JP2020150504A - 電気音響変換装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 周波数特性の調整が可能な電気音響変換装置を提供する。【解決手段】 静電型電気音響変換装置１において、振動体１０は、固定極２０Ｕおよび２０Ｌ間に配置されている。振動体１０は、両固定極の周辺にある円環状凸部２１Ｕおよび２１Ｌにより周辺部が挟まれている。また、振動体１０は、両固定極の中央付近の円柱状凸部２３Ｕ＿１〜２３Ｕ＿６および２４Ｕ＿１〜２４Ｕ＿６と、円柱状凸部２３Ｌ＿１〜２３Ｌ＿６および２４Ｌ＿１〜２４Ｌ＿６とにより挟まれている。両固定極間の空間は、円柱状凸部２４Ｕ＿１〜２４Ｕ＿６および２４Ｌ＿１〜２４Ｌ＿６の内側の第１の領域３１と、その外側の第２の領域３２に区分される。第１の領域３１は第２の領域よりも凸部間距離が短く、かつ、固定極間ギャップも短い。第１の領域３１と第２の領域３２の面積比を変えることにより静電型電気音響変換装置１の周波数特性の調整が可能である。【選択図】図２

Description

この発明は、ヘッドフォン等の電気音響変換装置に関する。

電気信号を音響に変換する電気音響変換装置として静電型電気音響変換装置がある。この静電型電気音響変換装置は、空間を挟んで対向した２枚の板状の固定極と、この固定極間に挿入された板状の振動体を有する。振動体には直流バイアスが与えられ、２枚の固定極間には交流の駆動信号が与えられる。この駆動信号の印加により、固定電極間に電界が発生し、振動体が駆動され、放音が行われる。この静電型電気音響変換装置は、ボイスコイルを利用した電磁型電気音響装置のように大音量の放音を行うことは困難であるが、駆動信号の波形に対して忠実な音響波形を発生させることができる利点がある。このため、ヘッドフォン等の高級品に利用される。また、静電型電気音響装置は、再生音の距離減衰が少ないので観光スポット等における案内音声の再生に利用される。

特開２０１６−８２３７８号公報

上述した従来の静電型電気音響変換装置は、振動板の全面を全周波数で均等に駆動する構成であるため、周波数特性の調整が困難である問題があった。また、静電型電気音響変換装置は、湿気や埃に弱いため、固定極、振動体を含むユニット保護のために防湿、防塵カバーが不可欠である。しかし、防湿、防塵カバーを用いると、高域の音量が低下する。そして、静電型電気音響変換装置は、周波数特性の調整が困難な構成であるため、高域において低下した音量を補うことができない。さらに静電型電気音響変換装置は、振動体の周辺のみを支持する構成であるため、振幅が最大となる中央付近において振動体が固定極に接触し易い。このため、固定極に接触しない範囲に振動体の振幅が制限される問題があった。

特許文献１に開示された静電型電気音響変換装置では、２つの固定極の対向面内に複数の凸部が均一に分散配置されており、振動体は、一方の固定極側の複数の凸部と他方の固定極側の複数の凸部に挟まれた状態で支持される。この構成によれば、均一に分散配置された複数の凸部により振動体が支持されるため、中央付近において振動体が固定極に接触するのを防止することができる。しかしながら、この特許文献１に開示の静電型電気音響変換装置も、振動板の全面を全周波数で均等に駆動する構成であるため、周波数特性の調整が困難であるという問題がある。

この発明は、以上説明した事情に鑑みてなされたものであり、周波数特性の調整が可能な静電型電気音響変換装置を提供することを目的とする。

この発明は、空間を挟んで対向した第１および第２の固定極と、前記第１および第２の固定極間に配置された振動体とを有し、前記第１の固定極は、前記第２の固定極側に突出した複数の第１の凸部を有し、前記第２の固定極は、前記第１の固定極側に各々突出し、各々の先端が前記第１の凸部の先端との間に前記振動体を各々挟む複数の第２の凸部を有し、前記第１の凸部および前記第２の凸部における凸部の配置密度が、前記第１および第２の固定極の電極面内の位置により異なることを特徴とする電気音響変換装置を提供する。

