JP2020116735A - 基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
Description
)装置)において、基板保持部(トップリングともいう)の弾性膜(メンブレンともいう)内に一定圧のガス(例えば、窒素)を供給することにより、弾性膜を膨らませて、弾性膜に吸着させた基板(例えば、ウエハ)を剥がしていた(例えば、特許文献1参照)。
P(Front Opening Unified Pod)を搭載することができるようになっている。ここで、SMIF、FOUPは、内部にウエハカセットを収納し、隔壁で覆うことにより、外部空間とは独立した環境を保つことができる密閉容器である。
ユニット3Bが配列する方向に沿った4つの搬送位置(ロード/アンロード部側から順番に第1搬送位置TP1、第2搬送位置TP2、第3搬送位置TP3、第4搬送位置TP4とする)の間でウエハを搬送する機構である。
について説明する。
Aの上方に設けられた研磨液供給ノズル32Aから研磨パッド10上に研磨液を供給する。このように、ウエハWを研磨パッド10の研磨面10aに摺接させてウエハWの表面を研磨する。
22及び流路212を介してリプル室206と連通しており、トップリング31Aのメンブレン204内のリプル室206に供給するガス(例えば、窒素)の圧力を調節する。
の状態(例えば、所定の膜厚)になるまで研磨する。
153を備える。加圧流体Fは、加圧気体(例えば、加圧窒素)のみであってもよいし、加圧液体(例えば、加圧水)のみであってもよいし、加圧気体(例えば、加圧窒素)と液体(例えば、純水)の混合流体であってもよい。リリースノズル153は、制御部5に制御線を介して接続されており、制御部5に制御される。更に、プッシャ150は、メンブレン204に吸着しているウエハWの位置を検出する位置検出部154を備える。本実施形態ではその一例として、位置検出部154は、メンブレン204に吸着しているウエハWの裏面の高さを検出する。位置検出部154は例えば、トップリングガイド151の内側を撮像する撮像部を有し、撮像した画像からウエハWの裏面の高さを検出する。
できる。
(ステップS101)次に制御部5は、トップリング31Aが現在保持するウエハWの膜種に応じた第1の圧力PS1と第2の圧力PS2を記憶部51から取得する。
より、リテーナリング203が上昇する。第1リニアトランスポータ6は、ウエハW受け渡し位置で停止する。
2 ロード/アンロード部
3 研磨部
3A,3B,3C,3D 研磨ユニット
4 洗浄部
5 制御部
6 第1リニアトランスポータ
7 第2リニアトランスポータ
10 研磨パッド
10a 研磨面
11 リフタ
12 スイングトランスポータ
20 フロントロード部
21 走行機構
22 搬送ロボット
30A,30B,30C,30D 研磨テーブル
31A,31B,31C,31D トップリング(基板保持部)
32A,32B,32C,32D 研磨液供給ノズル
33A,33B,33C,33D ドレッサ
34A,34B,34C,34D アトマイザ
30Aa テーブル軸
51 記憶部
100 基板処理装置
102 研磨液供給ノズル
111 トップリングシャフト
112 回転筒
113 タイミングプーリ
114 トップリング用回転モータ
115 タイミングベルト
116 タイミングプーリ
117 トップリングヘッドシャフト
124 上下動機構
125 ロータリージョイント
126 軸受
128 ブリッジ
129 支持台
130 支柱
131,231 真空源
132 ボールねじ
132a ねじ軸
132b ナット
138 サーボモータ
140 エンコーダ
150 基板受渡し装置(プッシャ)
151 トップリングガイド
152 プッシュステージ
153 リリースノズル(基板剥離促進部)
154 位置検出部
160 リニアステージ
161 搬送ハンド
162 保持部
163 板部材
164,165 弾性部材
166 板部材
167 環状部材
168 リリースノズル(基板剥離促進部)
169 位置検出部
202 トップリング本体
203 リテーナリング
204 弾性膜(メンブレン)
204a 隔壁
204h 孔
205 センター室
206 リプル室
207 アウター室
208 エッジ室
209 リテーナリング加圧室
211,212,213,214,215,221,222,223,224,226
流路
225 ロータリージョイント
230 圧力調整部
235 気水分離槽
F1〜F5 流量センサ
R1〜R6 圧力レギュレータ
P1〜P5 圧力センサ
SH リリースシャワー
V1−1〜V1−3,V2−1〜V2−3,V3−1〜V3−3,V4−1〜V4−3,V5−1〜V5−3 バルブ
Claims (8)
- 基板を保持するように構成された基板保持部と、
複数の基板の種類と当該基板の種類に関連付けられたそれぞれの圧力とを示す情報を保存するように構成されたストレージと、
前記基板保持部の弾性膜内に供給するガスの圧力を調節するように構成された圧力レギュレータと、
前記圧力レギュレータを制御して、前記基板を前記弾性膜から剥がすために、前記弾性膜内に供給するガスの圧力を可変にする制御部と、
を備え、
前記制御部は、複数の基板の種類と当該基板の種類に関連付けられたそれぞれの圧力とを示す情報を用いて、前記基板保持部によって現在保持されている基板の種類に応じて、前記弾性膜内に供給するガスの圧力を制御するように更に構成されている
基板処理装置。 - 前記基板の種類は、基板の膜種である
請求項1に記載の基板処理装置。 - 前記制御部は、段階的に前記ガスの圧力を変更するように構成されている
請求項1または2に記載の基板処理装置。 - 加圧流体を噴出するように構成されたノズルと、
前記弾性膜に吸着している基板の位置を検出するように構成された位置検出器と、
を更に備え、
前記制御部は、前記ノズルが基板の裏面に加圧流体を噴出するように構成される位置に、前記基板の位置が到達した場合、前記ガスの圧力を変更するように更に構成されている
請求項1から3のいずれか一項に記載の基板処理装置。 - 前記制御部は、前記基板の位置が前記ノズルから前記基板の裏面に加圧流体を噴出する位置になる前は、第1の圧力で前記弾性膜内にガスを供給するように構成され、前記基板の位置が前記ノズルから前記基板の裏面に加圧流体を噴出する位置に到達した場合、前記第1の圧力より低い第2の圧力で前記弾性膜内にガスを供給するよう制御するとともに前記ノズルから前記基板の裏面に向けて加圧流体を噴出するように構成されている
請求項4に記載の基板処理装置。 - 前記位置検出器は、前記弾性膜に吸着している基板の裏面の高さを前記基板の位置として検出するように構成され、
前記制御部は、前記位置検出器により検出された基板の裏面の高さが前記ノズルの噴出口の高さ以上である場合、第1の圧力で前記弾性膜内にガスを供給するように構成され、前記位置検出器により検出された基板の裏面の高さが前記ノズルの噴出口の高さより低くなった場合、前記第1の圧力より低い第2の圧力で前記弾性膜内にガスを供給するように構成され、且つ前記ノズルから前記基板の裏面に向けて加圧流体を噴出するように構成されている
請求項5に記載の基板処理装置。 - 前記制御部は、前記弾性膜の膨らみ具合に応じて前記ガスの圧力を変更する
請求項1から6のいずれか一項に記載の基板処理装置。 - 前記圧力レギュレータは、電空圧力レギュレータである
請求項1から7のいずれか一項に記載の基板処理装置。
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