JP2020128753A - 流体移送用コネクタ - Google Patents
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Abstract
Description
本発明に係る流体移送用コネクタは、流体管の端部に設置されたオス形の金属製プラグと、前記プラグが挿入可能であり、前記プラグと接続されたとき流体が連通するメス形のソケットとを備え、前記ソケットは、前記プラグと前記ソケットが接続された状態で前記プラグの先端部が収容される断面円形状の収容部を有し、前記収容部は、金属製の本体部と、前記本体部の内側に設置され、前記プラグと前記ソケットが接続された状態で前記プラグの前記先端部と前記本体部の間に配置されている合成樹脂製の筒部とを有する。
本発明の一実施形態に係る流体移送用コネクタ1は、図1に示すように、例えば建屋側に固定設置されるソケット100と、ホース等の流体管400の先端に固定されるプラグ200とを備える。ソケット100とプラグ200が互いに接続されることによって、流体移送用コネクタ1において、非圧縮性流体が流通可能となる。本実施形態における非圧縮性流体とは、例えば、半導体製造装置に用いられる純水や薬液等の液体である。
図1〜図3に示すように、ソケット100は、ハウジング部10と、弁体部20と、ベローズ部30と、移動部40などを備える。
バルブ本体20aには、バルブ本体20aを流通する非圧縮性流体の流通量を規制する断面視円形のオリフィス20dが形成されている。オリフィス20dは、軸線X回りの複数箇所に、均等な間隔を空けて配置されている。
ストッパ20cは、バルブ本体20aとの間に軸線Xに沿って延びるスプリング20bを保持している。弁体ホルダ40bの中央付近には内側に突出する第一弁座41が形成されている。バルブ本体20aは、スプリング20bが伸長しようとする付勢力によって第一弁座41に押し付けられ、第一弁座41の開口部を閉鎖する。このとき、バルブ本体20aは、第一弁座41との間に軸線X回りに延びる円環状のシール領域を形成する。
ベローズ部30は、図2に示すように、軸線Xに沿って第1開口部100a側から順に、先端部30aとベローズ本体30bと基端部30cとを備える。先端部30aとベローズ本体30bと基端部30cとは、フッ素樹脂材料(例えば、PTFE)により一体に形成された部材となっている。
基端部30cは、軸線X回りに延びる円筒状に形成された部材であり、バックカバー10fと第4ハウジング部10dとの間に挟まれた状態で保持されている。
弁体ホルダ40bの第2開口部100b側の外周面には雄ねじが形成され、ベローズホルダ40aの第1開口部100a側の内周面には雌ねじが形成されている。弁体ホルダ40bの雄ねじとベローズホルダ40aの雌ねじとを締結することにより、弁体ホルダ40bとベローズホルダ40aが一体化されている。
また、第2圧力室P2は、円環状突起部40cの第2開口部100b側(他端側)の側面と第3ハウジング部10cの内周面との間に形成される空間であり、第3ハウジング部10cの外周面に形成される他の貫通穴を介して給排気ポート81に接続されている。
図3に示すように、第1圧力室P1が発生させる付勢力によって第1圧力室P1が拡張する一方で第2圧力室P2が収縮すると、移動部40が第2開口部100b側へ移動する。そのため、第1開口部100aにプラグ200が挿入されている場合には、プラグ200から移動部40が離間する。
図1及び図2に示すように、第2圧力室P2が発生させる付勢力によって第2圧力室P2が拡張する一方で第1圧力室P1が収縮すると、移動部40が第1開口部100a側へ移動する。そのため、図1に示すように、第1開口部100aにプラグ200が挿入されている場合には、移動部40がプラグ200に接触する。
10 :ハウジング部
11 :収容部
12 :筒部
13 :Oリング収容溝
14 :Oリング交換用溝
15 :位置合わせ用溝
16 :貫通孔
17 :雄ねじ
20,201 :弁体部
20a,202 :バルブ本体
20b :スプリング
20c :ストッパ
20d :オリフィス
20e,21,40d :Oリング
22 :洗浄用ノズル
30 :ベローズ部
30a :先端部
30b :ベローズ本体
30c :基端部
31 :供給流路
40 :移動部
40a :ベローズホルダ
40b :弁体ホルダ
40c :円環状突起部
41 :第一弁座
42 :貫通孔
43 :凹部
44 :Cリング用溝
45 :雌ねじ
50 :Cリング
80,81 :給排気ポート
90,91,92,93 :締結ボルト
95 :シャフト
100 :ソケット
100a :第1開口部
100b :第2開口部
200 :プラグ
300,400 :流体管
P1 :第1圧力室
P2 :第2圧力室
X :軸線
Claims (7)
- 流体管の端部に設置されたオス形の金属製プラグと、
前記プラグが挿入可能であり、前記プラグと接続されたとき流体が連通するメス形のソケットと、
を備え、
前記ソケットは、前記プラグと前記ソケットが接続された状態で前記プラグの先端部が収容される断面円形状の収容部を有し、
前記収容部は、
金属製の本体部と、
前記本体部の内側に設置され、前記プラグと前記ソケットが接続された状態で前記プラグの前記先端部と前記本体部の間に配置されている合成樹脂製の筒部と、
を有する流体移送用コネクタ。 - 前記筒部の内周面には、Oリングが収容される第1溝が形成され、前記第1溝に収容された前記Oリングは、前記プラグと前記ソケットが接続された状態で前記筒部と前記プラグとに接触する請求項1に記載の流体移送用コネクタ。
- 前記筒部の内周面には、前記筒部の軸方向に対して平行であり、前記第1溝に接続された第2溝が形成されている請求項2に記載の流体移送用コネクタ。
- 前記筒部の内周面には、前記筒部の軸方向に対して平行であり、周方向に対して交差した平面を有する第3溝が形成されている請求項1から3のいずれか1項に記載の流体移送用コネクタ。
- 前記収容部に設置され、前記収容部に対して洗浄液を噴射するノズルを更に備え、
前記筒部には、前記ノズルが貫通して設置可能な貫通孔が形成されている請求項1から4のいずれか1項に記載の流体移送用コネクタ。 - 前記筒部は、前記本体部に対して圧入されて固定、前記本体部の内周面に形成された第4溝に挿入されたCリングによって固定、又は、前記本体部に対して螺合されて固定されている請求項1から5のいずれか1項に記載の流体移送用コネクタ。
- 前記筒部は、一体的な一つの部材によって構成、又は、複数の構成部品によって構成されている請求項1から6のいずれか1項に記載の流体移送用コネクタ。
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