４から取得した第２検出値とに基づいて、第１取付部に現在取り付けられている保持ヘッドＨＤの種類を特定することができる。なお、図６に示した「ｎｏｔｈｉｎｇ」は、第１取付部に保持ヘッドＨＤが取り付けられていないことを示す情報である。すなわち、判定部８０５は、第１対応情報に基づいて、保持ヘッドＨＤが第１取付部に取り付けられているか否かを判定することもできる。

次に、判定部８０５は、第１対応情報と、ステップＳ１５０において第１取得部８０３から取得した第１検出値と、ステップＳ１６０において第２取得部８０４から取得した第２検出値とに基づいて、第１取付部に現在取り付けられている保持ヘッドＨＤの種類を特定する（ステップＳ１８０）。また、判定部８０５は、ステップＳ１８０の処理において、保持ヘッドＨＤが第１取付部に取り付けられているか否かも判定する。なお、判定部８０５は、特定した保持ヘッドＨＤの種類が「ｎｏｔｈｉｎｇ」ではない場合、第１取付部に保持ヘッドＨＤが取り付けられていると判定する。一方、判定部８０５は、特定した保持ヘッドＨＤの種類が「ｎｏｔｈｉｎｇ」である場合、第１取付部に保持ヘッドＨＤが取り付けられていないと判定する。

次に、判定部８０５は、ステップＳ１８０において特定した種類が、ステップＳ１１０において電子部品検査装置１に設定された種類情報が示す種類と一致しているか否かを判定する（ステップＳ１９０）。

ステップＳ１８０において特定した種類が、ステップＳ１１０において電子部品検査装置１に設定された種類情報が示す種類と一致していると判定した場合（ステップＳ１９０−ＹＥＳ）、判定部８０５は、処理を終了する。

一方、ステップＳ１８０において特定した種類が、ステップＳ１１０において電子部品検査装置１に設定された種類情報が示す種類と一致していないと判定部８０５が判定した場合（ステップＳ１９０−ＮＯ）、報知制御部８０６は、保持ヘッドＨＤが第１取付部に取り付けられていないこと、又は、誤った種類の保持ヘッドＨＤが第１取付部に取り付けられていることをユーザーに報知する（ステップＳ２００）。例えば、当該場合、報知制御部８０６は、誤った種類の保持ヘッドＨＤが第１取付部に取り付けられていることを示す情報をモニター３００に表示させることにより、誤った種類の保持ヘッドＨＤが第１取付部に取り付けられていることをユーザーに報知する。また、例えば、当該場合、報知制御部８０６は、誤った種類の保持ヘッドＨＤが第１取付部に取り付けられていることを示す明滅パターンの光をシグナルランプ４００に点灯させることにより、誤った種類の保持ヘッドＨＤが第１取付部に取り付けられていることをユーザーに報知する。また、例えば、当該場合、報知制御部８０６は、誤った種類の保持ヘッドＨＤが第１取付部に取り付けられていることを示す音をスピーカー５００に出力させることにより、誤った種類の保持ヘッドＨＤが第１取付部に取り付けられていることをユーザーに報知する。そして、ステップＳ２００の処理が行われた後、判定部８０５は、処理を終了する。

このように、制御部８００は、判定制御を行い、保持ヘッドＨＤの種類を判定する。これにより、制御部８００、すなわち、電子部品検査装置１は、検査アーム１７に取り付けられた保持ヘッドの種類を判定できるため、誤った種類の保持ヘッドＨＤが検査アーム１７に取り付けられてしまうことを抑制することができる。また、制御部８００は、判定制御を行い、検査アーム１７に保持ヘッドＨＤが取り付けられているか否かを判定する。これにより、制御部８００、すなわち、電子部品検査装置１は、検査アーム１７に取り付けられた保持ヘッドＨＤの有無を判定できるため、保持ヘッドＨＤが検査アーム１７に取り付け忘れられてしまうことを抑制することができる。

なお、第２取得部８０４は、電空レギュレーターから圧力情報を取得する構成に代えて、第１シリンダー内の圧力を検出する圧力センサーから当該圧力を示す圧力情報を取得する構成であってもよい。この場合、第１シリンダー部は、当該圧力センサーを有する。当該圧力センサーは、当該圧力を直接的に検出する構成であってもよく、当該圧力を間接的に検出する構成であってもよい。

