JP2020097108A - 研磨物品及びそれを形成させる方法 - Google Patents

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Jayaraman Rukmani Sandhya
ラルフ・バウアー
Bauer Ralph
ステファン・ブイヂ
VUJCIC Stefan
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Abstract

【課題】研磨材の硬度の減少や、腐食の可能性を改善できる研磨物品を提供すること。【解決手段】研磨物品は、本体部が、セラミックスを含む無機材料を含む結合材と、前記結合材に含有された研磨粒子であって、約0.06ミクロン以上から約0.13ミクロン以下の平均結晶子サイズを有するナノ結晶性アルミナを含む研磨粒子と、を含み、前記本体部が、本体部の全体積の40体積%から65体積%の前記研磨粒子と、本体部の全体積の5体積%から20体積%の前記結合材と、本体部の全体積の15体積%から55体積%の気孔率と、を含む。【選択図】図1

Description

本発明は概して研磨物品に関するものであり、特にナノ結晶性アルミナを含む砥石物品
に関するものである。
砥石物品は、結合材マトリックスに含有された研磨粒子を含むことができる。微結晶性
アルミナなどの一部の種類の研磨粒子は、高温で化学反応しやすい可能性がある。ガラス
結合材は、研磨物品の高温形成中に、微結晶性アルミナ粗粒に浸透して反応する傾向があ
り、これにより研磨材の硬度が減少し、さらには研磨材が腐蝕することになる可能性があ
る。
産業界では、研磨物品の改良が引き続き必要とされている。
実施形態は例として示されるものであり、添付の図に限定されない。
研磨物品を形成させるフローチャートを含む図である。 一実施形態による成形研磨粒子の斜視図を含む図である。 一実施形態による成形研磨粒子の斜視図を含む図である。 一実施形態による成形研磨粒子の斜視図を含む図である。 一実施形態による成形研磨粒子の斜視図を含む図である。 従来の微結晶性アルミナ結晶粒のSEM像を含む図である。 一実施形態によるナノ結晶性アルミナ結晶粒のSEM像を含む図である。 研磨材試料の破壊係数のプロットを含む図である。 研磨材試料の弾性率のプロットを含む図である。 研磨材試料の力閾値のプロットを含む図である。
当業者であれば、図中の要素が簡略さ及び明確さを期して示されているものであって必
ずしも原寸に比例して描かれていないことを認識する。例えば、図中の要素のうちのいく
つかの寸法は、本発明の実施形態をより深く理解する上で一助となるよう、他の要素と比
べて強調されていることがある。
図と組み合わせた以下の説明は、本明細書において開示する教示の理解を助けるために
なされるものである。以下の考察は、この教示の特定の実施及び実施形態に重点を置く。
このように重点を置くことは教示の説明を助けるためになされるものであり、教示の範囲
または適用範囲を限定するものとして解釈するべきではない。しかしながら、この適用に
おいては他の教示を確かに使用することができる。
本明細書において使用する場合、「含む(comprises)」、「含んでいる(c
omprising)」、「含む(includes)」、「含んでいる(includ
ing)」、「有する(has)」、「有している(having)」という用語または
それらの他のいかなる変形も、非限定的包含を網羅することを意図するものである。例え
ば、列挙された特徴を含む方法、物品または装置は必ずしもそれらの特徴のみに限定され
ず、明示的に列挙されていない他の特徴、またはこれらの方法、物品もしくは装置に本来
備わっている他の特徴を含んでもよい。さらに、明示的に反対のことが述べられていない
限り、「または」は包含的な「または」を指し、排他的な「または」を指すものではない
。例えば、条件AまたはBは、以下のいずれか1つによって満たされる。Aが真であり(
または存在し)かつBが偽である(または存在しない)、Aが偽であり(または存在せず
)かつBが真である(または存在する)、及び、AとBの両方が真である(または存在す
る)。
また、「1つの(a)」または「1つの(an)」は、本明細書において記載する要素
及び成分の記載に使用する。これは単に利便性目的でなされ、本発明の範囲の一般的認識
を示すためになされている。この記載は1つまたは少なくとも1つを含むと解釈されるべ
きであり、明らかに異なる意図でない限り、単数形は複数形も含み、または複数形は単数
形も含む。例えば、本明細書において1個の実施形態が記載されている場合、1個の実施
形態の代わりに、1個よりも多い実施形態を使用してもよい。同様に、本明細書において
1個よりも多い実施形態が記載されている場合、その1個よりも多い実施形態を、1個の
実施形態で置き換えてもよい。
別段の定めがない限り、本明細書において使用する全ての技術用語及び科学用語は、本
発明が属する技術分野の当業者によって一般に理解される意味と同じ意味を有する。材料
、方法及び例は単に説明用のもので、限定することを意図するものではない。特定の材料
及び処理行為に関する特定の詳細が記載されていない範囲では、そのような詳細は従来の
アプローチを含んでもよく、従来のアプローチは製造技術分野の参照本及び他の情報源に
おいて見出されてもよい。
実施形態は、研磨物品を形成させる方法であって、結合材及び研磨物品を含む混合物を
形成させること、ならびにその混合物を形成温度に加熱することによって混合物を研磨物
品へと形成させることを含む方法に関する。当該方法は、性能が向上した研磨物品の形成
を容易にしてもよい。
図1は、一実施形態による研磨物品を形成させる方法のフローチャートを含んでいる。
工程101では、結合材(または結合材の前駆体)と、ナノ結晶性アルミナを含む研磨粒
子と、を含む混合物を作製することができる。混合物は湿っていても、乾燥していてもよ
い。結合材は、研磨粒子と混合することができる粉末材料の形態とすることができる。特
定の例においては、好適な混合操作を使用して、混合物内で成分を均一に分散させること
ができる。
混合物は、例えば第2の研磨粒子及び充填材などを含めた、1種または複数の添加物も
任意選択で含んでもよい。非限定的な実施形態によれば、第2の研磨粒子は、酸化アルミ
ナ、炭化ケイ素、立方晶窒化ホウ素、ダイヤモンド、フリント、及びガーネット結晶粒、
ならびにそれらの任意の組合せを含むことができる。別の非限定的な実施形態においては
、一部の好適な充填材は、有機材料及び無機材料を含むことができる。充填材料は、研磨
粒子とは異なるものとすることができる。例えば充填材は、中空ガラスビーズ、粉砕され
たクルミ殻、プラスチック材料または有機化合物のビーズ、泡状ガラス粒子、及び発泡ア
ルミナ、細長い結晶粒、繊維、ならびにそれらの組合せなどを含めた造孔材とすることが
できる。他の充填材料としては、顔料及び/または色素、繊維、織物材料、不織物材料、
粒子、球体、鉱物、木の実、殻、酸化物、アルミナ、炭化物、窒化物、ホウ化物、有機材
料、ポリマー材料、天然に存在する材料、粉末、ならびにそれらの組合せが含まれ得る。
一実施形態においては、充填材は、粉末、顆粒、球体、繊維、造孔材、中空粒子、及びそ
れらの組合せからなる群から選択され得る。特定の実施形態においては、充填材は、本明
細書に記載する材料のいずれか1つから本質的になることができる。別の特定の実施形態
においては、充填材は、本明細書の実施形態に記載する材料の2つ以上から本質的になる
ことができる。
工程101で混合物を形成させた後、工程102でプロセスを継続することができる。
工程102は、混合物を熱処理して、結合材の3次元ネットワークに含有されたナノ結晶
性アルミナを含む研磨粒子を有する砥石本体部の形態で、研磨物品を形成させることを含
むことができる。
一実施形態によれば、混合物は、形成温度まで熱処理することができる。形成温度は9
00℃以上、例えば950℃以上、または975℃以上とすることができる。別の実施形
態によれば、形成温度は1200℃以下、例えば1175℃以下、1150℃以下、11
25℃以下、または1100℃以下としてもよい。本明細書の実施形態の形成温度は、研
磨粒子が結合材と結合するのに充分な熱をもたらすが、結合材に含有された特定の材料の
反応性を下げることを助けることができる。
別の実施形態によれば、結合材は、セラミックスなどの無機材料を含むことができる。
セラミックス材料は、少なくとも1種の金属または半金属元素を含む組成物であり、その
金属または半金属元素としては、アルカリ金属元素、アルカリ土類金属元素、ランタノイ
ド、遷移金属元素、及びそれらの組合せが挙げられるがこれらに限定されない。セラミッ
クス材料は、酸化物、炭化物、窒化物、ホウ化物、及びそれらの組合せを含んでもよい。
さらに、セラミックス材料は、単結晶相、多結晶層、非晶相、及びそれらの組合せを含む
ことができる。セラミックス材料は、単結晶相、多結晶相、または非晶相から本質的にな
ることができることが理解されよう。
別の実施形態によれば、結合材は、ガラス材料を含むことができる。ガラス材料は非晶
相を有することができる。例えば結合材は、非晶相を有するガラス材料から本質的になる
ことができる。さらに別の実施形態によれば、結合材は、非ガラス材料を含むことができ
る。非ガラス材料は多結晶相を含むことができる。さらに別の実施形態においては、結合
材は、多結晶材料とガラス材料の混合物を含むことができる。
少なくとも1つの実施形態によれば、結合材は、研磨物品の形成及び/または性能の改
良を容易にすることができる特定の含有量の酸化ホウ素(B)を含むことができる
。酸化ホウ素は、結合材の総重量と比較して特定の重量パーセントで存在することができ
る。例えば酸化ホウ素は、30重量%以下、例えば28重量%以下、26重量%以下、2
4重量%以下、またはさらには22重量%以下としてもよい。別の例では、結合材は、5
重量%以上、例えば8重量%以上、10重量%以上、12重量%以上、またはさらには1
5重量%以上の酸化ホウ素を含むことができる。結合材における酸化ホウ素の重量パーセ
ントは、上述のいずれかの最小のパーセントからいずれかの最大のパーセントまでの範囲
内とすることができることが理解されよう。例えば結合材は、5重量%〜30重量%の範
囲内、または8重量%〜22重量%の範囲内の酸化ホウ素を含むことができる。
別の実施形態においては、結合材は、研磨物品の形成及び/または性能の改良を容易に
することができる特定の含有量の酸化ケイ素(SiO)を含むことができる。結合材の
総重量に対する酸化ケイ素の含有量は、例えば80重量%以下、75重量%以下、70重
量%以下、65重量%以下、55重量%以下、52重量%以下、またはさらには50重量
%以下としてもよい。別の実施形態においては、結合材は、25重量%以上、例えば30
重量%以上、35重量%以上、38重量%以上、またはさらには40重量%以上の酸化ケ
イ素を含むことができる。酸化ケイ素の含有量は、上述のいずれかの最小のパーセントか
らいずれかの最大のパーセントまでの範囲内とすることができることが理解されよう。例
えば酸化ケイ素の含有量は、35重量%〜80重量%の範囲内、または40重量%〜65
重量%の範囲内とすることができる。特定の実施形態においては、酸化ケイ素の含有量は
、40重量%〜50重量%の範囲内とすることができる。
特定の実施形態においては、結合材は、研磨物品の形成及び/または性能の改良を容易
にすることができる特定の含有量の酸化ホウ素及び酸化ケイ素を含むことができる。酸化
ホウ素と酸化ケイ素の合計含有量は、80重量%以下、例えば77重量%以下、75重量
%以下、73重量%以下、70重量%以下、またはさらには65重量%以下としてもよい
。別の実施形態においては、酸化ホウ素と酸化ケイ素の合計含有量は、40重量%以上、
42重量%以上、46重量%以上、48重量%以上、またはさらには50重量%以上とす
ることができる。酸化ホウ素と酸化ケイ素の合計含有量は、本明細書において開示する最
小のパーセントのいずれかと最大のパーセントのいずれかの範囲内とすることができるこ
とが理解されよう。例えば酸化ホウ素と酸化ケイ素の合計含有量は、40重量%〜80重
量%の範囲内、または42重量%〜77重量%の範囲内、または46重量%〜73重量%
の範囲内、または50重量%〜65重量%の範囲内とすることができる。
特定の例においては、結合材は、研磨物品の形成及び/または性能の改良を容易にする
ことができる、酸化ホウ素と酸化ケイ素の特定の比を有してもよい。結合材は、酸化ケイ
素と酸化ホウ素の重量パーセント比を有することができ、酸化ケイ素と酸化ホウ素の重量
パーセント比は、5.5:1(SiO:B)以下、例えば5.2:1以下、5:
1以下、またはさらには4.8:1以下としてもよい。他の例においては、酸化ケイ素と
酸化ホウ素の重量パーセント比は、1:1以上、1.3:1以上、1.5:1以上、1.