この発明の一実施形態である電気音響変換装置の構成を示す図であり、図２のＩｂ−Ｉｂ’線断面図である。 図１のＩａ−Ｉａ’線断面図である。 この発明の他の実施形態である電気音響変換装置の構成を示す図であり、図４のＩｂ−Ｉｂ’線断面図である。 図３のＩａ−Ｉａ’線断面図である。 この発明の他の実施形態である電気音響変換装置の構成を示す図である。

以下、図面を参照し、この発明の実施形態を説明する。

図１は、この発明の一実施形態である静電型電気音響変換装置１の構成を示す図である。図２は図１のＩａ−Ｉａ’線断面図である。そして、図１は図２のＩｂ−Ｉｂ’線断面図である。この静電型電気音響変換装置１は、ヘッドフォン内のスピーカユニットである。

図１および図２に示すように、静電型電気音響変換装置１は、振動体１０と、固定極２０Ｕと、固定極２０Ｌとを有する。本実施形態においては、固定極２０Ｕと固定極２０Ｌの構成は同じである。このため、固定極２０Ｕと固定極２０Ｌを区別する必要が特に無い場合は、符号の末尾の「Ｌ」および「Ｕ」などの記載を省略する。

振動体１０は、ＰＥＴ（polyethylene terephthalate：ポリエチレンテレフタレート）またはＰＰ（polypropylene：ポリプロピレン）などの絶縁性および柔軟性を有する合成樹脂のフィルム（絶縁層）を基材とし、フィルムの一方の面に導電性のある金属を蒸着して導電膜（導電層）を形成した構成となっている。

固定極２０は、ＰＥＴまたはＰＰなどの塑性および絶縁性を有する合成樹脂のシート（絶縁層）の一方の面に導電性のある金属を蒸着して導電膜（導電層）を形成した構成となっている。また、固定極２０は、表面から裏面に貫通する孔２５を複数有しており、空気および音波の通過が可能となっている。本実施形態では、固定極２０の全面を複数の正三角形に分割した各正三角形の頂点の位置に孔２５がある。

固定極２０Ｕおよび２０Ｌは、空間を挟んで対向している。ここで、固定極２０Ｕの導電層は固定極２０Ｕにおける固定極２０Ｌ側の面にあり、固定極２０Ｌの導電層は固定極２０Ｌにおける固定極２０Ｕ側の面にある。振動体１０および固定極２０は、図２の上方向から見て同じ円形の平面形状を有しており、各々の平面形状を重複させた状態で静電型電気音響変換装置１を構成している。

振動体１０は、固定極２０Ｕおよび２０Ｌ間に挿入された状態で支持されている。固定極２０Ｕは、固定極２０Ｌ側に突出した複数の第１の凸部を有し、固定極２０Ｌは、固定極２０Ｕ側に各々突出し、各々の先端が第１の凸部の先端との間に振動体１０を各々挟む複数の第２の凸部を有する。ここで、第１および第２の凸部の先端には接着剤が塗布され、振動体１０はこの接着剤により第１および第２の凸部の先端に固着される。すなわち、振動体１０は、第１および第２の凸部の先端において固定されている。

図１に示すように、複数の第２の凸部は、固定極２０Ｌの周辺を占める円環状凸部２１Ｌと、固定極２０Ｌの中心２２Ｌを取り囲む正六角形の頂点をなす各位置にある円柱状凸部２３Ｌ＿１〜２３Ｌ＿６と、この正六角形を外側から囲む正六角形の頂点をなす各位置にある円柱状凸部２４Ｌ＿１〜２４Ｌ＿６とを含む。

