JP2020088094A - Tape peeling device - Google Patents

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Abstract

To perform tape peeling based on a new technical idea that is completely different from conventional ones, which can solve a problem of adhesive adhesion, and can reliably and cleanly peel the tape adhered to an adherend.SOLUTION: A tape peeling device 28 that peels a tape T from an adherend W made of a material in which a tape T adheres to the front surface and at least the back surface can be adsorbed to a magnet includes a tape peeling portion 32 that blows pressurized water onto the tape T of the adherend W to separate the tape T from the adherend W, adherend transporting means 34 that carries in the adherend W before tape peeling to the tape peeling portion 32 and carries out the adherend W after tape peeling from the tape peeling portion 32, and control means 35 that controls the tape peeling device 28.SELECTED DRAWING: Figure 3

Description

本発明はテープ剥離方法及びテープ剥離装置に係り、特に薄板リング状のフレームに貼着されたリング状のテープを確実に且つ綺麗に剥離する技術に関する。 The present invention relates to a tape peeling method and a tape peeling device, and more particularly to a technique for reliably and cleanly peeling a ring-shaped tape attached to a thin plate ring-shaped frame.

電子機器の製造技術分野において、電子機器を構成するフレーム(又はパネル)は、積載保管される際に、傷や埃などの異物等が付かないように電子部品が搭載されるフレームの表面部分に保護テープを貼着することが行われている。そして、フレームの使用時に、フレームから貼着されたテープを剥離した後、フレームを綺麗に洗浄する。 In the field of electronic device manufacturing technology, a frame (or panel) that constitutes an electronic device is mounted on a surface portion of a frame on which electronic components are mounted so as to prevent foreign matter such as scratches and dust from being attached when the frame is loaded and stored. A protective tape is attached. Then, when the frame is used, after removing the tape attached from the frame, the frame is cleaned thoroughly.

従来、フレームからのテープの剥離は、確実且つ綺麗に剥離することが可能な人手作業に頼っていたのが実情である。しかし、電子機器の製造ラインにおいて、テープ剥離を人手作業で行うことは製造ラインの完全自動化を妨げることになる。 Conventionally, the peeling of the tape from the frame relies on manual work capable of peeling reliably and cleanly. However, in a production line of an electronic device, the manual peeling of the tape impedes complete automation of the production line.

テープやシートの剥離を機械で行う剥離装置としては、例えば特許文献1及び特許文献2がある。 As a peeling device for mechanically peeling a tape or sheet, there are Patent Document 1 and Patent Document 2, for example.

特許文献1の保護テープ剥離装置は、リング状フレームの支持用粘着テープを介して保持された半導体ウエハの表面に貼り付けられた保護テープに、剥離用接着テープ類をその非接着面側から貼付け部材により押圧して貼り付ける。そして、剥離用接着テープ類を剥離することで半導体ウエハの表面から保護テープを剥離用接着テープ類と一体にして剥離する装置である。 The protective tape peeling device of Patent Document 1 attaches peeling adhesive tapes from the non-adhesive surface side to a protective tape attached to the surface of a semiconductor wafer held via a supporting adhesive tape of a ring-shaped frame. Stick by pressing with a member. Then, by peeling the peeling adhesive tapes, the protective tape is integrally peeled from the surface of the semiconductor wafer together with the peeling adhesive tapes.

特許文献2のシート剥離装置は、表面に接着シートが貼付された被着体の剥離用シート又は接着シートの何れかに接着剤を塗布して剥離用シートを接着シートに相互に貼り合わせる。そして、剥離用シートと被着体とを相対移動させることで被着体から接着シートを剥離用シートと一緒に剥離する装置である。 The sheet peeling device of Patent Document 2 applies an adhesive to either the peeling sheet or the adhesive sheet of the adherend having the adhesive sheet stuck to the surface thereof, and bonds the peeling sheet to the adhesive sheet. The peeling sheet and the adherend are moved relative to each other, whereby the adhesive sheet is peeled from the adherend together with the peeling sheet.

このように、特許文献1及び特許文献2のテープ剥離装置は、剥離したいテープに剥離用のテープを貼り付けて一緒に剥離するものであり、技術思想は同じである。 As described above, the tape peeling devices of Patent Document 1 and Patent Document 2 attach a peeling tape to a tape to be peeled and peel the tape together, and the technical idea is the same.

特開2007−043047号公報JP, 2007-043047, A 特開2010−050447号公報JP, 2010-050447, A

しかしながら、特許文献1や特許文献2のテープ剥離装置では、テープ剥離の前提として、保護テープと剥離用接着テープとを接着剤で貼り付ける必要があるので、接着剤がフレーム(テープの被貼着体)に付着する危険がある(接着剤付着の問題)。また、被貼着体に貼着されたテープを確実に且つ綺麗に剥離する点でもう一つ満足できるものではなかった(剥離不十分の問題)。 However, in the tape peeling device of Patent Document 1 or Patent Document 2, since it is necessary to bond the protective tape and the peeling adhesive tape with an adhesive as a prerequisite for tape peeling, the adhesive is a frame (tape adhered to tape). Risk of adhesion to body (adhesive adhesion problem). Further, it is not satisfactory in that the tape attached to the adherend is peeled off reliably and cleanly (problem of insufficient peeling).

このため、本発明者はテープ剥離の前提として、従来のように接着剤を使用して保護テープと剥離用接着テープとを貼り付けなくてもテープを確実且つ綺麗に剥離できる全く新規な技術思想のもとでテープ剥離を行うことができないかを検討した。 For this reason, the present inventor, as a premise of tape peeling, is a completely new technical idea in which the tape can be reliably and cleanly peeled off without attaching the protective tape and the peeling adhesive tape using an adhesive as in the conventional case. It was examined whether tape peeling could be performed under

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、従来とは全く異なる新規な技術思想に基づくテープ剥離を行うことができ、これにより接着剤付着の問題を解決でき、しかも被貼着体に貼着されたテープを確実に且つ綺麗に剥離することができるテープ剥離方法及びテープ剥離装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of such circumstances, and it is possible to perform tape peeling based on a new technical idea which is completely different from conventional ones, whereby the problem of adhesive adhesion can be solved, and moreover, it can be adhered. An object of the present invention is to provide a tape peeling method and a tape peeling device capable of peeling a tape adhered to a body firmly and surely.

