JP2020148661A - 検査装置 - Google Patents
検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2020148661A JP2020148661A JP2019047130A JP2019047130A JP2020148661A JP 2020148661 A JP2020148661 A JP 2020148661A JP 2019047130 A JP2019047130 A JP 2019047130A JP 2019047130 A JP2019047130 A JP 2019047130A JP 2020148661 A JP2020148661 A JP 2020148661A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- solid angle
- work
- photographed
- inspection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims abstract description 66
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims abstract description 88
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 14
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 10
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 6
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 5
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 5
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 5
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 4
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 4
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000010801 machine learning Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
Description
図3は、明視野条件を満たす場合の立体角を形成する光Lと、その反射光Lrとの関係を例示する模式図である。ワーク3は、外観検査をする時に想定される被撮影状態に置かれている。同図は、説明の便宜のために、ワーク3の表面にある点Pに照射される光Lに注目して説明するが、ワーク3の表面にあるその他の点についても同様である(図4乃至図6も同様)。
図10は、暗視野条件を満たす場合の立体角を形成する光Lと、その正反射光Lrとの関係を例示する模式図である。ワーク3は、外観検査をする時に想定される被撮影状態に置かれている。同図は、説明の便宜のために、ワーク3の表面にある点Pに照射される光Lに注目して説明するが、ワーク3の表面にあるその他の点についても同様である(図11乃至図13も同様)。
以上説明した実施形態は、あらゆる点において本発明の例示に過ぎない。本発明の範囲を逸脱することなく種々の改良や変形を行うことができることは言うまでもない。つまり、本発明の実施にあたって、実施形態に応じた具体的構成が適宜採用されてもよい。また、前述した実施形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定して解釈するためのものではない。実施形態が備える各要素並びにその配置、材料、条件、形状及びサイズ等は、例示したものに限定されるわけではなく適宜変更することができる。
本実施形態における態様は、以下のような開示を含む。
撮影画像を用いて対象物(3)を検査する検査装置(1)であって、
複数の照明要素の出射方向を制御し、前記対象物(3)の各点に対して、任意の立体角を形成する光をそれぞれ照射する照明部(20)と、
前記照明部(20)により照明された前記対象物(3)を撮影する撮影部(10)と、を備え、
各前記立体角を形成する光には、撮影時に生ずる可能性がある前記対象物(3)の被撮影状態のばらつきに基づいて事前に調整された照射方向の光が含まれる、
検査装置(1)。
前記対象物(3)の被撮影状態のばらつきを示すデータの入力を受け付ける受付部(31a)と、
入力された前記データに基づいて、前記立体角の大きさ及び前記立体角を形成する光の照射方向の少なくともいずれかを調整する調整部(31b)と、
をさらに備える付記1記載の検査装置(1)。
Claims (4)
- 撮影画像を用いて対象物を検査する検査装置であって、
複数の照明要素の出射方向を制御し、前記対象物の各点に対して、任意の立体角を形成する光をそれぞれ照射する照明部と、
前記照明部により照明された前記対象物を撮影する撮影部と、を備え、
各前記立体角を形成する光には、撮影時に生ずる可能性がある前記対象物の被撮影状態のばらつきに基づいて事前に調整された照射方向の光が含まれる、
検査装置。 - 前記対象物の被撮影状態のばらつきを示すデータの入力を受け付ける受付部と、
入力された前記データに基づいて、前記立体角の大きさ及び前記立体角を形成する光の照射方向の少なくともいずれかを調整する調整部と、
をさらに備える請求項1記載の検査装置。 - 前記立体角を形成する光は、明視野条件を満たすように調整される、
請求項1又は2記載の検査装置。 - 前記立体角を形成する光は、暗視野条件を満たすように調整される、
請求項1又は2記載の検査装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019047130A JP7178001B2 (ja) | 2019-03-14 | 2019-03-14 | 検査装置 |
PCT/JP2020/010135 WO2020184530A1 (ja) | 2019-03-14 | 2020-03-10 | 検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019047130A JP7178001B2 (ja) | 2019-03-14 | 2019-03-14 | 検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020148661A true JP2020148661A (ja) | 2020-09-17 |
JP7178001B2 JP7178001B2 (ja) | 2022-11-25 |
Family
ID=72426563