また、複数の第１の凸部は、円環状凸部２１Ｌと対向する円環状凸部２１Ｕと、円柱状凸部２３Ｌ＿１〜２３Ｌ＿６と対向する円柱状凸部２３Ｕ＿１〜２３Ｕ＿６と、円柱状凸部２４Ｌ＿１〜２４Ｌ＿６と対向する円柱状凸部２４Ｕ＿１〜２４Ｕ＿６とを含む。なお、図２において、円柱状凸部２３Ｕ＿３、２３Ｕ＿４、２４Ｕ＿３、２４Ｕ＿４については図示が省略されている。

固定極２０Ｕの固定極２０Ｌ側の面において、円環状凸部２１Ｕのある領域には、導電膜はない。また、固定極２０Ｌの固定極２０Ｕ側の面において、円環状凸部２１Ｌのある領域には、導電膜はない。固定極２０Ｕおよび２０Ｌの周辺では、絶縁体である円環状凸部２１Ｌの先端部と絶縁体である円環状凸部２１Ｕの先端部が振動体１０の周辺部を挟んでいる。

また、固定極２０Ｕにおいて、固定極２０Ｌとの対向面に配置された導電膜には、円柱状凸部２３Ｕ＿１〜２３Ｕ＿６および２４Ｕ＿１〜２４Ｕ＿６を通過させる孔が開口している。また、固定極２０Ｌにおける固定極２０Ｕ側の面に配置された導電膜にも、同様な孔が開口している。

固定極２０Ｕ側の円柱状凸部２３Ｕ＿１〜２３Ｕ＿６および２４Ｕ＿１〜２４Ｕ＿６は、固定極２０Ｕの導電膜の孔を通過して振動体１０側に突き出している。また、これらの円柱状凸部と対向する固定極２０Ｌ側の円柱状凸部２３Ｌ＿１〜２３Ｌ＿６および２４Ｌ＿１〜２４Ｌ＿６も、固定極２０Ｌの導電膜の孔を通過して振動体１０側に突き出している。

そして、各々導電膜の孔を通過した固定極２０Ｕの円柱状凸部（絶縁体）と固定極２０Ｌの円柱状凸部（絶縁体）が、各々の先端部の間に振動体１０を挟んでいる。従って、振動体１０の導電膜と固定極２０Ｕの導電膜との間、振動体１０の導電膜と固定極２０Ｌの導電膜との間は電気的に絶縁されている。

本実施形態では、固定極２０Ｕおよび２０Ｌ間の空間が周波数特性の異なる２つの領域に区分されている。１つは固定極２０Ｕ側の円柱状凸部２４Ｕ＿１〜２４Ｕ＿６と、これらに対向する固定極２０Ｌ側の円柱状凸部２４Ｌ＿１〜２４Ｌ＿６の内側にある第１の領域３１である。もう１つは円柱状凸部２４Ｕ＿１〜２４Ｕ＿６および２４Ｌ＿１〜２４Ｌ＿６と円環状凸部２１Ｕおよび２１Ｌとの間にある第２の領域３２である。第１の領域３１は、ヘッドフォンがユーザの耳に装着された状態において、ユーザの耳孔に対向するようになっている。第２の領域３２はこの第１の領域３１を外側から取り囲んでいる。

図１に示す円形の固定極２０Ｌの電極面内において、第１の領域３１と第２の領域３２との境界線は、円柱状凸部２４Ｌ＿１〜２４Ｌ＿６の径方向外側の円弧区間から径方向内側に進み、孔２５の径方向内側を通過しており、頂点近傍が外側に張り出した正六角形状をなしている。しかし、これはあくまでも一例であり、第１の領域３１と第２の領域３２との境界線は、頂点付近が張り出していない正六角形状であってもよいし、円形状であってもよい。

