JP2020128753A - 流体移送用コネクタ - Google Patents

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Abstract

【課題】プラグとソケットが互いに接続されるときに生じるプラグの先端における傷の発生を抑制又は防止することができ、また、ソケット内部のメンテナンス性を向上させることを目的とする。【解決手段】流体移送用コネクタは、流体管の端部に設置されたオス形の金属製プラグと、プラグが挿入可能であり、プラグと接続されたとき流体が連通するメス形のソケット100とを備え、ソケット100は、プラグとソケット100が接続された状態でプラグの先端部が収容される断面円形状の収容部11を有し、収容部11は、金属製の弁体ホルダ40bと、弁体ホルダ40bの内側に設置され、プラグとソケット100が接続された状態でプラグの先端部と弁体ホルダ40bの間に配置されている合成樹脂製の筒部12とを有する。【選択図】図2

Description

本発明は、流体移送用コネクタに関するものである。
流体移送用コネクタは、2つの異なる配管系統を接続する装置であり、例えば、半導体製造装置に用いられる流体(例えば薬液やガスなど)を一方から他方へ移送する際に用いられる。流体移送用コネクタは、例えば、流体を一時的に貯蔵するバッファタンクが設けられた建屋側に固定設置されたソケットと、タンクローリから導かれたホース等の流体管の先端に固定されたプラグとを備えている。ソケットにはバッファタンクと結ばれた流体管が接続されている。
ソケットとプラグが互いに接続されることによって、タンクローリからバッファタンクへ、又は、バッファタンクからタンクローリへと流体が移送可能になる。
流体移送用コネクタでは、オス形のプラグがソケット側の差込口に挿入されて固定された後、メス形のソケット本体が内部機構部の動作によってプラグ側へ移動する。そして、プラグとソケット本体が接続することによって、ソケット側の流体管とプラグ側の流体管が連通する。
特開2002−130574号公報 特開2008−8403号公報(特許第4944515号公報)
タンクローリと接続される流体管は、例えば内側チューブ、中間チューブ及び外側チューブからなる三重構造を採用したものがあり、内側チューブ等は十分な肉厚が確保され、外側チューブはステンレス管等が用いられる。これにより、漏洩防止等の安全対策が施されるが、流体管の重量が大きくなる。そこで、重い流体管を支えて接続部の負担を軽減する目的で、金属製プラグの挿入状態を支持するための金属製補強部がソケットの入口側に設けられる場合がある(上記の特許文献1)。
しかし、この場合、金属製のプラグの外径とソケットの金属製補強部の内径の寸法設定を厳しくして、プラグの外周面と金属製補強部の内周面の間に隙間が生じないように形成される。そのため、上記の特許文献2では、プラグがソケットに挿入されるとき、金属部品同士の特有のかじり状態が発生することによって、金属製のプラグをスムーズに挿入できないという問題が生じることに着目し、金属製補強部に樹脂製ライナを具備することが開示されている。これにより、プラグの挿入時、金属部品同士のかじりが防止される。このように、特許文献2で開示された技術は、ソケットの入口側における部品が樹脂製に置き換えられたものである。
一方、上述した課題と異なり、金属製のプラグと金属製のソケットが互いに接続されるとき、プラグの先端の外周面に傷が付くという問題がある。プラグの先端に傷が形成されると、プラグの外周面とソケットの内周面の間のシール性能が低下し、流通する流体が漏洩するという問題が生じる。具体的には、プラグがソケット側の差込口に挿入された後、プラグ側の流体管の自重などによってプラグの後端側に負荷がかかると、流体管と接続されたプラグの後端が下側へ下がり、プラグの先端が上側へ向いた状態となる。そのため、プラグとソケットが互いに接続されるとき、プラグの先端がソケットの内周面に接触したままスライドすることによって、プラグの先端の外周面に傷が付く。この問題は、ソケット本体が内部機構部の動作によってプラグ側へ移動するとき、手動による動作と異なり、強制的に接続動作が行われるため、特に生じやすい。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、プラグとソケットが互いに接続されるときに生じるプラグの先端における傷の発生を抑制又は防止することができ、また、ソケット内部のメンテナンス性を向上させることが可能な流体移送用コネクタを提供することを目的とする。