7:1以上、2.0:1以上、またはさらには2.2:1以上とすることができる。酸化
ケイ素と酸化ホウ素の重量パーセント比は、上述の最小の比のいずれかと最大の比のいず
れかの範囲内とすることができることが理解されよう。例えばその比は、1:1〜5.5
:1の範囲内、または1.5:1〜5.2:1の範囲内、または1.8:1〜5/0:1
の範囲内、または2.2:1〜4.8:1の範囲内とすることができる。
一実施形態によれば、結合材は、研磨物品の形成及び/または性能の改良を容易にする
ことができる含有量の酸化アルミニウム(Al)を含むことができる。結合材の総
重量に対する酸化アルミニウムの含有量は、31重量%以下、例えば28重量%以下、2
5重量%以下、23重量%以下、またはさらには20重量%以下としてもよい。別の実施
形態においては、結合材における酸化アルミニウムの含有量は、5重量%以上、8重量%
以上、10重量%以上、12重量%以上、またはさらには14重量%以上とすることがで
きる。酸化アルミニウムの含有量は、上述の最小のパーセントのいずれかと最大のパーセ
ントのいずれかの範囲内とすることができることが理解されよう。例えば酸化アルミニウ
ムの含有量は、5重量%〜31重量%の範囲内、または10重量%〜25重量%の範囲内
とすることができる。
少なくとも1つの実施形態によれば、結合材は、研磨物品の形成の改良及び/または性
能の改良を容易にすることができる含有量のアルミニウム及びアルミナを含んでもよい。
例えば結合材は、結合材の総重量の15重量%以上のアルミナ及びアルミニウム金属(A
/Al)を含むことができる。さらに他の例においては、結合材は、結合材の総
重量の18重量%以上、例えば20重量%以上、22重量%以上、またはさらには24重
量%以上のアルミナ及びアルミニウム金属(Al/Al)を含むことができる。別
の非限定的実施形態においては、結合材は、結合材の総重量の45重量%以下、例えば4
2重量%以下、40重量%以下、38重量%以下、35重量%以下、またはさらには32
重量%以下のアルミナ及びアルミニウム金属を含むことができる。結合材は、上述の最小
のパーセントのいずれかと最大のパーセントのいずれかを含む範囲内の含有量のアルミナ
及びアルミニウム金属を含むことができることが理解されよう。例えばアルミナ及びアル
ミニウム金属の含有量は、5重量%〜45重量%の範囲内、または10重量%〜40重量
%の範囲内、または22重量%〜35重量%の範囲内とすることができる。
一実施形態においては、結合材は、酸化アルミニウム及び酸化ケイ素を含むことができ
る。例えば、結合材の総重量に対する酸化アルミニウムと酸化ケイ素の合計含有量は、5
0重量%以上、例えば52重量%以上、56重量%以上、58重量%以上、またはさらに
は60重量%以上とすることができる。別の実施形態においては、酸化アルミニウムと酸
化ケイ素の合計含有量は、80重量%以下、77重量%以下、75重量%以下、またはさ
らには73重量%以下としてもよい。酸化アルミニウムと酸化ケイ素の合計含有量は、上
述の最小のパーセントのいずれかから最大のパーセントのいずれかまでの範囲内とするこ
とができることが理解されよう。例えば合計含有量は、50重量%〜80重量%の範囲内
、56重量%〜75重量%の範囲内、またはさらには60重量%〜73重量%の範囲内と
することができる。
特定の例においては、酸化ケイ素及び酸化アルミニウムは、研磨物品の形成及び/また
は性能の改良を容易にすることができる特定の重量パーセント比で存在することができる
。酸化ケイ素:酸化アルミニウム(SiO:Al)の重量パーセント比は、例え
ば2.5:1以下、例えば2.2:1以下、またはさらには2:1以下としてもよい。他
の例においては、酸化ケイ素:酸化アルミニウムの重量パーセント比は、1:1以上、1
.3:1以上、1.5:1以上、またはさらには1.7:1以上とすることができる。酸
化ケイ素と酸化アルミニウムの重量パーセント比は、上述の最小の比のいずれかと最大の
比のいずれかの範囲内とすることができることが理解されよう。例えばその比は、1:1
〜2.5:1の範囲内、または1.3:1〜2.2:1の範囲内とすることができる。
少なくとも1つの実施形態によれば、結合材は、研磨物品の形成及び/または性能の改
良を容易にすることができる含有量の少なくとも1種のアルカリ土類酸化物化合物(RO
)を含むことができる。結合材の総重量に対するアルカリ土類酸化物化合物の合計含有量
は、3.0重量%以下、2.5重量%以下、または2重量%以下としてもよい。別の実施
形態においては、アルカリ土類酸化物化合物(RO)の合計含有量は、0.5重量%以上
、または0.8重量%以上とすることができる。アルカリ土類酸化物化合物の合計含有量
は、上述の最小のパーセントのいずれかから最大のパーセントのいずれかまでの範囲内と
することができることが理解されよう。例えば合計含有量は、0.5重量%〜3.0重量
%の範囲内、または0.8重量%〜2.5重量%の範囲内とすることができる。
特定の実施形態においては、アルカリ土類酸化物化合物は、酸化カルシウム(CaO)
、酸化マグネシウム(MgO)、酸化バリウム(BaO)、または酸化ストロンチウム(
SrO)などを含むことができる。さらなる実施形態においては、結合材は、3種超の異
なるアルカリ土類酸化物化合物を含まない可能性がある。例えば結合材は、酸化カルシウ
ム、酸化マグネシウム、酸化バリウム、及び酸化ストロンチウムの群から選択される3種
超の異なるアルカリ土類酸化物化合物を含まない可能性がある。
別の実施形態によれば、結合材は、研磨物品の形成及び/または性能の改良を容易にす
る含有量の酸化カルシウム(CaO)を含むことができる。酸化カルシウムの含有量は、
結合材の総重量の0.5重量%以上、例えば0.8重量%以上、または1重量%以上とす
ることができる。さらに別の実施形態においては、酸化カルシウムの含有量は、3重量%
以下、例えば2.8重量%以下、2.5重量%以下、2重量%以下、または1.7重量%
以下としてもよい。酸化カルシウム化合物の含有量は、上述の最小のパーセントのいずれ
かから最大のパーセントのいずれかまで範囲内とすることができることが理解されよう。
例えば合計含有量は、0.5重量%〜3.0重量%の範囲内、0.8重量%〜2.5重量
%の範囲内、または1重量%〜1.7重量%の範囲内とすることができる。
別の実施形態によれば、結合材は、アルカリ酸化物化合物(RO)を含むことができ
る。例示的なアルカリ酸化物化合物としては、酸化リチウム(LiO)、酸化ナトリウ
ム(NaO)、酸化カリウム(KO)、または酸化セシウム(CsO)などが含ま
れ得る。さらなる実施形態においては、結合材は、少なくとも1種のアルカリ酸化物化合
物を含むことができる。特に、アルカリ酸化物化合物は、酸化リチウム(LiO)、酸
化ナトリウム(NaO)、酸化カリウム(KO)、酸化セシウム(CsO)、及び
それらの組合せからなる化合物群から選択することができる。
別の実施形態によれば、結合材の総重量に対するアルカリ酸化物化合物の合計含有量は
、25重量%以下、22重量%以下、または20重量%以下としてもよい。別の例では、
アルカリ酸化物化合物の合計含有量は、3重量%以上、5重量%以上、7重量%以上、ま
たは9重量%以上とすることができる。アルカリ酸化物化合物の合計含有量は、上述の最
小のパーセントのいずれかから最大のパーセントのいずれかまでの範囲内とすることがで
きることが理解されよう。その範囲としては、例えば3重量%〜25重量%の範囲内、ま
たは7重量%〜22重量%の範囲内が挙げられる。
例えば、結合材は、研磨物品の形成及び/または性能の改良を容易にすることができる
含有量の酸化リチウム(LiO)を含むことができる。結合材の総重量に対する酸化リ
チウムの含有量は、1重量%以上、例えば1.5重量%以上、または2重量%以上とする
ことができる。別の例においては、酸化リチウムの含有量は、7重量%以下、6.5重量
%以下、6重量%以下、5.5重量%以下、または5重量%以下としてもよい。酸化リチ
ウムの含有量は、上述の最小のパーセントのいずれかから最大のパーセントのいずれかま
での範囲内とすることができることが理解されよう。その範囲としては、例えば1重量%
〜7重量%、または1.5重量%〜6重量%の範囲内が挙げられる。別の実施形態におい
ては、結合材は、微量のLiOを含んでもよいし、本質的にLiOを含まなくてもよ
い。
別の実施形態では、結合材は、研磨物品の形成及び/または性能の改良を容易にするこ
とができる含有量の酸化ナトリウム(NaO)を含むことができる。結合材の総重量に
対する酸化ナトリウムの含有量は、例えば3重量%以上、4重量%以上、または5重量%
以上とすることができる。別の例では、酸化ナトリウムの含有量は、14重量%以下、例
えば13重量%以下、12重量%以下、11重量%以下、または10重量%以下としても
よい。酸化ナトリウムの含有量は、上述の最小のパーセントのいずれかから最大のパーセ
ントのいずれかまでの範囲内とすることができることが理解されよう。その範囲としては
、例えば3重量%〜14重量%の範囲内、または4重量%〜11重量%の範囲内が挙げら
れる。
別の実施形態においては、結合材は、研磨物品の形成及び/または性能の改良を容易に
することができる含有量の酸化カリウム(KO)を含むことができる。例えば結合材の
総重量に対する酸化カリウムの含有量は、1重量%以上、1.5重量%以上、または2重
量%以上とすることができる。少なくとも1つの非限定的実施形態では、酸化カリウムの
含有量は、7重量%以下、例えば6.5重量%以下、6重量%以下、5.5重量%以下、
または5重量%以下としてもよい。酸化カリウムの含有量は、上述の最小のパーセントの
いずれかから最大のパーセントのいずれかまでの範囲内とすることができることが理解さ
れよう。その範囲としては、例えば1重量%〜7重量%、または1.5重量%〜6.5重
量%の範囲内が挙げられる。
特定の実施形態においては、結合材は、研磨物品の形成及び/または性能の改良を容易
にすることができる含有量の酸化リン(P)を含むことができる。例えば結合材の
総重量に対する酸化リンの合計含有量は、3.0重量%以下、例えば2.0重量%以下、
または1.0重量%以下としてもよい。特定の実施形態においては、結合材は酸化リンを
本質的に含まなくてもよい。
一実施形態によれば、結合材は、特定の酸化物化合物を本質的に含まない組成物を含む
ことができる。例えば結合材は、TiO、Fe、MnO、ZrSiO、Co
Al、及びMgOからなる群から選択される酸化物化合物を本質的に含まない組成
物を含むことができる。
少なくとも1つの実施形態によれば、研磨粒子は、特定の平均結晶子サイズを有するナ
ノ結晶性アルミナを含むことができる。例えばナノ結晶性アルミナ粒子の平均結晶子サイ
ズは、0.15ミクロン以下、例えば0.14ミクロン以下、0.13ミクロン以下、ま
たは0.12ミクロン以下、またはさらには0.11ミクロン以下としてもよい。別の実
施形態においては、平均結晶子サイズは、0.01ミクロン以上、例えば0.02ミクロ
ン以上、0.05ミクロン以上、0.06ミクロン以上、0.07ミクロン以上、0.0
8ミクロン以上、または0.09ミクロン以上とすることができる。平均結晶子サイズは
、上述の最小値のいずれかから最大値のいずれかまでを含む範囲内とすることができるこ
とが理解されよう。例えば平均結晶子サイズは、0.01ミクロン〜0.15ミクロン、
0.05ミクロン〜0.14ミクロン、または0.07ミクロン〜0.14ミクロンの範
囲内とすることができる。特定の実施形態においては、結晶子サイズは、0.08ミクロ
ン〜0.14ミクロンの範囲内とすることができる。
平均結晶子サイズは、走査型電子顕微鏡(SEM)顕微鏡写真を使用して、無補正イン
ターセプト法に基づいて測定することができる。研磨結晶粒の試料は、エポキシ樹脂中で
ベークライトマウントを作製後、Struers Tegramin 30ポリッシング
ユニットを使用してダイヤモンドポリッシングスラリーでポリッシングすることにより調
製する。ポリッシング後、エポキシをホットプレート上で加熱し、次にポリッシングした
面を焼結温度未満の150℃で5分間、熱エッチングする。別個の結晶粒(5〜10個の
粗粒)をSEMマウント上にマウントし、次にSEMプレパラート用に金コーティングす
る。3個の別個の研磨粒子のSEM顕微鏡写真を約50,000倍の倍率で取得し、次に
以下の工程を用いて無補正結晶子サイズを計算する。1)結晶構造図の1つの角から対角
まで、写真下部の黒色データ帯状部分を除いて対角線を描く(例えば、図7A及び7Bを
参照のこと);2)対角線の長さをL1及びL2として0.01センチメートルの桁まで
測定して四捨五入する;3)対角線の各々が交わる結晶粒界の数(すなわち、結晶粒界交
差I1及びI2)を数え、対角線の各々について、この数を記録する;4)各顕微鏡写真
または図画面の下部にあるミクロンバーの長さ(センチメートル単位)(すなわち「バー
の長さ」)を測り、バーの長さ(ミクロン単位)をバーの長さ(センチメートル単位)で
割ることによって、バーナンバーの計算値を決定する;5)顕微鏡写真に書いた対角線の
合計センチメートルを足して(L1+L2)、対角線の長さの合計を得る;6)両方の対
角線の結晶粒界交差の数を足して(I1+I2)、結晶粒界交差の合計を得る;7)セン
チメートル単位の対角線の長さの合計(L1+L2)を結晶粒界交差の合計(I1+I2
)で割り、この数にバーナンバーの計算値をかける。このプロセスは、ランダムに選択し
た3つの異なる試料で3回以上別々に行って、平均結晶子サイズを得る。
バーナンバーの計算の一例として、写真に示されているバーの長さが0.4ミクロンで
あることを仮定する。定規を使用して測定したセンチメートル単位のバーの長さは2cm
である。バーの長さ0.4ミクロンを2cmで割ると、バーナンバーの計算値として0.
