JP2020089003A - 静電誘導型変換器及びその製造方法 - Google Patents
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Description
ら側面の代表的なものの概要は以下の通りである。
Claims (8)
- 導電性の基板と、
前記基板の両面に形成されたエレクトレット膜と、
前記エレクトレット膜を覆うように前記基板の両面及び側面に形成されるとともに、前記基板の側面において、前記基板へのアクセスを可能にする少なくとも一つの開口を有する防湿層と、
を有するエレクトレット基板と、
前記基板の一の面側において、前記エレクトレット膜に対向して配置された第1対向電極と、
前記基板の他の面側において、前記エレクトレット膜に対向して配置された第2対向電極と、
を有する静電誘導型変換器。 - 前記開口は、前記エレクトレット基板の外周側面に形成される、
請求項1に記載の静電誘導型変換器。 - 前記開口の周囲において、前記防湿層は前記基板に接し、前記エレクトレット膜は外部に露出しない
請求項1又は2に記載の静電誘導型変換器。 - 前記開口は、前記エレクトレット基板の面方向に実質並行に伸びる線分形状である、
請求項3に記載の静電誘導型変換器。 - 前記開口を覆う第2の防湿層を有する、
請求項1〜4のいずれか1項に記載の静電誘導型変換器。 - 導電性の基板を用意する工程と、
前記基板の両面にエレクトレット材料膜を形成する工程と、
打ち抜き加工により、前記基板の外形を成形する工程と、
前記エレクトレット材料膜を覆うように前記基板の両面及び側面に防湿層を形成する工程と、
前記基板の側面において、前記基板へのアクセスを可能にする少なくとも一つの開口を前記防湿層に設ける工程と、
前記開口を通じて、前記基板に外部電極を接触させる工程と、
放電表面処理により前記エレクトレット材料膜に電荷を与える工程と、
を含む、エレクトレット基板を作成する工程と、
前記エレクトレット基板を、前記基板の一の面側において、第1対向電極が前記エレクトレット膜に対向し、前記基板の他の面側において、第2対向電極が前記エレクトレット膜に対向するよう支持する工程と、
を含む、静電誘導型変換器の製造方法。 - 前記少なくとも一つの開口を前記防湿層に設ける工程と、前記基板に外部電極を接触させる工程は、前記外部電極を前記基板の側面に押し当て、前記外部電極により前記防湿層を突き破ることにより同時になされる、
請求項6に記載の静電誘導型変換器の製造方法。 - 前記エレクトレット材料膜に電荷を与える工程の後、前記開口を閉じる工程を有する、
請求項6又は7に記載の静電誘導型変換器の製造方法。
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