上記課題を解決するために、本発明の流体移送用コネクタは以下の手段を採用する。
本発明に係る流体移送用コネクタは、流体管の端部に設置されたオス形の金属製プラグと、前記プラグが挿入可能であり、前記プラグと接続されたとき流体が連通するメス形のソケットとを備え、前記ソケットは、前記プラグと前記ソケットが接続された状態で前記プラグの先端部が収容される断面円形状の収容部を有し、前記収容部は、金属製の本体部と、前記本体部の内側に設置され、前記プラグと前記ソケットが接続された状態で前記プラグの前記先端部と前記本体部の間に配置されている合成樹脂製の筒部とを有する。
この構成によれば、オス形の金属製プラグは、流体管の端部に設置されており、プラグが挿入可能なメス形のソケットは、プラグと接続されたとき流体が連通する。ソケットは、収容部を有し、収容部には、プラグとソケットが接続された状態でプラグの先端部が収容される。収容部は、金属製の本体部と、本体部の内側に設置された合成樹脂製の筒部を有する。筒部は、プラグとソケットが接続された状態でプラグの先端部と本体部の間に配置されている。これにより、プラグとソケットが互いに接続されるとき、プラグの先端がソケットの内周面に接触したままスライドしたとしても、プラグの先端部は、金属製の本体部ではなく合成樹脂製の筒部と接触するため、プラグの先端部において傷が生じにくい。また、筒部は、本体部とは別体であるため、本体部に対して着脱可能な構成を有する。したがって、プラグとの接触によってソケットの収容部に傷が生じた場合でも、筒部を交換すればよく、メンテナンス性が向上する。
上記発明において、前記筒部の内周面には、Oリングが収容される第1溝が形成され、前記第1溝に収容された前記Oリングは、前記プラグと前記ソケットが接続された状態で前記筒部と前記プラグとに接触してもよい。
この構成によれば、筒部の内周面に第1溝が形成され、第1溝にはOリングが収容される。第1溝に収容されたOリングは、プラグとソケットが接続された状態で筒部とプラグとに接触する。これにより、プラグの外周面とソケットの内周面の間のシール性が向上する。また、Oリングが収容される溝が、金属製の本体部に直接形成される場合と異なり、筒部を交換することによってOリングが収容される第1溝を再構築できることから、メンテナンス性が高まる。
上記発明において、前記筒部の内周面には、前記筒部の軸方向に対して平行であり、前記第1溝に接続された第2溝が形成されてもよい。
この構成によれば、筒部の内周面には、筒部の軸方向に対して平行な第2溝が形成され、第2溝はOリングが収容される第1溝と接続されている。これにより、第2溝に例えば棒状部材を挿通して、棒状部材の先端を第1溝に収容されたOリングに到達させることができるため、棒状部材を用いることによってOリングの取り外しが容易になる。
上記発明において、前記筒部の内周面には、前記筒部の軸方向に対して平行であり、周方向に対して交差した平面を有する第3溝が形成されてもよい。
この構成によれば、筒部の内周面には、筒部の軸方向に対して平行な第3溝が形成され、第3溝は、周方向に対して交差した平面を有する。これにより、第3溝に棒状部材を設置して、棒状部材の側面を第3溝の周方向に対して交差した平面に当接でき、棒状部材を用いて、筒部を周方向に回転させることができる。したがって、筒部が本体部に挿入された後、筒部の周方向の位置決めが容易になる。
上記発明において、前記収容部に設置され、前記収容部に対して洗浄液を噴射するノズルを更に備え、前記筒部には、前記ノズルが貫通して設置可能な貫通孔が形成されてもよい。