2um/cmに等しい。平均結晶子サイズは、センチメートル単位の対角線の長さの合計
(L1+L2)を、結晶粒界交差の合計(I1+I2)で割り、この数にバーナンバーの
計算値をかける。
一実施形態によれば、ナノ結晶性アルミナは、研磨粒子の総重量に対して51重量%以
上のアルミナを含むことができる。例えばナノ結晶性アルミナ内のアルミナの含有量は、
約60重量%以上、70重量%以上、80重量%以上、約85重量%以上、またはさらに
はそれ以上、例えば90重量%以上、92重量%以上、93重量%以上、もしくは94重
量%以上とすることができる。非限定的な一実施形態においては、アルミナの含有量は、
99.9重量%以下、例えば99重量%以下、98.5重量%以下、98重量%以下、9
7.5重量%以下、97重量%以下、96.5重量%以下、または96重量%以下として
もよい。アルミナの含有量は、上述の最小のパーセントのいずれかから最大のパーセント
のいずれかまでを含む範囲内とすることができることが理解されよう。例えばその含有量
は、60重量%〜99.9重量%の範囲内、70重量%〜99重量%の範囲内、85重量
%〜98重量%の範囲内、または90重量%〜96.5重量%の範囲内とすることができ
る。特定の実施形態においては、単結晶アルミナは、アルファアルミナなどの、本質的に
アルミナからなるものとすることができる。
本明細書において記載するように、ナノ結晶性アルミナは、多くの特定の特徴を有する
ことができる。これらの特徴は、研磨粒子に同様に当てはまり得る。例えば研磨粒子は、
ナノ結晶性アルミナの総重量に対するアルミナの含有量と同様の、研磨粒子の総重量に対
する重量パーセントのアルミナを含むことができる。例えば、研磨粒子における、研磨粒
子の総重量に対するアルミナの含有量は、60重量%以上、例えば70重量%以上、80
重量%以上、85重量%以上、90重量%以上、92重量%以上、93重量%以上、また
は94重量%以上とすることができる。別の例では、研磨粒子におけるアルミナの含有量
は、99.9重量%以下、例えば99重量%以下、98.5重量%以下、98重量%以下
、97.5重量%以下、97重量%以下、96.5重量%以下、または96重量%以下と
してもよい。研磨粒子は、上述の最小のパーセントと最大のパーセントの範囲内の含有量
のアルミナを含むことができることが理解されよう。例えばその含有量は、60重量%〜
99.9重量%の範囲内、70重量%〜99重量%の範囲内、85重量%〜98重量%の
範囲内、または90重量%〜96.5重量%の範囲内とすることができる。特定の実施形
態においては、研磨粒子は、アルファアルミナなどの、本質的にアルミナからなるものと
することができる。
一実施形態によれば、ナノ結晶性アルミナは、少なくとも1種の添加物を含むことがで
きる。添加物は、遷移金属元素、希土類元素、アルカリ金属元素、アルカリ土類金属元素
、ケイ素、またはそれらの組合せを含むことができる。さらなる実施形態においては、添
加物は、遷移金属元素、希土類元素、アルカリ金属元素、アルカリ土類金属元素、ケイ素
、及びそれらの組合せからなる群から選択することができる。ナノ結晶性アルミナに関す
る実施形態において記載する添加物は、研磨粒子に適用することができることが理解され
よう。一実施形態においては、研磨粒子は、本明細書において記載する添加物の1種また
は複数を含むことができる。
別の実施形態においては、添加物は、例えばマグネシウム、ジルコニウム、カルシウム
、ケイ素、鉄、イットリウム、ランタン、セリウム、またはそれらの組合せを含む材料を
含むことができる。さらなる実施形態においては、添加物は、マグネシウム、ジルコニウ
ム、カルシウム、ケイ素、鉄、イットリウム、ランタン、及びセリウムからなる群から選
択される2種以上の材料を含むことができる。ナノ結晶性アルミナは、アルミナと、1種
または複数の上記の添加物と、から本質的になってもよいことが理解されよう。研磨粒子
は、アルミナと、1種または複数の上記の添加物と、から本質的になることができること
も理解されよう。
一実施形態によれば、ナノ結晶性アルミナ粒子の総重量に対する添加物の合計含有量は
、12重量%以下、例えば11重量%以下、10重量%以下、9.5重量%以下、9重量
%以下、8.5重量%以下、8重量%以下、7.5重量%以下、7重量%以下、6.5重
量%以下、6重量%以下、5.8重量%以下、5.5重量%以下、または5.3重量%以
下、または5重量%以下としてもよい。別の実施形態においては、添加物の合計含有量は
、0.1重量%以上、例えば0.3重量%以上、0.5重量%以上、0.7重量%以上、
1重量%以上、1.3重量%以上、1.5重量%以上、または1.7重量%以上、2重量
%以上、2.3重量%以上、2.5重量%以上、2.7重量%以上、またはさらには3重
量%以上とすることができる。ナノ結晶性アルミナ中の添加物の合計含有量は、上述の最
小のパーセントのいずれかから最大のパーセントのいずれかまでを含む範囲内とすること
ができることが理解されよう。例えばその合計含有量は、0.1重量%〜12重量%の範
囲内、例えば0.7重量%〜9.5重量%の範囲内、または1.3重量%〜5.3重量%
の範囲内とすることができる。研磨粒子の総重量に対する添加剤の合計含有量は、本明細
書の実施形態の同様のパーセント、または同様の範囲内を含むことができることも理解さ
れよう。
一実施形態においては、添加物は、研磨物品の形成及び/または性能の改良を容易にす
ることができる含有量の酸化マグネシウム(MgO)を含むことができる。ナノ結晶性ア
ルミナの総重量に対する酸化マグネシウムの含有量は、例えば0.1重量%以上、例えば
0.3重量%以上、0.5重量%以上、0.7重量%以上、または0.8重量%以上とす
ることができる。別の例では、酸化マグネシウムの含有量は、5重量%以下、例えば4.
5重量%以下、4重量%以下、3.5重量%以下、3重量%以下、または2.8重量%以
下としてもよい。酸化マグネシウムの含有量は、上述の最小のパーセントのいずれかから
最大のパーセントのいずれかまでを含む範囲内とすることができることが理解されよう。
例えばその含有量は、0.1重量%〜5重量%の範囲内、0.3重量%〜4.5重量%の
範囲内、または0.7重量%〜2.8重量%の範囲内とすることができる。特定の実施形
態においては、ナノ結晶性アルミナは、アルミナと、本明細書において開示する最小値の
いずれかと最大値のいずれかの間の範囲内の酸化マグネシウムと、から本質的になっても
よい。研磨物品の総重量に対する酸化マグネシウムの含有量は、本明細書において記載す
るパーセントのいずれか、または範囲のいずれかを含むことができることも理解されよう
。別の特定の実施形態においては、研磨粒子は、ナノ結晶性アルミナと、本明細書におい
て開示する最小値のいずれかと最大値のいずれかの間の範囲内の酸化マグネシウムと、か
ら本質的になってもよい。
別の例では、添加物は酸化ジルコニウム(ZrO)を含むことができ、酸化ジルコニ
ウムは研磨物品の形成及び/または性能の改良を容易にすることができる。ナノ結晶性ア
ルミナの総重量に対する酸化ジルコニウムの含有量は、例えば0.1重量%以上、例えば
0.3重量%以上、0.5重量%以上、0.7重量%以上、0.8重量%以上、1重量%
以上、1.3重量%以上、1.5重量%以上、1.7重量%以上、または2重量%以上と
することができる。別の例では、酸化ジルコニウムの含有量は、8重量%以下、7重量%
以下、6重量%以下、5.8重量%以下、5.5重量%以下、または5.2重量%以下と
してもよい。酸化ジルコニウムの含有量は、上述の最小のパーセントのいずれかから最大
のパーセントのいずれかまでを含む範囲内とすることができることが理解されよう。例え
ばその含有量は、0.1重量%〜8重量%の範囲内、0.3重量%〜7重量%の範囲内、
または0.5重量%〜5.8重量%の範囲内とすることができる。特定の実施形態におい
ては、ナノ結晶性アルミナは、アルミナと、本明細書の実施形態の範囲内の酸化ジルコニ
ウムと、から本質的になってもよい。研磨粒子の総重量に対する酸化ジルコニウムの含有
量は、本明細書において記述するパーセントのいずれか、または範囲のいずれかを含むこ
とができることも理解されよう。別の特定の実施形態においては、研磨粒子は、ナノ結晶
性アルミナと、上述の最小のパーセントのいずれかと最大のパーセントのいずれかの間の
範囲内のZrO2と、から本質的になってもよい。
一実施形態においては、添加物は、研磨物品の形成及び/または性能の改良を容易にす
ることができる特定の添加物比の酸化マグネシウム(MgO)及び酸化ジルコニウム(Z
rO)を含むことができる。添加物比(MgO/ZrO)は、酸化ジルコニウムを1
とした場合の酸化マグネシウムの重量パーセント比とすることができ、MgOはナノ結晶
性アルミナにおけるMgOの重量パーセントであり、ZrOはナノ結晶性アルミナにお
けるZrOの重量パーセントである。例えばこの比は、1.5以下、例えば1.4以下
、1.3以下、1.2以下、1.1以下、1以下、0.95以下、0.9以下、0.85
以下、0.8以下、0.75以下、0.7以下、0.65以下、0.6以下、または0.
55以下とすることができる。別の例においては、添加物比(MgO/ZrO)は、約
0.01以上、0.05以上、0.1以上、0.2以上、0.3以上、0.4以上、また
は0.5以上とすることができる。添加物比(MgO/ZrO)は、上述の最小の比の
いずれかから最大の比のいずれかまでを含む範囲内とすることができることが理解されよ
う。例えば添加物比(MgO/ZrO)は、0.01〜1.5の範囲内、0.1〜1.