前記目的を達成するために、本発明のテープ剥離方法は、テープが貼着された被貼着体からテープを剥離するテープ剥離方法において、被貼着体のテープに加圧水を吹き付けてテープを被貼着体から剥離することを特徴とする。 In order to achieve the above-mentioned object, the tape peeling method of the present invention is a tape peeling method of peeling a tape from an adherend to which the tape is adhered, in which the tape of the adherend is sprayed with pressurized water to cover the tape. It is characterized in that it is peeled off from the adhered body.

本発明のテープ剥離方法によれば、被貼着体のテープに加圧水を吹き付けてテープを被貼着体から剥離する方法であるため、従来とは全く異なる新規な技術思想に基づくテープ剥離を行うことができる。これにより接着剤付着の問題を解決でき、しかも被貼着体に貼着されたテープを確実に且つ綺麗に剥離することができる。 According to the tape peeling method of the present invention, since it is a method of peeling the tape from the adherend by spraying pressurized water onto the tape of the adherend, the tape peeling based on a new technical idea completely different from the conventional one is performed. be able to. As a result, the problem of adhesion of the adhesive can be solved, and moreover, the tape adhered to the adherend can be reliably and neatly peeled off.

また、前記目的を達成するために、本発明のテープ剥離装置は、表面にテープが貼着されると共に少なくとも裏面が磁石に吸着可能な材質で形成された被貼着体からテープを剥離するテープ剥離装置であって、被貼着体のテープに加圧水を吹き付けてテープを被貼着体から剥離するテープ剥離部と、テープ剥離部にテープ剥離前の被貼着体を搬入し、テープ剥離後の被貼着体をテープ剥離部から搬出する被貼着体搬送手段と、テープ剥離装置を制御する制御手段と、を備え、被貼着体搬送手段は、磁石に吸着しにくい材質で水平方向に配設された長尺な板であって、被貼着体が載置されると共にテープ剥離部が板の上方側に配設された載置板と、載置板の下方側に配設され、載置板に載置された被貼着体の裏面を載置板を介して吸着及び脱着する磁石手段と、載置板の下方側に配設され、磁石手段を載置板の長尺方向に往復移動させる往復移動手段と、を備えたことを特徴とする。 In order to achieve the above-mentioned object, the tape peeling device of the present invention is a tape for peeling a tape from an adherend whose surface is adhered and at least the back surface is made of a material capable of adsorbing to a magnet. A peeling device, in which a tape peeling unit that blows pressurized water onto a tape of an adherend to peel the tape from the adherend, and an adherend before tape peeling are carried into the tape peeling unit, and after tape peeling And a control means for controlling the tape peeling device. The adherend conveying means is made of a material that is hard to be attracted to a magnet and is horizontally oriented. A long plate disposed on the mounting plate, on which the adherend is mounted and the tape peeling part is arranged on the upper side of the plate, and on the lower side of the mounting plate. And magnet means for adsorbing and desorbing the back surface of the adherend placed on the mounting plate via the mounting plate, and the magnet means disposed on the lower side of the mounting plate for extending the length of the mounting plate. And a reciprocating means for reciprocating in the shank direction.

本発明のテープ剥離装置は、本発明のテープ剥離方法を実施するように構成したものである。また、上記構成の被貼着体搬送手段にすることで、載置板を境として上方側に配設された加圧水を使用するテープ剥離部と、下方側に配設された駆動機器類を有する被貼着体搬送手段とに仕切ることができる。これにより、加圧水が装置の駆動機器類にかかったり侵入したりすることを防止するので、加圧水を使用することによる故障を防ぎ、や頻繁なメンテナンスを必要としなくなる。 The tape peeling apparatus of the present invention is configured to carry out the tape peeling method of the present invention. Further, by using the adherend conveying means having the above-mentioned configuration, the tape peeling section using the pressurized water arranged on the upper side of the placing plate as a boundary, and the drive equipment arranged on the lower side are provided. It can be partitioned into an adherend conveying means. As a result, the pressurized water is prevented from splashing on or invading the drive devices of the apparatus, so that the failure due to the use of the pressurized water is prevented and frequent maintenance is not required.

本発明のテープ剥離装置の態様において、載置板の被貼着体が載置される載置面は多数の半球体状の微小突起が形成されていることが好ましい。これにより、載置板と被貼着体との滑り摩擦を小さくできるので、被貼着体をスムーズに搬送できる。 In the aspect of the tape peeling device of the present invention, it is preferable that a large number of hemispherical microprojections are formed on the mounting surface of the mounting plate on which the adherend is mounted. As a result, the sliding friction between the mounting plate and the adherend can be reduced, so that the adherend can be transported smoothly.

本発明のテープ剥離装置の態様において、磁石手段は、水平方向に設けられた磁石保持板と、磁石保持板の載置板側に配設された複数の永久磁石と、往復移動手段に支持され、磁石保持板を昇降させて永久磁石を載置板の裏面に接離させることによって被貼着体を吸着及び脱着する昇降手段と、を備えることが好ましい。これは、磁石手段の好ましい構成の一例を示したものである。 In the aspect of the tape peeling device of the present invention, the magnet means is supported by the magnet holding plate provided in the horizontal direction, the plurality of permanent magnets arranged on the mounting plate side of the magnet holding plate, and the reciprocating means. It is preferable to provide an elevating means for adsorbing and desorbing the adherend by moving the magnet holding plate up and down to bring the permanent magnet into contact with and separate from the back surface of the mounting plate. This shows an example of a preferable structure of the magnet means.

