JP2020121416A - 液体吐出ヘッド、液体吐出装置、液体吐出ヘッドの制御方法、及び、液体吐出装置の制御方法 - Google Patents

Abstract

【課題】液体貯留部材との間で液体を循環させる構成において、気泡の排出性を向上することが可能な液体吐出ヘッド、液体吐出装置、液体吐出ヘッドの制御方法、及び、液体吐出装置の制御方法を提供する。【解決手段】 ノズル（２６）と当該ノズルに連通する圧力室とを含む個別流路と、液体が供給される入口（２３，２５）と、液体が排出される出口（３１，３２）とを有し、複数の個別流路とそれぞれ接続され、個別流路へ液体を供給し、個別流路から液体を排出される共通液室（３４，３６）と、圧力室内の液体に圧力変化を生じさせる圧力発生素子と、を備え、共通液室へ供給した液体を、個別流路を介して出口から排出させる第１モードと、共通液室へ供給した液体を、個別流路を介さずに出口から排出させる第２モードと、を切替可能である。【選択図】図２

Description

本発明は、インクジェット式記録ヘッドなどの液体吐出ヘッド、これを備えた液体吐出装置に関し、特に、液体貯留部材との間で液体を循環させる液体吐出ヘッド、液体吐出装置、液体吐出ヘッドの制御方法、及び、液体吐出装置の制御方法に関する。

液体吐出装置は液体吐出ヘッドを備え、この液体吐出ヘッドから各種の液体を液滴として吐出（噴射）する装置である。この液体吐出装置としては、例えば、インクジェット式プリンターやインクジェット式プロッター等の画像記録装置があるが、最近ではごく少量の液体を所定位置に正確に着弾させることができるという特長を生かして各種の製造装置にも応用されている。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターを製造するディスプレイ製造装置，有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイやＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極を形成する電極形成装置，バイオチップ（生物化学素子）を製造するチップ製造装置に応用されている。そして、画像記録装置用の記録ヘッドでは色材を含む液体を吐出し、ディスプレイ製造装置用の色材吐出ヘッドではＲ（Red）・Ｇ（Green）・Ｂ（Blue）などの各色材を含む液体を吐出する。また、電極形成装置用の電極材吐出ヘッドでは電極材料を含む液体を吐出し、チップ製造装置用の生体有機物吐出ヘッドでは生体有機物を含む液体を吐出する。

上記の液体吐出ヘッドとしては、ノズルが複数並設されたノズル基板、各ノズルに個別に連通する圧力室（若しくは圧力発生室又はキャビティとも呼ばれる）が複数形成された基板、液体貯留部材からの液体が導入される各圧力室に共通な共通液室（若しくはリザーバー又はマニホールドとも呼ばれる）が形成された基板、圧力室内の液体に圧力振動、換言すると圧力変化を生じさせる圧電素子等の圧力発生素子（若しくは駆動素子又はアクチュエーターとも呼ばれる）を備えたものがある。また、各圧力室と各ノズルとの間に連通する循環流路が設けられ、液体貯留部との間で液体が循環される構成が採用されている液体吐出ヘッドもある（例えば、特許文献１参照）。この特許文献１の構成では、ノズル並設方向における一端部に設けられた導入路から共通液室内に導入されたインクは、ノズル毎に設けられたインク供給路、圧力発生室（換言すると、圧力室）等の個別流路を経て循環流路に流入し、当該循環流路におけるノズル並設方向における他端部に設けられた排出路から排出される。

特開２０１２−１４３９４８号公報

ところで、上記構成において、共通液室内に気泡が混入した場合、当該気泡は、流路断面積が他の部分よりも絞られている個別流路を通過しにくいため共通液室から排出することが困難であった。

本発明の液体吐出ヘッドは、上記目的を達成するために提案されたものであり、ノズルと当該ノズルに連通する圧力室とを含む個別流路と、
液体が供給される入口と、液体が排出される出口とを有し、複数の前記個別流路とそれぞれ接続され、前記個別流路へ液体を供給し、前記個別流路から液体を排出される共通液室と、
前記圧力室内の液体に圧力変化を生じさせる圧力発生素子と、
を備え、
前記共通液室へ供給した液体を、前記個別流路を介して前記出口から排出させる第１モードと、
前記共通液室へ供給した液体を、前記個別流路を介さずに前記出口から排出させる第２モードと、
を切替可能であることを特徴とする（第１の構成）。

本発明の液体吐出ヘッドによれば、第１モードと第２モードとの切り替えにより、共通液室内の液体の流れに変化を生じさせることができる。これにより、共通液室内における液体の滞留が抑制され、その結果、共通液室内に気泡が混入した場合においても当該共通液室から気泡を排出しやすくすることができる。

また、上記第１の構成において、前記共通液室の前記入口は、
前記第１モードにおいて液体が供給される第１入口と、
前記第２モードにおいて液体が供給される第２入口と、
を含む構成を採用することが望ましい（第２の構成）。

この構成によれば、第１モードの第１入口と第２モードの第２入口とがそれぞれ設けられているので、液体がより滞留しにくい。このため、気泡の排出性の向上に寄与する。

また、上記第２の構成において、複数の前記個別流路が並設された第１方向における前記共通液室の中心に対して、前記第２入口は、前記第１入口と比較してより遠い位置に配置された構成を採用することが望ましい（第３の構成）。

この構成によれば、第２入口が共通液室の第１方向における端部により近い位置にあるので、共通液室において第１方向に向かう流れを生じさせることができ、液体の滞留をより低減することができる。また、第１入口が共通液室の第１方向における中央により近い位置にあるので、第１モードにおいて各ノズルに対する液体の供給圧をより揃えることができる。

さらに、上記第２の構成又は第３の構成において、前記出口のうち前記第１モードにおいて液体が排出される第１出口が、前記第１入口との間に前記個別流路を挟んで設けられ、
複数の前記個別流路が並設された第１方向において、前記第１入口と前記第１出口との距離は、前記第１入口と前記第２入口との距離よりも近い構成を採用することが望ましい（第４の構成）。

この構成によれば、第１方向において第１入口と第１出口とがより近くに配置されているので、第１モードにおいて各ノズルに対する液体の供給圧をさらに揃えることができる。

また、上記第４の構成において、前記共通液室は、前記第１入口が設けられた第１共通液室と、当該第１共通液室との間に前記個別流路を挟んで配置され、前記第１出口が設けられた第２共通液室と、を有する構成を採用することができる（第５の構成）。

さらに、上記第１から第５の何れか一の構成において、前記第１モードにおいて、前記共通液室から排出した液体を前記共通液室へ供給する第１循環流路と、
前記第２モードにおいて、前記共通液室から排出した液体を前記共通液室へ供給する第２循環流路と、
を備える構成を採用することが望ましい（第６の構成）。

