JP2020149995A - 接合材料の化学的特性を抽出する装置 - Google Patents
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Description
V=2*π*F*h5/3*Q*(−dh/dt)(2*π*h3+Q) ---- (式1)
Claims (5)
- サンプルを加熱しながら加圧する加圧部と、
前記加熱加圧時における前記サンプルの温度および厚みに関する物理量を検出するセンサと、
前記加圧部の駆動を制御する制御部と、
を備え、
前記制御部は、第一部材と第二部材の間に接合材料を介在させたターゲットサンプルを前記サンプルとして前記加圧部に加熱加圧させるとともに、当該加熱加圧時における前記ターゲットサンプルの温度−厚み曲線をターゲット曲線として生成し、当該ターゲット曲線におけるピークおよび屈曲点の少なくとも一方である特異点を前記接合材料の化学反応特性の指標として抽出する、
を備えることを特徴とする装置。 - 請求項1に記載の装置であって、
前記制御部は、さらに、前記第一部材と前記第二部材の間に前記接合材料を介在させないリファレンスサンプルを前記サンプルとして前記加圧部に加熱加圧させて、前記加熱加圧時における前記リファレンスサンプルの温度−厚み曲線をリファレンス曲線として生成し、
前記制御部は、前記リファレンス曲線と前記ターゲット曲線との差分に基づいて、ターゲット曲線における前記特異点を抽出する
ことを特徴とする装置。 - 請求項1または2に記載の装置であって、
前記制御部は、加熱条件を変えて、前記ターゲットサンプルを加熱加圧し、その際に得られた複数のターゲット曲線に基づいて、前記接合材料の吸熱または発熱反応の発生条件を特定する、ことを特徴とする装置。 - 請求項1から3のいずれか一項に記載の装置であって、
前記制御部は、前記ターゲットサンプルの厚み変化に基づいて、前記接合材料の粘度を算出し、前記接合材料の粘度と温度との相関も抽出する、ことを特徴とする装置。 - 請求項1から4のいずれか一項に記載の装置であって、
前記加圧部は、
前記第一部材が載置されるステージと、
前記第二部材を保持するとともに、前記ステージに対して相対移動可能な実装ヘッドと、
前記ステージに内蔵され、前記第一部材を加熱するステージ側ヒータと、
前記実装ヘッドに内蔵され、前記第二部材を加圧するヘッド側ヒータと、
を備え、前記ステージ側ヒータおよびヘッド側ヒータは、いずれも、パルスヒータである、
ことを特徴とする装置。
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