JP2020131351A - 研磨ホイールユニット及び研磨ホイール - Google Patents
研磨ホイールユニット及び研磨ホイール Download PDFInfo
- Publication number
- JP2020131351A JP2020131351A JP2019027233A JP2019027233A JP2020131351A JP 2020131351 A JP2020131351 A JP 2020131351A JP 2019027233 A JP2019027233 A JP 2019027233A JP 2019027233 A JP2019027233 A JP 2019027233A JP 2020131351 A JP2020131351 A JP 2020131351A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polishing wheel
- polishing
- wheel unit
- abrasive layer
- peripheral surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000005498 polishing Methods 0.000 title claims abstract description 249
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract description 40
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 15
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 15
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 claims description 14
- 239000005060 rubber Substances 0.000 claims description 14
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 7
- 230000003139 buffering effect Effects 0.000 claims description 7
- 230000005489 elastic deformation Effects 0.000 abstract 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 13
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 13
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 12
- 239000000463 material Substances 0.000 description 8
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910000975 Carbon steel Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010962 carbon steel Substances 0.000 description 4
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 4
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 4
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000004575 stone Substances 0.000 description 4
- 239000006260 foam Substances 0.000 description 3
- 229920003049 isoprene rubber Polymers 0.000 description 3
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 description 2
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920000181 Ethylene propylene rubber Polymers 0.000 description 2
- 244000043261 Hevea brasiliensis Species 0.000 description 2
- 229920000459 Nitrile rubber Polymers 0.000 description 2
- 239000005062 Polybutadiene Substances 0.000 description 2
- 239000010953 base metal Substances 0.000 description 2
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 2
- 229920005558 epichlorohydrin rubber Polymers 0.000 description 2
- 239000005038 ethylene vinyl acetate Substances 0.000 description 2
- 229920003052 natural elastomer Polymers 0.000 description 2
- 229920001194 natural rubber Polymers 0.000 description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 2
- 229920001084 poly(chloroprene) Polymers 0.000 description 2
- 229920001200 poly(ethylene-vinyl acetate) Polymers 0.000 description 2
- 229920002857 polybutadiene Polymers 0.000 description 2
- 229920002943 EPDM rubber Polymers 0.000 description 1
- 239000002969 artificial stone Substances 0.000 description 1
- DQXBYHZEEUGOBF-UHFFFAOYSA-N but-3-enoic acid;ethene Chemical compound C=C.OC(=O)CC=C DQXBYHZEEUGOBF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 150000002825 nitriles Chemical class 0.000 description 1