この構成によれば、ノズルが、筒部の貫通孔に貫通して設置されて、収容部に設置される。ノズルは、収容部に対して洗浄液を噴射でき、洗浄液によって収容部内やプラグの先端を洗浄できる。また、筒部の貫通孔にノズルが貫通して設置されているため、筒部の軸方向の移動や周方向の回転がノズルによって抑制され、筒部が本体部から外れにくくなる。
上記発明において、前記筒部は、前記本体部に対して圧入されて固定、前記本体部の内周面に形成された第4溝に挿入されたCリングによって固定、又は、前記本体部に対して螺合されて固定されてもよい。
この構成によれば、筒部は本体部に対して圧入されて固定されることにより、他の部品を用いて固定する必要がなく、筒部を本体部に対して取り付けたり取り外したりすることが比較的容易である。また、螺合によって固定する場合と比べて、周方向の位置決めを行いやすい。また、本体部の内周面に形成された第4溝に挿入されたCリングによって固定されたり、本体部に対して螺合されて固定されたりすることにより、筒部が本体部に対して軸方向に抜けにくくなる。
上記発明において、前記筒部は、一体的な一つの部材によって構成、又は、複数の構成部品によって構成されてもよい。
この構成によれば、筒部が一体的な一つの部材によって構成されることにより、筒部の剛性を高めることができる。また、筒部が複数の構成部品によって構成されることにより、筒部の作製を容易化させたり本体部に対して取り付けやすくすることができる。
本発明によれば、プラグとソケットが互いに接続されるときに生じるプラグの先端における傷の発生を抑制又は防止することができ、また、ソケット内部のメンテナンス性を向上させることができる。
本発明の一実施形態に係る流体移送用コネクタを示す縦断面図であり、ソケットとプラグが接続された状態を示す。 本発明の一実施形態に係る流体移送用コネクタのソケットを示す縦断面図であり、移動部が第1開口部側に移動した状態を示す。 本発明の一実施形態に係る流体移送用コネクタのソケットを示す縦断面図であり、移動部が第2開口部側に移動した状態を示す。 本発明の一実施形態に係る流体移送用コネクタのソケットを示す横断面図であり、噴射用ノズルが設置された位置で切断した図である。 本発明の一実施形態に係る筒部を示す正面図である。 本発明の一実施形態に係る筒部を示す縦断面図である。 本発明の一実施形態に係る収容部を示す部分拡大縦断面図である。 本発明の一実施形態に係る収容部の第1変形例を示す部分拡大縦断面図である。 本発明の一実施形態に係る収容部の第2変形例を示す部分拡大縦断面図である。 本発明の一実施形態に係る筒部の第1変形例を示す部分拡大縦断面図である。 本発明の一実施形態に係る筒部の第2変形例を示す部分拡大縦断面図である。
以下に、本発明に係る流体移送用コネクタ1の一実施形態について、図面を参照して説明する。
本発明の一実施形態に係る流体移送用コネクタ1は、図1に示すように、例えば建屋側に固定設置されるソケット100と、ホース等の流体管400の先端に固定されるプラグ200とを備える。ソケット100とプラグ200が互いに接続されることによって、流体移送用コネクタ1において、非圧縮性流体が流通可能となる。本実施形態における非圧縮性流体とは、例えば、半導体製造装置に用いられる純水や薬液等の液体である。
ソケット100には、例えば建屋に設置されたバッファタンクと結ばれた流体管300が接続されている。プラグ200は、例えばタンクローリから導かれたホース等の流体管400の先端に固定されている。
以下、本実施形態に係るソケット100についてより詳細に説明する。
図1〜図3に示すように、ソケット100は、ハウジング部10と、弁体部20と、ベローズ部30と、移動部40などを備える。
ハウジング部10は、軸線Xに沿って筒状に形成された部材である。ハウジング部10は、第1開口部100aと、第2開口部100bを有する。第1開口部100aは、軸線Xに沿ったソケット100の一端側に形成され、第1開口部100aにはプラグ200が挿入される。第2開口部100bは、軸線Xに沿ったソケット100の他端側に形成され、第2開口部100bには流体管300が接続される。
