JP2020106528A - 分析装置、分析装置用プログラム及び分析方法 - Google Patents
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Abstract
Description
前記相関値算出部により得られた相関値を用いて前記測定対象成分の濃度を算出する濃度算出部とを備えることを特徴とする。なお、本発明において、相関値を算出することには、強度関連信号と特徴信号との相関を取ることの他に、強度関連信号と特徴信号との内積を取ることを含む。
ここで、リファレンス光としては、光源から射出された変調光と等価なものだけでなく、測定対象成分を含まないセルやゼロガスが流れているセル、または既知の濃度のガスが入ったセルを透過した光もリファレンス光として利用できる。また、セルに入る前にビームスプリッタ等で前記変調光の一部を分離した光もリファレンス光として利用できる。
ここで、前記リファレンス光は、前記サンプル光と同時、前記サンプル光の測定の前後又は任意のタイミングで測定されたものであることが考えられる。
セル1は、測定対象成分の吸収波長帯域において光の吸収がほとんどない石英、フッ化カルシウム、フッ化バリウム等の透明材質で光の入射口及び出射口が形成されたものである。このセル1には、図示しないが、ガスを内部に導入するためのインレットポートと、内部のガスを排出するためのアウトレットポートとが設けられており、サンプルガスは、このインレットポートからセル1内に導入されてる。
光源制御部5は、電流(又は電圧)制御信号を出力することによって半導体レーザ2の電流源(又は電圧源)を制御するものである。具体的に光源制御部5は、半導体レーザ2の駆動電流(又は駆動電圧)を所定周波数で変化させ、半導体レーザ2から出力されるレーザ光の発振波長を中心波長に対して所定周波数で変調させる。これによって、半導体レーザ2は、所定の変調周波数で変調された変調光を射出することになる。
まず、光源制御部5が、半導体レーザ2を制御し、変調周波数で且つ測定対象成分の吸収スペクトルのピークを中心に、レーザ光の波長を変調する。なお、スパンガスを用いたリファレンス測定の前に、ゼロガスを用いたリファレンス測定を行い、リファレンス相関値の測定を行ってもよい。
測定対象成分が単独で存在するスパンガスをセル1内に導入することにより、相関値算出部62により測定対象成分の相関値S1t、S2tを算出する。ここで、S1tは、第1の特徴信号との相関値であり、S2tは、第2の特徴信号との相関値である。そして、相関値算出部62は、それら相関値S1t、S2tからリファレンス相関値Riを差し引いたものを測定対象成分のスパンガス濃度ctで割ることにより、単独相関値s1t、s2tを算出する。なお、測定対象成分のスパンガス濃度ctは、予めユーザ等により信号処理部6に入力される。
光源制御部5が、半導体レーザ2を制御し、変調周波数で且つ測定対象成分の吸収スペクトルのピークを中心に、レーザ光の波長を変調する。
1 ・・・セル
2 ・・・光源(半導体レーザ)
3 ・・・光検出器
61 ・・・対数演算部
62 ・・・相関値算出部
63 ・・・格納部
64 ・・・濃度算出部
Claims (14)
- サンプル中に含まれる測定対象成分を分析する分析装置であって、
所定の変調周波数で波長が変調された変調光を射出する光源と、
前記変調光が前記サンプルを透過したサンプル光の強度を検出する光検出器と、
前記サンプル光の強度に関連する強度関連信号と所定の特徴信号との相関値であるサンプル相関値を算出する相関値算出部と、
前記相関値算出部により得られた前記サンプル相関値を用いて前記測定対象成分の濃度を算出する濃度算出部とを備える、分析装置。 - 前記相関値算出部は、前記測定対象成分の種類数及び前記干渉成分の種類数を合わせた数以上の数の特徴信号を用いて複数のサンプル相関値を算出する、請求項1記載の分析装置。
- 前記光検出器により得られた光強度信号に対数演算を施す対数演算部をさらに備え、
前記相関値算出部は、前記対数演算された光強度信号を前記強度関連信号として用いるものである、請求項1乃至2の何れか一項に記載の分析装置。 - 前記強度関連信号は、前記サンプル光と基準となるリファレンス光との比を対数化した吸光度信号である、請求項1乃至3の何れか一項に記載の分析装置。
