JP2020128289A - Substrate conveyance system and control method of substrate conveyance system - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、複数枚のガラス基板が収容可能なワイヤーカセットと、ガラス基板に対して所定の処理を行う処理装置との間で、ガラス基板を搬送するための基板搬送システムに関する。また、本発明は、かかる基板搬送システムの制御方法に関する。 The present invention relates to a substrate transfer system for transferring a glass substrate between a wire cassette capable of accommodating a plurality of glass substrates and a processing device that performs a predetermined process on the glass substrate. The present invention also relates to a method of controlling such a substrate transfer system.
従来、液晶表示装置用のガラス基板に対して所定の処理を行う処理装置にガラス基板を供給するための基板供給装置が知られている(たとえば、特許文献1参照)。特許文献1に記載の基板供給装置は、第1ユニットと第2ユニットと搬送ユニットとから構成されている。第1ユニットおよび第2ユニットは、ワイヤーカセットが載置される載置部と、載置部を昇降させる昇降機構と、ガラス基板を搬送するローラコンベヤとを備えている。搬送ユニットは、ローラコンベヤである。基板供給装置は、処理装置の上流側に配置されている。また、第1ユニットと第2ユニットと搬送ユニットとが上流側から下流側に向かってこの順番で配置されている。基板供給装置では、処理装置に搬入されるガラス基板は、最終的に搬送ユニットによって搬送される。 2. Description of the Related Art Conventionally, a substrate supply device for supplying a glass substrate to a processing device that performs a predetermined process on a glass substrate for a liquid crystal display device is known (for example, refer to Patent Document 1). The substrate supply device described in Patent Document 1 includes a first unit, a second unit, and a transport unit. The first unit and the second unit each include a mounting portion on which the wire cassette is mounted, an elevating mechanism for elevating the mounting portion, and a roller conveyor for conveying the glass substrate. The transport unit is a roller conveyor. The substrate supply device is arranged on the upstream side of the processing device. The first unit, the second unit, and the transport unit are arranged in this order from the upstream side to the downstream side. In the substrate supply device, the glass substrate carried into the processing device is finally transported by the transport unit.
特許文献1に記載の基板供給装置の場合、ワイヤーカセットから搬出されて処理装置に搬入されるガラス基板が、ローラコンベヤである搬送ユニットによって最終的に搬送されているため、ワイヤーカセットから搬出されるガラス基板を一定の位置にしか供給することができない。 In the case of the substrate supply device described in Patent Document 1, the glass substrate that is unloaded from the wire cassette and is loaded into the processing device is unloaded from the wire cassette because it is finally transported by the transport unit that is the roller conveyor. The glass substrate can be supplied only to a certain position.
そこで、本発明の課題は、ワイヤーカセットから搬出されるガラス基板を様々な位置に供給したり、ワイヤーカセットに搬入されるガラス基板を様々な位置から回収したりすることが可能な基板搬送システムを提供することにある。また、本発明の課題は、かかる基板搬送システムの制御方法を提供することにある。 Therefore, an object of the present invention is to provide a substrate transfer system capable of supplying glass substrates carried out from a wire cassette to various positions and collecting glass substrates carried into a wire cassette from various positions. To provide. Moreover, the subject of this invention is providing the control method of such a board|substrate conveyance system.
上記の課題を解決するため、本発明の基板搬送システムは、複数枚のガラス基板が収容可能なワイヤーカセットからのガラス基板の搬出またはワイヤーカセットへのガラス基板の搬入を行うための第1基板搬送装置と、ガラス基板が搭載されるハンドを有する基板搬送ロボットと、第1基板搬送装置と基板搬送ロボットとの間でガラス基板を搬送する第2基板搬送装置とを備え、第1基板搬送装置は、ワイヤーカセットが載置される載置部と、載置部を昇降させる載置部昇降機構と、ガラス基板の下面に接触してガラス基板を水平方向へ直線的に搬送する複数の第1の搬送ローラを有する第1の搬送コンベヤとを備え、基板搬送ロボットは、ハンドが連結されるアームと、基板搬送ロボットの下端部を構成する基台と、基台に対してハンドを水平方向へ直線的に移動させるハンド移動機構と、基台に対してアームを昇降させるアーム昇降機構と、上下方向を回動の軸方向として基台に対してアームを回動させる回動機構とを備え、第1の搬送コンベヤによるガラス基板の搬送方向を第1方向とし、上下方向と第1方向とに直交する方向を第2方向とすると、第2基板搬送装置は、ガラス基板を第1方向に搬送する第2の搬送コンベヤと、第2の搬送コンベヤを第2方向へ直線的に移動させるスライド機構とを備え、第1基板搬送装置と第2基板搬送装置と基板搬送ロボットとが第1方向においてこの順番で配置されていることを特徴とする。 In order to solve the above problems, the substrate transfer system of the present invention is a first substrate transfer for carrying out a glass substrate from a wire cassette capable of accommodating a plurality of glass substrates or carrying a glass substrate into the wire cassette. An apparatus, a substrate transfer robot having a hand on which a glass substrate is mounted, and a second substrate transfer device for transferring a glass substrate between the first substrate transfer device and the substrate transfer robot. A mounting part on which the wire cassette is mounted, a mounting part elevating mechanism for elevating the mounting part, and a plurality of first linear parts that contact the lower surface of the glass substrate and linearly convey the glass substrate in the horizontal direction. The substrate transfer robot includes a first transfer conveyor having a transfer roller, an arm to which the hand is connected, a base that forms the lower end of the substrate transfer robot, and the hand that is straight in a horizontal direction with respect to the base. A hand moving mechanism for moving the arm with respect to the base, an arm elevating mechanism for elevating and lowering the arm with respect to the base, and a rotating mechanism for rotating the arm with respect to the base with the up-down direction as the axis of rotation. When the transport direction of the glass substrate by the first transport conveyor is the first direction and the direction orthogonal to the vertical direction and the first direction is the second direction, the second substrate transport device transports the glass substrate in the first direction. A second transfer conveyor and a slide mechanism for linearly moving the second transfer conveyor in the second direction are provided, and the first substrate transfer device, the second substrate transfer device, and the substrate transfer robot move in the first direction. It is characterized by being arranged in order.