1の範囲内、または0.3〜0.95の範囲内とすることができる。特定の実施形態にお
いては、ナノ結晶性アルミナは、アルミナと、本明細書において記載する最小の比のいず
れかから最大の比のいずれかまでを含む範囲内の添加物比の酸化マグネシウム及び酸化ジ
ルコニウムと、から本質的になることができる。研磨粒子は、本明細書において開示する
重量パーセント比の酸化マグネシウム(MgO)及び酸化ジルコニウム(ZrO)を含
むことができることも理解されよう。特定の実施形態においては、研磨粒子は、ナノ結晶
性アルミナと、本明細書において記載する最小の比のいずれかから最大の比のいずれかま
でを含む範囲内の添加物比の酸化マグネシウム及び酸化ジルコニウムと、から本質的にな
ってもよい。
一実施形態によれば、添加物は、酸化カルシウム(CaO)を含むことができる。ナノ
結晶性アルミナは、研磨物品の形成及び/または性能の改良を容易にすることができる、
ナノ結晶性アルミナの総重量に対する特定の含有量の酸化カルシウムを含むことができる
。例えば酸化カルシウムの含有量は、0.01重量%以上、例えば0.05重量%以上、
約0.07重量%以上、0.1重量%以上、0.15重量%以上、0.2重量%以上、ま
たは0.25重量%以上とすることができる。別の例においては、含有量は、5重量%以
下、例えば4重量%以下、3重量%以下、2重量%以下、1重量%以下、0.7重量%以
下、または0.5重量%以下としてもよい。酸化カルシウムの含有量は、上述の最小の比
のいずれかから最大の比のいずれかまでを含む範囲内とすることができることが理解され
よう。例えばその含有量は、0.01重量%〜5重量%の範囲内、0.07重量%〜3重
量%の範囲内、または0.15重量%〜0.7重量%の範囲内とすることができる。特定
の実施形態においては、ナノ結晶性アルミナは、アルミナと、本明細書において記載する
最小のパーセントのいずれかから最大のパーセントのいずれかまでを含む範囲内の含有量
の酸化カルシウムと、から本質的になることができる。研磨粒子の総重量に対する酸化カ
ルシウムの含有量は、本明細書において記述するパーセントのいずれか、または範囲のい
ずれかを含むことができることも理解されよう。別の特定の実施形態においては、研磨粒
子は、ナノ結晶性アルミナと、上述の最小のパーセントのいずれかと最大のパーセントの
いずれかの間の範囲内のZrOと、から本質的になってもよい。
別の実施形態によれば、添加物は、酸化マグネシウム(MgO)及び酸化カルシウム(
CaO)を含むことができる。ナノ結晶性アルミナは、添加物比(CaO/MgO)を有
することができ、MgOはナノ結晶性アルミナにおけるMgOの重量パーセントであり、
CaOはナノ結晶性アルミナにおけるCaOの重量パーセントである。その添加物比は、
形成及び/または性能の改良を容易にすることができる。例えば添加物比は、1以下、例
えば0.95以下、0.9以下、0.85以下、0.8以下、0.75以下、0.7以下
、0.65以下、0.6以下、0.55以下、0.5以下、0.45以下、または0.4
以下としてもよい。別の例では、その比は、0.01以上、例えば0.05以上、0.1
以上、0.15以上、0.2以上、または0.25以上とすることができる。添加物比(
CaO/MgO)は、上述の最小の比のいずれかと最大の比のいずれかを含む範囲内とす
ることができることが理解されよう。例えば添加物比は、0.01〜1の範囲内、0.0
5〜0.9の範囲内、または0.1〜0.75の範囲内とすることができる。特定の実施
形態においては、ナノ結晶性アルミナは、アルミナと、本明細書において記載する最小の
比のいずれかと最大の比のいずれかを含む範囲内の添加物比の酸化マグネシウム及び酸化
カルシウムと、から本質的になることができる。酸化マグネシウムに対する酸化カルシウ
ムの添加物比は、本明細書において記載する比のいずれか、または範囲のいずれかを含む
ことができることも理解されよう。別の特定の実施形態においては、研磨粒子は、ナノ結
晶性アルミナと、上述の最小の比のいずれかと最大の比のいずれかの間の範囲内の添加物
比の酸化カルシウム及び酸化マグネシウムと、から本質的になってもよい。
一実施形態によれば、ナノ結晶性アルミナは、希土類酸化物を含むことができる。希土
類酸化物の例としては、酸化イットリウム、酸化セリウム、酸化プラセオジム、酸化サマ
リウム、酸化イッテルビウム、酸化ネオジム、酸化ランタン、酸化ガドリニウム、酸化ジ
スプロシウム、酸化エルビウム、またはそれらの前駆体などが含まれ得る。特定の実施形
態においては、希土類酸化物は、酸化イットリウム、酸化セリウム、酸化プラセオジム、
酸化サマリウム、酸化イッテルビウム、酸化ネオジム、酸化ランタン、酸化ガドリニウム
、酸化ジスプロシウム、酸化エルビウム、それらの前駆体、及びそれらの組合せからなる
群から選択することができる。別の実施形態においては、ナノ結晶性アルミナは、希土類
酸化物及び鉄を本質的に含まないものとすることができる。さらなる実施形態においては
、研磨粒子は、希土類、2価陽イオン、及びアルミナを含有するする相であって、磁鉛鉱
構造の形態としてもよい相を含むことができる。磁鉛鉱構造の例はMgLaAl11
である。
一実施形態によれば、ナノ結晶性アルミナは、希土類アルミナ結晶子を含むことができ
る。別の実施形態によれば、ナノ結晶性アルミナは、希土類アルミン酸塩相を含むことが
できる。さらに、別の実施形態によれば、ナノ結晶性アルミナは、スピネル材料を含むこ
とができる。研磨粒子は、希土類アルミナ結晶子、希土類アルミン酸塩相、またはスピネ
ル材料を含むことができることが理解されよう。
一実施形態によれば、ナノ結晶性アルミナは、ナノ結晶性粒子(例えば、結晶粒または
ドメイン)を含むことができ、ナノ結晶性粒子は、研磨物品の形成及び/または性能の改
良に好適であってもよい。特定の実施形態においては、各ナノ結晶性粒子は、各ナノ結晶
性粒子の全体積の50体積%以上の結晶性材料、例えば単結晶材料または多結晶材料を含
むことができる。例えば各粒子は、75体積%以上の結晶性材料、85体積%以上の結晶
性材料、90体積%以上の結晶性材料、または95体積%以上の結晶性材料を含むことが
できる。特定の実施形態においては、ナノ結晶性粒子は、本質的に結晶性材料からなるこ
とができる。上記のナノ結晶性アルミナの特徴は、研磨粒子に適用することができること
が理解されよう。例えば各研磨粒子は、各研磨粒子の全体積の50体積%以上の結晶性材
料、例えば単結晶材料または多結晶材料を含むことができる。さらに、研磨粒子は、アル
ファアルミナと、本明細書の実施形態において記載する1種または複数の添加物と、を含
む結晶性材料から本質的になるものとしてもよいことが理解されよう。より詳細には、少
なくとも1つの実施形態においては、研磨粒子は、アルファアルミナと、本明細書の実施
形態において記載する1種または複数の添加物と、からなる結晶性材料から本質的になる
ものとしてもよい。
一実施形態においては、ナノ結晶性アルミナは、ビッカース硬度及び密度を含めた特定
の物理特性を有することができる。例えばナノ結晶性アルミナのビッカース硬度は、18
GPa以上、18.5GPa以上、19GPa以上、またはさらには19.5GPa以上
とすることができる。別の例においては、ナノ結晶性アルミナのビッカース硬度は、26
.5GPa以下、例えば26GPa以下、25.5GPa以下、25GPa以下、または
さらには24.5GPa以下としてもよい。ナノ結晶性アルミナは、上述の最小値のいず
れかから最大値のいずれかまでを含む範囲内のビッカース硬度を有することができること
が理解されよう。例えばビッカース硬度は、18GPa〜24.5の範囲内、または19
GPa〜24GPaの範囲内とすることができる。別の実施形態においては、ナノ結晶性
アルミナの物理特性は、同様にして研磨粒子に適用することができる。例えば研磨粒子は
、上述のビッカース硬度を有することができる。
ビッカース硬度は、研磨結晶粒のポリッシングした面でのダイヤモンド押込み法(当技
術分野で周知である)に基づいて測定することが理解されよう。研磨結晶粒の試料は、エ
ポキシ樹脂中でベークライトマウントを作製後、Struers Tegramin 3
0ポリッシングユニットを使用してダイヤモンドポリッシングスラリーでポリッシングす
ることにより調製する。Instron−Tukon 2100 Microhardn
essテスターを使用し、500gmの負荷と50倍対物レンズを用いて、5つの異なる
研磨粒子で、5回のダイヤモンド押込みを測定する。測定値はビッカース単位であり、ビ
ッカース単位を100で割ることによってGPaに変換する。好適な試料サイズを目的と
して、硬度の平均及び範囲を報告し、統計学的に関連する計算を行う。
一実施形態においては、ナノ結晶性アルミナは比破砕性を有することができ、比破砕性
は、同じ粗粒サイズを有する微結晶性アルミナの破壊と比較した、ナノ結晶性アルミナの
破壊である。両方の破壊は、以下でより詳細に開示する方法と同じ方法で測定する。ナノ
結晶性アルミナの比破砕性は、パーセントの形式で表すことができ、対応する微結晶性ア
ルミナの破砕性を基準とみなして100%に設定する。一実施形態においては、ナノ結晶
性アルミナの比破砕性は、100%超とすることができる。例えばナノ結晶性アルミナの
比破砕性は、102%以上、例えば105%以上、108%以上、110%以上、112
%以上、115%以上、120%以上、125%以上、または130%以上とすることが
できる。別の例においては、ナノ結晶性アルミナの比破砕性は、160%以下としてもよ
い。
比破砕性は一般に、平均直径3/4インチの炭化タングステンボールを使用して、所定
の時間、粒子試料を粉砕し、ボールミルから得られた材料をふるいにかけ、基準試料の破
壊パーセントに対する試料の破壊パーセントを測定することによって測定する。本発明の
実施形態においては、基準試料は、同じ粗粒サイズを有する微結晶性アルミナ試料であっ
た。
ボールミルの前に、基準試料(例えば、Saint−Gobain Corporat
ionからCerpass(登録商標)HTBとして入手可能な微結晶性アルミナ)の結
晶粒約300グラム〜350グラムを、WS Tyler Inc製のRo−Tap(登
録商標)ふるい振とう機(型式RX−29)に置いた1セットのスクリーンを使用してふ
るいにかける。スクリーンの粗粒サイズは、標的粒径の上下の既定数及び既定種類のふる
いを使用するよう、ANSIの表3に従って選択する。例えば粗粒の標的粒径が80の場
合には、プロセスでは以下の米国標準ふるいサイズ、1)60、2)70;3)80;4
)100;及び5)120を使用する。スクリーンは、スクリーンの粗粒サイズが上から
下に大きくなるよう重ねて、底部のスクリーンの下に受け皿を置いて、全てのスクリーン
を通過して落ちる結晶粒を収集する。Ro−Tap(登録商標)ふるい振とう機を、毎分
287±10振動の速度、タップ数カウント150±10で10分間作動させ、標的粗粒
サイズを有するスクリーン(以後、標的スクリーンと呼ぶ)上の粒子のみを標的粒径試料
として収集する。他の材料の試験試料に対して同じプロセスを繰り返し、標的粒径試料を
収集する。
ふるいにかけた後、標的粒径試料の各々の一部分を粉砕に付す。
きれいな空のミル容器をロールミルに設置する。ローラーのスピードを305rpmに
設定し、ミル容器のスピードを95rpmに設定する。平均直径3/4インチの扁平球状
の炭化タングステンボール約3500グラムを容器に入れる。基準材料試料の標的粒径試
料100グラムを、ボールと共にミル容器に入れる。容器を閉じ、ボールミルに設置し、
1分〜10分の間作動させる。ボールミルを停止し、Ro−Tap(登録商標)ふるい振
とう機、及び標的粒径試料の作製において使用したものと同じスクリーンを使用して、ボ
ールと結晶粒をふるいにかける。上述の条件と同じ条件を使用してロータリータッパーを
5分間作動させ、標的粒径試料を得る。標的スクリーンを通過して落ちる粒子を全て収集
して秤量する。基準試料の破壊パーセントは、標的スクリーンを通過した結晶粒の質量を
、標的粒径試料の始めの質量(すなわち100グラム)で割ったものである。破壊パーセ
ントが48%〜52%の範囲内である場合、2回目の標的粒径試料100グラムを、1回
目の試料に使用した条件と全く同じ条件を使用して試験し、再現性を測定する。2回目の
試料が48%〜52%の破壊パーセントを示す場合、値を記録する。2回目の試料が48
%〜52%の破壊パーセントを示さない場合、粉砕時間を調節するか、または、別の試料
を得て破壊パーセントが48%〜52%の範囲内になるまで粉砕時間を調節する。試験は
、連続した2つの試料で48%〜52%の範囲内の破壊パーセントが示されるまで繰り返
し、これらの結果を記録する。
代表的な試料材料(例えば、ナノ結晶性アルミナ粒子)の破壊パーセントは、48%〜
52%の破壊を有する基準試料を測定する方法と同じ方法で測定する。ナノ結晶性アルミ
ナ試料の比破砕性は、基準微結晶性試料の破壊と比較したナノ結晶性試料の破壊である。
別の例においては、ナノ結晶性アルミナは、3.85g/cc以上、例えば3.9g/
cc以上、または3.94g/cc以上の密度を有することができる。別の実施形態にお
いては、ナノ結晶性アルミナの密度は、4.12g/cc以下、例えば4.08g/cc
以下、4.02g/cc以下、またはさらには4.01g/cc以下としてもよい。ナノ
結晶性アルミナは、本明細書において記載する最小値のいずれかから最大値のいずれかま
でを含む範囲内の密度を有することができることが理解されよう。例えば密度は、3.8
5g/cc〜4.12g/cc、または3.94g/cc〜4.01g/ccの範囲内と
することができる。研磨粒子の密度は、本明細書において記載する値のいずれか、または
範囲のいずれかを含むことができることも理解されよう。
一実施形態によれば、研磨粒子は、少なくとも1種類の研磨粒子を含むことができる。
例えば研磨粒子は、第1の種類の研磨粒子と、第2の種類の研磨粒子と、を含むブレンド
を含むことができる。第1の種類の研磨粒子は、本明細書の実施形態のいずれかによるナ
ノ結晶性アルミナを含む研磨粒子を含む。第2の種類の研磨粒子は、酸化物、炭化物、窒
化物、ホウ化物、オキシ炭化物、オキシ窒化物、超砥粒、炭素系材料、凝集体、集合体、
成形研磨粒子、希釈剤粒子、及びそれらの組合せからなる群から選択される少なくとも1
種の材料を含むことができる。特定の実施形態においては、研磨粒子は、本質的にナノ結
晶性アルミナからなることができる。
一実施形態においては、本明細書の実施形態の研磨物品の本体部は、固定研磨物品を含
むことができる。別の実施形態においては、本体部は、砥石物品を含むことができる。砥
石物品は、結合材の3次元マトリックスに含有された研磨結晶粒を含むことができる。砥
石本体部は、当業者に公知の任意の好適な形状に形成させてもよい。好適な形状としては
