JP2020136122A - 電子線照射装置および電子ビームの位置合わせ方法 - Google Patents
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- H01J2237/24571—Measurements of non-electric or non-magnetic variables
- H01J2237/24578—Spatial variables, e.g. position, distance
Abstract
Description
2,2’ アライナ
2xp,2xm,2yp,2ym 電極
3 偏向器
3xp,3xm,3yp,3ym 磁極
4 ステージ
5 検出器
10 ガンユニット
11 筐体
20 コラム
21 筐体
100 電子線検査装置
Claims (8)
- アライナを通過した電子ビームを複数の電極を有する偏向器で偏向させる電子線照射装置における電子ビームの位置合わせ方法であって、
前記複数の電極の1つに試験電圧を印加し、他の電極に基準電圧を印加して前記電子ビームの像を検出することを、前記複数の電極のそれぞれについて行い、
各電極に対応する前記電子ビームの像の位置に基づいて前記電子ビームの位置ずれを特定し、
前記電子ビームの位置ずれがキャンセルされるよう前記アライナの偏向を調整する、電子ビームの位置合わせ方法。 - 前記電子ビームの位置を含む画像において、基準位置から最も離れている電子ビームの像の位置に基づいて、前記位置ずれを特定する、請求項1に記載の電子ビームの位置合わせ方法。
- 前記位置ずれが明確でない場合、
前記複数の電極の1つに前記試験電圧より大きい電圧を印加し、他の電極に基準電圧を印加して前記電子ビームの像を検出することを、前記複数の電極のそれぞれについて行い、
各電極に対応する前記電子ビームの像の位置に基づいて電子ビームの位置ずれを特定する、請求項1または2に記載の電子ビームの位置合わせ方法。 - 前記電子ビームの位置ずれがキャンセルされるよう前記アライナの偏向を調整した後、前記位置ずれがキャンセルされたか否かを確認する、請求項1乃至3のいずれかに記載の電子ビームの位置合わせ方法。
- 前記複数の電極の1つに確認電圧を印加し、他の電極に基準電圧を印加して前記電子ビームの像を検出することを、前記複数の電極のそれぞれについて行い、各電子ビームに対応する前記電子ビームの像の位置に基づいて、前記位置ずれがキャンセルされたか否かの確認を行う、請求項4に記載の電子ビームの位置合わせ方法。
- アライナを通過した電子ビームを複数の磁極を有する偏向器で偏向させる電子線照射装置における電子ビームの位置合わせ方法であって、
前記複数の磁極の1つに試験電流を流し、他の磁極に基準電流を流して前記電子ビームの像を検出することを、前記複数の磁極のそれぞれについて行い、
各磁極に対応する前記電子ビームの像の位置に基づいて前記電子ビームの位置ずれを特定し、
前記電子ビームの位置ずれがキャンセルされるよう前記アライナの偏向を調整する、電子ビームの位置合わせ方法。 - 電子ビームを偏向して前記電子ビームの位置合わせをするアライナと、
複数の電極を有し、前記アライナを通過した電子ビームを偏向させる偏向器と、
前記アライナによる偏向を調整する調整手段と、を備え、
前記調整手段は、
前記複数の電極の1つに試験電圧を印加し、他の電極に基準電圧を印加して前記電子ビームの像を検出することを、前記複数の電極のそれぞれについて行い、
各電極に対応する前記電子ビームの像の位置に基づいて前記電子ビームの位置ずれを特定し、
前記電子ビームの位置ずれがキャンセルされるよう前記アライナの偏向を調整する、電子線照射装置。 - 電子ビームを偏向して前記電子ビームの位置合わせをするアライナと、
複数の磁極を有し、前記アライナを通過した電子ビームを偏向させる偏向器と、
前記アライナによる偏向を調整する調整手段と、を備え、
前記調整手段は、
前記複数の磁極の1つに試験電流を流し、他の磁極に基準電流を流して前記電子ビームの像を検出することを、前記複数の磁極のそれぞれについて行い、
各磁極に対応する前記電子ビームの像の位置に基づいて前記電子ビームの位置ずれを特定し、
前記電子ビームの位置ずれがキャンセルされるよう前記アライナの偏向を調整する、電子線照射装置。
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