本発明の基板搬送システムでは、第1基板搬送装置と第2基板搬送装置と基板搬送ロボットとが第1方向においてこの順番で配置されている。また、本発明では、基板搬送ロボットは、ガラス基板が搭載されるハンドと、ハンドが連結されるアームと、ハンドを水平方向へ直線的に移動させるハンド移動機構と、アームを昇降させるアーム昇降機構と、上下方向を回動の軸方向としてアームを回動させる回動機構とを備えている。 In the substrate transfer system of the present invention, the first substrate transfer device, the second substrate transfer device, and the substrate transfer robot are arranged in this order in the first direction. Further, according to the present invention, the substrate transfer robot includes a hand on which a glass substrate is mounted, an arm to which the hand is connected, a hand moving mechanism for linearly moving the hand in a horizontal direction, and an arm lifting mechanism for lifting the arm. And a rotating mechanism for rotating the arm with the vertical direction as the axis of rotation.
そのため、本発明では、第1基板搬送装置の載置部に載置されたワイヤーカセットから搬出されて第2基板搬送装置によって搬送されたガラス基板を基板搬送ロボットによって様々な位置に供給したり、基板搬送ロボットによって様々な位置から回収されて第2基板搬送装置に搬送されたガラス基板を、第1基板搬送装置の載置部に載置されたワイヤーカセットに搬入したりすることが可能になる。すなわち、本発明では、ワイヤーカセットから搬出されるガラス基板を様々な位置に供給したり、ワイヤーカセットに搬入されるガラス基板を様々な位置から回収したりすることが可能になる。 Therefore, in the present invention, the glass substrate carried out from the wire cassette placed on the placing part of the first substrate transport device and transported by the second substrate transport device is supplied to various positions by the substrate transport robot, The glass substrate collected from various positions by the substrate transfer robot and transferred to the second substrate transfer device can be carried into the wire cassette mounted on the mounting portion of the first substrate transfer device. .. That is, according to the present invention, it is possible to supply the glass substrates carried out from the wire cassette to various positions and to collect the glass substrates carried into the wire cassette from various positions.
本発明において、基板搬送システムは、たとえば、第2方向に配列される複数の第1基板搬送装置を備えている。 In the present invention, the substrate transfer system includes, for example, a plurality of first substrate transfer devices arranged in the second direction.
本発明において、第2の搬送コンベヤは、ガラス基板の下面に接触してガラス基板を第1方向に搬送する複数の第2の搬送ローラを有するローラコンベヤであり、第2基板搬送装置は、複数の第2の搬送ローラに接触するガラス基板を持ち上げて第2の搬送ローラから浮かせる基板持上げ機構を備えることが好ましい。このように構成すると、基板搬送ロボットのハンドと第2の搬送コンベヤとの間でガラス基板を受け渡すときの基板搬送ロボットのハンドと第2の搬送ローラとの干渉を比較的容易に防止することが可能になる。 In the present invention, the second transfer conveyor is a roller conveyor having a plurality of second transfer rollers that contact the lower surface of the glass substrate and transfer the glass substrate in the first direction. It is preferable to provide a substrate lifting mechanism that lifts the glass substrate that comes into contact with the second transport roller and floats the glass substrate from the second transport roller. With this configuration, it is possible to relatively easily prevent the interference between the hand of the substrate transfer robot and the second transfer roller when the glass substrate is transferred between the hand of the substrate transfer robot and the second transfer conveyor. Will be possible.
本発明において、たとえば、アームは、互いに回動可能に連結される複数のアーム部によって構成され、ハンド移動機構は、ハンドが一定方向を向いた状態で直線的に移動するようにアームを伸縮させるアーム駆動機構である。 In the present invention, for example, the arm is composed of a plurality of arm portions that are rotatably connected to each other, and the hand moving mechanism expands and contracts the arm so that the hand moves linearly in a state in which the hand faces a certain direction. It is an arm drive mechanism.
本発明において、第2基板搬送装置は、ワイヤーカセットから搬出されて第2の搬送コンベヤに載置されたガラス基板の第1方向の位置、第2方向の位置および第1方向に対する傾きを検知するための検知機構を備えることが好ましい。このように構成すると、たとえば、基板搬送ロボットのハンドに検知機構が取り付けられていて、第2の搬送コンベヤに載置されたガラス基板の第1方向の位置、第2方向の位置および第1方向に対する傾きを、基板搬送ロボットを動作させながら検知する場合と比較して、第2の搬送コンベヤに載置されたガラス基板の第1方向の位置、第2方向の位置および第1方向に対する傾きを短時間で検知することが可能になる。 In the present invention, the second substrate transfer device detects the position in the first direction, the position in the second direction, and the inclination with respect to the first direction of the glass substrate that has been unloaded from the wire cassette and placed on the second transfer conveyor. It is preferable to provide a detection mechanism for According to this structure, for example, the detection mechanism is attached to the hand of the substrate transfer robot, and the position of the glass substrate placed on the second transfer conveyor in the first direction, the position in the second direction, and the first direction. In comparison with the case where the substrate transfer robot is operated to detect the tilt, the position of the glass substrate mounted on the second transfer conveyor in the first direction, the position in the second direction, and the tilt with respect to the first direction are compared. It becomes possible to detect in a short time.
本発明において、基板搬送システムは、基板搬送システムを制御する制御部を備え、制御部は、検知機構の検知結果に基づいて、第2の搬送コンベヤに載置されたガラス基板をハンドに搭載する際の第2の搬送コンベヤの第2方向の位置をスライド機構によって補正し、第2の搬送コンベヤに載置されたガラス基板をハンドに搭載する際のハンドの第1方向の位置をハンド移動機構によって補正するとともに、第2の搬送コンベヤに載置されたガラス基板をハンドに搭載する際のハンドの第1方向に対する傾きを回動機構によって補正することが好ましい。 In the present invention, the substrate transfer system includes a control unit for controlling the substrate transfer system, and the control unit mounts the glass substrate placed on the second transfer conveyor on the hand based on the detection result of the detection mechanism. The position of the second transfer conveyor in the second direction is corrected by the slide mechanism, and the position of the hand in the first direction when the glass substrate placed on the second transfer conveyor is mounted on the hand is the hand moving mechanism. It is preferable that the rotation mechanism corrects the inclination of the hand with respect to the first direction when the glass substrate placed on the second conveyor is mounted on the hand.