この構成によれば、何れのモードにおいても共通液室から排出した液体を当該共通液室に再度供給するので、液体の増粘や含有成分の沈降を抑制しつつ液体の消費を低減することができる。

さらに、上記第６の構成において、前記第２循環流路を流れる液体を温めるヒーターを備える構成を採用することが望ましい（第７の構成）。

この構成によれば、第２循環流路を流れる液体をヒーターにより温めることができるので、液体の粘度調整が可能となる。

上記第７の構成において、液体の２５℃における粘度が、２０〔ｍＰａ・ｓ〕以上、２００〔ｍＰａ・ｓ〕以下である構成を採用することができる（第８の構成）。

この構成によれば、２０〔ｍＰａ・ｓ〕以上、２００〔ｍＰａ・ｓ〕以下の比較的高粘度の液体をノズルからの吐出により適した粘度に調整することが可能となる。

また、本発明の液体吐出装置は、上記第６から第８の何れか一の構成の液体吐出ヘッドと、
前記第１循環流路に設けられ、前記ノズル内の液体の圧力よりも高い圧力の液体を貯留する第１貯留部材と、
前記第１循環流路に設けられ、前記ノズル内の液体の圧力よりも低い圧力の液体を貯留する第２貯留部材と、
前記第２循環流路を流れる液体を濾過するフィルターと、
を備えることを特徴とする（第９の構成）。

この構成によれば、第１モードで液体の増粘や液体の含有成分の沈降を抑制しつつノズルからの液体の吐出動作を実行することができ、また、共通液室内に気泡が混入した場合においても第２モードに切り替えることにより、当該気泡をフィルターに捕捉することが可能となり、気泡排出性が向上する。

上記第９の構成において、前記フィルターに捕捉された気泡を前記第１循環流路に流す接続流路を備える構成を採用することが望ましい（第１０の構成）。

この構成によれば、フィルターに捕捉した気泡を、第１循環流路を通じて除去することが可能となる。

また、上記第１０の構成において、前記第１循環流路において、前記接続流路との接続位置と前記第２貯留部材との間に、前記接続位置から前記第２貯留部材への液体の通過を許容する一方、前記第２貯留部材から前記接続位置への液体の通過を阻止する一方向弁を備える構成を採用することが望ましい（第１１の構成）。

この構成によれば、第２モードに切り替えられた際に、第２貯留部材側から第２循環流路に液体を引き込むことが抑制される。このため、共通液室内の液体を第２循環流路により流しやすくすることができるので、気泡排出性の向上に寄与する。

さらに、上記第９から第１１の何れか一の構成において、前記第２循環流路において液体を送液するポンプを備え、
前記第２循環流路における前記共通液室の液体の導出位置と前記ポンプとの間に前記フィルターが設けられた構成を採用することが望ましい（第１２の構成）。

この構成によれば、ポンプ駆動時の共通液室の液体の導出位置とポンプとの間における圧力は、ポンプと共通液室の液体の供給位置との間における圧力よりも低いので、気泡を捕捉するためのフィルターの通過抵抗を抑えることができる。これにより、ポンプの能力を低く設定することができる。その結果、ノズルにおける液体の耐圧の維持管理が容易となる。

本発明の液体吐出ヘッドの制御方法は、上記何れか一の構成の液体吐出ヘッドの制御方法であって、
前記共通液室へ供給した液体を、前記個別流路を介して前記出口から排出させる第１モードと、
前記共通液室へ供給した液体を、前記個別流路を介さずに前記出口から排出させる第２モードと、
を切り替えることを特徴とする（第１の制御方法）。

また、本発明の液体吐出装置の制御方法は、上記何れか一の構成の液体吐出装置の制御方法であって、
前記共通液室へ供給した液体を、前記個別流路を介して前記出口から排出させる第１モードと、
前記共通液室へ供給した液体を、前記個別流路を介さずに前記出口から排出させる第２モードと、
を切り替えることを特徴とする（第２の制御方法）。

上記制御方法によれば、第１モードと第２モードとの切り替えにより、共通液室内の液体の流れに変化を生じさせることができる。これにより、共通液室内における液体の滞留が抑制され、その結果、共通液室内に気泡が混入した場合においても当該共通液室から気泡を排出しやすくすることができる。

液体吐出装置における液体の循環経路の一形態の構成を説明する模式図である。 液体吐出ヘッドの一形態の構成を説明する分解斜視図である。 液体吐出ヘッドの一形態の構成を説明する分解斜視図である。 液体吐出ヘッドのＸ方向における断面図である。 流路基板を模式的に示した平面図である。 変形例における流路基板を模式的に示した平面図である。 第２実施形態における液体の循環経路の構成を説明する模式図である。 第３実施形態における液体の循環経路の構成を説明する模式図である。 第３実施形態における流路基板を模式的に示した平面図である。 第３の実施形態における循環経路の変形例について説明する模式図である。 第３の実施形態の変形例における流路基板を模式的に示した平面図である。 第４実施形態における液体の循環経路の構成を説明する模式図である。

以下、本発明を実施するための形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下の説明は、本発明の液体吐出装置として、液体吐出ヘッドの一種であるインクジェット式記録ヘッド（以下、記録ヘッド）２を搭載したインクジェット式記録装置（以下、プリンター）１を例に挙げて行う。

図１は、本実施形態に係るプリンター１の構成において主にインクの循環経路について説明する模式図である。本実施形態におけるプリンター１は、液体の一種であるインクの液滴を記録用紙等の媒体に吐出・着弾させて当該媒体に形成されるドットの配列により画像等の印刷を行うインクジェット方式の印刷装置である。以下においては、互いに直交するＸ方向、Ｙ方向、及びＺ方向のうち、後述する記録ヘッド２のノズル２６が並設された方向（換言するとノズル列方向）に直交する方向をＸ方向とし、当該ノズル列方向をＹ方向（本発明における第１方向に相当）とし、ＸＹ平面に直交する方向をＺ方向とする。

プリンター１は、記録ヘッド２と、メインタンク３（本発明における第１貯留部材の一種）と、サブタンク４（本発明における第２貯留部材の一種）と、メインポンプ５と、第１循環流路６と、第２循環流路７と、制御ユニット１ａと、を備える。なお、同図においては、インク一色（即ち、一種類）分の構成が図示されているが、複数種類のインクが用いられる構成では、インク毎に各構成（但し、制御ユニット１ａは各構成で共通）が設けられる。また、同図においては、２つの記録ヘッド２が図示されているが、記録ヘッド２の数は１つ又は３つ以上であっても良い。制御ユニット１ａは、例えばＣＰＵ（Central Processing Unit）やＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）等の処理回路と半導体メモリ等の記憶回路とを含み、プリンター１における各部、メインポンプ５、サブポンプ１１、及び記録ヘッド２等を統括制御する。メインタンク３は、記録ヘッド２から吐出されるインクを貯留する液体貯留部材であり、サブタンク４は、記録ヘッド２から排出されたインクを貯留する液体貯留部材であり、両者は帰還流路８によって相互に接続されている。なお、メインタンク３には、図示しない補充容器からインクが供給される。