ハウジング部10は、図2に示すように、軸線Xに沿った第1開口部100a側から順に、第1ハウジング部10aと、第2ハウジング部10bと、第3ハウジング部10cと、第4ハウジング部10dとを備える。また、第1ハウジング部10aの第1開口部100a側にフロントカバー10eが配置され、第4ハウジング部10dの第2開口部100b側にバックカバー10fが配置される。さらに、第1ハウジング部10aと第2ハウジング部10bの間には、軸線X回りに延びる円環状に形成されるサイドフランジ10gが配置される。
フロントカバー10eは、軸線X回りの複数箇所において、締結ボルト90によって第1ハウジング部10aに締結されている。また、第1ハウジング部10aは、軸線X回りの複数箇所において、締結ボルト91によってサイドフランジ10gに締結されている。また、サイドフランジ10gは、軸線X回りの複数箇所において、締結ボルト92によってシャフト95の内周面に形成された雌ねじに締結されている。また、バックカバー10fは、軸線X回りの複数箇所において、締結ボルト93によってシャフト95の内周面に形成された雌ねじに締結されている。
第2ハウジング部10bと、第3ハウジング部10cと、第4ハウジング部10dには、これらの内部の軸線X回りの複数箇所に形成される挿入穴にシャフト95が挿入される。サイドフランジ10g側からシャフト95の一端に締結ボルト92が締結され、バックカバー10f側からシャフト95の他端に締結ボルト93が締結されることによって、第2ハウジング部10bと、第3ハウジング部10cと、第4ハウジング部10dが、一体化されている。また、第1ハウジング部10aと第2ハウジング部10bと第3ハウジング部10cと第4ハウジング部10dとは、隣り合う部材同士がインロー構造によって互いに嵌合されている。すなわち、一方のハウジング部に中心軸を共有する円環状の凸部が形成され、他方のハウジング部に中心軸を共有する円環状の凹部が形成されて、凸部と凹部が互いに嵌合可能に形成されている。これにより、第1ハウジング部10aと第2ハウジング部10bと第3ハウジング部10cと第4ハウジング部10dのそれぞれの中心軸を一致させることができる。
以上のように、第1ハウジング部10aと第2ハウジング部10bと第3ハウジング部10cと第4ハウジング部10dとは、一体に連結されており、第1開口部100aから第2開口部100bへ向けて非圧縮性流体を流通させる筒状の流路が内部に形成される。
弁体部20は、プラグ200との接触によって、プラグ200とハウジング部10との間で、非圧縮性流体が流通可能な開状態となる。弁体部20は、図2に示すように、バルブ本体20aと、スプリング20bと、ストッパ20cとを備える。
バルブ本体20aには、バルブ本体20aを流通する非圧縮性流体の流通量を規制する断面視円形のオリフィス20dが形成されている。オリフィス20dは、軸線X回りの複数箇所に、均等な間隔を空けて配置されている。
バルブ本体20aの外周面は、軸線Xに沿って延在する円筒形状となっており、後述する弁体ホルダ40bの内周面よりもやや小さい外径となっている。したがって、バルブ本体20aは、弁体ホルダ40bの内部空間に挿入された状態で、軸線Xに沿って移動可能となっている。
ストッパ20cは、軸線X回りに延びる円環状に形成された部材であり、外周面に形成された雄ねじ部を弁体ホルダ40bの内周面に形成された雌ねじ部に締結することによって、弁体ホルダ40bに固定されている。
ストッパ20cは、バルブ本体20aとの間に軸線Xに沿って延びるスプリング20bを保持している。弁体ホルダ40bの中央付近には内側に突出する第一弁座41が形成されている。バルブ本体20aは、スプリング20bが伸長しようとする付勢力によって第一弁座41に押し付けられ、第一弁座41の開口部を閉鎖する。このとき、バルブ本体20aは、第一弁座41との間に軸線X回りに延びる円環状のシール領域を形成する。
図2及び図3に示す状態においては、バルブ本体20aに取り付けられるOリング20eが弁体ホルダ40bの内周面に接触してシール領域を形成するため、第1開口部100aと第2開口部100bとの間で非圧縮性流体が流通しない遮断状態となる。