このように構成すると、第2の搬送コンベヤからハンドに搭載されるガラス基板の搭載位置を補正するために、第2の搬送コンベヤに載置されたガラス基板に接触してガラス基板の位置を補正する接触式のアライメント機構を第2基板搬送装置が備えていなくても、第2の搬送コンベヤからハンドに搭載されるガラス基板の搭載位置を非接触で補正することが可能になる。したがって、第2基板搬送装置の構成を簡素化することが可能になるとともに、第2の搬送コンベヤからハンドに搭載されるガラス基板の搭載位置を補正する際の、ガラス基板の損傷を防止することが可能になる。また、接触式のアライメント機構によってガラス基板の位置を補正する場合と比較して、ハンドに搭載されるガラス基板の搭載位置を短時間で補正することが可能になる。また、このように構成すると、アームを第2方向へ直線的に移動させるスライド機構を基板搬送ロボットが備えていなくても、第2の搬送コンベヤに載置されたガラス基板をハンドに搭載する際の、ハンドに対するガラス基板の第2方向の相対的な位置を補正することが可能になる。 With this configuration, in order to correct the mounting position of the glass substrate mounted on the hand from the second transfer conveyor, the position of the glass substrate is corrected by contacting the glass substrate mounted on the second transfer conveyor. Even if the second substrate transfer device is not provided with such a contact type alignment mechanism, the mounting position of the glass substrate mounted on the hand from the second transfer conveyor can be corrected in a non-contact manner. Therefore, it is possible to simplify the configuration of the second substrate transfer device and prevent damage to the glass substrate when correcting the mounting position of the glass substrate mounted on the hand from the second transfer conveyor. Will be possible. Further, as compared with the case where the position of the glass substrate is corrected by the contact type alignment mechanism, the mounting position of the glass substrate mounted on the hand can be corrected in a short time. Further, with this configuration, even when the substrate transfer robot does not have a slide mechanism that linearly moves the arm in the second direction, when the glass substrate placed on the second transfer conveyor is mounted on the hand. It is possible to correct the relative position of the glass substrate in the second direction with respect to the hand.
本発明の基板搬送システムは、たとえば、以下の制御方法で制御される。すなわち、本発明では、たとえば、検知機構の検知結果に基づいて、第2の搬送コンベヤに載置されたガラス基板をハンドに搭載する際の第2の搬送コンベヤの第2方向の位置をスライド機構で補正し、第2の搬送コンベヤに載置されたガラス基板をハンドに搭載する際のハンドの第1方向の位置をハンド移動機構で補正するとともに、第2の搬送コンベヤに載置されたガラス基板をハンドに搭載する際のハンドの第1方向に対する傾きを回動機構によって補正する。 The substrate transfer system of the present invention is controlled by the following control method, for example. That is, in the present invention, for example, based on the detection result of the detection mechanism, the position of the second transfer conveyor in the second direction when the glass substrate placed on the second transfer conveyor is mounted on the hand is moved by the slide mechanism. The position of the glass substrate placed on the second transport conveyor is corrected by the hand moving mechanism and the glass placed on the second transport conveyor is corrected. A tilting mechanism corrects an inclination of the hand with respect to the first direction when the substrate is mounted on the hand.
この場合には、第2の搬送コンベヤに載置されたガラス基板に接触してガラス基板の位置を補正する接触式のアライメント機構を第2基板搬送装置が備えていなくても、第2の搬送コンベヤからハンドに搭載されるガラス基板の搭載位置を非接触で補正することが可能になるため、第2基板搬送装置の構成を簡素化することが可能になるとともに、第2の搬送コンベヤからハンドに搭載されるガラス基板の搭載位置を補正する際の、ガラス基板の損傷を防止することが可能になる。また、接触式のアライメント機構によってガラス基板の位置を補正する場合と比較して、ハンドに搭載されるガラス基板の搭載位置を短時間で補正することが可能になる。また、この場合には、アームを第2方向へ直線的に移動させるスライド機構を基板搬送ロボットが備えていなくても、第2の搬送コンベヤに載置されたガラス基板をハンドに搭載する際の、ハンドに対するガラス基板の第2方向の相対的な位置を補正することが可能になる。 In this case, even if the second substrate transport device does not include a contact type alignment mechanism that contacts the glass substrate placed on the second transport conveyor to correct the position of the glass substrate, Since the mounting position of the glass substrate mounted on the hand from the conveyor can be corrected in a non-contact manner, the configuration of the second substrate transfer device can be simplified, and at the same time, the second transfer conveyor can transfer the hand to the hand. It is possible to prevent damage to the glass substrate when correcting the mounting position of the glass substrate mounted on the glass substrate. Further, as compared with the case where the position of the glass substrate is corrected by the contact type alignment mechanism, the mounting position of the glass substrate mounted on the hand can be corrected in a short time. Further, in this case, even when the substrate transfer robot is not provided with the slide mechanism for linearly moving the arm in the second direction, when the glass substrate mounted on the second transfer conveyor is mounted on the hand. , It is possible to correct the relative position of the glass substrate in the second direction with respect to the hand.
以上のように、本発明では、ワイヤーカセットから搬出されるガラス基板を様々な位置に供給したり、ワイヤーカセットに搬入されるガラス基板を様々な位置から回収したりすることが可能になる。 As described above, according to the present invention, it is possible to supply the glass substrates carried out from the wire cassette to various positions and to collect the glass substrates carried into the wire cassette from various positions.