本発明のテープ剥離装置の態様において、磁石保持板には、載置板の裏面に当接して磁石手段の往復移動を補助する補助ローラを有することが好ましい。これにより、載置板に対して磁石手段をスムーズに移動させることができるので、被貼着体を一層スムーズに搬送できる。 In the aspect of the tape peeling apparatus of the present invention, it is preferable that the magnet holding plate has an auxiliary roller that comes into contact with the back surface of the mounting plate to assist the reciprocating movement of the magnet means. With this, the magnet means can be moved smoothly with respect to the mounting plate, so that the adherend can be transported more smoothly.

本発明のテープ剥離装置の態様において、磁石保持板と昇降手段とは球体継手で連結されていることが好ましい。これにより、磁石保持板の複数の永久磁石を載置板の裏面に確実に当接させることができるので、載置板に載置された被貼着体を載置板を介して永久磁石に確実に吸着できる。 In the aspect of the tape peeling device of the present invention, it is preferable that the magnet holding plate and the elevating means are connected by a spherical joint. This makes it possible to reliably bring the plurality of permanent magnets of the magnet holding plate into contact with the back surface of the mounting plate, so that the adherend mounted on the mounting plate becomes a permanent magnet via the mounting plate. Can be surely adsorbed.

本発明のテープ剥離装置の態様において、テープ剥離部は、加圧水を噴出する加圧水噴出ガンと、加圧水噴出ガンから噴出される加圧水の飛散を防止すると共に被貼着体の搬入口と搬出口とが形成され、載置板を底面としたチャンバーと、チャンバーの下方にチャンバーに連通して設けられ、加圧水噴出ガンから噴出された加圧水と一緒に被貼着体から剥離されたテープを回収するテープ回収手段と、を有することが好ましい。 In the aspect of the tape peeling device of the present invention, the tape peeling unit has a pressurized water jet gun for jetting pressurized water, a spray port for the adherend, and a spray port for preventing pressurized water jetted from the pressurized water jet gun. A tape collection that collects the tape peeled from the adherend together with the chamber that has been formed and has the mounting plate as the bottom surface and is connected to the chamber below the chamber and that is ejected from the pressurized water ejection gun. And means.

これにより、加圧水噴出ガンから噴出された加圧水がチャンバーの外に飛散することを防止できると共に、被貼着体から剥離したテープを自動的に回収できる。 As a result, it is possible to prevent the pressurized water ejected from the pressurized water ejection gun from splashing out of the chamber, and it is possible to automatically collect the tape peeled from the adherend.

本発明のテープ剥離装置の態様において、テープ剥離部は、加圧水噴出ガンを載置板の長尺な方向へ水平移動させるY軸アクチュエータと、加圧水噴出ガンをY軸と直交するX軸へ水平移動させるX軸アクチュエータと、を有することが好ましい。 In the aspect of the tape peeling device of the present invention, the tape peeling section horizontally moves the pressurized water jet gun in the longitudinal direction of the mounting plate, and horizontally moves the pressurized water jet gun in the X axis orthogonal to the Y axis. And an X-axis actuator.

これにより、被貼着体のテープが貼着された部分に加圧水を確実に吹き付けることができるので、被貼着体からテープを確実に剥離できる。 Thus, the pressurized water can be surely sprayed on the portion of the adherend to which the tape has been adhered, so that the tape can be reliably separated from the adherend.

本発明のテープ剥離装置の態様において、加圧水噴出ガンは、加圧水を噴出する複数の噴出ノズルが形成されたノズルヘッドと、ノズルヘッドを揺動回転させる揺動回転機構と、を有することが好ましい。これにより、被貼着体のテープを剥離する剥離力が大きくなる。 In the aspect of the tape peeling apparatus of the present invention, it is preferable that the pressurized water ejection gun includes a nozzle head having a plurality of ejection nozzles ejecting the pressurized water, and a swing rotation mechanism that swings and rotates the nozzle head. This increases the peeling force for peeling off the tape of the adherend.

本発明のテープ剥離装置の態様において、回収手段は、チャンバー内に噴出ノズルが設けられ、被貼着体の表面に沿って加圧水を噴出して被貼着体から剥離されたテープを被貼着体から除去回収するテープ回収用ガンと、除去されたテープ及び噴出された加圧水を貯留する貯留タンクと、載置板に開口された回収用開口と、回収用開口と貯留タンクとを連結するダクトと、を備えることが好ましい。これは、回収手段の好ましい構成の一例を示したものである。 In the aspect of the tape peeling apparatus of the present invention, the collecting means is provided with a jet nozzle in the chamber, and jets pressurized water along the surface of the adherend to adhere the tape separated from the adherend. A tape recovery gun that removes and collects from the body, a storage tank that stores the removed tape and jetted pressurized water, a recovery opening that is opened in the mounting plate, and a duct that connects the recovery opening and the storage tank And are preferably provided. This shows an example of a preferable configuration of the collecting means.

本発明のテープ剥離方法及びテープ剥離装置は、被貼着体のテープに加圧水を吹き付けてテープを被貼着体から剥離するので、従来とは全く異なる新規な技術思想に基づくテープ剥離を行うことができる。そして、この方法及び装置を使用することで、従来の接着剤付着の問題を解決でき、しかも被貼着体に貼着されたテープを確実に且つ綺麗に剥離することができる。 INDUSTRIAL APPLICABILITY The tape peeling method and the tape peeling apparatus of the present invention spray pressured water onto the tape of the adherend to separate the tape from the adherend, and therefore perform tape peeling based on a novel technical idea completely different from the conventional one. You can Then, by using this method and apparatus, the problem of the conventional adhesion of the adhesive can be solved, and moreover, the tape adhered to the adherend can be surely and neatly peeled off.