第１循環流路６は、メインタンク３と各記録ヘッド２とを接続する導入流路９と、各記録ヘッド２とサブタンク４とを接続する導出流路１０と、上記帰還流路８と、を有し、送液機構として機能するメインポンプ５の駆動によりメインタンク３、記録ヘッド２、及びサブタンク４の間でインクを循環させる流路である。メインポンプ５は、例えばチューブポンプ等により構成され、本実施形態においては帰還流路８に設けられている。なお、帰還流路８に限られず、第１循環流路６における任意の位置にメインポンプ５を配置することができる。第１モードでは、メインポンプ５の駆動により第１循環流路６におけるインクの循環が行われる。なお、メインタンク３と各記録ヘッド２とを接続する導入流路９には、図示しないが、インクを濾過するフィルターや、各記録ヘッド２へのインクの供給圧を調節する機構等が設けられていても良い。また、第１循環流路６の循環をメインポンプ５で行わずに、メインタンク３やサブタンク４内の圧力制御により行ってもよい。

第２循環流路７は、各記録ヘッド２に個別に設けられており、記録ヘッド２毎にインクを循環させる流路である。第２モードでは、第２循環流路７にそれぞれ設けられたサブポンプ１１の駆動により当該第２循環流路７におけるインクの循環が行われる。そして、制御ユニット１ａは、第１モードでのインクの循環と、第２モードでのインクの循環とを切り替え制御を行うように構成されている。なお、第２循環流路７及びサブポンプ１１は、記録ヘッド２の構成の一部として各記録ヘッド２が有していても良いし、又は、プリンター１の構成として設けられていても良い。

本実施形態における記録ヘッド２は、メインタンク３が貯留するインク色ごとに対応して設けられ、メインタンク３から導入流路９を通じて供給されるインクを、制御ユニット１ａの制御下で複数のノズル２６から媒体に向けて吐出する。本実施形態における記録ヘッド２は、複数のノズル２６がＹ方向に沿って並設されてなるノズル列をそれぞれ備えている。

図２は、記録ヘッド２を斜め上方側から見た分解斜視図であり、図３は、記録ヘッド２を斜め下方側から見た分解斜視図である。また、図４は、記録ヘッド２のＸ方向における断面図であり、図５は、流路基板１２を模式的に示した平面図である。本実施形態における記録ヘッド２は、各種の流路が形成された流路基板１２と、圧力室１３が形成された圧力室基板１４と、圧電素子１５を保護する保護基板１６と、導入流路９に接続される第１入口２３が設けられた導入流路基板１７と、導出流路１０に接続される第１出口３１が設けられた導出流路基板１８と、を備える。なお、本実施形態において、導入流路基板１７と導出流路基板１８とは別体で構成されているが、これには限られず、一体に形成されてもよい。また、流路基板１２は、単一の基板からなる構成には限られず、複数の基板を積層して流路基板１２を構成することもできる。また、圧力室基板１４を設けずに、流路基板１２に圧力室１３を形成してもよい。

本実施形態における流路基板１２は、Ｚ方向からの平面視においてＸ方向よりもＹ方向に長尺な板材である。この流路基板１２の上面における短手方向、即ち、本実施形態においてはＸ方向の両縁部には、導入流路基板１７と導出流路基板１８とがそれぞれ取り付けられ、これらの導入流路基板１７と導出流路基板１８との間の領域に圧力室基板１４と保護基板１６とが積層状態で固定されている。また、流路基板１２の下面において、Ｘ方向の中央部にはノズル基板２０が接合されており、このノズル基板２０を間に挟んだ両側には第１コンプライアンス基板２１及び第２コンプライアンス基板２２が接合されている。

導入流路基板１７は、内部に導入液室２４を有する部材である。導入液室２４は、導入流路基板１７の下面に開口し、当該開口が流路基板１２で閉鎖されて、当該流路基板１２に形成された第１液室２７と連通する。この第１液室２７と導入液室２４とが一連に連通することで１つの第１共通液室３４（本発明における共通液室の一種）が区画されている。導入流路基板１７の上面において、Ｙ方向における中央部には、第１入口２３が開設されている。また、導入流路基板１７の上面において、Ｙ方向における一端部には、第２循環流路７と接続される第２入口２５が開設されており、Ｙ方向における他端部には、第２循環流路７と接続される第２出口３２が開設されている。つまり、Ｙ方向における第１共通液室３４の中心に対して、第２入口２５は、第１入口２３と比較してより遠い位置、換言すると、第１共通液室３４のＹ方向における端部により近い位置に配置されている。

第１モードにおいてメインポンプ５の駆動により、メインタンク３から第１循環流路６の導入流路９を通じて供給されてきたインクは、図２及び図４において白抜き矢印で示されるように第１入口２３を通じて第１共通液室３４に供給される。また、第２モードにおいて第１共通液室３４内のインクは、図２においてハッチングの矢印で示されるように、第２出口３２から第２循環流路７に送り出され、第２入口２５を通じて導入液室２４に再び供給される。このように、第１モードにおいてインクが供給される第１入口２３と、第２モードにおいてインクが供給される第２入口２５とが第１共通液室３４それぞれ設けられているので、第１モードと第２モードとでインクの流れを変えることができる。このため、第１共通液室３４内でインクがより滞留しにくい。つまり、第１共通液室３４内でインクが淀む部分を抑制することができる。その結果、第１共通液室３４内に気泡が滞留しにくくなり、気泡の排出性の向上に寄与する。また、第２入口２５が、第１入口２３と比較して第１共通液室３４のＹ方向における端部により近い位置にあるので、第１共通液室３４において第１方向における一端部から他端部に向かう流れを生じさせることができ、インクの滞留をより低減することができる。これにより、気泡の排出性をさらに向上させることができる。また、第１入口２３が第１共通液室３４の第１方向における中央により近い位置にあるので、各ノズル２６に対するインクの供給圧をより均一に揃えることができる。このため、各ノズル２６における吐出特性、即ち、吐出されるインク滴の量や飛翔速度等のばらつきを低減することが可能となる。

本実施形態における流路基板１２は、例えば、シリコン単結晶基板等から形成されており、上記導入流路基板１７が接合された側から、導入液室２４と連通する第１液室２７、第１個別連通路２８、ノズル連通路２９、第２個別連通路３０、及び、第２液室３３を有している。