以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
(基板搬送システムの全体構成および基板搬出装置の構成)
図1は、本発明の実施の形態にかかる基板搬送システム1の平面図である。図2は、図1に示す基板搬出装置4の正面図である。図3は、図1に示す基板搬出装置4の概略側面図である。
(Overall configuration of substrate transfer system and configuration of substrate unloading device)
FIG. 1 is a plan view of a substrate transfer system 1 according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a front view of the
本形態の基板搬送システム1は、液晶表示装置用のガラス基板2に対して所定の処理を行う処理装置(図示省略)にガラス基板2を供給するためのシステムである。基板搬送システム1は、複数枚のガラス基板2が収容可能なワイヤーカセット3からガラス基板2を搬出するための複数の基板搬出装置4と、処理装置にガラス基板2を供給する基板搬送ロボット5(以下、「ロボット5」とする。)と、基板搬出装置4とロボット5との間でガラス基板2を搬送する基板搬送装置6とを備えている。本形態では、基板搬送システム1は、4個の基板搬出装置4を備えている。本形態の基板搬出装置4は、第1基板搬送装置であり、基板搬送装置6は、第2基板搬送装置である。
The substrate transfer system 1 of the present embodiment is a system for supplying the
基板搬出装置4は、ワイヤーカセット3が載置される載置部8と、載置部8を昇降させる載置部昇降機構としての昇降機構9と、ガラス基板2を水平方向へ直線的に搬送する第1の搬送コンベヤとしての搬送コンベヤ10とを備えている。以下の説明では、搬送コンベヤ10によるガラス基板2の搬送方向(図1等のX方向)を「前後方向」とし、上下方向と前後方向とに直交する図1等のY方向を「左右方向」とする。また、前後方向の一方側である図1等のX1方向側を「前」側とし、その反対側である図1等のX2方向側を「後ろ」側とする。本形態の前後方向は、第1方向であり、左右方向は、第2方向である。
The
4個の基板搬出装置4は、左右方向で隣り合うように配置されている。すなわち、4個の基板搬出装置4は、左右方向に配列されている。また、基板搬出装置4と基板搬送装置6とロボット5とは、後ろ側から前側に向かってこの順番で配置されている。すなわち、基板搬出装置4と基板搬送装置6とロボット5とは、前後方向においてこの順番で配置されている。ガラス基板2は、長方形の平板状に形成されている。基板搬出装置4および基板搬送装置6では、長方形状に形成されるガラス基板2の長辺方向と前後方向とが略一致している。
The four
ワイヤーカセット3は、カセットフレーム11と、カセットフレーム11の内部に配置される複数本のワイヤー12とから構成されている。ワイヤーカセット3の外形(すなわち、カセットフレーム11の外形)は、直方体状となっている。ワイヤー12は、左右方向に張った状態でカセットフレーム11に固定されている。また、複数本のワイヤー12は、上下方向および前後方向において一定の間隔をあけた状態でカセットフレーム11に固定されている。ワイヤーカセット3に収容されるガラス基板2は、ワイヤー12に載置されており、ワイヤーカセット3には、複数枚のガラス基板2が上下方向に一定の間隔をあけた状態で収容可能となっている。
The
載置部8は、ワイヤーカセット3の下面の、左右方向の両端側を支持している。また、載置部8は、左右方向の両端側のそれぞれにおいて、たとえば、ワイヤーカセット3の下面の前後方向の両端側、および、ワイヤーカセット3の下面の前後方向の中心位置の3箇所を支持している。昇降機構9は、モータと、モータの動力を載置部8に伝達する動力伝達機構とを備えている。動力伝達機構は、たとえば、モータの動力で回転するネジ軸と、ネジ軸に係合するナット部材とを有するボールねじである。ネジ軸は、ネジ軸の軸方向と上下方向とが一致するように配置されている。ナット部材は、載置部8に取り付けられている。
The mounting
搬送コンベヤ10は、ローラコンベヤである。搬送コンベヤ10は、ガラス基板2の下面に接触してガラス基板2を前後方向に搬送する複数の搬送ローラ13と、複数の搬送ローラ13を駆動するローラ駆動機構とを備えている。複数の搬送ローラ13は、フレーム14に回転可能に支持されている。また、複数の搬送ローラ13は、ワイヤーカセット3に収容されるガラス基板2を搬送可能な位置に配置されている。本形態の搬送ローラ13は、第1の搬送ローラである。
The
載置部8は、ワイヤーカセット3の下端が搬送ローラ13の上端よりも上側に配置される位置と、ワイヤーカセット3の最も上側に配置されるワイヤー12が搬送ローラ13の上端よりも下側に配置される位置との間で昇降可能となっている。ワイヤーカセット3に収容されるガラス基板2が搬出されるときには、ワイヤーカセット3の中で最も下側に配置されるガラス基板2の下面に搬送ローラ13が接触する位置まで載置部8が下降して、ワイヤーカセット3の中で最も下側に配置されるガラス基板2が搬送コンベヤ10によって搬出される。すなわち、ワイヤーカセット3の最下段に収容されているガラス基板2からワイヤーカセット3の最上段に収容されているガラス基板2に向かって順番にガラス基板2がワイヤーカセット3から1枚ずつ搬出される。
The mounting
また、ワイヤーカセット3に収容されるガラス基板2が搬出されるときには、一部の搬送ローラ13を除いた複数の搬送ローラ13がワイヤーカセット3の内部に入り込んでいる。複数の搬送ローラ13は、ワイヤーカセット3に収容されるガラス基板2を前側に向かって搬送する。フレーム14は、ワイヤーカセット3の内部に入り込んだ搬送ローラ13とワイヤー12とが干渉しないように、櫛歯状に配置されており、複数の搬送ローラ13は、前後方向においてワイヤー12を避けた位置に配置されている。
Further, when the
(基板搬送装置および基板搬送ロボットの構成および制御方法)
図4は、図1に示す基板搬送装置6の搬送コンベヤ17の平面図である。図5は、図1に示す基板搬送装置6の側面図である。図6は、図1に示すロボット5の側面図である。図7は、図1に示すロボット5および図4に示す搬送コンベヤ17の平面図である。図8は、図1に示すロボット5および基板搬送装置6の構成を説明するためのブロック図である。
(Structure and control method of substrate transfer device and substrate transfer robot)
FIG. 4 is a plan view of the
基板搬送装置6は、ガラス基板2を前後方向に搬送する第2の搬送コンベヤとしての搬送コンベヤ17と、搬送コンベヤ17を左右方向に移動可能に支持するベース部材18と、ベース部材18に対して搬送コンベヤ17を左右方向に直線的に移動させるスライド機構19とを備えている。
The
搬送コンベヤ17は、ローラコンベヤである。搬送コンベヤ17は、ガラス基板2の下面に接触してガラス基板2を前後方向に搬送する複数の搬送ローラ20と、複数の搬送ローラ20を駆動するローラ駆動機構とを備えている。搬送コンベヤ10の搬送ローラ13と搬送コンベヤ17の搬送ローラ20とは、同じ高さに配置されている。また、搬送コンベヤ10と搬送コンベヤ17とは、前後方向において、搬送コンベヤ10から搬送コンベヤ17へのガラス基板2の引渡しが可能となる位置に配置されている。本形態の搬送ローラ20は、第2の搬送ローラである。なお、図1、図7では、搬送ローラ20の図示を省略している。
The
また、基板搬送装置6は、複数の搬送ローラ20に接触するガラス基板2を持ち上げて複数の搬送ローラ20から浮かせる基板持上げ機構21と、ワイヤーカセット3から搬出されて搬送コンベヤ17に載置されたガラス基板2の前後方向の位置、左右方向の位置(具体的には、搬送コンベヤ17に対する左右方向の位置)および前後方向に対する傾きを検知するための検知機構22とを備えている。なお、図4では、検知機構22の図示を省略している。また、基板搬送装置6は、搬送コンベヤ17の上方に配置されるイオナイザーを備えていても良い。