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
Abstract
【解決手段】研磨装置のヘッドに装着される研磨ホイールユニットは、コーン21と研磨ホイール22とを備える。研磨ホイール22は、円筒形状のコア部221と、円筒形状を有し、コア部221の外周面に密に接合された弾性部222と、円筒形状を有し、弾性部222の外周面に密に接合されているとともに、リング外周面223aに砥層が設けられてなる砥層リング部と、を有する。研磨ホイール22では、弾性部222の弾性変形により、径方向外側から付加される力FAの緩衝が可能である。
【選択図】図4
Description
1.研磨装置1の概略構成
実施形態に係る研磨装置1の概略構成について、図1を用いて説明する。
研磨ホイールユニット20の構成について、図2を用いて説明する。図2は、研磨ホイールユニット20の構成を示す展開(分解)側面図である。
研磨ホイール22の構成について、図3を用いて説明する。図3は、研磨ホイール22の構成を示す断面図である。なお、図3では、先に説明した凹部22cの図示を省略している。
なお、(te/φA)を上記範囲内とすることにより得られる効果については、後述する。
厚みtrを上記範囲内とすることにより得られる効果についても、後述する。
上記構成を有する研磨ホイール22を備える研磨ホイールユニット20が奏する効果について、図4を用いて説明する。図4は、ワーク500における孔部500aに面する周縁面500bを研磨する際に研磨ホイールユニット20が奏する効果を説明するための断面図である。
変形例に係る研磨ホイールユニットの構成について、図5を用いて説明する。図5は、変形例に係る研磨ホイール32の構成を示す断面図である。なお、本変形例に係る研磨ホイールユニットの構成のうち、研磨ホイール32を除く部分については上記実施形態と同じであるので、以下では、繰り返しの説明を省略する。
上記実施形態および上記変形例では、研磨ホイール22,32における弾性部222,322として、樹脂またはゴムからなる部位を設けることとしたが、弾性部の構成については、これらに限定されるものではない。例えば、コア部221,321と砥層リング部223,323との間にバネや気体を充填した袋体などを挿設することにより弾性部を構成することも可能である。
20 研磨ホイールユニット
21 コーン(ソケット部材)
22,32 研磨ホイール
221,321 コア部
222,322 弾性部
223,323 砥層リング部
Claims (8)
- 研磨装置のヘッドに装着される研磨ホイールユニットであって、
柱形状または筒形状を有し、前記ヘッドに対して一端部分が取り付けられ、前記ヘッドの回転駆動力を他端部分に伝達するソケット部材と、
リング形状を有し、前記ソケット部材の前記他端部分に取り付けられ、外周面に砥層が設けられてなる研磨ホイールと、を備え、
該研磨ホイールユニットは、前記研磨ホイールの径方向に力の緩衝が可能な弾性部を、前記回転駆動力の伝達経路内に有する、
研磨ホイールユニット。 - 請求項1に記載の研磨ホイールユニットにおいて、
前記弾性部は、前記研磨ホイールに設けられており、
前記弾性部は、樹脂またはゴムから構成されている、
研磨ホイールユニット。 - 請求項2に記載の研磨ホイールユニットにおいて、
前記研磨ホイールは、
円筒形状を有するコア部と、
円筒形状を有し、前記コア部の外周面に密に接合された前記弾性部と、
円筒形状を有し、前記弾性部の外周面に密に接合されているとともに、外周面に前記砥層が設けられてなる砥層リング部と、を有する、
研磨ホイールユニット。 - 請求項3に記載の研磨ホイールユニットにおいて、
前記研磨ホイールの外径をφAとし、
前記弾性部の径方向の厚みをteとするとき、
(te/φA)は、6%以上17.5%以下の範囲である、
研磨ホイールユニット。 - 請求項2または請求項3に記載の研磨ホイールユニットにおいて、
前記砥層リング部の径方向の厚みtrは、0.1mm以上5mm以下の範囲である、
研磨ホイールユニット。 - 請求項2から請求項5の何れかに記載の研磨ホイールユニットにおいて、
前記弾性部は、ショア硬度がA60以下である、
研磨ホイールユニット。 - 請求項1から請求項6の何れかに記載の研磨ホイールユニットにおいて、
該研磨ホイールユニットは、
円環板形状を有し、前記研磨ホイールにおける前記ソケット部材の側とは反対側の面に当接されるキャップと、
前記キャップ側から、当該キャップおよび前記研磨ホイールを前記ソケット部材に締結するためのボルトと、
をさらに備え、
前記研磨ホイールにおける前記反対側の部分には、当該反対側の面から前記ソケット部材の側に向けて凹設されてなる凹部が設けられており、
前記キャップにおける前記研磨ホイールと当接する側の部分には、前記研磨ホイールの側に向けて凸設され、前記凹部に嵌入される凸部が設けられている、
研磨ホイールユニット。 - ヘッドと、柱形状または筒形状を有し、前記ヘッドに対して一端部分が取り付けられ、前記ヘッドの回転駆動力を他端部分に伝達するソケット部材と、を備えた研磨装置の前記ソケット部の前記他端部分に取り付けられる研磨ホイールであって、
外周面に設けられる砥層と、
前記砥層よりも径方向内側に設けられて、当該研磨ホイールの径方向に力の緩衝が可能な
樹脂またはゴムから構成された弾性部と、を備えている、
研磨ホイール。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019027233A JP7277905B2 (ja) | 2019-02-19 | 2019-02-19 | 研磨ホイールユニット及び研磨ホイール |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019027233A JP7277905B2 (ja) | 2019-02-19 | 2019-02-19 | 研磨ホイールユニット及び研磨ホイール |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020131351A true JP2020131351A (ja) | 2020-08-31 |
JP7277905B2 JP7277905B2 (ja) | 2023-05-19 |
Family
ID=72277272
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019027233A Active JP7277905B2 (ja) | 2019-02-19 | 2019-02-19 | 研磨ホイールユニット及び研磨ホイール |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7277905B2 (ja) |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4922577U (ja) * | 1972-05-30 | 1974-02-26 | ||