第１液室２７は、ノズル２６の列設方向、換言するとＹ方向に沿って延在し、複数の圧力室１３に連通する液室である。換言すると、第１液室２７は、複数のノズル２６のインク供給に共用される液室である。流路基板１２の上面における第１液室２７の開口は、導入流路基板１７の導入液室２４と連通する。また、流路基板１２の下面における第１液室２７の開口は、当該下面に接合された後述する第１コンプライアンス基板２１により閉鎖されている。第１個別連通路２８は、圧力室基板１４に形成された複数の圧力室１３と第１液室２７（即ち、第１共通液室３４）とを個別に連通させる流路であり、各圧力室１３に対応させて複数設けられている。換言すると、第１個別連通路２８は、第１共通液室３４から各圧力室１３に連通する流路である。この第１個別連通路２８は、メインタンク３から圧力室１３に向かう流路における他の部分と比較して流路断面積が小さく設定されており、当該第１個別連通路２８を通過するインクに対して流路抵抗を付与する。

圧力室基板１４における圧力室１３は、Ｘ方向に長尺な液室であり、当該圧力室基板１４の下面に開口している。圧力室基板１４が流路基板１２の上面に接合されることで当該開口が塞がれて圧力室１３が画成されている。圧力室基板１４において、圧力室１３の上面側には、可撓性を有する振動板１９が設けられている。この振動板１９は、圧力発生素子として機能する圧電素子１５の駆動に応じて変位可能に薄板状に形成された部分である。そして、振動板１９上の各圧力室１３に対応する部分には、圧電素子１５がそれぞれ形成されている。各圧電素子１５は、圧力室１３に個別に対応して設けられており、制御ユニット１ａからの駆動信号を受けて変形する駆動素子である。この圧電素子１５の変形に伴って振動板１９が変形することにより圧力室１３の容積が増減し、これにより圧力室１３内のインクに圧力振動（換言すると、圧力変化）が生じる。記録ヘッド２では、この圧力振動を利用してノズル２６から液滴、即ち、インク滴を吐出させる。なお、圧力発生素子は上述の圧電素子１５に限られず、積層型の圧電素子や薄膜型の圧電素子からなる圧電アクチュエーターや、発熱抵抗体などの電気熱変換素子を用いるサーマルアクチュエーター、あるいは振動板と対向電極からなる静電アクチュエーターでもよい。

第１コンプライアンス基板２１は、各ノズル２６からインク滴を吐出させる際に各圧力室１３側から第１共通液室３４内に伝播する圧力振動を吸収し各ノズル２６間の吐出特性（インク滴の量や吐出速度等）のばらつきを抑えるための基板である。この第１コンプライアンス基板２１や後述する第２コンプライアンス基板２２は、可撓性を有するフィルム状の図示しない薄膜（例えば、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）、芳香族ポリアミド（アラミド）等により形成された薄膜）を有している。この薄膜が、液室内のインクの圧力振動に応じて変位することにより、当該圧力振動を吸収する。なお、第１共通液室３４や第２共通液室３６内の圧力振動を吸収できるのであれば、第１コンプライアンス基板２１や第２コンプライアンス基板２２の構成は上述のフィルムに限られず、その他の形状や部材であってもよい。また、第１コンプライアンス基板２１や第２コンプライアンス基板２２を設けずに、これらの液室をノズルプレート２０で閉鎖してもよい。

流路基板１２におけるノズル連通路２９は、流路基板１２の厚さ方向を貫通した流路であり、流路基板１２の下面に接合されたノズル基板２０のノズル２６と、当該ノズル２６に対応する圧力室１３とを、圧力室他端の側で連通させる。

ノズル基板２０は、流路基板１２の下面に接合されてノズル連通路２９、及び、後述の第２個別連通路３０の開口を閉塞する。本実施形態におけるノズル基板２０は、例えばシリコン（Ｓｉ）の単結晶基板に対しドライエッチングやウェットエッチング等が施されることにより、複数のノズル２６が並設されている。ノズル２６は、インクを吐出する円形状の貫通孔であり、周知の種々の形状を採用することができる。

第２個別連通路３０は、ノズル２６ごとに対応させて個別に形成された流路であり、流路基板１２に対してウェットエッチング等が施されることによって溝状に形成されている。この第２個別連通路３０の一端は圧力室１３とノズル２６とを連通するノズル連通路２９に連通し、第２個別連通路３０の他端は第２液室３３（即ち、第２共通液室３６）に連通している。そして、本実施形態における第１個別連通路２８、圧力室１３、ノズル連通路２９、及び、第２個別連通路３０は、ノズル２６毎に個別に設けられた個別流路に相当する。

第２液室３３は、Ｙ方向に沿って延在する液室であり、第２個別連通路３０を介して複数のノズル２６に連通している。この第２液室３３の流路基板１２の上面側の開口は、導出流路基板１８の導出液室３５と連通している。第２液室３３と導出液室３５とが一連に連通することで１つの第２共通液室３６（本発明における共通液室の一種）を区画している。第２液室３３の流路基板１２の下面側の開口は、第２コンプライアンス基板２２によって閉鎖されている。第２コンプライアンス基板２２は、各ノズル２６からインク滴を吐出させる際に各圧力室１３側から第２共通液室３６内に伝播する圧力振動を吸収する。

導出流路基板１８は、内部に導出液室３５が形成された部材である。導出液室３５は、導出流路基板１８の下面に開口して流路基板１２の第２液室３３と連通して第２共通液室３６を区画している。そして、第１モードにおいて、メインポンプ５の駆動により第１共通液室３４から個別流路を介して第２共通液室３６に流入したインクは、導出流路基板１８の上面に設けられた第１出口３１を通じて第１循環流路６の導出流路１０に送り出されてサブタンク４に戻され、さらに、サブタンク４から帰還流路８を通じてメインタンク３に戻される。本実施形態において、第１出口３１は、第１入口２３との間に個別流路を挟んだ位置に設けられ、Ｙ方向において第１入口２３と第１出口３１との距離は、第１入口２３と第２入口２５との距離よりも近い。この構成によれば、第１モードにおいてノズル列内での位置に拘わらず各ノズル２６に対するインクの供給圧をより均一となるように揃えることができる。その結果、各ノズル２６の吐出特性のばらつきを抑制することが可能となる。

保護基板１６は、圧力室基板１４の振動板１９上に設けられた各圧電素子１５の形成領域に対応させて凹状の収容空部３８が形成されている。当該保護基板１６は、収容空部３８内に圧電素子１５を収容した状態で圧力室基板１４の上面に接合されている。また、保護基板１６は、圧電素子１５から引き出されたリード電極４０と接続される図示しない配線基板の設置用に、基板厚さ方向を貫通した配線用貫通口３９を有している。