ベローズ部30は、非圧縮性流体が流通する伸縮可能な供給流路31が内部に形成された部材である。ベローズ部30は、ハウジング部10の内部において弁体部20と流体管300との間に配置される。
ベローズ部30は、図2に示すように、軸線Xに沿って第1開口部100a側から順に、先端部30aとベローズ本体30bと基端部30cとを備える。先端部30aとベローズ本体30bと基端部30cとは、フッ素樹脂材料(例えば、PTFE)により一体に形成された部材となっている。
先端部30aは、軸線X回りに延びる円環状に形成された部材であり、外周面に形成された雄ねじ部をストッパ20cの第2開口部100b側の内周面に形成された雌ねじ部に締結することにより、ストッパ20cに固定されている。
基端部30cは、軸線X回りに延びる円筒状に形成された部材であり、バックカバー10fと第4ハウジング部10dとの間に挟まれた状態で保持されている。
ベローズ本体30bは、軸線Xに沿って伸長及び収縮可能な蛇腹形状となっている。先端部30aがストッパ20c及び弁体ホルダ40bとともに軸線Xに沿って移動可能である。一方、基端部30cは、ハウジング部10に固定された状態で配置される。このように、先端部30aと基端部30cの軸線X方向の間隔は移動部40の位置によって変動するが、ベローズ本体30bが蛇腹形状となっている。そのため、ベローズ部30の内部に形成される供給流路31は、軸線Xに沿って伸縮可能である。
移動部40は、ソケット100の第1開口部100aに設置されたプラグ200に対して接触又は離間するように軸線Xに沿って移動可能な部材である。移動部40は、軸線Xに沿って筒状に形成されるとともに内部に弁体部20及びベローズ部30を収容する部材である。移動部40は、図2に示すように、軸線Xに沿って第1開口部100a側から順に、弁体ホルダ40bとベローズホルダ40aとを備える。
弁体ホルダ40bの第2開口部100b側の外周面には雄ねじが形成され、ベローズホルダ40aの第1開口部100a側の内周面には雌ねじが形成されている。弁体ホルダ40bの雄ねじとベローズホルダ40aの雌ねじとを締結することにより、弁体ホルダ40bとベローズホルダ40aが一体化されている。
ベローズホルダ40aの第1開口部100a側の端部の外周部分には、軸線Xに沿って延びる円環状に形成される円環状突起部40cが形成されている。この円環状突起部40cは、第3ハウジング部10cと第4ハウジング部10dとの間に形成される円筒状の空間に、この空間を第1圧力室P1と第2圧力室P2とに区分するように配置されている。円環状突起部40cは、Oリング40dを介して第3ハウジング部10cの内周面に接触している。
第1圧力室P1は、円環状突起部40cの第1開口部100a側(一端側)の側面と第3ハウジング部10cの内周面との間に形成される空間であり、第3ハウジング部10cの外周面に形成される貫通穴を介して給排気ポート80に接続されている。
また、第2圧力室P2は、円環状突起部40cの第2開口部100b側(他端側)の側面と第3ハウジング部10cの内周面との間に形成される空間であり、第3ハウジング部10cの外周面に形成される他の貫通穴を介して給排気ポート81に接続されている。
第1圧力室P1は、供給配管を介して圧縮空気(操作気体)が供給されると、円環状突起部40cを軸線Xに沿って第2開口部100b側へ移動させる付勢力を発生する。この付勢力は、ベローズ部30のベローズ本体30bを収縮させる方向の付勢力である。
図3に示すように、第1圧力室P1が発生させる付勢力によって第1圧力室P1が拡張する一方で第2圧力室P2が収縮すると、移動部40が第2開口部100b側へ移動する。そのため、第1開口部100aにプラグ200が挿入されている場合には、プラグ200から移動部40が離間する。
第2圧力室P2は、供給配管を介して圧縮空気(操作気体)が供給されると、円環状突起部40cを軸線Xに沿って第1開口部100a側へ移動させる付勢力を発生する。この付勢力は、ベローズ部30のベローズ本体30bを伸長させる方向の付勢力である。