In addition, the
スライド機構19は、モータ24と、モータ24の動力を伝達する動力伝達機構とを備えている。動力伝達機構は、たとえば、ベース部材18の左右の両端側にそれぞれに回転可能に取り付けられる駆動プーリおよび従動プーリと、駆動プーリと従動プーリとに架け渡されるベルトとを備えている。駆動プーリは、モータ24の動力で回転する。搬送コンベヤ17のフレームには、ベルトの一部分が固定されている。あるいは、動力伝達機構は、ベース部材18に固定されるラックと、ラックに噛み合うとともにモータ24の動力で回転するピニオンとを備えている。ピニオンは、搬送コンベヤ17のフレームに回転可能に取り付けられている。
The
スライド機構19は、4個の基板搬出装置4のうちの最も右側に配置される基板搬出装置4の搬送コンベヤ10と搬送コンベヤ17とが左右方向で一致する位置と、4個の基板搬出装置4のうちの最も左側に配置される基板搬出装置4の搬送コンベヤ10と搬送コンベヤ17とが左右方向で一致する位置との間で搬送コンベヤ17を移動させる。また、スライド機構19は、搬送コンベヤ17の左右方向の位置を検知するための検知機構25を備えている。スライド機構19は、基板搬送システム1を制御する制御部26に電気的に接続されている。具体的には、モータ24および検知機構25が制御部26に電気的に接続されている。制御部26は、検知機構25の検知結果に基づいてモータ24を制御する。
The
基板持上げ機構21は、ガラス基板2の下面に接触する複数の支持ピンと、複数の支持ピンの下端部が固定されるピン保持部材と、ピン保持部材を昇降させる昇降機構とを備えている。複数の支持ピンは、搬送ローラ20と干渉しない位置に配置されている。ピン保持部材は、支持ピンの上端が搬送ローラ20の上端よりも上側に配置される位置と、支持ピンの上端が搬送ローラ20の上端よりも下側に配置される位置の間で昇降可能となっている。
The
検知機構22は、ガラス基板2の左右方向の位置および前後方向に対する傾きを検知するための2個のセンサ28と、ガラス基板2の前後方向の位置を検知するためのセンサ29とを備えている。センサ28、29は、発光素子と受光素子とを有する光学式センサである。また、センサ28、29は、直線状に配列される複数の受光素子を備えるラインセンサである。センサ28、29は、制御部26に電気的に接続されている。
The
図7に示すように、2個のセンサ28は、搬送コンベヤ17の左右方向の一端部に取り付けられている。また、2個のセンサ28は、搬送コンベヤ17の前後方向の両端部に配置されている。ラインセンサであるセンサ28は、センサ28の長手方向(受光素子の配列方向)と左右方向とが一致するように配置されている。センサ29は、搬送コンベヤ17の前端部に取り付けられている。ラインセンサであるセンサ29は、センサ29の長手方向と前後方向とが一致するように配置されている。
As shown in FIG. 7, the two
本形態では、2個のセンサ28によるガラス基板2の左右方向の一端面の検知結果に基づいて、搬送コンベヤ17に載置されたガラス基板2の左右方向の位置と、搬送コンベヤ17に載置されたガラス基板2の前後方向に対する傾きが検知される、また、センサ29によるガラス基板2の前端面の検知結果に基づいて、搬送コンベヤ17に載置されたガラス基板2の前後方向の位置が検知される。
In the present embodiment, based on the detection result of the one end surface of the
ロボット5は、前後方向において、搬送コンベヤ17に載置されたガラス基板2の受取りが可能となる位置に配置されている。ロボット5は、水平多関節型のロボットである。ロボット5は、ガラス基板2が搭載されるハンド33を備えている。本形態のロボット5は、2個のハンド33を備えている。また、ロボット5は、2個のハンド33のそれぞれが連結される2本のアーム34と、2本のアーム34を支持する本体部35と、ロボット5の下端部を構成するとともに本体部35を支持する基台36とを備えている。ハンド33は、アーム34の先端側に回動可能に連結されている。アーム34の基端側は、本体部35に回動可能に連結されている。本体部35は、基台36に回動可能に連結されている。
The
アーム34は、互いに回動可能に連結されるアーム部38およびアーム部39の2個のアーム部によって構成されており、本体部35に対して伸縮する。アーム部38の基端側は、本体部35に回動可能に連結されている。アーム部39の基端側は、アーム部38の先端側に回動可能に連結されている。アーム部39の先端側には、ハンド33が回動可能に連結されている。
The
本体部35は、2本のアーム34のそれぞれの基端側を支持する2個の支持部材40と、2個の支持部材40が固定されるとともに昇降可能な昇降部材41と、昇降部材41を昇降可能に保持する柱状部材42と、柱状部材42の下端側を支持するとともに基台36に回動可能に連結される旋回部材43とを備えている。アーム34の基端側は、支持部材40の先端側に回動可能に連結されている。支持部材40の基端側は、昇降部材41に固定されている。柱状部材42は、旋回部材43に固定される第1柱部44と、昇降部材41を昇降可能に保持する第2柱部45との2個の柱部によって構成されている。第2柱部45は、第1柱部44に昇降可能に保持されている。なお、柱状部材42は、1個の柱部によって構成されていても良い。
The
ロボット5では、基台36に対して旋回部材43が上下方向を回動の軸方向として回動する。すなわち、ハンド33、アーム34および本体部35は、上下方向を回動の軸方向として基台36に対して回動する。また、第1柱部44に対して第2柱部45が昇降し、第2柱部45に対して昇降部材41がハンド33およびアーム34等と一緒に昇降する。すなわち、ハンド33およびアーム34は、基台36、旋回部材43および第1柱部44に対して昇降する。さらに、アーム34は、本体部35および基台36に対して伸縮する。具体的には、ハンド33が一定方向を向いた状態で水平方向へ直線的に動くようにアーム34が本体部35および基台36に対して伸縮する。これらの動作の組合せによって、ロボット5は、ガラス基板2を搬送する。
In the
ロボット5は、ハンド33が一定方向を向いた状態で直線的に移動するようにアーム34を伸縮させるアーム駆動機構47を備えている。また、ロボット5は、第1柱部44に対して第2柱部45を昇降させるとともに第2柱部45に対して昇降部材41を昇降させるアーム昇降機構48と、上下方向を回動の軸方向として基台36に対して旋回部材43を回動させる回動機構49とを備えている。すなわち、ロボット5は、基台36に対してアーム34を昇降させるアーム昇降機構48と、上下方向を回動の軸方向として基台36に対してアーム34を回動させる回動機構49とを備えている。本形態のアーム駆動機構47は、基台36に対してハンド33を直線的に移動させるハンド移動機構である。
The
アーム駆動機構47は、モータ50と、モータ50の動力を伝達する動力伝達機構とを備えている。動力伝達機構は、たとえば、プーリ、ベルトおよび減速機等を備えている。また、アーム駆動機構47は、アーム34の伸縮量を検知するための検知機構51を備えている。アーム駆動機構47は、制御部26に電気的に接続されている。具体的には、モータ50および検知機構51が制御部26に電気的に接続されている。制御部26は、検知機構51の検知結果に基づいてモータ50を制御する。
The
アーム昇降機構48は、モータ52と、モータ52の動力を伝達する動力伝達機構とを備えている。動力伝達機構は、たとえば、プーリ、ベルト、減速機およびボールねじ等を備えている。また、アーム昇降機構48は、アーム34の高さを検知するための検知機構53を備えている。アーム昇降機構48は、制御部26に電気的に接続されている。具体的には、モータ52および検知機構53が制御部26に電気的に接続されている。制御部26は、検知機構53の検知結果に基づいてモータ52を制御する。
The
回動機構49は、モータ54と、モータ54の動力を伝達する動力伝達機構とを備えている。動力伝達機構は、たとえば、プーリ、ベルトおよび減速機等を備えている。また、回動機構49は、基台36に対するアーム34の回転位置を検知するための検知機構55を備えている。回動機構49は、制御部26に電気的に接続されている。具体的には、モータ54および検知機構55が制御部26に電気的に接続されている。制御部26は、検知機構55の検知結果に基づいてモータ54を制御する。