上記のように、第１入口２３、第２入口２５、第１出口３１、及び第２出口３２を有する記録ヘッド２では、第１モードでのインクの循環と第２モードでのインクの循環を切り替えることが可能に構成されている。印刷動作の際には、第１モードに設定され、メインタンク３及びサブタンク４と各記録ヘッド２との間における第１循環流路６においてインクの循環が行われる。そして、第１モードにおいて制御ユニット１ａからの駆動信号の波形に応じて圧電素子１５が駆動すると、これに伴って振動板１９が変位して圧力室１３の容積が変化することで、圧力室１３内のインクに圧力変化、換言すると、圧力振動が生じる。そして、この圧力振動が圧力室１３からノズル２６側に伝播し、当該圧力振動が最大限に高まったところでノズル２６からインクがインク滴として吐出される。ノズル２６から吐出されなかったインクは、個別流路を介して第２共通液室３６に送られ、第１出口３１からサブタンク４側に排出される。また、印刷動作が行われていない状態で、第１共通液室３４内の気泡を除去するためのメンテナンス処理として、所定のタイミングで第２モードに切り替えられ、第１共通液室３４の第２入口２５と第２出口３２との間で第２循環流路７においてインクの循環が行われる。

このように、記録ヘッド２における第１共通液室３４、個別流路、第２共通液室３６は、第１循環流路６の一部を構成している。同様に、記録ヘッド２における第１共通液室３４は、第２循環流路７の一部を構成している。そして、各記録ヘッド２は、第１モードと第２モードとの切り替えにより、第１共通液室３４内のインクの流れに変化を生じさせることができる。つまり、第１モードでは、第１共通液室３４の第１入口２３から個別流路を介して第２共通液室３６の第１出口３１へ向かうインクの流れ生じる一方、第２モードでは、第１共通液室３４の第２入口２５からＹ方向に沿って第２出口３２に向かうインクの流れが生じる。これにより、第１共通液室３４におけるインクの滞留、特に第１共通液室３４のＹ方向における端部における滞留が抑制され、その結果、第１共通液室３４内に気泡が混入した場合においても当該第１共通液室３４から気泡を排出しやすくすることができる。

次に、インクの循環流路についてより詳細に説明する。第１循環流路６は、上述したように、第１モードにおいてメインポンプ５の駆動によりメインタンク３、記録ヘッド２、及びサブタンク４の間でインクを循環させる流路である。この第１モードにおいてメインポンプ５が駆動されている状態では、メインタンク３の内部に貯留されているインクの単位面積あたりの圧力は、ノズル２６におけるインクの単位面積あたりの圧力よりも高い状態、つまり、加圧された状態となっている。一方、サブタンク４の内部に貯留されているインクの単位面積あたりの圧力は、ノズル２６におけるインクの単位面積あたりの圧力よりも低い状態、つまり、減圧された状態となっている。この圧力差によって、第１循環流路６においてインクが循環される。メインタンク３に接続された導入流路９は、各記録ヘッド２に対応して分岐し、分岐した先が各記録ヘッド２の第１入口２３にそれぞれ接続されている。また、各記録ヘッド２の第１出口３１にそれぞれ接続された導出流路１０は、１本に合流し、その先がサブタンク４に接続されている。また、導出流路１０において、後述する接続流路４６との接続位置よりも下流側、つまり、サブタンク４側には、記録ヘッド２側からサブタンク４側へのインクの流通を許容する一方、サブタンク４側から記録ヘッド２側へのインクの流通を阻止する一方向弁である逆止弁４５が設けられている。

第２循環流路７は、上述したように、記録ヘッド２毎に設けられた循環流路であり、第１共通液室３４の第２入口２５と第２出口３２との間を連通している。この第２循環流路７には、第２出口３２から第１入口２３に向かって順に、制御ユニット１ａの制御の下で流路を開閉する開閉弁４７、インクを濾過するフィルター４８、及び、所謂扱きポンプ等から構成されるサブポンプ１１（本発明におけるポンプの一種）が設けられている。また、開閉弁４７とフィルター４８との間には、接続流路４６の一端が接続されており、当該接続流路４６の他端は、第１循環流路６の導出流路１０に接続されている。フィルター４８は、主にインクに含まれる気泡を捕捉するために設けられており、第２循環流路７において、第２共通液室４６のインクの導出位置である第２出口３２とサブポンプ１１との間に配置されている。そして、第２循環流路７における開閉弁４７とフィルター４８との間に接続流路４６の一端が接続され、当該接続流路４６の他端は第１循環流路６における記録ヘッド２の第１出口３１と逆止弁４５との間に接続されている。

請求項１，６，１０，１２の内容
第２モードにおいてサブポンプ１１が駆動されている状態では、第１共通液室３４のインクの導出位置である第２出口３２とサブポンプ１１との間におけるインクの単位面積あたりの圧力は、サブポンプ１１と第１共通液室３４のインクの供給位置である第２入口２５との間におけるインクの単位面積あたりの圧力よりも低いので、気泡を捕捉するためのフィルター４８の通過抵抗を低く抑えることができる。つまり、フィルター４８として、より目の粗いものを使用することができる。これにより、サブポンプ１１の能力を低く設定することができる。その結果、第２モードでの各ノズル２６におけるインクの表面（即ち、メニスカス）の耐圧の維持管理が容易となる。例えば、第２モードでインクの循環が行われている場合において、第２入口２５により近い位置にあるノズル２６におけるメニスカスの加圧側の耐圧を超えて当該ノズル２６からインクが漏出することが抑制され、また、第２出口３２により近い位置にあるノズル２６におけるメニスカスの減圧側の耐圧を超えて当該ノズル２６から圧力室１３側に気泡が引き込まれる等の不具合を抑制することができる。

第１モードでは、メインポンプ５の駆動によりメインタンク３から導入流路９を通じて第１入口２３から第１共通液室３４へ供給されたインクを、上述の個別流路、つまり、第１個別連通路２８、圧力室１３、ノズル連通路２９、及び、第２個別連通路３０を介して第２共通液室３６に送り、第１出口３１から排出させる。そして、第１出口３１から排出されたインクは導出流路１０を通じてサブタンク４に導入され、帰還流路８を介してメインタンク３に戻される。さらに、メインタンク３に戻されたインクは、導入流路９を通じて第１入口２３から第１共通液室３４へ供給される。本実施形態において、第１モードでは、開閉弁４７は閉じられ、サブポンプ１１の駆動も停止した状態とされる。このような第１モードにおけるインクの循環は、印刷動作の実行中、即ち、各ノズル２６からインクの吐出動作が行われている間において継続される。これにより、インクの増粘やインクに含まれる顔料等の固形成分等の沈降が抑制され、各ノズル２６の吐出特性を良好に維持することが可能となる。