- 前記相関値算出部は、前記リファレンス光の強度関連信号と前記特徴信号との相関値であるリファレンス相関値を用いて、前記サンプル相関値を補正する、請求項1乃至4の何れか一項に記載の分析装置。
- 前記リファレンス光は、前記サンプル光と同時、前記サンプル光の測定の前後又は任意のタイミングで測定されたものである、請求項1乃至5の何れか一項に記載の分析装置。
- 前記特徴信号は複数あり、
前記複数の特徴信号のうち少なくとも2つは、互いに直交関係にある信号である、請求項1乃至6記載の分析装置。 - 1又は複数の干渉成分が含まれるサンプル中の測定対象成分を分析する分析装置であって、
前記測定対象成分及び各干渉成分が単独で存在する場合のそれぞれの前記強度関連信号と複数の前記特徴信号とから求められた前記測定対象成分及び各干渉成分それぞれの単位濃度当たりの相関値である単独相関値を格納する格納部をさらに備え、
前記濃度算出部は、前記相関値算出部により得られた複数のサンプル相関値と、前記複数の単独相関値とに基づいて、前記測定対象成分の濃度を算出するものである、請求項1乃至7の何れか一項に記載の分析装置。 - 1又は複数の干渉成分が含まれるサンプル中の測定対象成分を分析する分析装置であって、
前記測定対象成分及び各干渉成分が単独で存在する場合のそれぞれの前記強度関連信号と複数の前記特徴信号とから求められた前記測定対象成分及び各干渉成分それぞれの単位濃度当たりの相関値である単独相関値を格納する格納部をさらに備え、
前記濃度算出部は、前記相関値算出部により得られた複数のサンプル相関値と、前記複数の単独相関値とに基づいて、前記測定対象成分の濃度を算出するものであり、
前記格納部は、前記リファレンス相関値を用いて補正した単独相関値を格納する、請求項5記載の分析装置。 - 前記濃度算出部は、前記相関値算出部により得られた複数のサンプル相関値と、前記複数の単独相関値と、前記測定対象成分及び前記各干渉成分それぞれの濃度とからなる連立方程式を解くことにより、前記測定対象成分の濃度を算出するものである、請求項8又は9記載の分析装置。
- 前記相関値算出部は、前記測定対象成分の種類数及び前記干渉成分の種類数を合わせた数よりも大きい数の特徴信号を用いて複数の相関値を算出するものであり、
前記濃度算出部は、前記測定対象成分の種類数及び干渉成分の種類数を合わせた数よりも大きい元数の連立方程式から最小二乗法を用いて、前記測定対象成分の濃度を算出するものである、請求項10記載の分析装置。 - 前記測定対象成分が排ガス等のサンプルガス中に含まれるものであり、
前記光源は、前記測定対象成分の光吸収スペクトルのピークを含む波長範囲で波長が変調された変調光を射出する半導体レーザであり、
前記サンプルガスが導入されるセルをさらに備え、
前記半導体レーザから射出された変調光が前記セルに照射されるとともに、前記セルを透過したサンプル光の光路上に前記光検出器が配置されている請求項1乃至9の何れか一項に記載の分析装置。 - サンプル中に含まれる測定対象成分を分析すべく、所定の変調周波数で中心波長に対して波長が変調する変調光を射出する光源と、前記変調光が前記サンプルを透過したサンプル光の強度を検出する光検出器とを具備した分析装置に適用されるプログラムであって、
前記サンプル光の強度に関連する強度関連信号と所定の特徴信号との相関値であるサンプル相関値を算出する相関値算出部と、
前記相関値算出部により得られたサンプル相関値を用いて、前記測定対象成分の濃度を算出する濃度算出部としての機能を前記分析装置に発揮させることを特徴とする分析装置用プログラム。 - サンプル中に含まれる測定対象成分を分析する分析方法であって、
所定の変調周波数で中心波長に対して波長が変調する変調光を射出し、
前記変調光が前記サンプルを透過したサンプル光の強度を検出し、
前記サンプル光の強度に関連する強度関連信号と所定の特徴信号との相関値であるサンプル相関値を算出し、
前記サンプル相関値を用いて前記測定対象成分の濃度を算出する算出することを特徴とする分析方法。
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