JP2020145335A - 回路基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の回路基板の製造方法は、絶縁性の基板の表面に銅(Cu)又は銅合金で構成された金属板が接合された構成を具備する回路基板の製造方法であって、前記基板、前記金属板のうちの少なくともいずれかの表面に、前記基板及び前記金属板と反応をする金属を含む反応金属層を成膜する反応金属層成膜工程と、前記反応金属層が前記基板と前記金属板との間にある形態で前記基板と前記金属板とを積層し、非酸化雰囲気中で、前記反応金属層と前記金属板及び前記基板との間で反応が生じる温度で前記基板と前記金属板の間に圧力を印加するホットプレス工程と、を具備することを特徴とする。
本発明の回路基板の製造方法において、前記反応金属層はチタン(Ti)を含むことを特徴とする。
本発明の回路基板の製造方法は、前記反応金属層の厚さを0.01〜1μmの範囲とすることを特徴とする。
本発明の回路基板の製造方法において、前記基板はアルミナ、窒化珪素、窒化アルミニウム、ベリリアのうちのいずれかを主成分とする材料で構成されたことを特徴とする。
本発明の回路基板の製造方法は、前記ホットプレス工程を、温度600℃以上の範囲、圧力1MPa以上の範囲で行うことを特徴とする。
本発明の回路基板の製造方法は、前記反応金属層成膜工程において、前記反応金属層の上に、前記反応金属層とは異なる材料で構成された酸化防止層を形成することを特徴とする。
本発明の回路基板の製造方法において、前記酸化防止層は金(Au)、銀(Ag)、銅(Cu)、錫(Sn)、白金(Pt)、アルミニウム(Al)のいずれかを含むことを特徴とする。
本発明の回路基板の製造方法において、前記反応金属層成膜工程はスパッタリング法により行われることを特徴とする。
本発明の回路基板の製造方法は、前記ホットプレス工程において、前記金属板はスペーサを介して加圧され、前記スペーサはカーボン板、耐熱ガラス板、セラミックス板のいずれかで構成されたことを特徴とする。
11 反応金属層
12 酸化防止層
15 接合層
20 金属板
100 ホットプレス基台
110 スペーサ
本発明の回路基板の製造方法は、絶縁性の基板の表面に銅(Cu)又は銅合金で構成された金属板が接合された構成を具備する回路基板の製造方法であって、前記基板、前記金属板のうちの少なくともいずれかの表面に、前記基板及び前記金属板と反応をする金属を含む反応金属層を成膜する反応金属層成膜工程と、前記反応金属層が前記基板と前記金属板との間にある形態で前記基板と前記金属板とを積層し、非酸化雰囲気中で、前記反応金属層と前記金属板及び前記基板との間で反応が生じる温度で前記基板と前記金属板の間に圧力を印加するホットプレス工程と、を具備することを特徴とする。
本発明の回路基板の製造方法において、前記反応金属層はチタン(Ti)を含むことを特徴とする。
本発明の回路基板の製造方法は、前記反応金属層の厚さを0.01〜0.13μmの範囲とすることを特徴とする。
本発明の回路基板の製造方法において、前記基板はアルミナ、窒化珪素、窒化アルミニウム、ベリリアのうちのいずれかを主成分とする材料で構成されたことを特徴とする。
本発明の回路基板の製造方法は、前記ホットプレス工程を、温度600℃以上の範囲、圧力1MPa以上の範囲で行うことを特徴とする。
本発明の回路基板の製造方法は、前記反応金属層成膜工程において、前記反応金属層の上に、前記反応金属層とは異なる材料で構成された酸化防止層を形成することを特徴とする。
本発明の回路基板の製造方法において、前記酸化防止層は金(Au)、銀(Ag)、銅(Cu)、錫(Sn)、白金(Pt)、アルミニウム(Al)のいずれかを含むことを特徴とする。
本発明の回路基板の製造方法において、前記反応金属層成膜工程はスパッタリング法により行われることを特徴とする。
本発明の回路基板の製造方法は、前記ホットプレス工程において、前記金属板はスペーサを介して加圧され、前記スペーサはカーボン板、耐熱ガラス板、セラミックス板のいずれかで構成されたことを特徴とする。
Claims (9)
- 絶縁性の基板の表面に銅(Cu)又は銅合金で構成された金属板が接合された構成を具備する回路基板の製造方法であって、
前記基板、前記金属板のうちの少なくともいずれかの表面に、前記基板及び前記金属板と反応をする金属を含む反応金属層を成膜する反応金属層成膜工程と、
前記反応金属層が前記基板と前記金属板との間にある形態で前記基板と前記金属板とを積層し、非酸化雰囲気中で、前記反応金属層と前記金属板及び前記基板との間で反応が生じる温度で前記基板と前記金属板の間に圧力を印加するホットプレス工程と、
を具備することを特徴とする回路基板の製造方法。 - 前記反応金属層はチタン(Ti)を含むことを特徴とする請求項1に記載の回路基板の製造方法。
- 前記反応金属層の厚さを0.01〜1μmの範囲とすることを特徴とする請求項2に記載の回路基板の製造方法。
- 前記基板はアルミナ、窒化珪素、窒化アルミニウム、ベリリアのうちのいずれかを主成分とする材料で構成されたことを特徴とする請求項1から請求項3までのいずれか1項に記載の回路基板の製造方法。
- 前記ホットプレス工程を、温度600℃以上の範囲、圧力1MPa以上の範囲で行うことを特徴とする請求項1から請求項4までのいずれか1項に記載の回路基板の製造方法。
- 前記反応金属層成膜工程において、前記反応金属層の上に、前記反応金属層とは異なる材料で構成された酸化防止層を形成することを特徴とする請求項1から請求項5までのいずれか1項に記載の回路基板の製造方法。
- 前記酸化防止層は金(Au)、銀(Ag)、銅(Cu)、錫(Sn)、白金(Pt)、アルミニウム(Al)のいずれかを含むことを特徴とする請求項6に記載の回路基板の製造方法。
- 前記反応金属層成膜工程はスパッタリング法により行われることを特徴とする請求項1から請求項7までのいずれか1項に記載の回路基板の製造方法。
- 前記ホットプレス工程において、前記金属板はスペーサを介して加圧され、前記スペーサはカーボン板、耐熱ガラス板、セラミックス板のいずれかで構成されたことを特徴とする請求項1から請求項8までのいずれか1項に記載の回路基板の製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019041480A JP2020145335A (ja) | 2019-03-07 | 2019-03-07 | 回路基板の製造方法 |
PCT/JP2020/009546 WO2020179893A1 (ja) | 2019-03-07 | 2020-03-06 | 回路基板の製造方法 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2020145335A true JP2020145335A (ja) | 2020-09-10 |
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ID=72338228
Family Applications (1)
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Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2020145335A (ja) |
WO (1) | WO2020179893A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2023013684A1 (ja) | 2021-08-03 | 2023-02-09 | 京セラ株式会社 | セラミック焼結体、セラミック基板、実装用基板、電子装置及びセラミック焼結体の製造方法 |
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-
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