、研磨ホイール、円錐、ホーン、カップ、フランジ付きホイール、先細カップ、セグメント、軸付先端ツール、円盤、薄型ホイール、及び大径切断ホイールなどが挙げられるが、これらに限定されない。
一実施形態によれば、研磨物品の本体部は、研磨物品の形成及び/または性能の改良を
容易にすることができる特定の含有量の研磨粒子を含むことができる。例えば研磨粒子の
含有量は、本体部の全体積の2体積%以上、4体積%以上、6体積%以上、8体積%以上
、10体積%以上、12体積%以上、14体積%以上、16体積%以上、18体積%以上
、20体積%以上、25体積%以上、30体積%以上、またはさらには35体積%以上と
することができる。別の例においては、砥石本体部中の研磨粒子の含有量は、65体積%
以下、例えば64体積%以下、62体積%以下、60体積%以下、58体積%以下、56
体積%以下、約54体積%以下、52体積%以下、50体積%以下、48体積%以下、4
6体積%以下、44体積%以下、42体積%以下、40体積%以下、38体積%以下、3
6体積%以下、34体積%以下、32体積%以下、30体積%以下、または28体積%超
、26体積%以下、24体積%以下、22体積%以下、または20体積%以下としてもよ
い。研磨粒子の含有量は、上述の最小のパーセントのいずれかと最大のパーセントのいず
れかを含む範囲内とすることができることが理解されよう。例えば本体部における研磨粒
子の含有量は、2体積%〜64体積%の範囲内、12体積%〜62体積%の範囲内、また
は20体積%〜58体積%の範囲内とすることができる。
一実施形態においては、本体部の全体積に対するナノ結晶性アルミナの含有量は、研磨
物品の形成及び/または性能の改良を容易にするよう制御してもよい。例えばナノ結晶性
アルミナの含有量は、1体積%以上、例えば2体積%以上、4体積%以上、6体積%以上
、8体積%以上、10体積%以上、12体積%以上、14体積%以上、16体積%以上、
18体積%以上、20体積%以上、25体積%以上、30体積%以上、または35体積%
以上とすることができる。別の実施形態においては、ナノ結晶性アルミナの含有量は、6
5体積%以下、例えば64体積%以下、62体積%以下、60体積%以下、58体積%以
下、56体積%以下、約54体積%以下、52体積%以下、50体積%以下、48体積%
以下、46体積%以下、44体積%以下、42体積%以下、40体積%以下、38体積%
以下、36体積%以下、34体積%以下、32体積%以下、30体積%以下、または28
体積%超、26体積%以下、24体積%以下、22体積%以下、または20体積%以下と
してもよい。研磨粒子の含有量は、上述の最小のパーセントのいずれかから最大のパーセ
ントのいずれかまでを含む範囲内とすることができることが理解されよう。例えば本体部
におけるナノ結晶性アルミナの含有量は、2体積%〜64体積%の範囲内、12体積%〜
62体積%の範囲内、または20体積%〜58体積%の範囲内とすることができる。
一実施形態によれば、本体部は、本明細書に実施形態において、特定の含有量の結合材
を含むことができる。例えば本体部の全体積に対する結合材の含有量は、1体積%以上、
例えば2体積%以上、5体積%以上、10体積%以上、20体積%以上、30体積%以上
、35体積%以上、40体積%以上、または45体積%以上とすることができる。別の例
では、結合材の含有量は、98体積%以下、例えば95体積%以下、90体積%以下、8
5体積%以下、80体積%以下、75体積%以下、70体積%以下、65体積%以下、ま
たは60体積%以下、55体積%以下、50体積%以下、または45体積%以下、40体
積%以下、または35体積%以下、30体積%以下、または25体積%以下としてもよい
。結合材の含有量は、上述の最小のパーセントのいずれかから最大のパーセントのいずれ
かまでを含む範囲内とすることができることが理解されよう。例えば本体部における結合
材の含有量は、1体積%〜98体積%の範囲内、5体積%〜85体積%の範囲内、または
20体積%〜70体積%の範囲内とすることができる。
研磨物品の本体部は、特定の気孔率を有するよう形成させることができる。一実施形態
においては、気孔率は、本体部の全体積の1体積%以上とすることができる。例えば気孔
率は、2体積%以上、4体積%以上、6体積%以上、8体積%以上、10体積%以上、1
2体積%以上、14体積%以上、16体積%以上、18体積%以上、20体積%以上、2
5体積%以上、30体積%以上、40体積%以上、45体積%以上、50体積%以上、ま
たは55体積%以上とすることができる。別の実施形態においては、本体部の気孔率は、
80体積%以下としてもよい。例えば気孔率は、75体積%以下、70体積%以下、60
体積%以下、55体積%以下、50体積%以下、45体積%以下、40体積%以下、35
体積%以下、30体積%以下、25体積%以下、20体積%以下、15体積%以下、10
体積%以下、5体積%以下、または2体積%以下としてもよい。本体部の気孔率は、上述
の最小のパーセントのいずれかから最大のパーセントのいずれかまでを含む範囲内とする
ことができることが理解されよう。例えば本体部における結合材の含有量は、1体積%〜
80体積%の範囲内、8体積%〜55体積%の範囲内、または14体積%〜30体積%の
範囲内とすることができる。
本体部の気孔は、様々な形態とすることができる。例えば気孔は、閉気孔もしくは開気
孔とすることができ、または閉気孔及び開気孔を含むことができる。一実施形態において
は、気孔は、閉気孔、開気孔、及びそれらの組合せからなる群から選択される種類の気孔
を含むことができる。別の実施形態においては、気孔の大部分は、開気孔を含むことがで
きる。特定の実施形態においては、全ての気孔は、本質的に開気孔とすることができる。
さらに、別の実施形態においては、気孔の大部分は、閉気孔を含むことができる。例えば
全ての気孔は、本質的に閉気孔とすることができる。
本体部は、特定の平均細孔径を有する細孔を含むことができる。一実施形態においては
、平均細孔径は、500ミクロン以下、例えば450ミクロン以下、400ミクロン以下
、350ミクロン以下、300ミクロン以下、250ミクロン以下、200ミクロン以下
、150ミクロン以下、または100ミクロン以下としてもよい。別の実施形態において
は、平均細孔径は、0.01ミクロン以上、0.1ミクロン以上、または1ミクロン以上
とすることができる。本体部は、上述の最小値のいずれかから最大値のいずれかまでを含
む範囲内の平均細孔径を有することができることが理解されよう。例えば本体部の平均細
孔径は、0.01ミクロン〜500ミクロンの範囲内、0.1ミクロン〜350ミクロン
の範囲内、または1ミクロン〜250ミクロンの範囲内とすることができる。
一実施形態によれば、本明細書の実施形態の研磨粒子は非凝集化粒子を含むことができ
、例えばナノ結晶性アルミナを含む研磨粒子は、非凝集化粒子とすることができる。別の
実施形態によれば、研磨粒子は凝集化粒子を含むことができ、例えばナノ結晶性アルミナ
を含む研磨粒子は、凝集化粒子とすることができる。
一実施形態においては、ナノ結晶性アルミナを含む研磨粒子は、成形研磨粒子である。
粒子は、2次元形状、3次元形状、またはそれらの組合せを有することができる。例示的
な2次元形状としては、正多角形、非正多角形、不規則形状、三角形、部分的に凹んだ三
角形、四辺形、長方形、台形、五角形、六角形、七角形、八角形、楕円、ギリシャ語アル
ファベット文字、ラテン語アルファベット文字、ロシア語アルファベット文字、及びそれ
らの組合せが挙げられる。一実施形態によれば、研磨粒子は、上述の2次元形状物のいず
れかからなることができる。例示的な3次元形状には、多面体、ピラミッド形、楕円体、
球、角柱、円柱、円錐、四面体、立方体、直方体、菱面体、角錐台、頂部が切断された楕
円体、頂部が切断された球、円錐台、五面体、六面体、七面体、八面体、九面体、十面体
、ギリシャ語アルファベット文字、ラテン語アルファベット文字、ロシア語アルファベッ
ト文字、漢字、複合多角形形状、不規則形状の輪郭、火山形状、モノスタティック形状、
及びそれらの組合せが含まれ得る。モノスタティック形状は、単一の安定静止位置を有す
る形状とすることができる。別の実施形態によれば、研磨粒子は、上述の3次元形状物の
いずれかからなることができる。特定の実施形態においては、成形研磨粒子は、三角形の
2次元形状を有することができる。別の特定の実施形態においては、成形研磨粒子は、部
分的に凹んだ三角形の2次元形状を有することができる。成形研磨粒子及び形成方法は、
Doruk O. YenerらによるUS2013/0236725A1、及びDor
uk O. YenerらによるUS2012/0167481において見出すことがで
き、これらは両方ともに、参照によってその全体を本明細書に組み入れる。
図2は、例示的な成形研磨粒子200の斜視図を含む。成形研磨粒子は、3次元形状を
有する本体部201を含むことができる。本体部201は概して、第1の端面202と第
2の端面204とを有する角柱とすることができる。さらに、成形研磨粒子200は、第
1の端面202と第2の端面204の間に延在する第1の側面210を含むことができる
。第2の側面212は、第1の側面210に隣接して、第1の端面202と第2の端面2
04の間に延在してもよい。示すように、成形研磨粒子200は、第2の側面212及び
第1の側面210に隣接して、第1の端面202と第2の端面204の間に延在する第3
の側面214も含んでもよい。示すように、成形研磨粒子本体部201の各端面202、
204は、概して三角形の形状としてもよい。各側面210、212、214は、概して
長方形の形状としてもよい。さらに、端面202、204に平行な平面での成形研磨粒子
本体部201の断面は、概して三角形である。
図3は、別の研磨粒子300の斜視図を含む。示すように、研磨粒子300は、上面3
05と、上面305の反対側の底面306と、を有する本体部301を含む3次元形状を
有することができる。さらに示すように、本体部301は、上面305と底面306の間
に延在する側面302、303、307、及び308を有するよう形成させることができ
る。
示すように、本体部301は、本体部の長さ(Lb)、本体部の幅(Wb)、及び本体
部の厚さ(Tb)を有することができ、Lb>Wb、Lb>Tb、及びWb>Tbである
。特定の実施形態においては、本体部は、1:1以上の第1のアスペクト比(Lb:Wb
)を有するよう形成させることができる。例えばアスペクト比(Lb:Wb)は、2:1
以上、3:1以上、5:1以上、または10:1以上とすることができる。別の例におい
ては、アスペクト比(Lb:Wb)は、1000:1以下、または500:1以下として
もよい。アスペクト比(Lb:Wb)は、上述の最小値のいずれかから最大値のいずれか
までを含む範囲内、例えば1:1〜1000:1とすることができることが理解されよう
。別の実施形態によれば、本体部は、1:1以上、2:1以上、3:1以上、5:1以上
、または10:1以上の第2のアスペクト比(Lb:Tb)を有することができる。第2
のアスペクト比は、約1000:1以下としてもよい。第2のアスペクト比(Lb:Tb
)は、上述の最小値のいずれかから最大値のいずれかまでを含む範囲内、例えば1:1〜
1000:1とすることができることが理解されよう。さらに、別の実施形態によれば、
本体部は、1:1以上、2:1以上、3:1以上、5:1以上、または10:1以上の第
3のアスペクト比(Wb:Tb)を有することができる。第3のアスペクト比は、約10
00:1以下としてもよい。第3のアスペクト比(Wb:Tb)は、上述の最小値のいず
れかから最大値のいずれかまでを含む範囲内、例えば1:1〜1000:1とすることが
できることが理解されよう。
さらなる実施形態においては、本体部の長さ(Lb)、本体部の幅(Wb)、及び本体
部の厚さ(Tb)のうちの少なくとも1つは、0.1ミクロン以上の平均寸法を有するこ
とができる。例えば平均寸法は、1ミクロン以上、10ミクロン以上、50ミクロン以上
、100ミクロン以上、または150ミクロン以上、200ミクロン以上、400ミクロ
ン以上、600ミクロン以上、800ミクロン以上、または1mm以上とすることができ
る。別の例では、平均寸法は、20mm以下、例えば18mm以下、16mm以下、14
mm以下、12mm以下、10mm以下、8mm以下、6mm以下、または4mm以下と
してもよい。平均寸法は、上述の最小値のいずれかから最大値のいずれかまでを含む範囲
内、例えば1ミクロン〜20mm、10ミクロン〜18mm、50ミクロン〜14mm、
または200ミクロン〜8mmとすることができることが理解されよう。
一実施形態によれば、本体部は、本体部の長さと本体部の幅とによって画定される平面
において、断面形状を有することができる。その断面形状には、三角形、四辺形、長方形
、台形、五角形、六角形、七角形、八角形、楕円、ギリシャ語アルファベット文字、ラテ
ン語アルファベット文字、ロシア語アルファベット文字、及びそれらの組合せが含まれ得
る。別の実施形態によれば、本体部は、本体部の長さと本体部の厚さとによって画定され
る平面において、断面形状を有することができる。その断面形状には、三角形、四辺形、
長方形、台形、五角形、六角形、七角形、八角形、楕円、ギリシャ語アルファベット文字
、ラテン語アルファベット文字、ロシア語アルファベット文字、及びそれらの組合せが含
まれ得る。本体部は、上述の形状のいずれかの断面形状を有することができる。例えば図
4は、幅と厚さとによって画定される面で見た場合に、概して四辺形形状、より詳細には
長方形の2次元形状を有する研磨粒子400の断面図を含む。あるいは、図5は、長さと
幅とによって画定される平面で見た場合に、概して八角形の2次元形状を有することがで
きる研磨粒子500の斜視図を含む。
多くの異なる態様及び実施形態が可能である。これらの態様及び実施形態のいくつかは
本明細書において記載されている。本明細書を読了後、当業者であれば、これらの態様及
び実施形態が単に説明用であり、本発明の範囲を限定するものではないことを認識するで
あろう。さらに、当業者であれば、アナログ回路を含む一部の実施形態は、デジタル回路
を使用して同様に実施することができ、逆の場合も同様であることを理解するであろう。
実施形態は、以下に挙げる実施形態のいずれか1つまたは複数に従ってもよい。
実施形態1。
セラミックスを含む無機材料を含む結合材;及び
結合材に含有された研磨粒子であって、ナノ結晶性アルミナを含む研磨粒子
を含む本体部
を含む研磨物品。
実施形態2。
セラミックスを含む無機材料を含む結合材;及び
結合材に含有された研磨粒子であって、ナノ結晶性アルミナを含む研磨粒子
を含む混合物を形成させること;ならびに
混合物を、約900℃以上かつ約1200℃以下の形成温度に加熱することによって、
混合物を研磨物品へと形成させること
を含む、研磨物品を形成させる方法。
実施形態3。結合材が、非晶相を有するガラス材料を含む、実施形態1または2に記載
の研磨物品または方法。