図1及び図2に示すように、第2圧力室P2が発生させる付勢力によって第2圧力室P2が拡張する一方で第1圧力室P1が収縮すると、移動部40が第1開口部100a側へ移動する。そのため、図1に示すように、第1開口部100aにプラグ200が挿入されている場合には、移動部40がプラグ200に接触する。
図1に示すように移動部40がプラグ200に接触すると、弁体部20のバルブ本体20aの先端にプラグ200の弁体部201のバルブ本体202の先端が接触し、バルブ本体20aが移動部40の内周面から離間する。これにより、プラグ200の弁体部201とベローズ部30の内部に形成される供給流路31との間で、非圧縮流体が流通可能となる。
図2及び図3に示すように、弁体ホルダ40bの第1開口部100a側の内側には、断面円形の収容部11が形成される。収容部11は、ソケット100の第1開口部100a入口よりも奥に位置する弁体部20側に形成され、断面が円形状である。収容部11には、プラグ200の先端部が収容される。収容部11は、金属製の弁体ホルダ40bと、合成樹脂製の筒部12によって構成される。収容部11は、弁体ホルダ40bの内側に筒部12が設置される。
弁体ホルダ40bは、金属製、例えばステンレス製であり、筒部12が内側に形成される断面円形状の円筒面を有する。筒部12は、例えばポリテトラフルオロエチレン製であり、低摩擦の材料で構成される。これにより、筒部12の内周面に接触した金属製のプラグ200は、スムーズに筒部12の内周面に沿って移動する。
筒部12は、図1に示すように、プラグ200とソケット100が接続された状態でプラグ200の先端部と弁体ホルダ40bの間に配置されている。筒部12は、円筒状部材であり、筒部12の外周面は、弁体ホルダ40bの円筒面である内周面と接触して設置される。筒部12の内周面にはプラグ200の先端が挿入される。筒部12の内周面は、プラグ200の外周面と接触して配置される。
筒部12は、プラグ200とソケット100が接続されたとき、プラグ200の先端部、例えばプラグ200の径が小さい部分(縮径部)を覆う長さ(軸線X方向の長さ)を有する。これにより、プラグ200の先端がソケット100の内周面に接触しやすい部分が筒部12によって覆われる。また、筒部12は、プラグ200とソケット100が接続した状態で、プラグ200の先端部を広い面積で受けられるように、応力が集中しないような軸線X方向の長さを有することが望ましい。
本実施形態に係る筒部12が設置されることによって、プラグ200とソケット100が互いに接続されるとき、プラグ200の先端がソケット100の内周面に接触したままスライドしたとしても、プラグ200の先端部は、金属製の弁体ホルダ40bではなく合成樹脂製の筒部12と接触する。その結果、プラグ200の先端部において傷が生じにくくなる。
図6に示すように、筒部12の内周面には、Oリング21(図1〜図3参照)が収容されるOリング収容溝(第1溝)13が形成される。Oリング収容溝13に収容されたOリング21は、プラグ200とソケット100が接続された状態で筒部12とプラグ200とに接触することから、プラグ200の外周面とソケット100の内周面の間のシール性が向上する。また、Oリング収容溝13が破損した場合等において、筒部12を交換することによってOリング収容溝13を再構築できる。したがって、Oリング収容溝13が、金属製の弁体ホルダ40bに直接形成される場合と異なり、筒部12の内周面にOリング収容溝13が形成される場合、ソケット100のメンテナンス性が高まる。
また、図5及び図6に示すように、筒部12の内周面には、筒部12の軸方向に対して平行なOリング交換用溝(第2溝)14が形成される。Oリング交換用溝14はOリング収容溝13と接続されている。これにより、Oリング交換用溝14に例えば棒状部材(図示せず。)を挿通して、棒状部材の先端をOリング収容溝13に収容されたOリング21に到達させることができるため、棒状部材を用いることによってOリング21の取り外しが容易になる。