但し、第１共通液室３４内に気泡が混入し、個別流路の流路断面積よりも大きく成長した場合、当該気泡は、流路断面積が絞られている個別流路を通過しにくいため、第１循環流路６から気泡を排出することは困難である。このため、本発明に係るプリンター１では、第１共通液室３４内の気泡を除去するためのメンテナンス処理として第２モードに切り替えられ、第１共通液室３４のインクを第２循環流路７で循環させることにより、第１共通液室３４内の気泡を排出することができるように構成されている。この第２モードでは、メインポンプ５の駆動は停止され、開閉弁４７が開かれた状態で、サブポンプ１１が駆動されることで、第１共通液室３４内のインクが第２出口３２から第２循環流路７に送られ、フィルター４８を通過した後、第２入口２５から第１共通液室３４に戻される。第２循環流路７においてインクが循環されることにより、第１共通液室３４内の気泡は、フィルター４８に捕捉されるので、第１共通液室３４に混入した気泡を除去することができる。この第２モードは、所定時間実行された後、サブポンプ１１が停止されると共に開閉弁４７が閉じられることで終了される。

なお、接続流路４６と第１循環流路６（詳しくは導出流路１０）との接続位置とサブタンク４との間に逆止弁４５が設けられているので、第２モードの実行時にサブタンク４側からインクが逆流することが防止される。このため、第１共通液室３４内のインクを第２循環流路７により流しやすくすることができるので、第１共通液室３４内に気泡が存在する場合に当該気泡をフィルター４８により確実に捕捉することができ、気泡排出性の向上に寄与する。また、フィルター４８に捕捉された気泡は、第１モードが実行されることにより、接続流路４６から導出流路１０を通じてサブタンク４に排出される。つまり、フィルター４８に捕捉された気泡を、第１循環流路６を通じて除去することが可能となる。第２モードは任意のタイミングで実行することができるが、例えば、印刷動作の実行前や実行後、或は、プリンター１の電源が投入されたときの初期動作において実行することができる。

以上のように、本発明に係る記録ヘッド２及びこれを備えるプリンター１では、第１共通液室３４へ供給したインクを、個別流路を介して、第１共通液室３４から排出させる第１モードでのインク循環と、第１共通液室３４へ供給したインクを、個別流路を介さずに、第１共通液室３４から排出させる第２モードでのインク循環とを切替可能に構成されたので、第１モードでインクの増粘やインクの含有成分の沈降を抑制しつつ印刷動作等の液体吐出動作を実行することができ、また、個別流路よりも上流側（換言すると、供給側）の第１共通液室３４内に気泡が混入した場合においても第２モードに切り替えることにより、当該気泡を除去することが可能となり、気泡排出性が向上する。その結果、記録ヘッド２内部のインクを強制的にノズル２６から排出させる所謂クリーニング動作やフラッシング動作等のメンテナンス動作の回数を減らすことができ、当該メンテナンス動作で消費するインクの量を低減することが可能となる。また、何れのモードにおいても共通液室３４，３６から排出したインクを第１共通液室３４に再度供給するので、インクの増粘や含有成分の沈降を抑制しつつインクの消費を低減することができる。
なお、本実施形態においては、第１モードと第２モードとがそれぞれ別に行われる構成を例示したが、これには限られず、第１モードと第２モードとを並行して実行することも可能である。

図６は、第１の実施形態の変形例における流路基板１２を模式的に示した平面図である。図６に示されるように、この変形例における記録ヘッド２では、第１共通流路３４と第２共通液室３６とを接続するバイパス流路５７が、個別流路とは別に設けられている。このバイパス流路５７は、個別流路と比較して流路断面積が大きく設定されることで流路抵抗が下げられた流路であり、第１共通液室３４の気泡がこのバイパス流路５７を通じて第２共通液室３６に移動しやすくなるように構成されている。本変形例では、複数の個別流路の列の両側にそれぞれバイパス流路５７が形成されている。このようなバイパス流路５７は、少なくとも一つ設けられていれば良い。また、本変形例では、第２出口３２が、第２共通液室３６に設けられている。より具体的には、第２共通液室３６のＹ方向における中央部に配置された第１出口３１よりも他端部（図６中下側）に偏らせて第２出口３２が配置されている。

本変形例では、第２モードにおいて第２入口２５から第１共通液室３４に供給されたインクは、バイパス流路５７を介して第２共通液室３６に流入し、第２出口３２から第２循環流路７に送られ、フィルター４８を通過した後に第２入口２５を通じて第１共通液室３４に再び供給される。本変形例の構成では、第１共通液室３４と第２共通液室３６とに跨って第２モードでインクの循環が行われることにより、第１共通液室３４に気泡が生じた場合に加えて第２共通液室３６に気泡が生じた場合においても、これらの共通液室３４，３６内の気泡を除去することが可能となる。また、第２入口２５と第２出口３２とが、第１共通液室３４のＹ方向における一端部と第２共通液室３６のＹ方向における他端部にそれぞれ配置されているので、各共通液室３４，３６におけるインクの滞留、特にＹ方向における端部における滞留が抑制され、その結果、共通液室３４，３６から気泡をより排出しやすくすることができる。

図７は、第２の実施形態におけるプリンター１の循環経路について説明する模式図である。本実施形態における構成は、主に、第１循環流路６と第２循環流路７とを接続する接続流路４６が設けられておらず、また、フィルター４８の鉛直方向における上方に気泡バッファー室４９が設けられている点、及び、第２循環流路７に当該第２循環流路７を流れるインクを温めるヒーター５５が設けられている点で上記第１の実施形態の構成と異なっている。気泡バッファー室４９は、所定の容積を有し、フィルター４８に捕捉された気泡が浮力により導入される部屋である。この気泡バッファー室４９は、排出流路５０を通じてサブタンク４に接続されている。排出流路５０の途中には、開閉弁５１が設けられており、この開閉弁５１は、制御ユニット１ａの制御により開閉される。また、本実施形態においては、第１循環流路６における導出流路１０における逆止弁４５の替わりに開閉弁５２が設けられている。ヒーター５５は、例えばニクロム線などの電熱線を有し、制御ユニット１ａにより電熱線への通電及び切断が制御され、第２モードにおいて第２循環流路７を流れるインクを加熱することで、当該インクの粘度を下げるように調整する。このヒーター５５を採用することで、インクの粘度調整が可能となる。即ち、例えば、光硬化型インク等の比較的高粘度のインク、具体的には２５℃において２０〔ｍＰａ・ｓ〕以上、２００〔ｍＰａ・ｓ〕以下の粘度のインクをノズル２６からの吐出により適した粘度に調整することが可能となる。なお、ヒーター５５は、第２入口２５により近い位置に配置されていることが望ましい。これにより、ノズル２６から実際に吐出されるまでにインクの温度が低下することが抑制されるので、粘度調整の精度が向上する。また、ヒーター５５は、第２循環流路７を流れるインクと、第１循環流路６を流れるインクと、の両方を加熱する構成であっても良いし、このヒーター５５とは別のヒーターが第１循環流路６にも設けられ、当該ヒーターにより第１循環流路６を流れるインクが加熱される構成であっても良い。