The
基板搬出装置4から搬出されるガラス基板2が搬送コンベヤ17に載置されるときには、ガラス基板2を搬出する基板搬出装置4の搬送コンベヤ10と搬送コンベヤ17とが左右方向において同じ位置に配置された状態で、搬送コンベヤ10によって搬送されてワイヤーカセット3から搬出されたガラス基板2が搬送コンベヤ17に載置される。
When the
搬送コンベヤ17にガラス基板2が載置されると、搬送コンベヤ17に載置されたガラス基板2の前後方向の位置、左右方向の位置および前後方向に対する傾きが検知機構22によって検知される。ガラス基板2の前後方向の位置、左右方向の位置および前後方向に対する傾きが検知機構22によって検知されると、制御部26は、ロボット5と搬送コンベヤ17とが左右方向において一致する位置まで、スライド機構19によって搬送コンベヤ17を移動させる。
When the
なお、搬送コンベヤ17にガラス基板2が載置された後、ロボット5と搬送コンベヤ17とが左右方向において一致する位置まで搬送コンベヤ17を移動させてから、搬送コンベヤ17に載置されたガラス基板2の前後方向の位置、左右方向の位置および前後方向に対する傾きを検知機構22によって検知しても良い。また、搬送コンベヤ17にガラス基板2が載置された後、ロボット5と搬送コンベヤ17とが左右方向において一致する位置まで搬送コンベヤ17を移動させながら、搬送コンベヤ17に載置されたガラス基板2の前後方向の位置、左右方向の位置および前後方向に対する傾きを検知機構22によって検知しても良い。
After the
その後、基板持上げ機構21が複数の搬送ローラ20からガラス基板2を浮かせてから、ロボット5が、搬送コンベヤ17に載置されたガラス基板2をハンド33に搭載して処理装置まで搬送する。搬送コンベヤ17に載置されたガラス基板2をハンド33に搭載するときには、制御部26は、検知機構22の検知結果に基づいて、ガラス基板2をハンド33に搭載する際の搬送コンベヤ17の左右方向の位置をスライド機構19によって補正し、ガラス基板2をハンド33に搭載する際のハンド33の前後方向の位置をアーム駆動機構47によって補正するとともに、ガラス基板2をハンド33に搭載する際のハンド33の前後方向に対する傾きを回動機構49によって補正する。
After that, the
たとえば、図7に示すように、ガラス基板2が前後方向に対して傾いた状態で搬送コンベヤ17に載置されている場合には、制御部26は、ガラス基板2をハンド33に搭載する際のハンド33の前後方向に対する傾きを回動機構49によって補正した後、ガラス基板2をハンド33に搭載する際の搬送コンベヤ17の左右方向の位置をスライド機構19によって補正するとともに、ガラス基板2をハンド33に搭載する際のハンド33の前後方向の位置をアーム駆動機構47によって補正する。
For example, as shown in FIG. 7, when the
なお、制御部26には、ガラス基板2を搬送コンベヤ17の所定の基準位置に正しい向きで載置したときの検知機構22の検知結果が予め記憶されている。制御部26は、処理装置にガラス基板2を実際に供給するときの検知機構22の検知結果と、制御部26に予め記憶された検知機構22の検知結果とに基づいて、搬送コンベヤ17に載置されたガラス基板2をハンド33に搭載するときに、搬送コンベヤ17の左右方向の位置と、ハンド33の前後方向の位置と、ハンド33の前後方向に対する傾きとを補正する。
It should be noted that the
(本形態の主な効果)
以上説明したように、本形態では、基板搬出装置4と基板搬送装置6とロボット5とが前後方向においてこの順番で配置されている。また、本形態では、ロボット5は、ガラス基板2が搭載されるハンド33と、ハンド33が連結されるアーム34と、ハンド33を水平方向へ直線的に移動させるアーム駆動機構47と、アーム34を昇降させるアーム昇降機構48と、上下方向を回動の軸方向としてアーム34を回動させる回動機構49とを備えている。そのため、本形態では、ワイヤーカセット3から搬出されて基板搬送装置6によって搬送されたガラス基板2をロボット5によって様々な位置に供給することが可能になる。すなわち、本形態では、ワイヤーカセット3から搬出されるガラス基板2を様々な位置に供給することが可能になる。
(Main effects of this embodiment)
As described above, in the present embodiment, the substrate carry-out
本形態では、搬送コンベヤ17は、ガラス基板2を持ち上げて搬送ローラ20から浮かせる基板持上げ機構21を備えており、ロボット5は、基板持上げ機構21が搬送ローラ20からガラス基板2を浮かせた後に、搬送コンベヤ17に載置されたガラス基板2をハンド33に搭載している。そのため、本形態では、搬送コンベヤ17からロボット5にガラス基板2を引き渡すときのハンド33と搬送ローラ20との干渉を比較的容易に防止することが可能になる。
In the present embodiment, the
本形態では、基板搬送装置6は、ワイヤーカセット3から搬出されて搬送コンベヤ17に載置されたガラス基板2の前後方向の位置、左右方向の位置および前後方向に対する傾きを検知するための検知機構22を備えている。そのため、本形態では、たとえば、検知機構22と同様の機能を果たす検知機構がロボット5のハンド33に取り付けられていて、搬送コンベヤ17に載置されたガラス基板2の前後方向の位置、左右方向の位置および前後方向に対する傾きを、ロボット5を動作させながら検知する場合と比較して、搬送コンベヤ17に載置されたガラス基板2の前後方向の位置、左右方向の位置および前後方向に対する傾きを短時間で検知することが可能になる。
In the present embodiment, the
本形態では、制御部26は、検知機構22の検知結果に基づいて、搬送コンベヤ17に載置されたガラス基板2をハンド33に搭載する際の搬送コンベヤ17の左右方向の位置をスライド機構19によって補正し、ガラス基板2をハンド33に搭載する際のハンド33の前後方向の位置をアーム駆動機構47によって補正するとともに、ガラス基板2をハンド33に搭載する際のハンド33の前後方向に対する傾きを回動機構49によって補正している。
In the present embodiment, the
そのため、本形態では、搬送コンベヤ17からハンド33に搭載されるガラス基板2の搭載位置を補正するために、搬送コンベヤ17に載置されたガラス基板2に接触してガラス基板2の位置を補正する接触式のアライメント機構を基板搬送装置6が備えていなくても、搬送コンベヤ17からハンド33に搭載されるガラス基板2の搭載位置を非接触で補正することが可能になる。したがって、本形態では、基板搬送装置6の構成を簡素化することが可能になるとともに、搬送コンベヤ17からハンド33に搭載されるガラス基板2の搭載位置を補正する際の、ガラス基板2の損傷を防止することが可能になる。
Therefore, in this embodiment, in order to correct the mounting position of the
また、本形態では、接触式のアライメント機構によってガラス基板2の位置を補正する場合と比較して、ハンド33に搭載されるガラス基板2の搭載位置を短時間で補正することが可能になる。さらに、本形態では、アーム34を左右方向へ直線的に移動させるスライド機構をロボット5が備えていなくても、スライド機構19によって、搬送コンベヤ17に載置されたガラス基板2をハンド33に搭載する際の、ハンド33に対するガラス基板2の左右方向の相対的な位置を補正することが可能になる。
Further, in this embodiment, the mounting position of the
(他の実施の形態)
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。
(Other embodiments)