本発明のテープ剥離装置を組み込んだテープ剥離洗浄ラインの各ステーションを説明する説明図Explanatory drawing explaining each station of the tape peeling cleaning line which incorporated the tape peeling apparatus of this invention. 本発明のテープ剥離装置でテープ剥離される被貼着体の一例を示した斜視図The perspective view which showed an example of the to-be-adhered body which tape peeling is carried out by the tape peeling apparatus of this invention. テープ剥離装置の全体構成を説明する側面図Side view illustrating the overall configuration of the tape peeling device テープ剥離装置の主要部分を説明する斜視図Perspective view for explaining main parts of the tape peeling device テープ剥離装置における被貼着体搬送手段の磁石手段を説明する斜視図FIG. 3 is a perspective view illustrating a magnet means of an adherend conveying means in the tape peeling device. テープ剥離装置における加圧水噴出ガンを説明する説明図Explanatory drawing explaining a pressurized water jet gun in a tape peeling device テープ剥離装置におけるテープ回収手段を説明する説明図Explanatory drawing explaining the tape collection means in a tape peeling apparatus テープ剥離洗浄ラインに組み込んだ加圧水洗浄装置について説明する説明図Explanatory drawing explaining the pressurized water cleaning device incorporated in the tape peeling cleaning line 加圧水洗浄装置の加圧水噴出ガンと偏心揺動機構とを上から見た上面図Top view of the pressurized water jet gun and the eccentric rocking mechanism of the pressurized water cleaning device seen from above

以下添付図面に従って、本発明に係るテープ剥離方法及びテープ剥離装置の好ましい実施の形態について詳述する。 Hereinafter, preferred embodiments of a tape peeling method and a tape peeling apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

図1は、本発明のテープ剥離装置が組み込まれたテープ剥離洗浄ラインの各ステーションを説明する説明図である。 FIG. 1 is an explanatory diagram illustrating each station of a tape peeling cleaning line in which the tape peeling device of the present invention is incorporated.

図1に示すように、テープ剥離洗浄ライン10は、供給ステーション12と、本発明のテープ剥離装置を有するテープ剥離ステーション14と、検査ステーション16と、洗浄ステーション18と、乾燥ステーション20と、収納ステーション22と、の各ステーションで構成される。そして、供給ステーション12から収納ステーション22まで被貼着体W(図2参照)を連続搬送する搬送ライン24が設けられている。 As shown in FIG. 1, the tape peeling cleaning line 10 includes a supply station 12, a tape peeling station 14 having the tape peeling device of the present invention, an inspection station 16, a cleaning station 18, a drying station 20, and a storage station. 22 and each station. Further, a transfer line 24 for continuously transferring the adherend W (see FIG. 2) from the supply station 12 to the storage station 22 is provided.

供給ステーション12では、積載されたテープ剥離前の被貼着体Wをテープ剥離ステーション14に供給する。被貼着体Wの供給手段としては、例えば積層状に積載された被貼着体W(テープTが貼着されたもの)を一枚ずつ吸盤26Aに吸着してテープ剥離ステーション14に供給する供給ロボット26を使用することができる(図3参照)。 In the supply station 12, the stacked adherends W before tape peeling are supplied to the tape peeling station 14. As a means for supplying the adherends W, for example, the adherends W (having the tapes T adhered) stacked in a laminated form are adsorbed to the suction cups 26A one by one and supplied to the tape peeling station 14. A supply robot 26 can be used (see Figure 3).

テープ剥離ステーション14は、本発明の実施の形態のテープ剥離装置28を有し、「被貼着体WのテープTに加圧水を吹き付けてテープTを被貼着体Wから剥離する」本発明のテープ剥離方法を行う。 The tape peeling station 14 includes the tape peeling device 28 according to the embodiment of the present invention, and "presses water onto the tape T of the adherend W to separate the tape T from the adherend W". Perform the tape peeling method.

検査ステーション16では、例えば図示しない撮像手段(CCDカメラ等)により被貼着体Wの表面を撮像し、撮像結果を解析することによって被貼着体WからテープTが剥離されたことをチェックする。そして、テープ剥離が不完全な被貼着体Wは上記した搬送ライン24から除去される。 In the inspection station 16, for example, the surface of the adherend W is imaged by an unillustrated imaging means (CCD camera or the like), and the tape T is peeled from the adherend W by analyzing the imaging result. .. Then, the adherend W to which the tape peeling is incomplete is removed from the above-mentioned transport line 24.

洗浄ステーション18は、被貼着体Wの裏面を洗浄する加圧水洗浄装置30(図8参照)を有し、テープ剥離後の被貼着体Wの裏面を洗浄する。加圧水洗浄装置30については詳しく後述する。 The cleaning station 18 has a pressurized water cleaning device 30 (see FIG. 8) for cleaning the back surface of the adherend W, and cleans the back surface of the adherend W after tape peeling. The pressurized water cleaning device 30 will be described in detail later.

乾燥ステーション20では、裏面洗浄した後の被貼着体Wを乾燥する。被貼着体Wの品質に悪影響のない乾燥方法であればどのような乾燥でもよいが、例えば熱風乾燥を好適に使用することができる。 In the drying station 20, the adherend W after the back surface cleaning is dried. Any drying method may be used as long as it does not adversely affect the quality of the adherend W, but hot air drying can be preferably used, for example.

収納ステーション22では、乾燥後の被貼着体Wを一枚ずつ受け取り、例えば図示しないラックに積載収納する。被貼着体Wの収納手段としては、供給ロボット26と同様な回収ロボット(図示せず)を使用することができる。即ち、回収ロボットは、搬送ライン24の終点位置に搬送された被貼着体Wを一枚ずつ吸盤に吸着して収納ステーション22に運びラック内に収納する。 The storage station 22 receives the dried adherends W one by one and stores them in a rack (not shown). As a storage means for the adherend W, a recovery robot (not shown) similar to the supply robot 26 can be used. That is, the recovery robot adsorbs the adherends W, which have been conveyed to the end point of the conveyance line 24, to the suction cups one by one and conveys them to the storage station 22 and stores them in the rack.

なお、搬送ライン24は、被貼着体Wを連続搬送できればよく、各ステーションの搬送方式が同じであることを意味しない。
次に、テープ剥離ステーション14に組み込まれた本発明の実施の形態のテープ剥離装置28について説明する。
The transport line 24 only needs to be capable of continuously transporting the adherend W, and does not mean that the transport system of each station is the same.
Next, the tape peeling device 28 according to the embodiment of the present invention incorporated in the tape peeling station 14 will be described.