本実施形態においても、第１循環流路６においてインクを循環させる第１モードと、第２循環流路７においてインクを循環させる第２モードと、の２つのインク循環モードを切り替えることが可能に構成されている。本実施形態における第１モードでは、サブポンプ１１の駆動が停止され、開閉弁４７及び開閉弁５１が閉じられる一方、開閉弁５２が開かれた状態でメインポンプ５の駆動によりメインタンク３から導入流路９を通じて第１入口２３から第１共通液室３４へ供給されたインクを、個別流路を介して第２共通液室３６に送り、第１出口３１から排出させる。これにより、インクの増粘やインクに含まれる顔料等の固形成分等が抑制され、各ノズル２６の吐出特性を良好に維持することが可能となる。また、第１共通液室３４内の気泡を除去するためのメンテナンス処理として第２モードが実行される場合、開閉弁５１及び開閉弁５２が閉じられる一方、開閉弁４７が開かれた状態でサブポンプ１１が駆動されることで、第１共通液室３４内のインクが第２出口３２から第２循環流路７に送られ、フィルター４８を通過した後、第２入口２５から第１共通液室３４に戻される。これにより、第１共通液室３４内の気泡は、フィルター４８に捕捉されるので、第１共通液室３４に混入した気泡を除去することができる。フィルター４８に一旦捕捉された気泡は、浮力によって気泡バッファー室４９に導入されて貯留される。気泡バッファー室４９内の気泡は、例えば、定期的に気泡排出処理が行われることで、サブタンク４に排出される。サブタンク４は大気開放されているため、気泡はサブタンク４から外気へと放出される。この気泡排出処理では、サブポンプ１１の駆動が停止され、開閉弁５２が閉じられる一方、開閉弁４７及び開閉弁５１が開かれた状態でメインポンプ５が駆動されることにより、気泡バッファー室４９から排出流路５０を介してサブタンク４に送られる。なお、他の構成については第１の実施形態と同様である。本実施形態においても、第１モードと第２モードとを並行して実行することも可能である。

図８は、第３の実施形態におけるプリンター１の循環経路について説明する模式図である。また、図９は、第３の実施形態における流路基板１２を模式的に示した平面図である。図９に示されるように、本実施形態における記録ヘッド２では、上記第１の実施形態の変形例と同様に、第１共通流路３４と第２共通液室３６とを接続するバイパス流路５７が、個別流路とは別に設けられている。また、第１入口２３及び第１出口３１は、それぞれ、第１共通液室３４及び第２共通液室３６のＹ方向における中央部よりも一端部（図９中、上側）に偏らせて配置されており、第２入口２５は、第１共通液室３４のＹ方向における中央部よりも他端部（図９中下側）に偏らせて配置されている。即ち、第１出口３１は、第１入口２３との間に個別流路を挟んで設けられ、Ｙ方向において第１入口２３と第１出口３１との距離は、第１入口２３と第２入口２５との距離よりも近いので、第１モードにおいて各ノズル２６に対するインクの供給圧をより均一となるように揃えることができる。

そして、本実施形態においては、第２循環流路７の上流側（換言すると、第２共通液室３６の導出側）の端が、切替弁５４を介して第１循環流路６の導出流路１０に接続されている。そして、第１モードでは、導出流路１０がサブタンク４に向かう流路と接続されるように切替弁５４が切り替えられることで、第１循環流路６でインクの循環が行われる。一方、第２モードでは、導出流路１０がフィルター４８を通じて第１共通液室３４の第２入口２５へ向かう流路、即ち、第２循環流路７に接続されるように切替弁５４が切り替えられることで、第２循環流路７でインクの循環が行われるように構成されている。つまり、本実施形態において、第１出口３１は、第１モードでの第１循環流路６と第２モードでの第２循環流路７とで共用される。したがって、第１出口３１は、第２モードでは第２出口３２として機能する。なお、他の構成については第２の実施形態と同様である。但し、本実施形態においては、第１モードと第２モードとを並行して実行することはできない。

図１０は、第３の実施形態におけるプリンター１の循環経路の変形例について説明する模式図である。また、図１１は、第３の実施形態の変形例における流路基板１２を模式的に示した平面図である。本変形例では、第２共通液室３６に第１出口３１と第２出口３２がそれぞれ設けられ、第１共通液室３４に第１入口２３のみが設けられている。第１入口２３は、第１共通液室３４のＹ方向における中央部よりも一端部（図１１中、上側）に偏らせて配置されており、第１出口３１は、第２共通液室３６のＹ方向における中央部よりも一端部に偏らせて配置されている。また、第２出口３２は、第２共通液室３６のＹ方向における中央部よりも他端部（図１１中下側）に偏らせて配置されている。即ち、Ｙ方向において第１入口２３と第１出口３１との距離が、第１入口２３と第２出口３２との距離よりも近くなるように配置されている。

そして、本変形例においては、第２循環流路７のフィルター４８よりも下流側（換言すると、第１共通液室３４の導入側）の端が、切替弁５４を介して第１循環流路６の導入流路９に接続されている。そして、第１モードでは、メインタンク３と第１入口２３とが導入流路９を介して接続されるように切替弁５４が切り替えられることで、第１循環流路６でインクの循環が行われる。一方、第２モードでは、フィルター４８及びサブポンプ１１が第２循環流路７を介して第１入口２３に接続されるように切替弁５４が切り替えられることで、第２循環流路７でインクの循環が行われるように構成されている。つまり、本変形例において、第１入口２３は、第１モードでの第１循環流路６と第２モードでの第２循環流路７とで共用される。したがって、第１入口２３は、第２モードでは第２入口２５として機能する。なお、他の構成については第３の実施形態と同様である。