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019047130A Active JP7178001B2 (ja) | 2019-03-14 | 2019-03-14 | 検査装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7178001B2 (ja) |
WO (1) | WO2020184530A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2024084782A1 (ja) * | 2022-10-17 | 2024-04-25 | 浜松ホトニクス株式会社 | 画像取得装置、検査装置、及び画像取得方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6788411B1 (en) * | 1999-07-08 | 2004-09-07 | Ppt Vision, Inc. | Method and apparatus for adjusting illumination angle |
JP2006047290A (ja) * | 2004-06-30 | 2006-02-16 | Omron Corp | 基板検査用の画像生成方法、基板検査装置、および基板検査用の照明装置 |
WO2017051447A1 (ja) * | 2015-09-22 | 2017-03-30 | マシンビジョンライティング株式会社 | 検査用照明装置及び検査システム |
-
2019
- 2019-03-14 JP JP2019047130A patent/JP7178001B2/ja active Active
-
2020
- 2020-03-10 WO PCT/JP2020/010135 patent/WO2020184530A1/ja active Application Filing
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6788411B1 (en) * | 1999-07-08 | 2004-09-07 | Ppt Vision, Inc. | Method and apparatus for adjusting illumination angle |
JP2006047290A (ja) * | 2004-06-30 | 2006-02-16 | Omron Corp | 基板検査用の画像生成方法、基板検査装置、および基板検査用の照明装置 |
WO2017051447A1 (ja) * | 2015-09-22 | 2017-03-30 | マシンビジョンライティング株式会社 | 検査用照明装置及び検査システム |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2024084782A1 (ja) * | 2022-10-17 | 2024-04-25 | 浜松ホトニクス株式会社 | 画像取得装置、検査装置、及び画像取得方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2020184530A1 (ja) | 2020-09-17 |
JP7178001B2 (ja) | 2022-11-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11238303B2 (en) | Image scanning method for metallic surface and image scanning system thereof | |
JP4719284B2 (ja) | 表面検査装置 | |
JP5393479B2 (ja) | 物体の検査方法及び検査装置 | |
KR20190101857A (ko) | 외관 검사 장치, 및 외관 검사 장치의 조명 조건 설정 방법 | |
JP2009042089A (ja) | 基板外観検査装置 | |
JP2019100917A (ja) | 検査プログラム生成システム、検査プログラムの生成方法、及び検査プログラムの生成用プログラム | |
US10887500B2 (en) | Optical inspection system | |
US20170053394A1 (en) | Inspection apparatus, inspection method, and article manufacturing method | |
JP4655644B2 (ja) | 周期性パターンのムラ検査装置 | |
JP5417197B2 (ja) | 検査装置および検査方法 | |
JP6584454B2 (ja) | 画像処理装置及び方法 | |
WO2020184530A1 (ja) | 検査装置 | |
US7590279B2 (en) | Appearance inspection apparatus for inspecting inspection piece | |
JP2006118896A (ja) | フレキシブルプリント配線板の外観検査方法 | |
US10909702B2 (en) | Inspection device | |
JP2005214720A (ja) | 表面検査装置及び方法 | |
JP7138194B2 (ja) | 画像検査装置 | |
KR20210118063A (ko) | 화상 검사 장치 | |
JP2008026149A (ja) | 外観検査装置 | |
JP2017173234A (ja) | 表面疵検査方法 | |
WO2020184567A1 (ja) | 画像検査装置及び画像検査方法 | |
JP6358527B2 (ja) | 検査装置 | |
JP4100376B2 (ja) | 表面状態検査方法およびその装置、ならびに検査用画像の生成装置 | |
JP2022051632A (ja) | 検査装置及び検査方法 | |
JP2020079720A (ja) | 検査装置及び検査方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20201214 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20211201 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220128 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220603 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220802 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20221014 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20221027 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7178001 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |