JP2020136632A - 圧電素子、液体吐出ヘッド、およびプリンター - Google Patents
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- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims description 49
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims abstract description 95
- 239000011734 sodium Substances 0.000 claims abstract description 28
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 24
- ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N Potassium Chemical compound [K] ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 23
- 239000011591 potassium Substances 0.000 claims abstract description 23
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 23
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 claims abstract description 22
- 239000010955 niobium Substances 0.000 claims abstract description 16
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 13
- GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N niobium atom Chemical compound [Nb] GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 13
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims abstract description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 57
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 35
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 claims description 6
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims description 3
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 13
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 233
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 37
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 34
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 21
- 238000000034 method Methods 0.000 description 21
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 20
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 19
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 12
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 10
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 10
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 150000004696 coordination complex Chemical class 0.000 description 9
- 239000011572 manganese Substances 0.000 description 9
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 9
- 239000000976 ink Substances 0.000 description 8
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 8
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 8
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 7
- 238000001878 scanning electron micrograph Methods 0.000 description 7
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 7
- 238000001887 electron backscatter diffraction Methods 0.000 description 6
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 6
- 238000001000 micrograph Methods 0.000 description 6
- TVMXDCGIABBOFY-UHFFFAOYSA-N octane Chemical compound CCCCCCCC TVMXDCGIABBOFY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- SCVFZCLFOSHCOH-UHFFFAOYSA-M potassium acetate Chemical compound [K+].CC([O-])=O SCVFZCLFOSHCOH-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 6
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 6
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 6
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 description 6
- PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N Manganese Chemical compound [Mn] PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 5
- 238000000224 chemical solution deposition Methods 0.000 description 4
- XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-N dimethylselenoniopropionate Natural products CCC(O)=O XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000006870 function Effects 0.000 description 4
- 238000013507 mapping Methods 0.000 description 4
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 4
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 4
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N Propylene glycol Chemical compound CC(O)CO DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 3
- RKTYLMNFRDHKIL-UHFFFAOYSA-N copper;5,10,15,20-tetraphenylporphyrin-22,24-diide Chemical compound [Cu+2].C1=CC(C(=C2C=CC([N-]2)=C(C=2C=CC=CC=2)C=2C=CC(N=2)=C(C=2C=CC=CC=2)C2=CC=C3[N-]2)C=2C=CC=CC=2)=NC1=C3C1=CC=CC=C1 RKTYLMNFRDHKIL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 3
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 3
- 229940071125 manganese acetate Drugs 0.000 description 3
- UOGMEBQRZBEZQT-UHFFFAOYSA-L manganese(2+);diacetate Chemical compound [Mn+2].CC([O-])=O.CC([O-])=O UOGMEBQRZBEZQT-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 3
- ZUFQCVZBBNZMKD-UHFFFAOYSA-M potassium 2-ethylhexanoate Chemical compound [K+].CCCCC(CC)C([O-])=O ZUFQCVZBBNZMKD-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 235000011056 potassium acetate Nutrition 0.000 description 3
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 3
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 3
- KBPLFHHGFOOTCA-UHFFFAOYSA-N 1-Octanol Chemical compound CCCCCCCCO KBPLFHHGFOOTCA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FHRAKXJVEOBCBQ-UHFFFAOYSA-L 2-ethylhexanoate;manganese(2+) Chemical compound [Mn+2].CCCCC(CC)C([O-])=O.CCCCC(CC)C([O-])=O FHRAKXJVEOBCBQ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- CYWDDBNPXTUVNN-UHFFFAOYSA-I 2-ethylhexanoate;niobium(5+) Chemical compound [Nb+5].CCCCC(CC)C([O-])=O.CCCCC(CC)C([O-])=O.CCCCC(CC)C([O-])=O.CCCCC(CC)C([O-])=O.CCCCC(CC)C([O-])=O CYWDDBNPXTUVNN-UHFFFAOYSA-I 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 2
- LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N N-Butanol Chemical compound CCCCO LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- AMQJEAYHLZJPGS-UHFFFAOYSA-N N-Pentanol Chemical compound CCCCCO AMQJEAYHLZJPGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VMHLLURERBWHNL-UHFFFAOYSA-M Sodium acetate Chemical compound [Na+].CC([O-])=O VMHLLURERBWHNL-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofuran Chemical compound C1CCOC1 WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 2
- 238000000277 atomic layer chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- DIOQZVSQGTUSAI-UHFFFAOYSA-N decane Chemical compound CCCCCCCCCC DIOQZVSQGTUSAI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000002149 energy-dispersive X-ray emission spectroscopy Methods 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- ZSIAUFGUXNUGDI-UHFFFAOYSA-N hexan-1-ol Chemical compound CCCCCCO ZSIAUFGUXNUGDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 description 2
- GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N iridium atom Chemical compound [Ir] GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000010801 machine learning Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- ZTILUDNICMILKJ-UHFFFAOYSA-N niobium(v) ethoxide Chemical compound CCO[Nb](OCC)(OCC)(OCC)OCC ZTILUDNICMILKJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 235000019260 propionic acid Nutrition 0.000 description 2