The above-described embodiment is an example of a preferred embodiment of the present invention, but the present invention is not limited to this, and various modifications can be made without departing from the scope of the present invention.
上述した形態において、基板搬送システム1は、処理装置からガラス基板2を回収するためのシステムであっても良い。この場合には、基板搬出装置4は、ワイヤーカセット3へガラス基板2を搬入するための基板搬入装置となる。また、この場合には、処理装置からロボット5によって回収されたガラス基板2は、基板搬送装置6によって基板搬入装置まで搬送された後、基板搬入装置のワイヤーカセット3に搬入される。この場合の基板搬入装置は、第1基板搬送装置である。
In the above-described embodiment, the substrate transfer system 1 may be a system for collecting the
この場合には、ロボット5によって様々な位置から回収されて基板搬送装置6に搬送されたガラス基板2を、基板搬入装置の載置部8に載置されたワイヤーカセット3に搬入することが可能になる。すなわち、ワイヤーカセット3に搬入されるガラス基板2を様々な位置から回収することが可能になる。
In this case, the
上述した形態において、左右方向に配列される基板搬出装置4の数は、2個または3個あるいは5個以上であっても良い。また、基板搬送システム1が備える基板搬出装置4の数は1個であっても良い。また、上述の特許文献1に記載されているように、基板搬出装置4の後ろ側に基板搬出装置4がもう1台設置されていても良い。また、上述した形態において、搬送コンベヤ17は、ベルトコンベヤ等のローラコンベヤ以外のコンベヤであっても良い。
In the above-described embodiment, the number of
上述した形態において、ロボット5は、ハンド33を水平方向にスライド可能に保持するアームを備えていても良い。この場合には、ロボット5は、アームに対してハンド33を水平方向に直線的に移動させるハンド移動機構を備えている。また、上述した形態において、ロボット5は、基台36を左右方向に移動させるスライド機構を備えていても良い。さらに、上述した形態において、基板搬送装置6は、搬送コンベヤ17を昇降させる昇降機構を備えていても良い。また、上述した形態において、ガラス基板2は、液晶表示装置以外の用途で使用されるガラス基板であっても良い。
In the above-described form, the
1 基板搬送システム
2 ガラス基板
3 ワイヤーカセット
4 基板搬出装置(第1基板搬送装置)
5 ロボット(基板搬送ロボット)
6 基板搬送装置(第2基板搬送装置)
8 載置部
9 昇降機構(載置部昇降機構)
10 搬送コンベヤ(第1の搬送コンベヤ)
13 搬送ローラ(第1の搬送ローラ)
17 搬送コンベヤ(第2の搬送コンベヤ)
19 スライド機構
20 搬送ローラ(第2の搬送ローラ)
21 基板持上げ機構
22 検知機構
26 制御部
33 ハンド
34 アーム
36 基台
38、39 アーム部
47 アーム駆動機構(ハンド移動機構)
48 アーム昇降機構
49 回動機構
X 第1方向
Y 第2方向
1
5 Robot (substrate transfer robot)
6 Substrate transfer device (second substrate transfer device)
8
10 Transport Conveyor (First Transport Conveyor)
13 Transport roller (first transport roller)
17 Transport Conveyor (Second Transport Conveyor)
19
21
48
Claims (7)
前記第1基板搬送装置は、前記ワイヤーカセットが載置される載置部と、前記載置部を昇降させる載置部昇降機構と、前記ガラス基板の下面に接触して前記ガラス基板を水平方向へ直線的に搬送する複数の第1の搬送ローラを有する第1の搬送コンベヤとを備え、
前記基板搬送ロボットは、前記ハンドが連結されるアームと、前記基板搬送ロボットの下端部を構成する基台と、前記基台に対して前記ハンドを水平方向へ直線的に移動させるハンド移動機構と、前記基台に対して前記アームを昇降させるアーム昇降機構と、上下方向を回動の軸方向として前記基台に対して前記アームを回動させる回動機構とを備え、
前記第1の搬送コンベヤによる前記ガラス基板の搬送方向を第1方向とし、上下方向と第1方向とに直交する方向を第2方向とすると、
前記第2基板搬送装置は、前記ガラス基板を第1方向に搬送する第2の搬送コンベヤと、前記第2の搬送コンベヤを第2方向へ直線的に移動させるスライド機構とを備え、
前記第1基板搬送装置と前記第2基板搬送装置と前記基板搬送ロボットとが第1方向においてこの順番で配置されていることを特徴とする基板搬送システム。 It has a first substrate transfer device for carrying out the glass substrate from a wire cassette capable of accommodating a plurality of glass substrates or carrying the glass substrate into the wire cassette, and a hand on which the glass substrate is mounted. A substrate transfer robot; and a second substrate transfer device for transferring the glass substrate between the first substrate transfer device and the substrate transfer robot,
The first substrate transfer device includes a mounting part on which the wire cassette is mounted, a mounting part elevating mechanism that elevates and lowers the mounting part, and a lower surface of the glass substrate that contacts the glass substrate in a horizontal direction. A first conveyor having a plurality of first conveyor rollers for linearly conveying to
The substrate transfer robot includes an arm to which the hand is connected, a base that constitutes a lower end portion of the substrate transfer robot, and a hand moving mechanism that linearly moves the hand horizontally with respect to the base. An arm elevating mechanism for elevating and lowering the arm with respect to the base, and a rotating mechanism for rotating the arm with respect to the base with the vertical direction as an axial direction of rotation,
Assuming that a transport direction of the glass substrate by the first transport conveyor is a first direction and a direction orthogonal to the vertical direction and the first direction is a second direction,