また、上記において説明したステップＳ１２０の処理は、第１シリンダー内に流入させる圧縮空気の圧力を減少させ始める処理であってもよい。この場合、第１位置検出部は、第１取付部が有する面のうちＺ軸の正方向側の面が第１位置検出部と接触したタイミングを検出する。

また、本実施形態のように、第１取得部８０３が取得する位置情報がタイミングを示す場合、第１ピストンの第１シリンダー内における位置のうち当該タイミングにおける位置は、所定の位置に決まっている。このような場合、第１対応情報は、第１シリンダー内の圧力と、保持ヘッドＨＤの種類とが対応付けられた情報であってもよい。この場合、判定部８０５は、当該場合における第１対応情報と、ステップＳ１６０において第２取得部８０４から取得した第２検出値とに基づいて、保持ヘッドＨＤの種類を判定する。

また、前述した通り、位置検出部Ｓ１は、ピストンＰＴのシリンダーＳＬ内における位置そのものを直接検出する構成であってもよく、ピストンＰＴとともに動く部位の位置をピストンＰＴのシリンダーＳＬ内における位置として検出する構成であってもよい。この場合、第１取得部８０３は、位置検出部Ｓ１から、位置を示す位置情報を取得する。第１取得部８０３が取得する位置情報が位置を示す場合、第１ピストンの第１シリンダー内における位置のうち当該タイミングにおける位置は、第１シリンダー内の圧力と、保持ヘッドＨＤの種類とによって決まる。何故なら、第１シリンダー内の圧力が一定である場合、保持ヘッドＨＤの重さが重いほど、保持ヘッドＨＤの位置は、Ｚ軸の負方向側に位置するからである。このことから、判定制御において、検査アーム制御部８０７が電空レギュレーターに一定圧力の圧縮空気を第１シリンダー内に流入させる場合、第１対応情報は、第１ピストンの第１シリンダー内における位置と、保持ヘッドＨＤの種類とが対応付けられた情報であってもよい。この場合、判定部８０５は、当該場合における第１対応情報と、ステップＳ１５０において第１取得部８０３から取得した第１検出値とに基づいて、保持ヘッドＨＤの種類を判定する。

また、第１取得部８０３が取得する位置情報が位置を示す場合、第２取得部８０４は、時間を計時する図示しない計時部から、第１取得部８０３が所定の第１位置を示す位置情報を取得した時刻を示す情報と、第１取得部８０３が所定の第２位置を示す位置情報を取得した時刻を示す情報とを取得する構成であってもよい。この場合、第２取得部８０４は、取得したこれらの時刻の差分を、第１ピストンが第１位置から第２位置までに移動するのに要した移動時間として算出する。第２取得部８０４は、算出した移動時間を、第２検出値として判定部８０５に出力する。換言すると、電子部品検査装置１は、当該移動時間を、第２検出値として検出する。また、当該場合、第１取得部８０３は、例えば、第１ピストンの第１シリンダー内における位置のうち、第１ピストンの移動が停止した位置を示す位置情報を位置検出部Ｓ１から取得する。また、当該場合、判定部８０５は、記憶部１０００に予め記憶された第２対応情報を、前述の第１対応情報に代えて、記憶部１０００から読み出す。第２対応情報は、図７に示したように、第１ピストンの第１シリンダー内における位置のうちの第１ピストンの移動が停止する位置と、第１ピストンが第１位置から第２位置までに移動するのに要する移動時間と、保持ヘッドＨＤの種類とが対応付けられた情報である。図７は、第２対応情報の一例を示す図である。図７に示した「ｍｖｔ１」、「ｍｖｔ２」、「ｍｖｔ３」のそれぞれは、当該移動時間を示す。判定部８０５は、このような第２対応情報と、当該場合における第１取得部８０３から取得した第１検出値と、当該場合における第２取得部８０４から取得した第２検出値とに基づいて、保持ヘッドＨＤの種類を特定する。

ここで、本実施形態のように、第１取得部８０３が取得する位置情報がタイミングを示す場合、第１ピストンの第１シリンダー内における位置のうち当該タイミングにおける位置は、前述した通り、所定の位置に決まっている。このような場合、第２対応情報は、前述の移動時間と、保持ヘッドＨＤの種類とが対応付けられた情報であってもよい。この場合、判定部８０５は、当該場合における第２対応情報と、算出した移動時間とに基づいて、保持ヘッドＨＤの種類を判定する。例えば、判定部は、算出した移動時間が、第２対応情報に含まれるある移動時間を中心値とした所定の誤差範囲内に含まれる場合、当該移動時間に対応付けられた保持ヘッドＨＤの種類を、第１取付部に取り付けられている保持ヘッドＨＤの種類として特定する。

また、第１取得部８０３が取得する位置情報が位置を示す場合、且つ、第２取得部８０４が前述の計時部から時刻を示す情報を取得する場合、判定部８０５は、第１対応情報と第２対応情報との組み合わせによって、保持ヘッドＨＤの種類を判定する構成であってもよい。

また、第１取得部８０３が取得する位置情報が位置を示す場合、且つ、第２取得部８０４が前述の計時部から時刻を示す情報を取得する場合、判定部８０５は、図８に示した第３対応情報に基づいて、保持ヘッドＨＤの種類を判定する構成であってもよい。図８は、第３対応情報の一例を示す図である。第３対応情報は、図８に示したように、第１ピストンの第１シリンダー内における位置と、第１シリンダー内の圧力と、前述の移動時間と、保持ヘッドＨＤの種類とが対応付けられた情報である。これにより、判定部８０５は、より高い精度で、保持ヘッドＨＤの種類を特定することができる。

＜実施形態の変形例＞
以下、実施形態の変形例について説明する。実施形態の変形例では、制御部８００は、算出部を備える構成であってもよい。算出部は、第１取付部に取り付けられた保持ヘッドＨＤの重さを算出する。この場合、検査アーム制御部８０７は、算出部が算出した重さに基づいて、検査アーム１７の加速度を変化させる。検査アーム１７の加速度は、検査アーム１７が加速する場合、又は、検査アーム１７が減速する場合における加速度のことである。

図９は、制御部８００が保持ヘッドＨＤの重さに応じて検査アーム１７の加速度を変化させる処理の流れの一例を示す図である。

以下では、一例として、図９に示したステップＳ２１０の処理が行われるよりも前のタイミングにおいて、保持ヘッドＨＤの重さに応じて検査アーム１７の加速度を変化させる処理を開始させる操作を、前述の操作受付画像を介してユーザーから電子部品検査装置１が受け付けている場合について説明する。

前述の算出部は、記憶部１０００に予め記憶された断面積情報を記憶部１０００から読み出す（ステップＳ２１０）。断面積情報は、前述の第２面Ｍ２の断面積を示す情報のことである。

次に、算出部は、記憶部１０００に予め記憶されたばね情報を記憶部１０００から読み出す（ステップＳ２２０）。ばね情報は、第１ピストンの第１シリンダー内における位置が前述の所定の位置と一致している場合において、第１面Ｍ１に対してばねＳＰがＺ軸の正方向に向かって加えている力の大きさを示す情報のことである。

次に、算出部は、記憶部１０００に予め記憶された構造情報を記憶部１０００から読み出す（ステップＳ２３０）。構造情報は、第１シリンダー部の構造に関する情報であり、少なくとも、第１ピストンの重さを示す情報と、第１取付部の重さを示す情報とが含まれた情報である。

次に、検査アーム制御部８０７は、第１シリンダー部の電空レギュレーターを制御し、第１シリンダー内へ圧縮空気を流入させ始めるとともに、第１シリンダー内に流入させる圧縮空気の圧力を上昇させ始める（ステップＳ２４０）。この際、検査アーム制御部８０７は、当該圧力の上昇率が所定の上昇率となるように、当該電空レギュレーターを制御する。

次に、判定部８０５は、第１取得部８０３が第１位置検出部から位置情報を取得するまで待機する（ステップＳ２５０）。

第１位置検出部から位置情報を取得したと判定部８０５が判定した場合（ステップＳ２５０−ＹＥＳ）、検査アーム制御部８０７は、第１シリンダー部の電空レギュレーターを制御し、第１シリンダー内に流入させる圧縮空気の圧力の上昇を停止する（ステップＳ２６０）。

次に、第２取得部８０４は、第１シリンダー部の電空レギュレーターが第１シリンダー内に現在流入させている圧縮空気の圧力を示す圧力情報を取得する。そして、第２取得部８０４は、取得した圧力情報が示す圧力を算出部に出力する。すなわち、算出部は、第２取得部８０４から圧力を取得する（ステップＳ２７０）。