- IUVKMZGDUIUOCP-BTNSXGMBSA-N quinbolone Chemical compound O([C@H]1CC[C@H]2[C@H]3[C@@H]([C@]4(C=CC(=O)C=C4CC3)C)CC[C@@]21C)C1=CCCC1 IUVKMZGDUIUOCP-BTNSXGMBSA-N 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 239000001632 sodium acetate Substances 0.000 description 2
- 235000017281 sodium acetate Nutrition 0.000 description 2
- VYPDUQYOLCLEGS-UHFFFAOYSA-M sodium;2-ethylhexanoate Chemical compound [Na+].CCCCC(CC)C([O-])=O VYPDUQYOLCLEGS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- 229910052712 strontium Inorganic materials 0.000 description 2
- CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N strontium atom Chemical compound [Sr] CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- OBETXYAYXDNJHR-SSDOTTSWSA-M (2r)-2-ethylhexanoate Chemical compound CCCC[C@@H](CC)C([O-])=O OBETXYAYXDNJHR-SSDOTTSWSA-M 0.000 description 1
- QNRATNLHPGXHMA-XZHTYLCXSA-N (r)-(6-ethoxyquinolin-4-yl)-[(2s,4s,5r)-5-ethyl-1-azabicyclo[2.2.2]octan-2-yl]methanol;hydrochloride Chemical compound Cl.C([C@H]([C@H](C1)CC)C2)CN1[C@@H]2[C@H](O)C1=CC=NC2=CC=C(OCC)C=C21 QNRATNLHPGXHMA-XZHTYLCXSA-N 0.000 description 1
- QYIGOGBGVKONDY-UHFFFAOYSA-N 1-(2-bromo-5-chlorophenyl)-3-methylpyrazole Chemical compound N1=C(C)C=CN1C1=CC(Cl)=CC=C1Br QYIGOGBGVKONDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- POAOYUHQDCAZBD-UHFFFAOYSA-N 2-butoxyethanol Chemical compound CCCCOCCO POAOYUHQDCAZBD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N Calcium Chemical compound [Ca] OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XDTMQSROBMDMFD-UHFFFAOYSA-N Cyclohexane Chemical compound C1CCCCC1 XDTMQSROBMDMFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000288113 Gallirallus australis Species 0.000 description 1
- 241000877463 Lanio Species 0.000 description 1
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N Ruthenium Chemical compound [Ru] KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910004121 SrRuO Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- OBETXYAYXDNJHR-UHFFFAOYSA-N alpha-ethylcaproic acid Natural products CCCCC(CC)C(O)=O OBETXYAYXDNJHR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 239000003610 charcoal Substances 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000005238 degreasing Methods 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 238000002003 electron diffraction Methods 0.000 description 1
- 239000003995 emulsifying agent Substances 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 description 1
- 230000036541 health Effects 0.000 description 1
- 239000012943 hotmelt Substances 0.000 description 1
- 238000009616 inductively coupled plasma Methods 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N iron Substances [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PVFSDGKDKFSOTB-UHFFFAOYSA-K iron(3+);triacetate Chemical compound [Fe+3].CC([O-])=O.CC([O-])=O.CC([O-])=O PVFSDGKDKFSOTB-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N lanthanum atom Chemical compound [La] FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JLRJWBUSTKIQQH-UHFFFAOYSA-K lanthanum(3+);triacetate Chemical compound [La+3].CC([O-])=O.CC([O-])=O.CC([O-])=O JLRJWBUSTKIQQH-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 1
- WPBNNNQJVZRUHP-UHFFFAOYSA-L manganese(2+);methyl n-[[2-(methoxycarbonylcarbamothioylamino)phenyl]carbamothioyl]carbamate;n-[2-(sulfidocarbothioylamino)ethyl]carbamodithioate Chemical compound [Mn+2].[S-]C(=S)NCCNC([S-])=S.COC(=O)NC(=S)NC1=CC=CC=C1NC(=S)NC(=O)OC WPBNNNQJVZRUHP-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 description 1