実施形態4。結合材が、多結晶相を有する非ガラス材料を含む、実施形態1または2に
記載の研磨物品または方法。
実施形態5。結合材が、多結晶材料とガラス材料の混合物を含む、実施形態1または2
に記載の研磨物品または方法。
実施形態6。結合材が、非晶相を有するガラス材料から本質的になる、実施形態1また
は2に記載の研磨物品または方法。
実施形態7。結合材が、結合材の総重量の約30重量%以下、または約28重量%以下
、または約26重量%以下、または約24重量%以下、または約22重量%以下の酸化ホ
ウ素(B)を含む、実施形態1または2に記載の研磨物品または方法。
実施形態8。結合材が、結合材の総重量の約5重量%以上、または約8重量%以上、ま
たは約10重量%以上、または約12重量%以上、または約15重量%以上の酸化ホウ素
(B)を含む、実施形態1または2に記載の研磨物品または方法。
実施形態9。結合材が、結合材の総重量の約80重量%以下、または約75重量%以下
、または約70重量%以下、または約65重量%以下、または約60重量%以下、または
約55重量%以下、または約52重量%以下、または約50重量%以下の酸化ケイ素(S
iO)を含む、実施形態1または2に記載の研磨物品または方法。
実施形態10。結合材が、結合材の総重量の約25重量%以上、または約35重量%以
上、または約38重量%以上、または約40重量%以上の酸化ケイ素(SiO)を含む
、実施形態1または2に記載の研磨物品または方法。
実施形態11。結合剤が、酸化ホウ素(B)及び酸化ケイ素(SiO)を含み
、酸化ホウ素及び酸化ケイ素の合計含有量が、約80重量%以下、または約77重量%以
下、または約75重量%以下、または約73重量%以下、または約70重量%以下、また
は約70重量%以下、または約65重量%以下である、実施形態1または2に記載の研磨
物品または方法。
実施形態12。結合剤が、酸化ホウ素(B)及び酸化ケイ素(SiO)を含み
、酸化ホウ素及び酸化ケイ素の合計含有量が、約40重量%以上、または約42重量%以
上、または約46重量%以上、または約48重量%以上、または50重量%以上である、
実施形態1または2に記載の研磨物品または方法。
実施形態13。結合材が、約5.5:1以下、または約5.2:1以下、または約5:
1以下、または4.8:1以下の酸化ケイ素(SiO)の重量パーセント:酸化ホウ素
(B)の重量パーセントの比を有する、実施形態1または2に記載の研磨物品また
は方法。
実施形態14。結合材が、約1:1以上、または約1.3:1以上、または約1.5:
1以上、または約1.7:1以上、または2.0:1以上、または2.2:1以上の酸化
ケイ素(SiO)の重量パーセント:酸化ホウ素(B)の重量パーセントの比を
有する、実施形態1または2に記載の研磨物品または方法。
実施形態15。結合剤が、結合材の総重量の約5重量%以上、または約8重量%以上、
または約10重量%以上、または約12重量%以上、または約14重量%以上の酸化アル
ミニウム(Al)を含む、実施形態1または2に記載の研磨物品または方法。
実施形態16。結合剤が、結合材の総重量の約30重量%以下、または約28重量%以
下、または約25重量%以下、または約23重量%以下、または約20重量%以下の酸化
アルミニウム(Al)を含む、実施形態1または2に記載の研磨物品または方法。
実施形態17。結合剤が、酸化アルミニウム(Al)及び酸化ケイ素(SiO
)を含み、酸化アルミニウム及び酸化ケイ素の合計含有量が、約50重量%以上、または
約52重量%以上、または約56重量%以上、または約58重量%以上、または約60重
量%以上である、実施形態1または2に記載の研磨物品または方法。
実施形態18。結合剤が、酸化アルミニウム(Al)及び酸化ケイ素(SiO
)を含み、酸化アルミニウム及び酸化ケイ素の合計含有量が、約80重量%以下、または
約77重量%以下、または約75重量%以下、または約73重量%以下である、実施形態
1または2に記載の研磨物品または方法。
実施形態19。結合材が、約2.5:1以下、または約2.2:1以下、または約2:
1以下の酸化ケイ素(SiO)の重量パーセント:酸化アルミニウム(Al)の
重量パーセントの比を有する、実施形態1または2に記載の研磨物品または方法。
実施形態20。結合材が、約1:1以上、または約1.3:1以上、または約1.5:
1以上、または約1.7:1以上の酸化ケイ素(SiO)の重量パーセント:酸化アル
ミニウム(Al)の重量パーセントの比を有する、実施形態1または2に記載の研
磨物品または方法。
実施形態21。結合材が、少なくとも1種のアルカリ土類酸化物化合物(RO)を含み
、アルカリ土類酸化物化合物(RO)の合計含有量が、結合材の総重量の約3.0重量%
以下、または約2.5重量%以下、または約2重量%以下である、実施形態1または2に
記載の研磨物品または方法。
実施形態22。結合材が、少なくとも1種のアルカリ土類酸化物化合物(RO)を含み
、アルカリ土類酸化物化合物(RO)の合計含有量が、約0.5重量%以上、または0.
8重量%以上である、実施形態1または2に記載の研磨物品または方法。
実施形態23。結合材が、酸化カルシウム(CaO)、酸化マグネシウム(MgO)、
酸化バリウム(BaO)、酸化ストロンチウム(SrO)の群から選択される、約3種以
下の異なるアルカリ土類酸化物化合物(RO)を含む、実施形態1または2に記載の研磨
物品または方法。
実施形態24。結合材が、結合材の総重量の約0.5重量%以上、または約0.8重量
%以上、または約1重量%以上の酸化カルシウム(CaO)を含む、実施形態1または2
に記載の研磨物品または方法。
実施形態25。結合材が、結合材の総重量の約3重量%以下、または約2.8重量%以
下、または約2.5重量%以下、または約2重量%以下、または約1.7重量%以下の酸
化カルシウム(CaO)を含む、実施形態1または2に記載の研磨物品または方法。
実施形態26。結合材が、酸化リチウム(LiO)、酸化ナトリウム(NaO)、
酸化カリウム(KO)、及び酸化セシウム(CsO)、ならびにそれらの組合せから
なる化合物群から選択されるアルカリ酸化物化合物(RO)を含む、実施形態1または
2に記載の研磨物品または方法。
実施形態27。結合材が、少なくとも1種のアルカリ酸化物化合物(RO)を含み、
アルカリ酸化物化合物(RO)の合計含有量が、約25重量%以下、または約22重量%
以下、または約20重量%以下である、実施形態1または2に記載の研磨物品または方法
実施形態28。結合材が、少なくとも1種のアルカリ酸化物化合物(RO)を含み、
アルカリ酸化物化合物(RO)の合計含有量が、約3重量%以上、または約5重量%以上
、または約7重量%以上、または約9重量%以上である、実施形態1または2に記載の研
磨物品または方法。
実施形態29。結合材が、結合材の総重量の約1重量%以上、または約1.5重量%以
上、または約2重量%以上の酸化リチウム(LiO)を含む、実施形態1または2に記
載の研磨物品または方法。
実施形態30。結合材が、結合材の総重量の約7重量%以下、または約6.5重量%以
下、または約6重量%以下、または約5.5重量%以下、または約5重量%以下の酸化リ
チウム(LiO)を含む、実施形態1または2に記載の研磨物品または方法。
実施形態31。結合材が、結合材の総重量の約3重量%以上、または約4重量%以上、
または約5重量%以上の酸化ナトリウム(NaO)を含む、実施形態1または2に記載
の研磨物品または方法。
実施形態32。結合材が、結合材の総重量の約14重量%以下、または約13重量%以
下、または約12重量%以下、または約11重量%以下、または約10重量%以下の酸化
ナトリウム(NaO)を含む、実施形態1または2に記載の研磨物品または方法。
実施形態33。結合材が、結合材の総重量の約1重量%以上、または約1.5重量%以
上、または約2重量%以上の酸化カリウム(KO)を含む、実施形態1または2に記載
の研磨物品または方法。
実施形態34。結合材が、結合材の総重量の約7重量%以上、または約6.5重量%以
下、または約6重量%以下、または約5.5重量%以下、または約5重量%以下の酸化カ
リウム(KO)を含む、実施形態1または2に記載の研磨物品または方法。
実施形態35。結合材が、約3.0重量%以下の酸化リン(P)を含むか、また
は結合材が酸化リン(P)を本質的に含まない、実施形態1または2に記載の研磨
物品または方法。
実施形態36。結合材が、TiO、Fe、MnO、ZrSiO、CoAl
、及びMgOからなる群から選択される酸化物化合物を本質的に含まない組成物を
含む、実施形態1または2に記載の研磨物品または方法。
実施形態37。結合材が、約1200℃以下、または約1175℃以下、または約11
50℃以下、または約1125℃以下、または約1100℃以下の形成温度を有する、実
施形態1または2に記載の研磨物品または方法。
実施形態38。結合材が、約900℃以上、または約950℃以上、または約975℃
以上の形成温度を有する、実施形態1または2に記載の研磨物品または方法。
実施形態39。研磨粒子が、約0.15ミクロン以下、または約0.14ミクロン以下
、または約0.13ミクロン以下、または0.12以下、または0.11以下、または0
.1以下の平均結晶子サイズを有するナノ結晶性アルミナを含む、実施形態1または2に
記載の研磨物品または方法。
実施形態40。研磨粒子が、約0.01ミクロン以上、または約0.02ミクロン以上
、または約0.05ミクロン以上、または約0.06ミクロン以上、または約0.07ミ
クロン以上、または約0.08ミクロン以上、または約0.09ミクロン以上の平均結晶
子サイズを有するナノ結晶性アルミナを含む、実施形態1または2に記載の研磨物品また
は方法。
実施形態41。ナノ結晶性アルミナが、粒子の総重量の約51重量%以上、または約6
0重量%以上、または約70重量%以上、または約80重量%以上、または約85重量%
以上、または約90重量%以上、または約92重量%以上、または約93重量%以上、ま
たは約94重量%以上のアルミナを含む、実施形態1または2に記載の研磨物品または方
法。
実施形態42。ナノ結晶性アルミナが、粒子の総重量の約99.9重量%以下、または
約99重量%以下、または約98.5重量%以下、または約98重量%以下、または約9
7.5重量%以下、または約97重量%以下、または約96.5重量%以下、または約9
6重量%以下のアルミナを含む、実施形態1または2に記載の研磨物品または方法。
実施形態43。ナノ結晶性アルミナが、遷移金属元素、希土類元素、アルカリ金属元素
、アルカリ土類金属元素、ケイ素、及びそれらの組合せからなる群から選択される少なく
とも1種の添加物を含む、実施形態1または2に記載の研磨物品または方法。
実施形態44。添加物が、マグネシウム、ジルコニウム、カルシウム、ケイ素、鉄、イ
ットリウム、ランタン、セリウム、及びそれらの組合せからなる群から選択される材料を
含む、実施形態43に記載の研磨物品または方法。
実施形態45。添加物が、マグネシウム、ジルコニウム、カルシウム、ケイ素、鉄、イ
ットリウム、ランタン、及びセリウムからなる群から選択される2種以上の材料を含む、
実施形態43に記載の研磨物品または方法。
実施形態46。ナノ結晶性アルミナが、ナノ結晶性アルミナ粒子の総重量の約12重量
パーセント以下、または約11重量%以下、または約10重量%以下、または約9.5重
量%以下、または約9重量%以下、または約8.5重量%以下、または約8重量%以下、
または約7.5重量%以下、または約7重量%以下、または約6.5重量%以下、または
約6重量%以下、または約5.8重量%以下、または約5.5重量%以下、または約5.
3重量%以下、または約5重量%以下の合計含有量の添加物を含む、実施形態43に記載
の研磨物品または方法。
実施形態47。ナノ結晶性アルミナが、ナノ結晶性アルミナ粒子の総重量の約0.1重
量%以上、または約0.3重量%以上、または約0.5重量%以上、または約0.7重量
%以上、または約1重量%以上、または約1.3重量%以上、または約1.5重量%以上
、または約1.7重量%以上、または約2重量%以上、または約2.3重量%以上、また
は約2.5重量%以上、または約2.7重量%、または約3重量%以上の合計含有量の添
加物を含む、実施形態43に記載の研磨物品または方法。
実施形態48。添加物が酸化マグネシウム(MgO)を含む、実施形態43に記載の研
磨物品または方法。
実施形態49。ナノ結晶性アルミナが、ナノ結晶性アルミナの総重量の約0.1重量%
以上、または約0.3重量%以上、または約0.5重量%以上、または約0.7重量%以
上、または約0.8重量%以上のMgOを含む、実施形態48に記載の研磨物品または方
法。
実施形態50。ナノ結晶性アルミナが、ナノ結晶性アルミナの総重量の約5重量%以下
、または約4.5重量%以下、または約4重量%以下、または約3.5重量%以下、また
は約3重量%以下、または約2.8重量%以下のMgOを含む、実施形態48に記載の研
磨物品または方法。
実施形態51。添加物が酸化ジルコニウム(ZrO)を含む、実施形態43に記載の
研磨物品または方法。
実施形態52。ナノ結晶性アルミナが、ナノ結晶性アルミナの総重量の約0.1重量%
以上、または約0.3重量%以上、または約0.5重量%以上、または約0.7重量%以
上、または約0.8重量%以上、または約1重量%以上、または約1.3重量%以上、ま
たは約1.5重量%以上、または約1.7重量%以上、または約2重量%以上のZrO
を含む、実施形態51に記載の研磨物品または方法。
実施形態53。ナノ結晶性アルミナが、ナノ結晶性アルミナの総重量の約8重量%以下
、または約7重量%以下、または約6重量%以下、または約5.8重量%以下、または約
5.5重量%以下、または約5.2重量%以下のZrOを含む、実施形態51に記載の
研磨物品または方法。
実施形態54。添加物が、酸化マグネシウム(MgO)及び酸化ジルコニウム(ZrO
)を含む、実施形態43に記載の研磨物品または方法。
実施形態55。ナノ結晶性アルミナが、1.5以下の添加物比(MgO/ZrO)を
有し、MgOはナノ結晶性アルミナにおけるMgOの重量パーセントであり、ZrO
ナノ結晶性アルミナにおけるZrOの重量パーセントであり、添加物比(MgO/Zr
)が約1.4以下、または約1.3以下、または約1.2以下、または約1.1以下
、または約1以下、または約0.95以下、または約0.9以下、または約0.85以下
、または約0.8以下、または約0.75以下、または約0.7以下、または約0.65
以下、または約0.6以下、または約0.55以下である、実施形態54に記載の研磨物
品または方法。
実施形態56。ナノ結晶性アルミナが、約0.01以上の添加物比(MgO/ZrO
)を有し、MgOはナノ結晶性アルミナにおけるMgOの重量パーセントであり、ZrO
はナノ結晶性アルミナにおけるZrOの重量パーセントであり、添加物比(MgO/
ZrO)が約0.05以上、または約0.1以上、または約0.2以上、または約0.