次に、算出部は、保持ヘッドＨＤの重さを算出する（ステップＳ２８０）。具体的には、算出部は、ステップＳ２１０において読み出した断面積情報が示す断面積と、ステップＳ２６０において取得した圧力とに基づいて、第２面Ｍ２に対して第１シリンダー内の圧縮空気がＺ軸の負方向に向かって加える力の大きさを算出する。算出部は、算出した当該力の大きさと、ステップＳ２２０において読み出したばね情報が示す力の大きさとに基づいて、これらの力の差分を、第１ピストン、第１取付部、保持ヘッドＨＤそれぞれの重さの合計として算出する。ここで、算出部は、ステップＳ２３０において読み出した構造情報に基づいて、第１ピストンの重さと、第１取付部の重さとを特定する。算出部は、特定したこれらの重さを、当該合計から差し引いた値を、保持ヘッドＨＤの重さとして算出する。

次に、検査アーム制御部８０７は、ステップＳ２８０において算出部が算出した保持ヘッドＨＤの重さに応じた加速度を特定する。検査アーム制御部８０７は、例えば、保持ヘッドＨＤの重さと検査アーム１７の加速度とが対応付けられた情報に基づいて、ステップＳ２８０において算出部が算出した保持ヘッドＨＤの重さに応じた加速度を特定する。そして、検査アーム制御部８０７は、特定した加速度を検査アーム制御部８０７自身に設定し（ステップＳ２９０）、処理を終了する。

なお、上記において説明した第１シリンダー部は、特許文献１として示した文献に記載されたダイアフラムシリンダーの構造を有する構成であってもよく、他の構造を有する構成であってもよい。

以上のように、実施形態に係る電子部品搬送装置（上記において説明した例では、電子部品搬送装置１０）の判定方法は、シリンダー（上記において説明した例では、シリンダーＳＬ、第１シリンダー）の内部に設けられて圧力に応じてシリンダー内における位置を変化させるピストン（上記において説明した例では、ピストンＰＴ、第１ピストン）と、ピストンとともに移動する保持ヘッド（上記において説明した例では、保持ヘッドＨＤ）と、を備えた検査アーム（上記において説明した例では、検査アーム１７）を有する電子部品搬送装置が保持ヘッドの種類を判定する電子部品搬送装置の判定方法であって、ピストンのシリンダー内における位置を第１検出値として検出する第１検出ステップと、シリンダー内の圧力と、ピストンがシリンダー内において所定の第１位置から所定の第２位置まで移動するのに要する移動時間とのいずれかを第２検出値として検出する第２検出ステップと、第１検出値と第２検出値とに基づいて保持ヘッドの種類を特定し、ユーザーにより設定された保持ヘッドの種類と特定した保持ヘッドの種類とが一致しているか否かを判定する判定ステップと、を有する。これにより、電子部品搬送装置の判定方法は、検査アームに取り付けられた保持ヘッドの種類を判定できるため、誤った種類の保持ヘッドが検査アームに取り付けられてしまうことを抑制することができる。

また、電子部品搬送装置の判定方法は、設定された種類と特定した種類とが一致していないと判定ステップにより判定された場合、設定された種類と特定した種類とが一致していないことを報知する報知ステップを有する、構成が用いられてもよい。

また、電子部品搬送装置の判定方法では、第２検出値には、圧力が含まれており、判定ステップは、ピストンのシリンダー内における位置と圧力と保持ヘッドの種類とが対応付けられた第１対応情報と、第１検出ステップにより検出された第１検出値と、第２検出ステップにより検出された第２検出値とに基づいて保持ヘッドの種類を特定し、設定された種類と特定した種類とが一致しているか否かを判定する、構成が用いられてもよい。

また、電子部品搬送装置の判定方法では、第２検出値には、移動時間が含まれており、判定ステップは、ピストンのシリンダー内における位置と移動時間と保持ヘッドの種類とが対応付けられた第２対応情報と、第１検出ステップにより検出された第１検出値と、第２検出ステップにより検出された第２検出値とに基づいて保持ヘッドの種類を特定し、設定された種類と特定した種類とが一致しているか否かを判定する、構成が用いられてもよい。

また、電子部品搬送装置の判定方法では、ピストンが有するピストンロッド（上記において説明した例では、ピストンロッドＰＬ）の先端には、保持ヘッドを取り付ける取付部（上記において説明した例では、取付部ＦＸ、第１取付部）が設けられており、保持ヘッドは、取付部に取り付けられており、ピストンは、ピストンロッドが設けられる第１面と、第１面とは反対の第２面を有し、ピストンの第１面に加わる力と第２面に加わる力との差分に応じて位置を変化させる、構成が用いられてもよい。

また、電子部品搬送装置の判定方法では、第２検出値には、圧力が含まれており、第２検出値に含まれる圧力は、第２面に加わる圧力であり、当該判定方法は、第２面の断面積と、第２検出値に含まれる圧力とに基づいて、保持ヘッドの重さを算出する算出ステップを有する、構成が用いられてもよい。

また、電子部品搬送装置の判定方法は、算出された重さに基づいて、検査アームの加速度を変化させる加速度変化ステップを有する、構成が用いられてもよい。

また、電子部品搬送装置の判定方法は、シリンダーの内部に設けられて圧力に応じてシリンダー内における位置を変化させるピストンと、ピストンとともに移動する保持ヘッドと、を備えた検査アームを有する電子部品搬送装置が保持ヘッドの有無を判定する電子部品搬送装置の判定方法であって、ピストンのシリンダー内における位置を第１検出値として検出する第１検出ステップと、シリンダー内の圧力と、ピストンがシリンダー内において所定の第１位置から所定の第２位置まで移動するのに要する移動時間とのいずれかを第２検出値として検出する第２検出ステップと、第１検出値と第２検出値とに基づいて、保持ヘッドが検査アームに取り付けられているか否かを判定する判定ステップと、を有する。これにより、電子部品搬送装置の判定方法は、検査アームに取り付けられた保持ヘッドの有無を判定できるため、保持ヘッドが検査アームに取り付け忘れられてしまうことを抑制することができる。

以上、この発明の実施形態を、図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない限り、変更、置換、削除等されてもよい。

また、以上に説明した装置における任意の構成部の機能を実現するためのプログラムを、コンピューター読み取り可能な記録媒体に記録し、そのプログラムをコンピューターシステムに読み込ませて実行するようにしてもよい。ここで、当該装置は、例えば、電子部品検査装置１、電子部品搬送装置１０等である。なお、ここでいう「コンピューターシステム」とは、ＯＳ（Operating System）や周辺機器等のハードウェアを含むものとする。また、「コンピューター読み取り可能な記録媒体」とは、フレキシブルディスク、光磁気ディスク、ＲＯＭ、ＣＤ（Compact Disk）−ＲＯＭ等の可搬媒体、コンピューターシステムに内蔵されるハードディスク等の記憶装置のことをいう。さらに「コンピューター読み取り可能な記録媒体」とは、インターネット等のネットワークや電話回線等の通信回線を介してプログラムが送信された場合のサーバーやクライアントとなるコンピューターシステム内部の揮発性メモリーのように、一定時間プログラムを保持しているものも含むものとする。

また、上記のプログラムは、このプログラムを記憶装置等に格納したコンピューターシステムから、伝送媒体を介して、あるいは、伝送媒体中の伝送波により他のコンピューターシステムに伝送されてもよい。ここで、プログラムを伝送する「伝送媒体」は、インターネット等のネットワークや電話回線等の通信回線のように情報を伝送する機能を有する媒体のことをいう。
また、上記のプログラムは、前述した機能の一部を実現するためのものであってもよい。さらに、上記のプログラムは、前述した機能をコンピューターシステムにすでに記録されているプログラムとの組み合わせで実現できるもの、いわゆる差分ファイル又は差分プログラムであってもよい。

１…電子部品検査装置、１０…電子部品搬送装置、１１Ａ…トレイ搬送機構、１１Ｂ…トレイ搬送機構、１２…温度調整部、１３、２０…搬送アーム、１４、１４Ａ、１４Ｂ…電子部品供給部、１５…トレイ搬送機構、１６…検査部、１７、１７Ａ、１７Ｂ…検査アーム、１８、１８Ａ、１８Ｂ…電子部品回収部、１９…回収用トレイ、２１、２２Ａ、２２Ｂ…トレイ搬送機構、２５…搬送部、９０…電子部品、１３０…流路形成部、１３１…保持部、１３１ａ…吸着面、１３２…流路、１３２ａ、１３２ｂ…端部、１３３…真空ポンプ、１３４…バルブ、１３５…圧力センサー、２００…トレイ、３００…モニター、３０１…表示画面、４００…シグナルランプ、５００…スピーカー、６００…マウス台、７００…操作パネル、８００…制御部、８０１…表示制御部、８０２…操作受付部、８０３…第１取得部、８０４…第２取得部、８０５…判定部、８０６…報知制御部、８０７…検査アーム制御部、１０００…記憶部、Ａ１…トレイ供給領域、Ａ２…電子部品供給領域、Ａ３…検査領域、Ａ４…電子部品回収領域、Ａ５…トレイ除去領域、ＦＸ…取付部、ＨＤ…保持ヘッド、Ｍ１…第１面、Ｍ２…第２面、ＰＴ…ピストン、ＰＬ…ピストンロッド、Ｓ１…位置検出部、ＳＬ…シリンダー、ＳＰ…ばね