- 239000012046 mixed solvent Substances 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 1
- 125000002347 octyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 1
- BITYAPCSNKJESK-UHFFFAOYSA-N potassiosodium Chemical compound [Na].[K] BITYAPCSNKJESK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N propan-1-ol Chemical compound CCCO BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000011218 segmentation Effects 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 238000003980 solgel method Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
- YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N tetrahydrofuran Natural products C=1C=COC=1 YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VXUYXOFXAQZZMF-UHFFFAOYSA-N titanium(IV) isopropoxide Chemical compound CC(C)O[Ti](OC(C)C)(OC(C)C)OC(C)C VXUYXOFXAQZZMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 1
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- H10N30/074—Forming of piezoelectric or electrostrictive parts or bodies on an electrical element or another base by depositing piezoelectric or electrostrictive layers, e.g. aerosol or screen printing
- H10N30/077—Forming of piezoelectric or electrostrictive parts or bodies on an electrical element or another base by depositing piezoelectric or electrostrictive layers, e.g. aerosol or screen printing by liquid phase deposition
- H10N30/078—Forming of piezoelectric or electrostrictive parts or bodies on an electrical element or another base by depositing piezoelectric or electrostrictive layers, e.g. aerosol or screen printing by liquid phase deposition by sol-gel deposition
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-
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- H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
- H10N30/204—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using bending displacement, e.g. unimorph, bimorph or multimorph cantilever or membrane benders
- H10N30/2047—Membrane type
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/50—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure
- H10N30/501—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure having a non-rectangular cross-section in a plane parallel to the stacking direction, e.g. polygonal or trapezoidal in side view
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/704—Piezoelectric or electrostrictive devices based on piezoelectric or electrostrictive films or coatings
- H10N30/706—Piezoelectric or electrostrictive devices based on piezoelectric or electrostrictive films or coatings characterised by the underlying bases, e.g. substrates
- H10N30/708—Intermediate layers, e.g. barrier, adhesion or growth control buffer layers
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/85—Piezoelectric or electrostrictive active materials
- H10N30/853—Ceramic compositions
- H10N30/8542—Alkali metal based oxides, e.g. lithium, sodium or potassium niobates
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- B41J2/14233—Structure of print heads with piezoelectric elements of film type, deformed by bending and disposed on a diaphragm
- B41J2002/14241—Structure of print heads with piezoelectric elements of film type, deformed by bending and disposed on a diaphragm having a cover around the piezoelectric thin film element