なお、本発明の実施の形態のテープ剥離装置28でテープ剥離される被貼着体Wは、被貼着体Wの少なくとも裏面が磁石に吸着可能な材質で形成されていることが前提であり、形状としては板状であることが好ましい。 The adherend W to be tape-peeled by the tape peeling device 28 according to the embodiment of the present invention is premised on that at least the back surface of the adherend W is formed of a material that can be attracted to a magnet. The shape is preferably plate-like.

図2は、本実施の形態において、テープ剥離装置28でテープ剥離される被貼着体Wの一例を示した斜視図である。 FIG. 2 is a perspective view showing an example of the adherend W to which the tape peeling device 28 peels the tape in the present embodiment.

図2に示すように、テープTが貼着された被貼着体Wは、中央に四角い開口Hを有する四角い薄板状のフレームとして形成され、電子部品が搭載される表面の開口側部分に四角形状になるようにテープT(例えば保護テープ)が貼着されている。図2において、矢印は被貼着体Wが搬送される方向を示し、Wは搬送方向から見た被貼着体Wの側辺を示す。 As shown in FIG. 2, the adherend W to which the tape T is adhered is formed as a square thin plate frame having a square opening H in the center, and a square is formed on the opening side portion of the surface on which electronic components are mounted. A tape T (for example, a protective tape) is attached so as to have a shape. 2, arrows indicate the direction in which pasting target body W is transferred, W A denotes the side of the pasting target body W as seen from the conveying direction.

磁石に吸着可能な材質の被貼着体Wとしては、例えばフェライト系ステンレスやマルテンサイト系ステンレス(JIS400番台)を使用できる。 As the adherend W made of a material that can be attracted to the magnet, for example, ferritic stainless steel or martensitic stainless steel (JIS 400 series) can be used.

[テープ剥離装置]
図3は本発明の実施の形態のテープ剥離装置28の全体構成を説明する側面図であり、図4は主要部分の斜視図である。
[Tape peeling device]
FIG. 3 is a side view illustrating the overall configuration of the tape peeling device 28 according to the embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a perspective view of a main part.

図3及び図4に示すように、本実施の形態のテープ剥離装置28は、主として被貼着体WのテープTに加圧水を吹き付けてテープTを被貼着体Wから剥離するテープ剥離部32と、テープ剥離前の被貼着体Wをテープ剥離部32に搬入し、テープ剥離後の被貼着体Wをテープ剥離部32から搬出する被貼着体搬送手段34と、テープ剥離装置28を制御する制御手段35(図3参照)と、で構成される。 As shown in FIGS. 3 and 4, the tape peeling device 28 according to the present embodiment mainly includes a tape peeling unit 32 that blows pressurized water onto the tape T of the adherend W to separate the tape T from the adherend W. And an adherend conveying means 34 that carries in the adherend W before tape peeling to the tape peeling section 32 and carries out the adherend W after tape peeling from the tape peeling section 32, and the tape peeling device 28. And a control means 35 (see FIG. 3) for controlling the.

テープ剥離部32及び被貼着体搬送手段34は装置フレーム36に設けられる。また、本実施の形態では、テープ剥離洗浄ライン10の全体を制御する制御手段35でテープ剥離装置28も制御する例で説明するが、テープ剥離装置28の専用の制御手段を設けてもよい。 The tape peeling section 32 and the adherend conveying means 34 are provided on the device frame 36. Further, in the present embodiment, an example in which the control means 35 for controlling the entire tape peeling/cleaning line 10 also controls the tape peeling device 28 will be described, but a dedicated control means for the tape peeling device 28 may be provided.

なお、図3及び図4において、被貼着体搬送手段34による被貼着体Wの搬送方向をY軸方向、水平面上でY軸方向に直交する方向をX軸方向、テープ剥離装置28の高さ方向をZ軸方向として説明する。 3 and 4, the conveyance direction of the adherend W by the adherend conveyance means 34 is the Y-axis direction, the direction orthogonal to the Y-axis direction on the horizontal plane is the X-axis direction, and the tape peeling device 28 is shown. The height direction will be described as the Z-axis direction.

(被貼着体搬送手段)
被貼着体搬送手段34は、主として、磁石に吸着しにくい材質で水平方向に配設された長尺な板であって、被貼着体Wが載置されると共にテープ剥離部32が板の上方側に配設された載置板38と、被貼着体Wが載置板38に載置される際に載置板38の幅方向(X軸方向)に対する被貼着体の幅方向(X軸方向)の位置決めを行う位置決め手段40と、載置板38の下方側に配設され、載置板38に載置された被貼着体Wの裏面を載置板38を介して吸着及び脱着する磁石手段42と、載置板38の下方側に配設され、磁石手段42を載置板38の長尺方向(Y軸方向)において往復移動させる往復移動手段44と、被貼着体Wを載置板38の終点位置である送出位置から検査ステーション16に送出する送出手段45と、で構成される。
(Transfer means for adherend)
The adherend conveying means 34 is a long plate mainly made of a material that is hard to be attracted to a magnet and arranged in the horizontal direction. The adherend W is placed and the tape peeling section 32 is a plate. And the width of the adherend with respect to the width direction (X-axis direction) of the placing plate 38 when the adherend W is placed on the placing plate 38. The positioning means 40 for positioning in the direction (X-axis direction), and the back surface of the adherend W placed on the placing plate 38, which is disposed below the placing plate 38, via the placing plate 38. A magnet means 42 for adsorbing and desorbing the magnet plate 42, a reciprocating means 44 arranged below the mounting plate 38 for reciprocating the magnet means 42 in the longitudinal direction (Y-axis direction) of the mounting plate 38, A delivery means 45 for delivering the adherend W from the delivery position which is the end point position of the mounting plate 38 to the inspection station 16.