図１２は、第４の実施形態におけるプリンター１の循環経路について説明する模式図である。本実施形態では、メインタンク３が、各記録ヘッド２のノズル２６に対して鉛直方向において上方に配置される一方、サブタンク４が、各記録ヘッド２のノズル２６に対して鉛直方向において下方に配置されている点で、上記各実施形態の構成と異なっている。この構成では、第１モードにおいて、メインタンク３、ノズル２５、及びサブタンク４間の水頭差による圧力差を利用してインクが供給される。サブタンク４からメインタンク３へはメインポンプ５を駆動することにより、帰還流路８を通じてインクを戻すことができる。なお、他の構成については、上記各実施形態と同様の構成を採用することができる。本実施形態においても、第１循環流路６においてインクを循環させる第１モードと、第２循環流路７においてインクを循環させる第２モードと、の２つのインク循環モードを切り替えることにより、１モードでインクの増粘やインクの含有成分の沈降を抑制しつつ印刷動作等の液体吐出動作を実行することができ、また、共通液室内に気泡が混入した場合においても第２モードに切り替えることにより、当該気泡を除去することが可能となり、気泡排出性が向上する。

この他、本発明は、液体貯留部材と液体吐出ヘッドとの間で液体が循環する構成を採用する液体吐出ヘッド、これを備える液体吐出装置にも適用することができる。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材吐出ヘッド、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイ、ＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材吐出ヘッド、バイオチップ（生物化学素子）の製造に用いられる生体有機物吐出ヘッド等を複数備える液体吐出ヘッド、及び、これを備える液体吐出装置にも本発明を適用することができる。

１…プリンター，２…記録ヘッド，３…メインタンク，４…サブタンク，５…メインポンプ，６…第１循環流路，７…第２循環流路，８…帰還流路，９…導入流路，１０…導出流路，１１…サブポンプ，１２…流路基板，１３…圧力室，１４…圧力室基板，１５…圧電素子，１６…保護基板，１７…導入流路基板，１８…導出流路基板，１９…振動板，２０…ノズル基板，２１…第１コンプライアンス基板，２２…第２コンプライアンス基板，２３…第１入口，２４…導入液室，２５…第２入口，２６…ノズル，２７…第１液室，２８…第１個別連通路，２９…ノズル連通路，３０…第２個別連通路，３１…第１出口，３２…第２出口，３３…第２液室，３４…第１共通液室，３５…導出液室，３６…第２共通液室，３８…収容空部，３９…配線用貫通口，４０…リード電極，４２…ホルダー，４３…連通開口，４４…保持空部，４５…逆止弁，４６…接続流路，４７…開閉弁，４８…フィルター，４９…気泡バッファー室，５０…排出流路，５１…開閉弁，５２…開閉弁，
５４…切替弁，５５…ヒーター，５７…バイパス流路

Claims (14)

1. ノズルと当該ノズルに連通する圧力室とを含む個別流路と、
   液体が供給される入口と、液体が排出される出口とを有し、複数の前記個別流路とそれぞれ接続され、前記個別流路へ液体を供給し、前記個別流路から液体を排出される共通液室と、
   前記圧力室内の液体に圧力変化を生じさせる圧力発生素子と、
   を備え、
   前記共通液室へ供給した液体を、前記個別流路を介して前記出口から排出させる第１モードと、
   前記共通液室へ供給した液体を、前記個別流路を介さずに前記出口から排出させる第２モードと、
   を切替可能であることを特徴とする液体吐出ヘッド。
2. 前記共通液室の前記入口は、
   前記第１モードにおいて液体が供給される第１入口と、
   前記第２モードにおいて液体が供給される第２入口と、
   を含むことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
3. 複数の前記個別流路が並設された第１方向における前記共通液室の中心に対して、前記第２入口は、前記第１入口と比較してより遠い位置に配置されたことを特徴とする請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
4. 前記出口のうち前記第１モードにおいて液体が排出される第１出口が、前記第１入口との間に前記個別流路を挟んで設けられ、
   複数の前記個別流路が並設された第１方向において、前記第１入口と前記第１出口との距離は、前記第１入口と前記第２入口との距離よりも近いことを特徴とする請求項２又は請求項３に記載の液体吐出ヘッド。
5. 前記共通液室は、前記第１入口が設けられた第１共通液室と、当該第１共通液室との間に前記個別流路を挟んで配置され、前記第１出口が設けられた第２共通液室と、を有することを特徴とする請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
6. 前記第１モードにおいて、前記共通液室から排出した液体を前記共通液室へ供給する第１循環流路と、
   前記第２モードにおいて、前記共通液室から排出した液体を前記共通液室へ供給する第２循環流路と、
   を備えることを特徴とする請求項１から請求項５の何れか一項に記載の液体吐出ヘッド。
7. 前記第２循環流路を流れる液体を温めるヒーターを備えることを特徴とする請求項６に記載の液体吐出ヘッド。
8. 液体の２５℃における粘度が、２０〔ｍＰａ・ｓ〕以上、２００〔ｍＰａ・ｓ〕以下であることを特徴とする請求項７に記載の液体吐出ヘッド。
9. 請求項６から請求項８の何れか一項に記載の液体吐出ヘッドと、
   前記第１循環流路に設けられ、前記ノズル内の液体の圧力よりも高い圧力の液体を貯留する第１貯留部材と、
   前記第１循環流路に設けられ、前記ノズル内の液体の圧力よりも低い圧力の液体を貯留する第２貯留部材と、
   前記第２循環流路を流れる液体を濾過するフィルターと、
   を備えることを特徴とする液体吐出装置。
10. 前記フィルターに捕捉された気泡を前記第１循環流路に流す接続流路を備えることを特徴とする請求項９に記載の液体吐出装置。
11. 前記第１循環流路において、前記接続流路との接続位置と前記第２貯留部材との間に、前記接続位置から前記第２貯留部材への液体の通過を許容する一方、前記第２貯留部材から前記接続位置への液体の通過を阻止する一方向弁を備えることを特徴とする請求項１０に記載の液体吐出装置。
12. 前記第２循環流路において液体を送液するポンプを備え、
    前記第２循環流路における前記共通液室の液体の導出位置と前記ポンプとの間に前記フィルターが設けられたことを特徴とする請求項９から請求項１１の何れか一項に記載の液体吐出装置。
13. 請求項１から請求項８の何れか一項に記載の液体吐出ヘッドの制御方法であって、
    前記共通液室へ供給した液体を、前記個別流路を介して前記出口から排出させる第１モードと、
    前記共通液室へ供給した液体を、前記個別流路を介さずに前記出口から排出させる第２モードと、
    を切り替えることを特徴とする液体吐出ヘッドの制御方法。
14. 請求項９から請求項１２の何れか一項に記載の液体吐出装置の制御方法であって、
    前記共通液室へ供給した液体を、前記個別流路を介して前記出口から排出させる第１モードと、
    前記共通液室へ供給した液体を、前記個別流路を介さずに前記出口から排出させる第２モードと、
    を切り替えることを特徴とする液体吐出装置の制御方法。

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