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Abstract
【解決手段】基体に設けられた第1電極と、第2電極と、前記第1電極と前記第2電極との間に設けられ、カリウム、ナトリウム、およびニオブを含むペロブスカイト型構造の複合酸化物を含む圧電体層と、を含み、前記圧電体層の前記第2電極側の面は、第1粒子の面と、第2粒子の面と、によって構成され、前記第1粒子の前記面における凹凸の高さは、前記第2粒子の前記面における凹凸の高さよりも大きく、を有し、前記圧電体層の前記面において、前記第1粒子の前記面の占有面積は、10.0%以下である、圧電素子。
【選択図】図2
Description
基体に設けられた第1電極と、
第2電極と、
前記第1電極と前記第2電極との間に設けられ、カリウム、ナトリウム、およびニオブを含むペロブスカイト型構造の複合酸化物を含む圧電体層と、
を含み、
前記圧電体層の前記第2電極側の面は、
第1粒子の面と、第2粒子の面と、によって構成され、
前記第1粒子の前記面における凹凸の高さは、前記第2粒子の前記面における凹凸の高さよりも大きく、
を有し、
前記圧電体層の前記面において、前記第1粒子の前記面の占有面積は、10.0%以下である。
前記圧電体層の結晶構造を擬立方晶とみなした場合、
前記圧電体層は、(100)優先配向していてもよい。
前記圧電体層の結晶構造を擬立方晶とみなした場合、
前記第1粒子は、(111)配向し、
前記第2粒子は、(100)配向していてもよい。
基体に設けられた第1電極と、
第2電極と、
前記第1電極と前記第2電極との間に設けられ、カリウム、ナトリウム、およびニオブを含むペロブスカイト型構造の複合酸化物を含む圧電体層と、
を含み、
前記圧電体層の結晶構造を擬立方晶とみなした場合、
前記圧電体層は、(111)配向の粒子を有し、
前記圧電体層の前記第2電極側の面において、前記粒子の面の占有面積は、10.0%以下である。
前記圧電体層の厚さは、500nm以上2μm以下であってもよい。
前記圧電体層は、第1層と複数の第2層とが積層されて構成され、
前記第1層は、前記第1電極と前記第2層との間に設けられ、
前記第1層におけるカリウムとナトリウムとの原子濃度の比は、前記第2層におけるカリウムとナトリウムとの原子濃度の比と異なり、
前記第2層の厚さは、51nm以下であってもよい。
前記第1層の厚さは、75nm以下であってもよい。
前記圧電素子の一態様と、
液体を吐出するノズル孔が設けられたノズルプレートと、
を含み、
前記基体は、前記圧電素子により容積が変化する圧力発生室と、前記圧力発生室に前記液体を供給する供給流路とが設けられた流路形成基板を有し、
前記ノズル孔は、
前記圧力発生室に連通している。
前記液体吐出ヘッドの一態様と、
前記液体吐出ヘッドに対して被記録媒体を相対移動させる搬送機構と、
前記液体吐出ヘッドおよび前記搬送機構を制御する制御部と、
を含む。
まず、本実施形態に係る圧電素子について、図面を参照しながら説明する。図1は、本実施形態に係る圧電素子100を模式的に示す断面図である。
Naよりも小さい。第1層22におけるカリウムとナトリウムとの原子濃度の比と、第1層22におけるカリウムとナトリウムとの原子濃度の比とは、例えば、EDX(Energy Dispersive X-ray spectrometry)により求めることができる。
層20における配向の体積分率を表しているわけではない。
次に、本実施形態に係る圧電素子100の製造方法について、図面を参照しながら説明する。
ル法やMOD(Metal Organic Deposition)などのCSD(Chemical Solution Deposition)法によって形成される。以下、圧電体層20の形成方法について説明する。
次に、本実施形態に係る液体吐出ヘッドについて、図面を参照しながら説明する。図5は、本実施形態に係る液体吐出ヘッド200を模式的に示す分解斜視図である。図6は、本実施形態に係る液体吐出ヘッド200を模式的に示す平面図である。図7は、本実施形態に係る液体吐出ヘッド200を模式的に示す図6のVII−VII線断面図である。なお、図5〜図7では、互いに直交する3軸として、X軸、Y軸、およびZ軸を図示してい
る。また、図5および図7では、圧電素子100を簡略化して図示している。
大きい。圧電体層20のX軸方向の大きさは、例えば、圧力発生室211のX軸方向の大きさよりも大きい。圧電体層20の+X軸方向の端部は、例えば、第1電極10の+X軸方向の端部よりも外側に位置している。第1電極10の+X軸方向の端部は、圧電体層20によって覆われている。一方、圧電体層20の−X軸方向の端部は、例えば、第1電極10の−X軸方向側の端部よりも内側に位置している。第1電極10の−X軸方向側の端部は、圧電体層20によって覆われていない。
次に、本実施形態に係るプリンターについて、図面を参照しながら説明する。図8は、本実施形態に係るプリンター300を模式的に示す斜視図である。
れる。インクとは、一般的な水性インクおよび油性インク並びにジェルインク、ホットメルトインク等の各種の液体状組成物を包含するものとする。
以下に実施例および比較例を示し、本発明をより具体的に説明する。なお、本発明は、以下の実施例および比較例によって何ら限定されるものではない。
5.1.1. 実施例1
実施例1では、6インチのシリコン基板を熱酸化することで、シリコン基板上に厚さ1080nmの二酸化シリコン層を形成した。次に、DC(Direct Current)スパッタ法により、二酸化シリコン層上に厚さ400nmのジルコニウム層を形成し、熱酸化させることで酸化ジルコニウム層を形成した。次に、DCスパッタ法により、酸化ジルコニア層上に第1電極として厚さ50nmの白金層を形成した。
<第2前駆体溶液> K:Na:Nb:Mn=103:103:199:1
実施例2では、第2KNNM層を形成する際のスピンコート法の条件を変更することで、第2KNNM層の1層当たりの厚さを51nmとし、かつ、第2前駆体溶液の塗布から第2前駆体層の焼成までの一連の工程を19回繰り返したこと以外は、実施例1と同様の工程で、圧電体層を形成した。
比較例1では、第1KNNM層を形成する際のスピンコート法の条件を変更することで、第1KNNM層の厚さを93nmとし、かつ、第2前駆体溶液の塗布から第2前駆体層の焼成までの一連の工程を19回繰り返したこと以外は、実施例1と同様の工程で、圧電体層を形成した。
比較例2では、第2KNNM層を形成する際のスピンコート法の条件を変更することで、第2KNNM層の厚さを75nmとし、かつ、第2前駆体溶液の塗布から第2前駆体層の焼成までの一連の工程を9回繰り返したこと以外は、実施例1と同様の工程で、圧電体層を形成した。
比較例3では、6インチのシリコン基板を熱酸化することで、二酸化シリコン層を形成した。次に、AL−CVD(Atomic Layer-Chemical Vapor Deposition)法により、Al2O3層を形成し、DCスパッタ法により、Al2O3層上に白金層を形成した。
層を作製した。次に、前駆体層をホットプレート上で350 ℃で3分間加熱した。この塗布から加熱の一連の工程を2回繰り返した後、RTA装置によって、窒素雰囲気中において650℃で5分間加熱した。この塗布からRTA装置による加熱までの一連の工程を3回繰り返し、BLFMT層からなる圧電体層を形成した。
実施例1,2および比較例1,3の結晶構造をXRD測定により解析した。具体的には、Bruker AXS社製「D8 Discover」、線源はCuKα、検出器は2次元検出器(GADDS)を使用し、ψ=0°および54.74°においてXRD測定を行った。