静電型電気音響変換装置１の周波数特性に影響を与える要素の１つとして振動体１０のスティフネスがある。この振動体１０のスティフネスは、振動体１０の支持構造の影響を受ける。本実施形態では、第１の領域３１と第２の領域３２とで、振動体１０を支持する第１および第２の凸部の配置態様が異なっている。本実施形態において、第１の領域３１における振動体１０のスティフネスは、第１の領域３１における凸部の配置密度、すなわち、単位面積当たりの凸部の数の影響を受け、第２の領域３２における振動体１０のスティフネスは、第２の領域３２における凸部の配置密度の影響を受ける。

図１に示す例において、固定極２０に形成された隣接する孔２５間の中心間距離をＤとした場合、第１の領域３１において、固定極の直径方向に並んだ内側の２つの凸部間の距離（例えば円柱状凸部２３Ｌ＿６および２３Ｌ＿３の中心間距離）は２Ｄである。また、固定極の直径方向に並んだ内側の２つの凸部と、外側の２つの凸部の間の距離（例えば円柱状凸部２３Ｌ＿６および２４Ｌ＿６の中心間距離と、円柱状凸部２３Ｌ＿３および２４Ｌ＿３の中心間距離）も２Ｄである。これに対し、第２の領域３２では、円柱状凸部２４Ｕ＿１〜２４Ｕ＿６および２４Ｌ＿１〜２４Ｌ＿６と、円環状凸部２１Ｕおよび２１Ｌとの間の距離が５Ｄ程度ある。このように第２の領域３２は第１の領域３１よりも凸部の配置密度が低い。この低い凸部の配置密度が第２の領域３２における振動体１０のスティフネスに大きな影響を与える。このため、第２の領域３２における振動体１０のスティフネスは、第１の領域３１における振動体１０のスティフネスよりも低くなり、第２の領域３２における振動体１０の低域再生限界は、第１の領域３１における振動体１０の低域再生限界よりも低くなる。

また、本実施形態では、固定極２０Ｕ側の導電膜と固定極２０Ｌ側の導電膜との間のギャップ（固定極間の距離であり、以下、固定極間ギャップという）が第１の領域３１と第２の領域３２とで異なる。具体的には、本実施形態において、第１の領域３１における固定極２０の絶縁膜は、第２の領域３１における固定極２０の絶縁膜よりも厚く、第２の領域３２よりも第１の領域３１の方が固定極間ギャップが短くなっている。

第１の領域３１と第２の領域３２の各々において振動体１０が受ける力Ｆは次式により定まる。
Ｆ＝ε０・Ｓ・Ｅ・Ｖｉｎ／ｇ^２ ……（１）
ここで、ε０は固定極２０Ｕおよび２０Ｌ間の空間の誘電率、Ｅは振動体１０に与えられるバイアス電圧、Ｓは第１の領域３１または第２の領域３２における固定極間の対向面積、Ｖｉｎは固定極間の印加電圧、ｇは第１の領域３１または第２の領域３２における固定極間ギャップである。

本実施形態では、第１の領域３１における固定極間ギャップｇ１が、第２の領域３２における固定極間ギャップｇ２よりも短い。従って、本実施形態では、第２の領域３２よりも第１の領域３１の方が振動体１０の受ける力Ｆが大きくなり、より大きな音圧での発音が可能である。一方、第２の領域３２は、第１の領域３１よりも固定極間ギャップが長いので、振動体１０を第１の領域３１よりも大きな振幅で振動させることが可能である。

次に本実施形態の動作について説明する。本実施形態では、振動体１０に直流バイアスが与えられるとともに、図示しないアンプにより平衡型交流信号である音響信号が出力され、この音響信号が固定極２０Ｕおよび２０Ｌに対して印加される。この音響信号の印加により固定極２０Ｕと固定極２０Ｌとの間に電位差が生じると、固定極２０Ｕと固定極２０Ｌとの間にある振動体１０には、固定極２０Ｕと固定極２０Ｌのいずれかの側へ引き寄せられるような静電力が働く。