JPH0347758U (ja) * | 1989-09-19 | 1991-05-07 | ||
JPH11262863A (ja) * | 1998-03-19 | 1999-09-28 | Nissan Motor Co Ltd | 研削砥石の取付構造 |
US6471733B1 (en) * | 2000-09-26 | 2002-10-29 | Alex Cooper | Polishing wheel |
JP2004050400A (ja) * | 2002-05-27 | 2004-02-19 | Kurenooton Kk | 研磨用砥石 |
JP2006326795A (ja) * | 2005-05-30 | 2006-12-07 | Kurenooton Kk | 研磨用砥石 |
JP5881802B1 (ja) * | 2014-09-30 | 2016-03-09 | 長春石油化學股▲分▼有限公司 | 緩衝砥石、及び緩衝砥石の製造方法 |
-
2019
- 2019-02-19 JP JP2019027233A patent/JP7277905B2/ja active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4922577U (ja) * | 1972-05-30 | 1974-02-26 | ||
JPH0347758U (ja) * | 1989-09-19 | 1991-05-07 | ||
JPH11262863A (ja) * | 1998-03-19 | 1999-09-28 | Nissan Motor Co Ltd | 研削砥石の取付構造 |
US6471733B1 (en) * | 2000-09-26 | 2002-10-29 | Alex Cooper | Polishing wheel |
JP2004050400A (ja) * | 2002-05-27 | 2004-02-19 | Kurenooton Kk | 研磨用砥石 |
JP2006326795A (ja) * | 2005-05-30 | 2006-12-07 | Kurenooton Kk | 研磨用砥石 |
JP5881802B1 (ja) * | 2014-09-30 | 2016-03-09 | 長春石油化學股▲分▼有限公司 | 緩衝砥石、及び緩衝砥石の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP7277905B2 (ja) | 2023-05-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10569387B2 (en) | Polishing disc for a tool for fine processing of optically effective surfaces on spectacle lenses | |
KR100581708B1 (ko) | 연마 방법 및 연마 장치 | |
WO2010023829A1 (ja) | 研磨ヘッド及び研磨装置 | |
US20070087670A1 (en) | Polishing method | |
WO2019220712A1 (ja) | 研磨ヘッド及びこれを用いたウェーハ研磨装置及び研磨方法 | |
JP2020131351A (ja) | 研磨ホイールユニット及び研磨ホイール | |
JP5033066B2 (ja) | ワーク外周部の研磨装置および研磨方法 | |
JPH07308857A (ja) | 石材研磨装置 | |
JP2006263869A (ja) | 研磨工具及び研磨方法 | |
JP6232654B2 (ja) | ウェーハ研磨装置 | |
KR100963438B1 (ko) | 경사 가능한 렌즈 연마장치 | |
US2666281A (en) | Back pad | |
JP4389554B2 (ja) | 超仕上げ装置 | |
JP2000117604A (ja) | 研磨装置及び研磨治具 | |
CN211163452U (zh) | 一种具有辅助稳定功能的阀门研磨机 | |
KR20090070939A (ko) | 렌즈 연마장치 | |
KR100488872B1 (ko) | 표면처리용 연마휠 | |
CN206764548U (zh) | 磨盘便于拆卸的石材研磨机 | |
KR100910315B1 (ko) | 표면 형상 보정을 위한 비구면 광학계 가공용 폴리싱장치 | |
JP2005230973A (ja) | 研磨工具、研磨装置、研磨方法 | |
ES2244867T3 (es) | Patin o manguito de soporte para mandril de maquina herramienta de control numerico. | |
CN218051910U (zh) | 一种用于工件打磨的浮动砂带机 | |
CN213225730U (zh) | 一种碗形砂轮角度修整器 | |
KR20160143424A (ko) | 화학기계적 연마 장치용 헤드 어셈블리 및 이를 구비하는 화학기계적 연마 장치 | |
JP2002307279A (ja) | 研磨工具、研磨工具保持装置、研磨装置、および前記研磨工具を加工する合わせ研磨方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A80 | Written request to apply exceptions to lack of novelty of invention |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A80 Effective date: 20190306 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20211224 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20221019 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20221025 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20221223 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230418 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230427 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7277905 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |