JP2020123602A - 熱処理装置 - Google Patents
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Abstract
Description
まず、本発明に係る熱処理装置の全体構成について説明する。図1は、本発明に係る熱処理装置100を示す平面図であり、図2はその正面図である。熱処理装置100は基板として円板形状の半導体ウェハーWにフラッシュ光を照射してその半導体ウェハーWを加熱するフラッシュランプアニール装置である。処理対象となる半導体ウェハーWのサイズは特に限定されるものではないが、例えばφ300mmやφ450mmである。なお、図1および以降の各図においては、理解容易のため、必要に応じて各部の寸法や数を誇張または簡略化して描いている。また、図1〜図3の各図においては、それらの方向関係を明確にするためZ軸方向を鉛直方向とし、XY平面を水平面とするXYZ直交座標系を付している。
次に、本発明の第2実施形態について説明する。第2実施形態の熱処理装置1の構成および半導体ウェハーWの処理手順は第1実施形態と同様である。第1実施形態では熱処理装置100のメンテナンス時に処理チャンバー6を開放する前に処理チャンバー6内の残留アンモニアの検知を行っていたが、第2実施形態においては半導体ウェハーWの処理中に搬送チャンバー170内の雰囲気に含まれるアンモニアの検知を行う。
次に、本発明の第3実施形態について説明する。第3実施形態の熱処理装置1の構成および半導体ウェハーWの処理手順は第1実施形態と同様である。第3実施形態においては、人工知能(AI)を用いてアンモニアの危険性を判断している。
以上、本発明の実施の形態について説明したが、この発明はその趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。例えば、第1実施形態においては、ガス排気管191に設けられた排気ガス検知器192によって処理チャンバー6内の残留アンモニアを検知するようにしていたが、これに代えて酸素濃度計251によって処理チャンバー6内の残留アンモニアを検知するようにしても良い。既述したように、本来酸素濃度を測定するためのジルコニア式の酸素濃度計251であってもアンモニアの有無を高感度で検知することは可能である。熱処理装置100のメンテナンス時に処理チャンバー6を開放する前に、バルブ252を開いて処理チャンバー6内の雰囲気を酸素濃度計251に取り込み、処理チャンバー6内に残留するアンモニアを検知する。酸素濃度計251も処理チャンバー6内の雰囲気のみを検知対象としているため、処理チャンバー6内の雰囲気に含まれる残留アンモニアを直接検知することができる。従って、第1実施形態と同様に、処理チャンバー6内に残留する極微量のアンモニアを酸素濃度計251によって検知することができる。
4 ハロゲンランプハウス
5 フラッシュランプハウス
6 処理チャンバー
7 保持部
10 移載機構
31 判定部
32 発報部
33 入力部
34 表示部
35 磁気ディスク
36 スピーカー
65 熱処理空間
74 サセプタ
85 処理ガス供給源
100 熱処理装置
101 インデクサ部
120 受渡ロボット
130,140 冷却部
150 搬送ロボット
151a,151b 搬送ハンド
160 熱処理部
170 搬送チャンバー
175,251 酸素濃度計
190 排気部
192,281 排気ガス検知器
FL フラッシュランプ
HL ハロゲンランプ
W 半導体ウェハー
Claims (10)
- 基板に光を照射することによって該基板を加熱する熱処理装置であって、
基板を収容する処理チャンバーと、
前記処理チャンバー内に収容された基板に光を照射する光照射部と、
前記処理チャンバーに処理ガスを供給するガス供給部と、
前記処理チャンバー内の雰囲気を排出する排気部と、
前記処理チャンバー内の雰囲気中に含まれる前記処理ガスを直接検知する第1ガス検知部と、
を備えることを特徴とする熱処理装置。 - 請求項1記載の熱処理装置において、
前記第1ガス検知部は、前記処理チャンバーに設置されたジルコニア式酸素濃度計であることを特徴とする熱処理装置。 - 請求項1記載の熱処理装置において、
前記処理チャンバー内の雰囲気のみを前記排気部に導く排気経路をさらに備え、
前記第1ガス検知部は前記排気経路に設けられたガス検知器であることを特徴とする熱処理装置。 - 請求項1から請求項3のいずれかに記載の熱処理装置において、
前記熱処理装置のメンテナンス時に前記処理チャンバーを開放する前に前記第1ガス検知部が前記処理チャンバー内の雰囲気中に含まれる前記処理ガスを検知することを特徴とする熱処理装置。 - 請求項1から請求項4のいずれかに記載の熱処理装置において、
前記処理チャンバーに隣接して設けられ、前記処理チャンバーに基板を搬入出する搬送ロボットを収容する搬送チャンバーと、
前記搬送チャンバー内の雰囲気中に含まれる前記処理ガスを検知する第2ガス検知部と、
をさらに備えることを特徴とする熱処理装置。 - 請求項5記載の熱処理装置において、
前記第2ガス検知部は、ジルコニア式酸素濃度計であることを特徴とする熱処理装置。 - 請求項5または請求項6記載の熱処理装置において、
前記熱処理装置での処理時に前記第2ガス検知部が前記搬送チャンバー内の雰囲気中に含まれる前記処理ガスを検知することを特徴とする熱処理装置。 - 請求項5から請求項7のいずれかに記載の熱処理装置において、
前記第1ガス検知部および前記第2ガス検知部の検知情報並びに基板に対する処理条件に基づいて人工知能により前記熱処理装置での前記処理ガスの危険性を判断する判定部をさらに備えることを特徴とする熱処理装置。 - 請求項8記載の熱処理装置において、
前記処理ガスの危険性有りと判断されたときに、警告を発報する発報部をさらに備えることを特徴とする熱処理装置。 - 請求項1から請求項9のいずれかに記載の熱処理装置において、
前記処理ガスは、アンモニアまたは窒素酸化物であることを特徴とする熱処理装置。
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