具体的には、振動体１０にプラスのバイアス電圧が印加されている場合において、音響信号の印加により固定極２０Ｕにプラスの電圧が発生し、固定極２０Ｌにマイナスの電圧が発生すると、振動体１０は、固定極２０Ｕとの間の静電引力が弱まる一方、固定極２０Ｌとの間の静電引力が強まる。振動体１０において凸部に接していない部分は、振動体１０に加わる静電引力の差に応じて固定極２０Ｌ側に吸引力が働き、固定極２０Ｌ側へ変位する。

また、音響信号の印加により固定極２０Ｕにマイナスの電圧が発生し、固定極２０Ｌにプラスの電圧が発生すると、振動体１０は、固定極２０Ｌとの間の静電引力が弱まる一方、固定極２０Ｕとの間の静電引力が強まる。振動体１０において凸部に接していない部分は、振動体１０に加わる静電引力の差に応じて固定極２０Ｕ側に吸引力が働き、固定極２０Ｕ側へ変位する。

このように、振動体１０が音響信号に応じて図２の上方向または下方向に変位し（撓み）、その変位方向が逐次変わることによって振動となり、その振動状態（振動数、振幅、位相）に応じた音波が振動体１０から発生する。発生した音波は、音響透過性を有する固定極２０を通過して静電型電気音響変換装置１の外部に音として放射される。

ところで、本実施形態では、第１の領域３１と第２の領域３２とで、凸部の配置密度および固定極間ギャップが異なる。このため、第１の領域３１と第２の領域３２とで振動体１０の振動の特性が異なったものとなる。具体的には次の通りである。

本実施形態において、第２の領域３２における凸部の配置密度は、第１の領域３１における凸部の配置密度よりも低い。このため、第２の領域３２における振動体１０のスティフネスは、第１の領域３１における振動体１０のスティフネスよりも低くなり、第２の領域３２における低域再生限界は、第１の領域３１における低域再生限界よりも低くなる。従って、第１の領域３１の低域再生限界よりも周波数が低く、第１の領域３１内の振動体１０を振動させることができない低域においても、第２の領域３２の振動体１０を振動させることができる。

また、本実施形態において、第１の領域３１における固定極間ギャップは、第２の領域３２における固定極間ギャップよりも短い。従って、第１の領域３１における振動体１０は、第２の領域３２における振動体１０よりも大きな力で駆動される。このため、第１の領域３１では、第２の領域３２よりも音圧を高めるのが容易である。

また、本実施形態において、低域側再生限界の低い第２の領域３２は、固定極間ギャップが第１の領域３１における固定極間ギャップよりも長いので、第１の領域３１よりも大きな振幅で振動体１０を振動させることができる。従って、本実施形態によれば、低域側再生限界の低い第２の領域３２において、振動体１０の振幅を大きくし、音量を高めることができる。

以上のように、本実施形態によれば、第１の領域３１と第２の領域３２とで振動体１０の周波数特性が異なるので、第１の領域３１と第２の領域３２との面積比および固定極間ギャップの比を調整することにより静電型電気音響変換装置１の周波数特性、具体的には第１の領域３１での再生に適した高域の音圧と第２の領域３２での再生に適した低域の音圧を調整することができる。

また、本実施形態において、第１の領域３１は、振動体１０のスティフネスが高く、かつ、振動体１０に与えられる力が強いので、中高音域の再生に適している。また、振動体１０のスティフネスが低く、低域の再生に適した第２の領域３２が第１の領域３１の外側にある。そして、本実施形態では、ヘッドフォンがユーザの耳に装着された状態において、中高域の再生に適した第１の領域３１が耳孔に対向する。このため、第１の領域３１において放音される中高域の音が耳孔に直接伝わり、中高域の音を適切に頭内定位させることができる。また、第１の領域３１の外側の第２の領域３２において低域の音を十分な音量で放音することができるので適切な音場再生を実現することができる。