なお、テープ剥離部32は、載置板38の長手方向の略中央の位置に設けられることが好ましい。また、制御手段35が磁石手段42の吸着及び脱着のタイミング及び往復移動手段44の往復タイミングを制御する。 In addition, it is preferable that the tape peeling portion 32 is provided at a position substantially at the center of the mounting plate 38 in the longitudinal direction. Further, the control means 35 controls the timing of attraction and desorption of the magnet means 42 and the reciprocating timing of the reciprocating means 44.

図3及び図4に示すように、載置板38は磁石に吸着しにくい材質で水平方向に配設された長尺な四角板で形成され、載置板38の上方側と下方側との間で水等の液体の通過はない。載置板38は4隅が装置フレーム36の床面36Aに立設された4本の支柱37,37…に支持される。
磁石に吸着しにくい(全く吸着しない場合も含む)材質の載置板38としては、例えばオーステナイト系ステンレス(JIS300番台)を使用することができる。
As shown in FIGS. 3 and 4, the mounting plate 38 is formed of a long rectangular plate horizontally arranged with a material that is hard to be attracted to the magnets. The mounting plate 38 has an upper side and a lower side. There is no passage of liquid such as water between them. The mounting plate 38 is supported at its four corners by four columns 37, 37... Standing on the floor surface 36A of the apparatus frame 36.
For example, austenitic stainless steel (JIS300 series) can be used as the mounting plate 38 made of a material that does not easily attract to the magnet (including a case where it does not attract at all).

そして、載置板38に載置された被貼着体Wの裏面を載置板38を介して磁石手段42で吸着した状態で、往復移動手段44により磁石手段42を被貼着体Wの搬送方向である載置板38の長手方向(Y軸方向)に移動させる。これにより、被貼着体Wは磁石手段42の移動に伴って載置板38の上を滑るようにY軸方向に移動するので、被貼着体Wをテープ剥離部32に搬入したり、テープ剥離部32から搬出したりすることができる。 Then, with the back surface of the adherend W placed on the placing plate 38 being attracted by the magnet means 42 via the placing plate 38, the reciprocating means 44 moves the magnet means 42 onto the adherend W. The placement plate 38 is moved in the longitudinal direction (Y-axis direction), which is the transport direction. As a result, the adherend W moves in the Y-axis direction so as to slide on the mounting plate 38 as the magnet means 42 moves, so that the adherend W can be carried into the tape peeling section 32, It can be carried out from the tape peeling section 32.

このように、本発明における被貼着体搬送手段34は、被貼着体Wが載置板38の上を滑ることにより、被貼着体Wを移動させる搬送方式なので、載置板38の上面(被貼着体Wが載置される面)には多数の半球体状の微小突起46,46…が形成されている。これにより、被貼着体Wの裏面と載置板38の上面との接触面積が小さくなり滑り摩擦を小さくできるので、被貼着体Wをスムーズに搬送することができる。 As described above, the adherend transfer means 34 according to the present invention is a transfer system that moves the adherend W by sliding the adherend W on the mounting plate 38. A large number of hemispherical minute projections 46, 46... Are formed on the upper surface (the surface on which the adherend W is placed). As a result, the contact area between the back surface of the adherend W and the upper surface of the mounting plate 38 is reduced, and sliding friction can be reduced, so that the adherend W can be transported smoothly.

載置板38の上面に形成される半球体状の微小突起46の大きさ(半球体の直径)は、被貼着体Wの滑り摩擦を小さくできること、被貼着体Wを磁石手段42で載置板38を介して吸着できること、載置板38の上面に水が溜まりにくいこと等の条件を満足するように設計することが好ましく、例えば直径が10〜20mm程度が適当である。 The size (diameter of the hemisphere) of the hemispherical minute projections 46 formed on the upper surface of the mounting plate 38 is such that the sliding friction of the adherend W can be reduced, and the adherend W is magnetized by the magnet means 42. It is preferable to design so as to satisfy the conditions that it can be adsorbed through the mounting plate 38 and that water is unlikely to collect on the upper surface of the mounting plate 38. For example, a diameter of 10 to 20 mm is suitable.

載置板38に載置される被貼着体Wは、位置決め手段40によって載置板38の幅方向(X軸方向)に対する被貼着体Wの幅方向(X軸方向)の位置決めが行われる。位置決めを行う理由については後記するテープ剥離部32で説明する。 The adherend W placed on the mounting plate 38 is positioned by the positioning means 40 in the width direction (X-axis direction) of the adherend W with respect to the width direction (X-axis direction) of the mounting plate 38. Be seen. The reason for performing the positioning will be described in the tape peeling unit 32 described later.

図3及び図4に示すように、位置決め手段40は、主として被貼着体Wを搬送するベルトコンベア48と、ベルトコンベア48で搬送される被貼着体Wの両側辺W,W(図2参照)に当接して回転する複数のガイドローラ50,50…と、ベルトコンベア48を上下動させる上下動手段52と、で構成される。ベルトコンベア48及びガイドローラ50は装置フレーム36の内部に設けられた支持フレーム54に設けられ、装置フレーム36の底部36Aに立設された上下動手段52に支持フレーム54が支持される。 As shown in FIGS. 3 and 4, the positioning means 40 includes a belt conveyor 48 which mainly carrying the pasting target body W, both sides W A of pasting target body W conveyed by the belt conveyor 48, W A ( 2) and a plurality of guide rollers 50, 50... Which rotate in contact with each other, and a vertically moving means 52 for vertically moving the belt conveyor 48. The belt conveyor 48 and the guide rollers 50 are provided on a support frame 54 provided inside the device frame 36, and the support frame 54 is supported by the vertical movement means 52 provided upright on the bottom 36A of the device frame 36.

