JP2020094976A - 凹凸検査方法及び凹凸検査装置 - Google Patents
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Description
図4は、スリット光Lが上記凸部Cに照射された時にカメラ5によって撮像された画像の一例である。図4では、表面Sで反射するスリット光Lを太実線で示す。
h=δ×tanθ (1)
W…ワーク
S…表面
F…搬送方向
2…検査ステージ(ステージ)
4…光源
L…スリット光
θ…入射角
5…カメラ
6…画像処理装置
Claims (4)
- ワークの表面の凹凸検査方法であって、
前記表面に対し幅方向に沿って線状に延びるスリット光を、0°より大きく90°より小さな入射角で照射する照射工程と、
前記表面で反射したスリット光を前記表面の上方から撮像する撮像工程と、
前記撮像された画像において、前記幅方向と平行な基準線から前記スリット光までの前記幅方向と垂直な方向に沿ったオフセット量に基づいて前記表面における凹凸を検査する検査工程と、を備えることを特徴とする凹凸検査方法。 - 前記ワークを前記幅方向と垂直な搬送方向に沿って搬送しながら前記照射工程、前記撮像工程、及び前記検査工程を行うことを特徴とする請求項1に記載の凹凸検査方法。
- 前記検査工程では、前記入射角及び前記オフセット量に基づいて、前記表面における凹凸の基準面からの高さを算出することを特徴とする請求項1又は2に記載の凹凸検査方法。
- ワークの表面の凹凸を検査する凹凸検査装置であって、
前記ワークが載置されるステージと、
前記表面に対し幅方向に沿って線状に延びるスリット光を、0°より大きく90°より小さな入射角で照射する光源と、
前記表面で反射したスリット光を前記表面の上方から撮像するカメラと、
前記カメラによって撮像された画像に基づいて前記表面における凹凸を検査する画像処理装置と、を備え、
前記画像処理装置は、前記画像において、前記幅方向と平行な基準線から前記スリット光までの前記幅方向と垂直な方向に沿ったオフセット量に基づいて前記表面における凹凸を検査することを特徴とする凹凸検査装置。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP4163624A1 (de) * | 2021-10-06 | 2023-04-12 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Verfahren zur erkennung von defekten und zur bestimmung der porosität folienartiger elemente |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPS6337479A (ja) * | 1986-07-31 | 1988-02-18 | Nec Kansai Ltd | パタ−ン認識装置 |
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-
2018
- 2018-12-14 JP JP2018234518A patent/JP2020094976A/ja active Pending
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