筒部12の内周面には、図5及び図6に示すように、筒部12の軸方向に対して平行な位置合わせ用溝(第3溝)15が形成される。位置合わせ用溝15は、周方向に対して交差した平面(立設面15a)を有する。位置合わせ用溝15は、例えば筒部12の内周面に対してコ字形状に切り欠かれることによって、互いに対向する立設面15aを有する。
これにより、位置合わせ用溝15に治具(図示せず。)を設置して、治具を位置合わせ用溝15の周方向に対して交差した立設面15aに当接でき、治具を用いて、筒部12を周方向に回転させることができる。したがって、筒部12が弁体ホルダ40bに挿入された後、筒部12の周方向の位置決めが容易になる。
筒部12には、図4及び図6に示すように、洗浄用ノズル22が貫通して設置可能な貫通孔16が形成される。これにより、洗浄用ノズル22が、筒部12の貫通孔16に貫通して設置されて、収容部11に設置される。なお、弁体ホルダ40bには、図4に示すように、洗浄用ノズル22が挿入され固定される貫通孔42が形成されている。洗浄用ノズル22は、弁体ホルダ40b及び筒部12に対して着脱可能に構成されている。
洗浄用ノズル22は、収容部11の内部に対して洗浄液を噴射でき、洗浄液によって収容部11内やプラグ200の先端を洗浄できる。また、図4に示すように、筒部12の貫通孔16に洗浄用ノズル22の先端が貫通して設置されているため、筒部12の軸線X方向の移動や周方向の回転が洗浄用ノズル22の先端によって抑制され、筒部12が弁体ホルダ40bから外れにくくなる。
収容部11の内周面は、Oリング21から第1開口部100a側に向かってテーパ状に拡張している。なお、第1ハウジング部10aには内周面から外周面まで延びる排出孔(図示せず。)が形成されており、洗浄用ノズル22から噴射された洗浄液は排出孔から排出される。
筒部12は、弁体ホルダ40bに対して、圧入によって固定される。これにより、Cリング等の他の部品を用いて固定する必要がなく、筒部12を弁体ホルダ40bに対して取り付けたり取り外したりすることが比較的容易である。また、螺合によって固定する場合と比べて、周方向の位置決めを行いやすい。
なお、図7に示すように、筒部12の外周面には、突起部12aが形成されてもよい。突起部12aは、周方向に沿って帯状に形成され、弁体ホルダ40bの内周面に形成された凹部43に嵌合される。これにより、筒部12の軸方向の移動が嵌合した突起部12aと凹部43によって抑制され、筒部12が弁体ホルダ40bから外れにくくなる。
弁体ホルダ40bに対する筒部12の固定は、圧入による場合に限定されず、図8に示すように、筒部12は、弁体ホルダ40bの内周面に形成されたCリング用溝(第4溝)44に挿入されたCリング50によって固定されてもよい。Cリング用溝44は、弁体ホルダ40bに設置された筒部12の第1開口部100a側の端部より外側に形成される。Cリング用溝44に挿入されたCリング50は、筒部12の端部に接触して配置される。また、図9に示すように、筒部12は、弁体ホルダ40bに対して螺合されて固定されてもよい。すなわち、筒部12の外周面に形成された雄ねじ17と、弁体ホルダ40bの内周面に形成された雌ねじ45が螺合することによって、筒部12が弁体ホルダ40bに対して固定される。これらにより、筒部12が弁体ホルダ40bに対して軸方向に抜けにくくなる。
筒部12は、一体的な一つの部材によって構成されてもよいし、複数のピース(構成部品)によって構成されてもよい。一体的な一つの部材によって構成された筒部12は、筒部12の剛性が高い。また、図10及び図11に示すように、筒部12が複数の構成部品(例えば構成部品12A,12B,12C,12D)によって構成される場合は、筒部12の作製を容易化させたり弁体ホルダ40bに対して取り付けやすくすることができる。例えば、図10及び図11に示すように、構成部品12Aと12B、構成部品12Aと12C、構成部品12Cと12DがOリング収容溝13を境界にして分割されることによって、内周面におけるOリング収容溝13の形成を容易化させることができる。また、複数の構成部品に分割されていることで、交換が必要な構成部品のみを交換できる。