ベルトコンベア48は、載置板38の両側にY軸方向に平行走行する一対の無端状ベルト56,56を有する。一対の無端状ベルト56,56は、支持フレーム54に回転自在に支持された複数の搬送用ローラ58に掛け渡される。これにより、載置板38と平行な搬送部分を有するベルトコンベア48が形成される。そして、複数の搬送用ローラ58の1つを回転駆動することで一対の無端状ベルト56,56を回転し、被貼着体Wを搬送する。ベルトコンベア48の駆動は制御手段35によって制御される。 The belt conveyor 48 has a pair of endless belts 56, 56 on both sides of the mounting plate 38 that run in parallel in the Y-axis direction. The pair of endless belts 56, 56 is stretched over a plurality of transport rollers 58 rotatably supported by the support frame 54. As a result, a belt conveyor 48 having a conveying portion parallel to the placing plate 38 is formed. Then, one of the plurality of transport rollers 58 is rotationally driven to rotate the pair of endless belts 56, 56 and transport the adherend W. The drive of the belt conveyor 48 is controlled by the control means 35.

複数のガイドローラ50は、ベルトコンベア48の両側にY軸方向に等間隔で配置され、ベルトコンベア48で搬送される被貼着体Wの両側辺W,Wに当接して回転する。これにより、被貼着体Wの搬送をガイドすると共に搬送先である載置板38の幅方向に対する被貼着体Wの幅方向の位置決めを行う。 A plurality of guide rollers 50 are disposed at regular intervals in the Y-axis direction on both sides of the belt conveyor 48, both sides W A of pasting target body W conveyed by the belt conveyor 48, rotates in contact with the W A. This guides the conveyance of the adherend W and positions the adherend W in the width direction with respect to the width direction of the placing plate 38 that is the conveyance destination.

上下動手段52は、ベルトコンベア48及びガイドローラ50が設けられた支持フレーム54を上下動させる。そして、ベルトコンベア48が載置板38の上方に位置する待機位置と、一対の無端状ベルト56,56と載置板38との高さが同じになる被貼着体Wの受け渡し位置との間で上下動する。上下動手段52としては、例えば図3に示すようにシリンダ装置を使用することができる。上下動手段52は制御手段35によって制御される。これにより、載置板38の幅方向に対する被貼着体Wの幅方向の位置決めをした状態で、被貼着体Wをベルトコンベア48から載置板38に受け渡すことができる。 The vertical movement unit 52 vertically moves the support frame 54 provided with the belt conveyor 48 and the guide roller 50. The standby position where the belt conveyor 48 is located above the placement plate 38 and the delivery position of the adherend W where the height of the pair of endless belts 56, 56 and the placement plate 38 are the same. Move up and down between. As the vertically moving means 52, for example, a cylinder device as shown in FIG. 3 can be used. The vertical movement means 52 is controlled by the control means 35. Accordingly, the adherend W can be transferred from the belt conveyor 48 to the placing plate 38 in a state where the adherend W is positioned in the width direction with respect to the widthwise direction of the placing plate 38.

図5は、被貼着体搬送手段34の磁石手段42を説明する斜視図である。
図5に示すように、磁石手段42は、主として、載置板38の下方に載置板38の面と平行な面を有して設けられた板状の磁石保持板60と、磁石保持板60の載置板38側に配設された複数の永久磁石62,62…(図5では4個)と、磁石保持板60を昇降させることによって載置板38に載置された被貼着体Wの裏面を載置板38を介して吸着及び脱着する昇降手段64と、で構成される。
FIG. 5 is a perspective view for explaining the magnet means 42 of the adherend transfer means 34.
As shown in FIG. 5, the magnet means 42 mainly includes a plate-shaped magnet holding plate 60 provided below the mounting plate 38 and having a surface parallel to the surface of the mounting plate 38, and a magnet holding plate. The plurality of permanent magnets 62, 62... (4 in FIG. 5) arranged on the mounting plate 38 side of 60 and the magnet holding plate 60 are moved up and down to be attached to the mounting plate 38. An elevating means 64 for adsorbing and desorbing the back surface of the body W via the mounting plate 38.

図5に示すように、矩形板状の磁石保持板60の4隅からX軸方向に張り出した張り出し板60A,60A…に永久磁石62,62…がそれぞれ固定され、合計4個固定される。 As shown in FIG. 5, the permanent magnets 62, 62... Are fixed to the projecting plates 60A, 60A... That are projected from the four corners of the rectangular magnet holding plate 60 in the X-axis direction, and a total of four permanent magnets are fixed.

4個の永久磁石62の吸着面62Aは面一になるように形成されていると共に4個の永久磁石62の吸着面62Aは磁石保持板60の上面60Bから僅かに(例えば1〜2mm程度)突出させることが好ましい。これにより、4個の永久磁石62の吸着面62Aが載置板38の裏面に均等に当接すると共に、磁石手段42を載置板38の長手方向(Y軸方向)に移動させたときに、磁石保持板60の上面60Bと載置板38の下面とが擦れない。したがって、載置板38に対する磁石手段42の移動をスムーズに行うことができる。 The attraction surfaces 62A of the four permanent magnets 62 are formed to be flush with each other, and the attraction surfaces 62A of the four permanent magnets 62 are slightly (for example, about 1 to 2 mm) from the upper surface 60B of the magnet holding plate 60. It is preferable to make it protrude. As a result, the attraction surfaces 62A of the four permanent magnets 62 evenly contact the back surface of the mounting plate 38, and when the magnet means 42 is moved in the longitudinal direction (Y-axis direction) of the mounting plate 38, The upper surface 60B of the magnet holding plate 60 does not rub against the lower surface of the mounting plate 38. Therefore, the magnet means 42 can be smoothly moved with respect to the mounting plate 38.

なお、本実施の形態では、磁石保持板60の4隅に永久磁石62をそれぞれ設けたが、永久磁石62の配置位置や数は特に限定されない。要は載置板38に載置された被貼着体Wの裏面を載置板38を介して確実に吸着できればよい。 In addition, in the present embodiment, the permanent magnets 62 are provided at the four corners of the magnet holding plate 60, but the arrangement position and the number of the permanent magnets 62 are not particularly limited. The point is that the back surface of the adherend W placed on the placing plate 38 can be surely adsorbed via the placing plate 38.

