JP2020123678A - ボンディングワイヤ - Google Patents
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Description
アルミニウムのボンディングワイヤは、銅に比べて低い硬さと低い耐力を有するため、半導体その他の構成部品への過大な応力が発生しにくく、取り扱いが容易という利点がある。
具体的なアルミニウムの被膜形成の手法としては、銅インゴットにアルミニウム層を電解メッキで形成して、その後に伸線するという方法の提案がなされている(特許文献2参照)
ところで、アルミニウムは、大電流が流れた時の発熱により組織中の結晶粒が成長して、強度が低下して、亀裂進展による破断などのリスクが大きくなるという懸念がある。
本発明者等の検討によれば、加熱による結晶粒の成長は、塑性加工した組織を有するアルミニウムに対して特に促進される。従い、銅をアルミニウム層で被覆して伸線加工したボンディングワイヤでも同様の課題があり、信頼性を高めるための新しい構成が必要である。
本発明者等は、アルミニウムの結晶粒粗大化という課題に着目し、種々の検討を行った。その結果、析出形態を維持した電解アルミニウムは、一般のアルミニウムボンディングワイヤに対して、結晶粒の粗大化を抑制できることを知見した。
本発明者等は、これらの知見に基づき、体積抵抗率の低い銅製のワイヤを芯材として、この芯材部の表面に析出形態を維持した電解アルミニウム層部を形成することで、本発明の構成に至ったものである。
まず、芯材となる銅ワイヤを準備する。銅ワイヤは用途・目的に応じて無酸素銅や銅合金など、種々の組成、サイズのものを用いることができる。銅ワイヤはφ0.1〜0.5mm程度のものが一般的であり、これを利用することができる。
銅ワイヤの表面は、電解析出のしやすさや密着性などの特性改善のため、洗浄などの処理を施してもよい。
銅ワイヤでなる芯材部の表面に電解アルミニウム層部を電気めっきで形成させる。ただし、電解アルミニウム層部を電気めっきで形成させる場合は、イオン化傾向に依存して、水系溶媒でなるメッキ液を適用できない。
そのため用いるメッキ液としては、ジメチルスルホンやトルエンなどの溶媒にアルミニウム塩を溶解させた溶液系のメッキ液、イミダゾリウム塩等とアルミニウム塩からなるイオン液体系のメッキ液、塩化カリウムや塩化ナトリウムとアルミニウム塩を高温で溶融させた溶融塩系のメッキ液が適用できる。
銅ワイヤをカソードに用い、アルミニウムをアノードに用いて、両電極間に直流電流を流すことで、電解アルミニウム層部を形成できる。このとき、製膜厚さや速度に応じて電流密度を調整すればよい。例えば、電流密度を一般的に80〜600mA/cm2程度とすることができる。また、メッキ液の劣化を抑えるため、アノードは、純度97mass%以上のアルミニウムを適用することが望ましい。
また、得られたボンディングワイヤの成分分析を行った。測定はSEMに備え付けられたEDX(エネルギー分散型X線分析装置、JED−2300 SD30、日本電子社製)を用いた。測定条件は、加速電圧5kV、作動距離10mm、スキャン数50、測定領域10μm×100μmの条件とし、電解アルミニウム層部2の中央部において組成分析を行った。その結果、S=0.1mass%、Cl=0.1mass%(残部=Al)が検出された。
2 電解アルミニウム層部
3 アルミニウムワイヤ断面
Claims (1)
- 銅ワイヤでなる芯材部と、該芯材部の表面に析出形態を維持した電解アルミニウム層部と、を有することを特徴とするボンディングワイヤ。
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