Claims (8)

1. シリンダーの内部に設けられて圧力に応じて前記シリンダー内における位置を変化させるピストンと、前記ピストンとともに移動する保持ヘッドと、を備えた検査アームを有する電子部品搬送装置が前記保持ヘッドの種類を判定する前記電子部品搬送装置の判定方法であって、
   前記ピストンの前記シリンダー内における位置を第１検出値として検出する第１検出ステップと、
   前記シリンダー内の圧力と、前記ピストンが前記シリンダー内において所定の第１位置から所定の第２位置まで移動するのに要する移動時間とのいずれかを第２検出値として検出する第２検出ステップと、
   前記第１検出値と前記第２検出値とに基づいて前記保持ヘッドの種類を特定し、ユーザーにより設定された前記保持ヘッドの種類と前記特定した前記保持ヘッドの種類とが一致しているか否かを判定する判定ステップと、
   を有する、
   電子部品搬送装置の判定方法。
2. 前記設定された種類と前記特定した種類とが一致していないと前記判定ステップにより判定された場合、前記設定された種類と前記特定した種類とが一致していないことを報知する報知ステップを有する、
   請求項１に記載の電子部品搬送装置の判定方法。
3. 前記第２検出値には、前記圧力が含まれており、
   前記判定ステップは、
   前記ピストンの前記シリンダー内における位置と前記圧力と前記保持ヘッドの種類とが対応付けられた第１対応情報と、前記第１検出ステップにより検出された前記第１検出値と、前記第２検出ステップにより検出された前記第２検出値とに基づいて前記保持ヘッドの種類を特定し、前記設定された種類と前記特定した種類とが一致しているか否かを判定する、
   請求項１又は２に記載の電子部品搬送装置の判定方法。
4. 前記第２検出値には、前記移動時間が含まれており、
   前記判定ステップは、
   前記ピストンの前記シリンダー内における位置と前記移動時間と前記保持ヘッドの種類とが対応付けられた第２対応情報と、前記第１検出ステップにより検出された前記第１検出値と、前記第２検出ステップにより検出された前記第２検出値とに基づいて前記保持ヘッドの種類を特定し、前記設定された種類と前記特定した種類とが一致しているか否かを判定する、
   請求項１又は２に記載の電子部品搬送装置の判定方法。
5. 前記ピストンが有するピストンロッドの先端には、前記保持ヘッドを取り付ける取付部が設けられており、
   前記保持ヘッドは、前記取付部に取り付けられており、
   前記ピストンは、前記ピストンロッドが設けられる第１面と、前記第１面とは反対の第２面を有し、前記ピストンの前記第１面に加わる力と前記第２面に加わる力との差分に応じて位置を変化させる、
   請求項１から４のうちいずれか一項に記載の電子部品搬送装置の判定方法。
6. 前記第２検出値には、前記圧力が含まれており、
   前記第２検出値に含まれる前記圧力は、前記第２面に加わる圧力であり、
   前記判定方法は、
   前記第２面の断面積と、前記第２検出値に含まれる前記圧力とに基づいて、前記保持ヘッドの重さを算出する算出ステップを有する、
   請求項５に記載の電子部品搬送装置の判定方法。
7. 前記算出された前記重さに基づいて、前記検査アームの加速度を変化させる加速度変化ステップを有する、
   請求項６に記載の電子部品搬送装置の判定方法。
8. シリンダーの内部に設けられて圧力に応じて前記シリンダー内における位置を変化させるピストンと、前記ピストンとともに移動する保持ヘッドと、を備えた検査アームを有する電子部品搬送装置が前記保持ヘッドの有無を判定する前記電子部品搬送装置の判定方法であって、
   前記ピストンの前記シリンダー内における位置を第１検出値として検出する第１検出ステップと、
   前記シリンダー内の圧力と、前記ピストンが前記シリンダー内において所定の第１位置から所定の第２位置まで移動するのに要する移動時間とのいずれかを第２検出値として検出する第２検出ステップと、
   前記第１検出値と前記第２検出値とに基づいて、前記保持ヘッドが前記検査アームに取り付けられているか否かを判定する判定ステップと、
   を有する、
   電子部品搬送装置の判定方法。

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