The second substrate transfer device includes a second transfer conveyor that transfers the glass substrate in a first direction, and a slide mechanism that linearly moves the second transfer conveyor in the second direction.
A substrate transfer system in which the first substrate transfer device, the second substrate transfer device, and the substrate transfer robot are arranged in this order in a first direction.
前記第2基板搬送装置は、複数の前記第2の搬送ローラに接触する前記ガラス基板を持ち上げて複数の前記第2の搬送ローラから浮かせる基板持上げ機構を備えることを特徴とする請求項1または2記載の基板搬送システム。 The second transfer conveyor is a roller conveyor having a plurality of second transfer rollers that contact the lower surface of the glass substrate and transfer the glass substrate in a first direction,
The said 2nd board|substrate conveyance apparatus is equipped with the board|substrate lifting mechanism which lifts the said glass substrate which contact|abuts a some said 2nd conveyance roller, and floats it from a plurality of said 2nd conveyance rollers. The substrate transfer system described.
前記ハンド移動機構は、前記ハンドが一定方向を向いた状態で直線的に移動するように前記アームを伸縮させるアーム駆動機構であることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の基板搬送システム。 The arm is composed of a plurality of arm portions rotatably connected to each other,
4. The substrate according to claim 1, wherein the hand moving mechanism is an arm driving mechanism that expands and contracts the arm so that the hand moves linearly in a certain direction. Transport system.
前記制御部は、前記検知機構の検知結果に基づいて、前記第2の搬送コンベヤに載置された前記ガラス基板を前記ハンドに搭載する際の前記第2の搬送コンベヤの第2方向の位置を前記スライド機構によって補正し、前記第2の搬送コンベヤに載置された前記ガラス基板を前記ハンドに搭載する際の前記ハンドの第1方向の位置を前記ハンド移動機構によって補正するとともに、前記第2の搬送コンベヤに載置された前記ガラス基板を前記ハンドに搭載する際の前記ハンドの第1方向に対する傾きを前記回動機構によって補正することを特徴とする請求項5記載の基板搬送システム。 A control unit for controlling the substrate transfer system,
The control unit determines the position of the second transport conveyor in the second direction when the glass substrate placed on the second transport conveyor is mounted on the hand, based on the detection result of the detection mechanism. The slide mechanism corrects the position of the hand in the first direction when the glass substrate placed on the second conveyer is mounted on the hand, and the second moving mechanism corrects the position of the hand in the first direction. 6. The substrate transfer system according to claim 5, wherein an inclination of the hand with respect to the first direction when the glass substrate mounted on the transfer conveyor is mounted on the hand is corrected by the rotating mechanism.
前記検知機構の検知結果に基づいて、前記第2の搬送コンベヤに載置された前記ガラス基板を前記ハンドに搭載する際の前記第2の搬送コンベヤの第2方向の位置を前記スライド機構で補正し、前記第2の搬送コンベヤに載置された前記ガラス基板を前記ハンドに搭載する際の前記ハンドの第1方向の位置を前記ハンド移動機構で補正するとともに、前記第2の搬送コンベヤに載置された前記ガラス基板を前記ハンドに搭載する際の前記ハンドの第1方向に対する傾きを前記回動機構によって補正することを特徴とする基板搬送システムの制御方法。 A method for controlling a substrate transfer system according to claim 5, wherein
Based on the detection result of the detection mechanism, the slide mechanism corrects the position in the second direction of the second transfer conveyor when the glass substrate placed on the second transfer conveyor is mounted on the hand. Then, the position in the first direction of the hand when the glass substrate placed on the second transport conveyor is mounted on the hand is corrected by the hand moving mechanism, and the glass substrate is placed on the second transport conveyor. A method for controlling a substrate transfer system, wherein the tilt of the hand with respect to the first direction when the placed glass substrate is mounted on the hand is corrected by the rotating mechanism.
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