以上、この発明の一実施形態について説明したが、この発明には他にも実施形態が考えられる。例えば次の通りである。

（１）上記実施形態では、２つの固定極間の空間を２つの領域に区分したが、３以上の領域に区分してもよい。

図３および図４は、固定極２０Ｕ’および２０Ｌ’間の空間を３つの同心の領域３１’、３２’および３３’に区分した静電型電気音響変換装置１’の構成を示している。ここで、図４は図３のＩａ−Ｉａ’線断面図であり、図３は図４のＩｂ−Ｉｂ’線断面図である。

上記実施形態と同様、固定極２０Ｕ’および２０Ｌ’の対向面の周辺には相互に突出した円環状凸部２１Ｕ’および２１Ｌ’があり、これらの円環状凸部２１Ｕ’および２１Ｌ’の各先端部が振動体１０の周辺部を挟んで支持している。

固定極２０Ｕ’および２０Ｌ’の中心付近には、正六角形の頂点をなす各位置に円柱状凸部２３Ｕ＿１’〜２３Ｕ＿６’および２３Ｌ＿１’〜２３Ｌ＿６’があり、円柱状凸部２３Ｕ＿１’〜２３Ｕ＿６’の各先端部と円柱状凸部２３Ｌ＿１’〜２３Ｌ＿６’の各先端部とが振動体１０を挟んで支持している。

また、固定極２０Ｕ’および２０Ｌ’の各対向面において、円柱状凸部２３Ｕ＿１’〜２３Ｕ＿６’の外側には円柱状凸部２４Ｕ＿１’〜２４Ｕ＿６’があり、円柱状凸部２３Ｌ＿１’〜２３Ｌ＿６’の外側には円柱状凸部２４Ｌ＿１’〜２４Ｌ＿６’がある。そして、円柱状凸部２４Ｕ＿１’〜２４Ｕ＿６’の各先端部と円柱状凸部２４Ｌ＿１’〜２４Ｌ＿６’の各先端部とが振動体１０を挟んで支持している。

第１の領域３１’は、円柱状凸部２３Ｕ＿１’〜２３Ｕ＿６’および２３Ｌ＿１’〜２３Ｌ＿６’の内側の領域である。第２の領域３２’は、円柱状凸部２３Ｕ＿１’〜２３Ｕ＿６’および２３Ｌ＿１’〜２３Ｌ＿６’と、円柱状凸部２４Ｕ＿１’〜２４Ｕ＿６’および２４Ｌ＿１’〜２４Ｌ＿６’との間の領域である。第３の領域３３’は、円柱状凸部２４Ｕ＿１’〜２４Ｕ＿６’および２４Ｌ＿１’〜２４Ｌ＿６’と、円環状凸部２１Ｕ’および２１Ｌ’との間の領域である。

この静電型電気音響変換装置１’では、第１の領域３１’の凸部の配置密度が最も高い。そして、第２の領域３２’の凸部の配置密度は、第１の領域３１’の凸部の配置密度より低く、第３の領域３３’の凸部の配置密度は、第２の領域３２’の凸部の配置密度より低い。このため、各領域の低域再生限界は、第３の領域３３’が最も低く、第２の領域３２’、第１の領域３１’の順に高くなる。

また、静電型電気音響変換装置１’では、第１の領域３１’の固定極間ギャップが最も短い。そして、第２の領域３２’の固定極間ギャップは、第１の領域３１’の固定極間ギャップより長く、第３の領域３３’の固定極間ギャップは、第２の領域３２’の固定極間ギャップよりも長い。このため、各領域において振動板１０の受ける力は、第１の領域３１’が最も強く、第２の領域３２’、第３の領域３３’の順に弱くなる。

静電型電気音響変換装置１’によれば、固定極２０Ｕ’および２０Ｌ’間の空間を凸部間距離および固定極間ギャップの異なった３つの領域３１’、３２’および３３’に区分しているので、上記実施形態よりもきめ細かな周波数特性の調整が可能である。