3以上、または約0.4以上、または約0.5以上である、実施形態54に記載の研磨物
品または方法。
実施形態57。添加物が酸化カルシウム(CaO)を含む、実施形態43に記載の研磨
物品または方法。
実施形態58。ナノ結晶性アルミナが、ナノ結晶性アルミナの総重量の約0.01重量
%以上、または約0.05重量%以上、または約0.07重量%以上、または約0.1重
量%以上、または約0.15重量%以上、または約0.2重量%以上、または約0.25
重量%以上のCaOを含む、実施形態57に記載の研磨物品または方法。
実施形態59。ナノ結晶性アルミナが、ナノ結晶性アルミナの総重量の約5重量%以下
、または約4重量%以下、または約3重量%以下、または約2重量%以下、または約1重
量%以下、または約0.7重量%以下、または約0.5重量%以下のCaOを含む、実施
形態57に記載の研磨物品または方法。
実施形態60。添加物が、酸化マグネシウム(MgO)及び酸化カルシウム(CaO)
を含む、実施形態43に記載の研磨物品または方法。
実施形態61。ナノ結晶性アルミナが、1以下の添加物比(CaO/MgO)を有し、
MgOはナノ結晶性アルミナにおけるMgOの重量パーセントであり、CaOはナノ結晶
性アルミナにおけるCaOの重量パーセントであり、添加物比(CaO/MgO)が約0
.95以下、または約0.9以下、または約0.85以下、または約0.8以下、または
約0.75以下、または約0.7以下、または約0.65以下、または約0.6以下、ま
たは約0.55以下、または約0.5以下、または約0.45以下、または約0.4以下
である、実施形態60に記載の研磨物品または方法。
実施形態62。ナノ結晶性アルミナが、約0.01以上の添加物比(CaO/MgO)
を有し、MgOはナノ結晶性アルミナにおけるMgOの重量パーセントであり、CaOは
ナノ結晶性アルミナにおけるCaOの重量パーセントであり、添加物比(CaO/MgO
)が約0.05以上、または約0.1以上、または約0.15以上、または約0.2以上
、または約0.25以上である、実施形態60に記載の研磨物品または方法。
実施形態63。ナノ結晶性アルミナが、酸化イットリウム、酸化セリウム、酸化プラセ
オジム、酸化サマリウム、酸化イッテルビウム、酸化ネオジム、酸化ランタン、酸化ガド
リニウム、酸化ジスプロシウム、酸化エルビウム、それらの前駆体、及びそれらの組合せ
からなる群から選択される希土類酸化物を含む、実施形態1または2に記載の研磨物品ま
たは方法。
実施形態64。ナノ結晶性アルミナが、希土類アルミナ結晶子を含む、実施形態1また
は2に記載の研磨物品または方法。
実施形態65。ナノ結晶性アルミナが、スピネル材料を含む、実施形態1または2に記
載の研磨物品または方法。
実施形態66。ナノ結晶性材料がナノ結晶性粒子を含み、各粒子が、各粒子の全体積の
約50体積%以上の結晶性材料もしくは多結晶材料、もしくは約75体積%以上の結晶性
材料もしくは多結晶材料、もしくは約85体積%以上の結晶性材料もしくは多結晶材料、
もしくは約90体積%以上の結晶性材料もしくは多結晶材料、もしくは約95体積%以上
の結晶性材料もしくは多結晶材料を含むか、または各粒子が、結晶性材料もしくは多結晶
材料から本質的になる、実施形態1または2に記載の研磨物品または方法。
実施形態67。ナノ結晶性アルミナが、希土類酸化物及び鉄を本質的に含まない、実施
形態1または2に記載の研磨物品または方法。
実施形態68。ナノ結晶性アルミナが希土類アルミン酸塩相を含む、実施形態1または
2に記載の研磨物品または方法。
実施形態69。ナノ結晶性アルミナが、約18GPa以上、または約18.5GPa以
上、または19GPa以上、または約19.5GPa以上のビッカース硬度を有する、実
施形態1または2に記載の研磨物品または方法。
実施形態70。ナノ結晶性アルミナが、約3.85g/cc以上、または約3.9g/
cc以上、または約3.94g/cc以上の密度を有する、実施形態1または2に記載の
研磨物品または方法。
実施形態71。本体部が固定研磨物品を含む、実施形態1または2に記載の研磨物品ま
たは方法。
実施形態72。本体部が、結合材の3次元マトリックスに含有された研磨結晶粒を含む
砥石物品を含む、実施形態1または2に記載の研磨物品または方法。
実施形態73。本体部が、本体部の全体積の約1体積%以上、または約2体積%以上、
または約4体積%以上、または約6体積%以上、または約8体積%以上、または約10体
積%以上、または約12体積%以上、または約14体積%以上、または約16体積%以上
、約18体積%以上、または約20体積%以上、または約25体積%以上、または約30
体積%以上、または約35体積%以上の研磨粒子を含む、実施形態1または2に記載の研
磨物品または方法。
実施形態74。本体部が、本体部の全体積の約65体積%以下、または約64体積%以
下、または約62体積%以下、または約60体積%以下、または約58体積%以下、また
は約56体積%以下、または約54体積%以下、または約52体積%以下、または約50
体積%以下、または約48体積%以下、または約46体積%以下、または約44体積%以
下、または約42体積%以下、または約40体積%以下、または約38体積%以下、また
は約36体積%以下、または約34体積%以下、または約32体積%以下、または約30
体積%以下、または約28体積%以下、または約26体積%以下、または約24体積%以
下、または約22体積%以下、または約20体積%以下の研磨粒子を含む、実施形態1ま
たは2に記載の研磨物品または方法。
実施形態75。本体部が、本体部の全体積の約1体積%以上、または約2体積%以上、
または約4体積%以上、または約6体積%以上、または約8体積%以上、または約10体
積%以上、または約12体積%以上、または約14体積%以上、または約16体積%以上
、約18体積%以上、または約20体積%以上、または約25体積%以上、または約30
体積%以上、または約35体積%以上のナノ結晶性アルミナを含む、実施形態1または2
に記載の研磨物品または方法。
実施形態76。本体部が、本体部の全体積の約65体積%以下、または約64体積%以
下、または約62体積%以下、または約60体積%以下、または約58体積%以下、また
は約56体積%以下、または約54体積%以下、または約52体積%以下、または約50
体積%以下、または約48体積%以下、または約46体積%以下、または約44体積%以
下、または約42体積%以下、または約40体積%以下、または約38体積%以下、また
は約36体積%以下、または約34体積%以下、または約32体積%以下、または約30
体積%以下、または約28体積%以下、または約26体積%以下、または約24体積%以
下、または約22体積%以下、または約20体積%以下のナノ結晶性アルミナを含む、実
施形態1または2に記載の研磨物品または方法。
実施形態77。研磨粒子が、ナノ結晶性アルミナを含む第1の種類の研磨粒子と、酸化
物、炭化物、窒化物、ホウ化物、オキシ炭化物、オキシ窒化物、超砥粒、炭素系材料、凝
集体、集合体、成形研磨粒子、及びそれらの組合せからなる群から選択される第2の種類
の研磨粒子と、を含むブレンドを含む、実施形態1または2に記載の研磨物品または方法
実施形態78。研磨粒子が、本質的にナノ結晶性アルミナからなる、実施形態1または
2に記載の研磨物品または方法。
実施形態79。本体部が、本体部の全体積の約1体積%以上、または約2体積%以上、
または約5体積%以上、または約10体積%以上、または約20体積%以上、または約3
0体積%以上、または約35体積%以上、または約40体積%以上、または約45体積%
以上の結合材を含む、実施形態1または2に記載の研磨物品または方法。
実施形態80。本体部が、本体部の全体積の約98体積%以下、または約95体積%以
下、または約90体積%以下、または約85体積%以下、または約80体積%以下、また
は約75体積%以下、または約70体積%以下、または約65体積%以下、または約60
体積%以下、または約55体積%以下、または約50体積%以下、または約45体積%以
下、または約40体積%以下、または約35体積%以下、または約30体積%以下、また
は約25体積%以下の結合材を含む、実施形態1または2に記載の研磨物品または方法。
実施形態81。本体部が、本体部の全体積の約1体積%以上、または約2体積%以上、
または約4体積%以上、または約6体積%以上、または約8体積%以上、または約10体
積%以上、または約12体積%以上、または約14体積%以上、または約16体積%以上
、または約18体積%以上、または約20体積%以上、または約25体積%以上、または
約30体積%以上、または約40体積%以上、または約45体積%以上、または約50体
積%以上、または約55体積%以上の気孔率を有する、実施形態1または2に記載の研磨
物品または方法。
実施形態82。本体部が、本体部の全体積の約80体積%以下、または約75体積%以
下、または約70体積%以下、または約60体積%以下、または約55体積%以下、また
は約50体積%以下、または約45体積%以下、または約40体積%以下、または約35
体積%以下、または約30体積%以下、または約25体積%以下、または約20体積%以
下、または約15体積%以下、または約10体積%以下、または約5体積%以下、または
約2体積%以下の気孔率を有する、実施形態1または2に記載の研磨物品または方法。
実施形態83。本体部が、閉気孔、開気孔、及びそれらの組合せからなる群から選択さ
れる種類の気孔を含む、実施形態1または2に記載の研磨物品または方法。
実施形態84。本体部が気孔を含み、気孔の大部分が開気孔であるか、本質的に全ての
気孔が開気孔である、実施形態1または2に記載の研磨物品または方法。
実施形態85。本体部が気孔を含み、気孔の大部分が閉気孔であり、本質的に全ての気
孔が閉気孔である、実施形態1または2に記載の研磨物品または方法。
実施形態86。本体部が、約500ミクロン以下、または約450ミクロン以下、また
は約400ミクロン以下、または約350ミクロン以下、または約300ミクロン以下、
または250ミクロン以下、または約200ミクロン以下、または約150ミクロン以下
、または約100ミクロン以下の平均細孔径を有する気孔を含む、実施形態1または2に
記載の研磨物品または方法。
実施形態87。本体部が、約0.01ミクロン以上、または約0.1ミクロン以上、ま
たは約1ミクロン以上の平均細孔径を有する気孔を含む、実施形態1または2に記載の研
磨物品または方法。
実施形態88。ナノ結晶性アルミナを含む研磨粒子が非凝集化粒子である、実施形態1
または2に記載の研磨物品または方法。
実施形態89。ナノ結晶性アルミナを含む研磨粒子が凝集化粒子である、実施形態1ま
たは2に記載の研磨物品または方法。
実施形態90。ナノ結晶性アルミナを含む研磨粒子が成形研磨粒子である、実施形態1
または2に記載の研磨物品または方法。
実施形態91。成形研磨粒子が、正多角形、非正多角形、不規則形状、三角形、部分的
に凹んだ三角形、四辺形、長方形、台形、五角形、六角形、七角形、八角形、楕円、ギリ
シャ語アルファベット文字、ラテン語アルファベット文字、ロシア語アルファベット文字
、及びそれらの組合せからなる群から選択される2次元形状を有する、実施形態90に記
載の研磨物品または方法。
実施形態92。成形研磨粒子が、多面体、ピラミッド形、楕円体、球、角柱、円柱、円
錐、四面体、立方体、直方体、菱面体、角錐台、頂部が切断された楕円体、頂部が切断さ
れた球、円錐台、五面体、六面体、七面体、八面体、九面体、十面体、ギリシャ語アルフ
ァベット文字、ラテン語アルファベット文字、ロシア語アルファベット文字、漢字、複合
多角形形状、不規則形状の輪郭、火山形状、モノスタティック形状、及びそれらの組合せ
からなる群から選択される3次元形状を有し、モノスタティック形状は、単一の安定静止
位置を有する形状である、実施形態90に記載の研磨物品または方法。
実施形態93。成形研磨粒子が、三角形の2次元形状を有する、実施形態90に記載の
研磨物品または方法。
実施形態94。成形研磨粒子が、部分的に凹んだ三角形の2次元形状を有する、実施形
態90に記載の研磨物品または方法。
実施形態95。成形研磨粒子が、本体部の長さ(Lb)、本体部の幅(Wb)、及び本
体部の厚さ(Tb)を有する本体部を含み、Lb>Wb、Lb>Tb、及びWb>Tbで
ある、実施形態90に記載の研磨物品または方法。
実施形態96。本体部が、約1:1以上、または約2:1以上、または約3:1以上、
または約5:1以上、または約10:1以上、かつ約1000:1以下の第1のアスペク