実施例1,2および比較例1の圧電体層のクラックを、金属顕微鏡の暗視野観察によって調査した。図14は、実施例1の金属顕微鏡写真である。図15は、実施例2の金属顕微鏡写真である。図16は、比較例1の金属顕微鏡写真である。
実施例1,2および比較例1の表面形状を観察するため、カールツァイス株式会社製「ULTRA 55」を使用し、加速電圧1kV、撮影倍率30000倍、SE2検出器の条件下でSEM観察を行った。
日本電子株式会社製「JSM−7800F」とオックスフォード・インストゥルメンツ社製「Aztec HKL Advanced Nordlys−Nano」とを使用し、SEM観察および後方散乱電子回折(Electron Back Scattering Diffraction:EBSD)評価を行った。
実施例1における第1粒子の表面の凹凸を評価するため、収束イオンビーム(Focused Ion Beam:FIB)にて薄片化した断面のSTEM観察を行った。評価には、日立製作所社製「HD2000」を使用した。
電極、100…圧電素子、200…液体吐出ヘッド、202…リード電極、203…接着剤、204…接続配線、210…流路形成基板、211…圧力発生室、212…隔壁、213…第1連通路、214…第2連通路、215…第3連通路、216…マニホールド、217…供給流路、220…ノズルプレート、222…ノズル孔、230…振動板、232…酸化シリコン層、234…酸化ジルコニウム層、240…保護基板、242,244…貫通孔、246…開口部、250…回路基板、260…コンプライアンス基板、262…封止層、264…固定板、266…貫通孔、300…プリンター、310…ヘッドユニット、312,314…カートリッジ、316…キャリッジ、320…装置本体、322…キャリッジ軸、330…駆動モーター、332…タイミングベルト、340…搬送ローラー、350…プリンターコントローラー
Claims (9)
- 基体に設けられた第1電極と、
第2電極と、
前記第1電極と前記第2電極との間に設けられ、カリウム、ナトリウム、およびニオブを含むペロブスカイト型構造の複合酸化物を含む圧電体層と、
を含み、
前記圧電体層の前記第2電極側の面は、第1粒子の面と、第2粒子の面と、によって構成され、
前記第1粒子の前記面における凹凸の高さは、前記第2粒子の前記面における凹凸の高さよりも大きく、
を有し、
前記圧電体層の前記面において、前記第1粒子の前記面の占有面積は、10.0%以下である、圧電素子。 - 請求項1において、
前記圧電体層の結晶構造を擬立方晶とみなした場合、
前記圧電体層は、(100)優先配向している、圧電素子。 - 請求項2または3において、
前記圧電体層の結晶構造を擬立方晶とみなした場合、
前記第1粒子は、(111)配向し、
前記第2粒子は、(100)配向している、圧電素子。 - 基体に設けられた第1電極と、
第2電極と、
前記第1電極と前記第2電極との間に設けられ、カリウム、ナトリウム、およびニオブを含むペロブスカイト型構造の複合酸化物を含む圧電体層と、
を含み、
前記圧電体層の結晶構造を擬立方晶とみなした場合、
前記圧電体層は、(111)配向の粒子を有し、
前記圧電体層の前記第2電極側の面において、前記粒子の面の占有面積は、10.0%以下である、圧電素子。 - 請求項1ないし4のいずれか1項において、
前記圧電体層の厚さは、500nm以上2μm以下である、圧電素子。 - 請求項1ないし5のいずれか1項において、
前記圧電体層は、第1層と複数の第2層とが積層されて構成され、
前記第1層は、前記第1電極と前記第2層との間に設けられ、
前記第1層におけるカリウムとナトリウムとの原子濃度の比は、前記第2層におけるカリウムとナトリウムとの原子濃度の比と異なり、
前記第2層の厚さは、51nm以下である、圧電素子。 - 請求項6において、
前記第1層の厚さは、75nm以下である、圧電素子。 - 請求項1ないし7のいずれか1項に記載の圧電素子と、
液体を吐出するノズル孔が設けられたノズルプレートと、
を含み、
前記基体は、前記圧電素子により容積が変化する圧力発生室と、前記圧力発生室に前記液体を供給する供給流路とが設けられた流路形成基板を有し、
前記ノズル孔は、
前記圧力発生室に連通している、液体吐出ヘッド。 - 請求項8に記載の液体吐出ヘッドと、
前記液体吐出ヘッドに対して被記録媒体を相対移動させる搬送機構と、
前記液体吐出ヘッドおよび前記搬送機構を制御する制御部と、
を含む、プリンター。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019032593A JP7286999B2 (ja) | 2019-02-26 | 2019-02-26 | 圧電素子、液体吐出ヘッド、およびプリンター |
US16/796,390 US11133454B2 (en) | 2019-02-26 | 2020-02-20 | Piezoelectric element, liquid discharge head, and printer |
CN202010115806.0A CN111613717B (zh) | 2019-02-26 | 2020-02-25 | 压电元件、液体喷出头以及打印机 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019032593A JP7286999B2 (ja) | 2019-02-26 | 2019-02-26 | 圧電素子、液体吐出ヘッド、およびプリンター |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020136632A true JP2020136632A (ja) | 2020-08-31 |
JP7286999B2 JP7286999B2 (ja) | 2023-06-06 |
Family
ID=72142753
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019032593A Active JP7286999B2 (ja) | 2019-02-26 | 2019-02-26 | 圧電素子、液体吐出ヘッド、およびプリンター |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11133454B2 (ja) |
JP (1) | JP7286999B2 (ja) |
CN (1) | CN111613717B (ja) |
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- 2019-02-26 JP JP2019032593A patent/JP7286999B2/ja active Active
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- 2020-02-20 US US16/796,390 patent/US11133454B2/en active Active
- 2020-02-25 CN CN202010115806.0A patent/CN111613717B/zh active Active
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20200274054A1 (en) | 2020-08-27 |
CN111613717A (zh) | 2020-09-01 |
US11133454B2 (en) | 2021-09-28 |
CN111613717B (zh) | 2023-07-28 |
JP7286999B2 (ja) | 2023-06-06 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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