（２）２つの固定極間において、固定極の電極面内の全域に振動体を支持する円柱状凸部を分散配置し、固定極間ギャップを一定に維持した状態で、凸部間距離を電極面内の位置に応じて連続的に変化させてもよい。例えば２つの固定極の周辺部から中央部に進むに従って凸部間距離を徐々に短くする態様が考えられる。

（３）２つの固定極間において、固定極間ギャップと凸部間距離の両方を固定極の電極面内の位置に応じて連続的に変化させてもよい。例えば２つの固定極の周辺部から中央部に進むに従って固定極間ギャップを徐々に短くし、かつ、凸部間距離を徐々に短くする態様が考えられる。

（４）上記実施形態では、中高域の再生に適した第１の領域３１を固定極の電極面の中心に位置させたが、この第１の領域３１の位置を中心からずらして頭内定位を調整してもよい。

（５）上記実施形態では、固定極および振動体の平面形状を円形にしたが、この平面形状は円形に限定されるものではない。固定極および振動体の平面形状を円形以外の形状、例えば図５に示すように矩形にしてもよい。図５に示す例では、矩形状の固定極を囲む四辺をなす凸部２１Ｌ”が固定極に設けられている。また、固定極には矩形状の第１の領域３１”とその外側を囲む第２の領域３２”が設けられている。図５において、上記実施形態と同様、固定極には全面に亙って複数の孔２５が設けられ、第１の領域３１”内には複数の円柱状凸部２３Ｌ”が設けられている。図５に示すように、第２の領域３２”における凸部の配置密度は、第１の領域３１”における凸部の配置密度より低い。図示は省略したが、第１の領域３１”における固定極間距離は、第２の領域３２”における固定極間距離より短い。従って、上記実施形態と同様な効果が得られる。

（６）上記円柱状凸部および円環状凸部は、上記実施形態のように固定極と一体成形してもよく、固定極とは別個に成形し、固定極に接着してもよい。あるいは上記円柱状凸部または円環状凸部の一方を固定極とは別個に成形し、固定極に接着してもよい。

１，１’……静電型電気音響変換装置１０……振動板、２０Ｕ，２０Ｌ，２０Ｕ’，２０Ｌ’……固定極、２５……孔、３１，３１’，３１”……第１の領域、３２，３２’，３２”……第２の領域、３３’……第３の領域、２１Ｕ，２１Ｌ，２１Ｕ’，２１Ｌ’……円環状凸部、２１”……凸部、２３Ｕ＿１〜２３Ｕ＿６，２３Ｌ＿１〜２３Ｌ＿６，２４Ｕ＿１〜２４Ｕ＿６，２４Ｌ＿１〜２４Ｌ＿６，２３Ｕ＿１’〜２３Ｕ＿６’，２３Ｌ＿１’〜２３Ｌ＿６’，２４Ｕ＿１’〜２４Ｕ＿６’，２４Ｌ＿１’〜２４Ｌ＿６’，２３Ｌ”……円柱状凸部。

Claims (3)

1. 空間を挟んで対向した第１および第２の固定極と、
   前記第１および第２の固定極間に配置された振動体とを有し、
   前記第１の固定極は、前記第２の固定極側に突出した複数の第１の凸部を有し、
   前記第２の固定極は、前記第１の固定極側に各々突出し、各々の先端が前記第１の凸部の先端との間に前記振動体を各々挟む複数の第２の凸部を有し、
   前記第１の凸部および前記第２の凸部における凸部の配置密度が、前記第１および第２の固定極の電極面内の位置により異なることを特徴とする電気音響変換装置。
2. 前記第１および第２の固定極の各々は、中央付近に位置する第１の領域と、前記第１の領域を周囲から囲み、前記第１の領域よりも前記凸部の配置密度が低い第２の領域とを有することを特徴とする請求項１に記載の電気音響変換装置。
3. 前記第１および第２の固定極の各々は、前記凸部の配置密度が互いに異なる３種類以上の領域を有することを特徴とする請求項１に記載の電気音響変換装置。

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