以上、本実施形態によれば、オス形の金属製のプラグ200は、流体管400の端部に設置されており、プラグ200が挿入可能なメス形のソケット100は、プラグ200と接続されたとき流体が連通する。ソケット100は、収容部11を有し、収容部11には、プラグ200とソケット100が接続された状態でプラグ200の先端部が収容される。収容部11は、金属製の弁体ホルダ40bと、弁体ホルダ40bの内側に設置された合成樹脂製の筒部12を有する。筒部12は、プラグ200とソケット100が接続された状態でプラグ200の先端部と弁体ホルダ40bの間に配置されている。これにより、プラグ200とソケット100が互いに接続されるとき、プラグ200の先端がソケット100の内周面に接触したままスライドしたとしても、プラグ200の先端部は、金属製の弁体ホルダ40bではなく合成樹脂製の筒部12と接触するため、プラグ200の先端部において傷が生じにくい。その結果、プラグ200の外周面とソケット100の内周面の間のシール性能が低下することがないため、流通する流体が漏洩するという問題が生じにくくなる。
1 :流体移送用コネクタ
10 :ハウジング部
11 :収容部
12 :筒部
13 :Oリング収容溝
14 :Oリング交換用溝
15 :位置合わせ用溝
16 :貫通孔
17 :雄ねじ
20,201 :弁体部
20a,202 :バルブ本体
20b :スプリング
20c :ストッパ
20d :オリフィス
20e,21,40d :Oリング
22 :洗浄用ノズル
30 :ベローズ部
30a :先端部
30b :ベローズ本体
30c :基端部
31 :供給流路
40 :移動部
40a :ベローズホルダ
40b :弁体ホルダ
40c :円環状突起部
41 :第一弁座
42 :貫通孔
43 :凹部
44 :Cリング用溝
45 :雌ねじ
50 :Cリング
80,81 :給排気ポート
90,91,92,93 :締結ボルト
95 :シャフト
100 :ソケット
100a :第1開口部
100b :第2開口部
200 :プラグ
300,400 :流体管
P1 :第1圧力室
P2 :第2圧力室
X :軸線

Claims (7)

  1. 流体管の端部に設置されたオス形の金属製プラグと、
    前記プラグが挿入可能であり、前記プラグと接続されたとき流体が連通するメス形のソケットと、
    を備え、
    前記ソケットは、前記プラグと前記ソケットが接続された状態で前記プラグの先端部が収容される断面円形状の収容部を有し、
    前記収容部は、
    金属製の本体部と、
    前記本体部の内側に設置され、前記プラグと前記ソケットが接続された状態で前記プラグの前記先端部と前記本体部の間に配置されている合成樹脂製の筒部と、
    を有する流体移送用コネクタ。
  2. 前記筒部の内周面には、Oリングが収容される第1溝が形成され、前記第1溝に収容された前記Oリングは、前記プラグと前記ソケットが接続された状態で前記筒部と前記プラグとに接触する請求項1に記載の流体移送用コネクタ。
  3. 前記筒部の内周面には、前記筒部の軸方向に対して平行であり、前記第1溝に接続された第2溝が形成されている請求項2に記載の流体移送用コネクタ。
  4. 前記筒部の内周面には、前記筒部の軸方向に対して平行であり、周方向に対して交差した平面を有する第3溝が形成されている請求項1から3のいずれか1項に記載の流体移送用コネクタ。
  5. 前記収容部に設置され、前記収容部に対して洗浄液を噴射するノズルを更に備え、
    前記筒部には、前記ノズルが貫通して設置可能な貫通孔が形成されている請求項1から4のいずれか1項に記載の流体移送用コネクタ。
  6. 前記筒部は、前記本体部に対して圧入されて固定、前記本体部の内周面に形成された第4溝に挿入されたCリングによって固定、又は、前記本体部に対して螺合されて固定されている請求項1から5のいずれか1項に記載の流体移送用コネクタ。
  7. 前記筒部は、一体的な一つの部材によって構成、又は、複数の構成部品によって構成されている請求項1から6のいずれか1項に記載の流体移送用コネクタ。

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