ト比(Lb:Wb)を有する、実施形態95に記載の研磨物品または方法。
実施形態97。本体部が、約1:1以上、または約2:1以上、または約3:1以上、
または約5:1以上、または約10:1以上、かつ約1000:1以下の第2のアスペク
ト比(Lb:Tb)を有する、実施形態95に記載の研磨物品または方法。
実施形態98。本体部が、約1:1以上、または約2:1以上、または約3:1以上、
または約5:1以上、または約10:1以上、かつ約1000:1以下の第3のアスペク
ト比(Wb:Tb)を有する、実施形態95に記載の研磨物品または方法。
実施形態99。本体部の長さ(Lb)、本体部の幅(Wb)、及び本体部の厚さ(Tb
)のうちの少なくとも1つが、約0.1ミクロン以上、または約1ミクロン以上、または
約10ミクロン以上、または約50ミクロン以上、または約100ミクロン以上、または
約または150ミクロン以上、または約200ミクロン以上、または約400ミクロン以
上、または約600ミクロン以上、または約800ミクロン以上、または約1mm以上、
かつ、約20mm以下、または約18mm以下、または約16mm以下、または約14m
m以下、または約12mm以下、または約10mm以下、または約8mm以下、または約
6mm以下、または約4mm以下の平均寸法を有する、実施形態95に記載の研磨物品ま
たは方法。
実施形態100。本体部が、本体部の長さと本体部の幅とによって画定される平面にお
いて、三角形、四辺形、長方形、台形、五角形、六角形、七角形、八角形、楕円、ギリシ
ャ語アルファベット文字、ラテン語アルファベット文字、ロシア語アルファベット文字、
及びそれらの組合せからなる群から選択される断面形状を有する、実施形態95に記載の
研磨物品または方法。
実施形態101。本体部が、本体部の長さと本体部の厚さとによって画定される平面に
おいて、三角形、四辺形、長方形、台形、五角形、六角形、七角形、八角形、楕円、ギリ
シャ語アルファベット文字、ラテン語アルファベット文字、ロシア語アルファベット文字
、及びそれらの組合せからなる群から選択される断面形状を有する、実施形態95に記載
の研磨物品または方法。
実施形態102。本体部が、粉末、顆粒、球体、繊維、造孔材、中空粒子、及びそれら
の組合せからなる群から選択される充填材を含む、実施形態1または2に記載の研磨物品
または方法。
実施形態103。本体部が、ホイール、ホーン、円錐、カップ、フランジ付きホイール
、先細カップ、円盤、扇形、軸付先端部、及びそれらの組合せからなる群から選択される
形状を有する、実施形態1または2に記載の研磨物品または方法。
実施例1
図6A及び6Bは、従来の微結晶性アルミナ結晶粒(図6A)と、本明細書の実施形態
を代表するナノ結晶性アルミナ結晶粒(図6B)のポリッシングした部分の走査型電子顕
微鏡(SEM)像を含む。示されているように、微結晶性アルミナ(MCA)の平均結晶
子サイズは約0.2ミクロンであり、ナノ結晶性アルミナ(NCA)の平均結晶子サイズ
は約0.1ミクロンである。
ナノ結晶性アルミナを含む砥石物品の試料を形成させた。ナノ結晶性アルミナを含む研
磨粒子と、結合材と、有機固着剤と、を含む混合物を作製した。次にその混合物を異なる
温度で熱処理して、研磨物品を形成させた。試料S1及びS2は、混合物を1260℃で
熱処理することによって形成させた。試料S3は、試料を915℃で熱処理することによ
って形成させた。破壊係数及び弾性率を含めた特性を、試料S1、S2、及びS3で試験
した。図7Aに示されているように、試料S3は、試料S1及びS2と比較して有意に大
きい破壊係数を示した。さらに、図7Bに示されているように、試料S3は、試料S1及
びS2と比較して有意に高い弾性率を有した。
実施例2
2つの試料を入手し、比較目的で試験した。第1の試料(CS4)は、微結晶性アルミ
ナ(MCA)を有する従来のビトリファイド砥石であった。第2の試料(S5)は、本明
細書の実施形態を代表するビトリファイド砥石であった。試料CS4は、約0.2ミクロ
ンの平均結晶子サイズを有する微結晶性アルミナを含んだ。試料S5は、約0.1ミクロ
ンの平均結晶子サイズを有するナノ結晶性アルミナを含んだ。各試料の平均結晶子サイズ
は、本明細書に記載のインターセプト法を用いて測定した。試料CS4及びS5は、以下
の表1に示すように同じガラス結合剤を使用した。さらに、試料CS4及びS5は、同じ
含有量の研磨粒子(本体部の全体積の約40体積%〜50体積%)と、同じ含有量の結合
材(約10体積%〜15体積%)と、同じ含有量の気孔(約40〜45体積%)と、を含
む同じ構造を有し、全成分の合計は100%に等しかった。試料CS4及びS5は、同じ
プロセスを用いて形成させ、両方とも約915℃で形成させた。
図8に示されているように、試料S5は、試料CS4と比較して外径研削試験中に安定
した低い力閾値を示した。
実施例3
代表的なMCA結晶粒試料及びNCA結晶粒試料のビッカース硬度を、本明細書におい
て開示する実施形態に従って測定した。MCA結晶粒及びNCA結晶粒は、Saint−
Gobain Corporationから入手した。MCA結晶粒はCerpass(
登録商標)HTBとして入手可能である。ナノ結晶性アルミナ及び微結晶性アルミナの結
晶子サイズは、それぞれ約0.1ミクロン及び0.2ミクロンである。MCA結晶粒及び
NCA結晶粒の試料は同じ方法で調製した。MCA結晶粒及びNCA結晶粒の5つの試料
のビッカース硬度を試験した。MCA結晶粒及びNCA結晶粒の平均ビッカース硬度を表
2に開示する。
NCA結晶粒の比破砕性は、本明細書において開示した手順に従って測定した。MCA
及びNCA試料は粗粒サイズ80を有し、MCA結晶粒を基準試料として使用した。ボー
ルミリング時間は6分であった。表2に開示するように、MCA結晶粒の比破砕性を10
0%として設定する。NCA結晶粒は、MCA結晶粒のビッカース硬度と非常に類似した
ビッカース硬度を示したが、123%の比破砕性を有した。
本発明の実施形態は、現況技術からの発展を表している。いくつかの特許公報では、微
結晶性アルミナは、ミクロン未満の平均結晶子サイズを有するよう作製することができる
ことが述べられているが、当業者であれば、市販形態の微結晶性アルミナは、約0.18
〜0.25ミクロンの平均結晶子サイズを有することを認識する。出願人らの知る限りで
は、より細かい平均結晶子サイズを有するアルミナ系研磨材は市販となっていない。さら
に、NCAを含む研磨物品の結果は、特に、MCA及びNCA結晶粒のビッカース硬度で
本質的に違いがないという発見を考慮すると、非凡かつ意外な結果を示し、当業者は、N
CA結晶粒を使用した砥石の性能に有意な差異を予想しない可能性がある。さらに、当業
者は、NCA結晶粒はガラス結合材中で有効性が低い可能性があることを予想している可
能性がある。なぜなら、結晶粒界の数がより多いと、研磨結晶粒はさらに分解しやすいと
予測されるからである。しかしながら、非常に意外かつ非凡なことに、ガラスで結合した
、ナノ結晶性アルミナ結晶粒で作製した研磨材は、ガラスで結合した研磨材を形成させる
ことに好適であることを示し、特定の例では、MCAを使用した、ガラスで結合した研磨
材と同等であるか、より優れていることが証明された。
全般的な説明または実施例における前述の作業の全てが必要とされるわけではなく、特
定の作業の一部は必要とされなくてもよく、また1つ以上のさらなる作業が記載の作業に
加えて行われてもよいことに留意されたい。さらにまた、行動の列挙順序は、必ずしも行
われる順序であるわけではない。
特定の実施形態に関して、利益、他の利点及び問題の解決法を上に記載している。しか
しながら、利益、利点、問題の解決法、及び、任意の利益、利点もしくは解決法を生じさ
せるかまたはそれらをより顕著にし得るいずれの特徴も、特許請求の範囲の請求項のいず
れかまたは全ての不可欠な特徴、必須な特徴または本質的な特徴として解釈すべきではな
い。
本明細書において記載される実施形態の詳細及び説明は、様々な実施形態の構成の一般
的な理解を提供することを意図するものである。詳細及び説明は、本明細書において記載
される構造物または方法を使用する装置及びシステムの全要素及び全特徴を完全且つ包括
的に記載するものとしての役割を果たすことを意図していない。別個の実施形態は、1つ
の実施形態において組合せで提供されてもよく、反対に、簡潔のため1つの実施形態の文
脈に記載された様々な特徴は、別個で提供されるかまたは任意の部分組合せで提供されて
もよい。さらに、範囲で述べた値について言うことは、その範囲内の全ての値を含む。単
に本明細書を読了すれば、他の多くの実施形態が当業者に明らかとなってもよい。本開示
の範囲から逸脱することなく構造的置換、論理的置換または別の変化がなされてもよいよ
うに、他の実施形態が使用されてもよく、他の実施形態が本開示から派生してもよい。し
たがって本開示は、限定するものというよりもむしろ説明するものであるとみなされるべ
きである。
本開示の要約書は、特許法を遵守するために提供するものであり、特許請求の範囲また
は意味を、解釈または限定するために使用するものではないという理解の下で提出する。
加えて、前述の図面の詳細な説明においては、本開示の簡素化の目的で、様々な特徴を一
緒にグループ化するか、または単一の実施形態において記載することがある。本開示は、
特許請求する実施形態が各請求項において明示的に記載されるよりも多くの特徴を必要と
するという意図を反映しているとして解釈するべきではない。そうではなく、以下の特許
請求の範囲が反映するように、本発明の主題は、開示する実施形態のいずれかの全ての特
徴よりも少ないものを対象としてもよい。よって、以下の特許請求の範囲は、各請求項が
特許請求する主題を別々に規定するものとして独立している状態で、図面の詳細な説明に
組み入れられる。

Claims (15)

  1. セラミックスを含む無機材料を含む結合材;及び
    前記結合材に含有された研磨粒子であって、ナノ結晶性アルミナを含む研磨粒子
    を含む本体部
    を含む研磨物品。
  2. 前記研磨粒子が、約0.01ミクロン以上から約0.15ミクロン以下までの平均結晶
    子サイズを有するナノ結晶性アルミナを含む請求項1記載の研磨物品。
  3. 前記研磨粒子が、約0.05ミクロン以上から約0.14ミクロン以下までの平均結晶
    子サイズを有するナノ結晶性アルミナを含む請求項1記載の研磨物品。
  4. 前記研磨粒子が、約0.05ミクロン以上から約0.13ミクロン以下までの平均結晶
    子サイズを有するナノ結晶性アルミナを含む請求項1記載の研磨物品。
  5. 前記ナノ結晶性アルミナが、前記粒子の総重量の約51重量%以上から約99.9重量
    %以下までのアルミナを含む請求項1記載の研磨物品。
  6. 前記ナノ結晶性アルミナが、マグネシウム、ジルコニウム、カルシウム、ケイ素、鉄、
    イットリウム、ランタン、セリウム、及びそれらの組合せからなる群から選択される材料
    を含む少なくとも1種の添加物を含む請求項1記載の研磨物品。
  7. 前記ナノ結晶性アルミナが、前記ナノ結晶性アルミナ粒子の総重量の0.1重量%以上
    から約12重量%以下までの合計含有量の添加物を含む請求項5記載の研磨物品。
  8. 前記結合材が、非晶相を有するガラス材料を含む請求項1記載の研磨物品。
  9. 前記結合材が、多結晶相を有する非ガラス材料を含む請求項1記載の研磨物品。
  10. 前記結合材が、多結晶材料とガラス材料の混合物を含む請求項1記載の研磨物品。
  11. 前記研磨粒子が、本質的にナノ結晶性アルミナからなる請求項1記載の研磨物品。
  12. セラミックスを含む無機材料を含む結合材;及び
    前記結合材に含有された研磨粒子であって、ナノ結晶性アルミナを含む研磨粒子
    を含む混合物を形成させること;ならびに
    前記混合物を、約900℃以上かつ約1200℃以下の形成温度に加熱することによっ
    て、前記混合物を研磨物品へと形成させること
    を含む、研磨物品を形成させる方法。
  13. 前記研磨粒子が、約0.01ミクロン以上から約0.15ミクロン以下までの範囲の平
    均結晶子サイズを有するナノ結晶性アルミナを含む請求項12記載の方法。
  14. 前記平均結晶子サイズが約0.14ミクロン以下である請求項12記載の方法。
  15. 前記平均結晶子サイズが約0.05ミクロン以上から約0.13ミクロン以下までであ
    る請求項12記載の方法。
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