更には、磁石保持板60の4隅の張り出し板60AのY軸方向の間には、Y軸方向に回転自在に支持された補助ローラ68が合計4個設けられる。即ち、磁石保持板60の幅方向(X軸方向)両側に2個ずつ補助ローラ68が設けられる。 Further, a total of four auxiliary rollers 68 rotatably supported in the Y-axis direction are provided between the overhanging plates 60A at the four corners of the magnet holding plate 60 between the Y-axis directions. That is, two auxiliary rollers 68 are provided on each side of the magnet holding plate 60 in the width direction (X-axis direction).

これにより、載置板38に載置された被貼着体Wの裏面を載置板38を介して吸着したときに、4個の永久磁石62と一緒に4個の補助ローラ68が載置板38の裏面に当接する。そして、磁石手段42を載置板38の長手方向(Y軸方向)に移動させたときに、補助ローラ68が載置板38の裏面を載置板38の長手方向(Y軸方向)に回転走行するので、磁石手段42の移動を一層スムーズに行うことができる。 Accordingly, when the back surface of the adherend W placed on the placing plate 38 is attracted via the placing plate 38, the four auxiliary magnets 68 are placed together with the four permanent magnets 62. It contacts the back surface of the plate 38. Then, when the magnet means 42 is moved in the longitudinal direction (Y-axis direction) of the mounting plate 38, the auxiliary roller 68 rotates the back surface of the mounting plate 38 in the longitudinal direction (Y-axis direction) of the mounting plate 38. Since the vehicle travels, the magnet means 42 can be moved more smoothly.

なお、本実施の形態では、補助ローラ68を合計で4個設けたが、補助ローラ68の配置位置や数は特に限定されない。要は補助ローラ68によって磁石手段42の移動をスムーズに行えればよい。 In this embodiment, a total of four auxiliary rollers 68 are provided, but the arrangement position and the number of auxiliary rollers 68 are not particularly limited. The point is that the auxiliary roller 68 can smoothly move the magnet means 42.

また、図5に示すように、昇降手段64としては、磁石保持板60を載置板38に対して接離(接近及び離間)できるものであればどのようなものでもよいが、本実施の形態のようにピストンロッド64AがZ軸方向に伸縮するシリンダ装置を好適に使用できる。 Further, as shown in FIG. 5, as the elevating means 64, any means can be used as long as it can bring the magnet holding plate 60 into and out (approach and separate) from the mounting plate 38. A cylinder device in which the piston rod 64A expands and contracts in the Z-axis direction as in the form can be preferably used.

昇降手段64としてシリンダ装置を使用した場合、ピストンロッド64Aの先端と磁石保持板60とは球体継手70で連結されていることが好ましい。これにより、ピストンロッド64Aの先端に磁石保持板60を首振り自在に支持することができる。したがって、ピストンロッド64Aの伸縮方向が載置板38に対して完全に直交していなくても、磁石保持板60を上昇させて永久磁石62を載置板38の裏面に当接させたときに、磁石保持板60は載置板38の裏面の向きに倣って首振りする。この結果、4個の永久磁石62を載置板38の裏面に確実に当接させることができるので、載置板38に載置された被貼着体Wを4個の永久磁石62で確実且つ均等に吸着することができる。 When a cylinder device is used as the elevating means 64, it is preferable that the tip end of the piston rod 64A and the magnet holding plate 60 are connected by a spherical joint 70. As a result, the magnet holding plate 60 can be swingably supported on the tip of the piston rod 64A. Therefore, even if the expansion and contraction direction of the piston rod 64A is not completely orthogonal to the mounting plate 38, when the magnet holding plate 60 is raised to bring the permanent magnet 62 into contact with the back surface of the mounting plate 38. The magnet holding plate 60 swings along the direction of the back surface of the mounting plate 38. As a result, the four permanent magnets 62 can be surely brought into contact with the back surface of the mounting plate 38, so that the adherend W mounted on the mounting plate 38 can be reliably contacted by the four permanent magnets 62. And it can be adsorbed uniformly.

往復移動手段44は、磁石手段42を載置板38の長尺方向(Y軸方向)に精度良く往復移動できればどのような手段でもよいが、本実施の形態のようにボールネジ方式の往復移動手段を好適に使用できる。 The reciprocating means 44 may be any means as long as it can accurately reciprocate the magnet means 42 in the longitudinal direction (Y-axis direction) of the mounting plate 38, but as in the present embodiment, a reciprocating means of ball screw type. Can be preferably used.

図3及び図4に示すように、ボールネジ方式の往復移動手段44は、主として、ボールネジ72と、ボールネジ72を正逆回転するサーボモータ74と、ボールネジ72に螺合するナット部材76と、ナット部材76がスライド自在に支持されるレール78とで構成される。 As shown in FIGS. 3 and 4, the ball screw type reciprocating means 44 mainly includes a ball screw 72, a servomotor 74 that rotates the ball screw 72 forward and backward, a nut member 76 that is screwed into the ball screw 72, and a nut member. 76 and a rail 78 that is slidably supported.

即ち、載置板38の下方で装置フレーム36の床面36Aに、載置板38と平行(Y軸方向に平行)に長尺な基台80が設けられる。この基台80上にレール78がY軸方向に敷設され、レール78上にはリニアガイド82を介してナット部材76がスライド自在に支持される。また、ナット部材76には磁石手段42の昇降手段64を搭載する搭載台84が設けられる。ナット部材76には、Y軸方向に配設されたボールネジ72が螺合し、ボールネジ72の両端部は基台80の両端部に配設された一対の軸受86,86に支持される。また、ボールネジ72の一端は一方の軸受86を貫通して基台80に固設されたサーボモータ74に連結される。 That is, a long base 80 parallel to the mounting plate 38 (parallel to the Y-axis direction) is provided on the floor surface 36A of the device frame 36 below the mounting plate 38. A rail 78 is laid in the Y-axis direction on the base 80, and a nut member 76 is slidably supported on the rail 78 via a linear guide 82. Further, the nut member 76 is provided with a mounting base 84 on which the elevating means 64 of the magnet means 42 is mounted. A ball screw 72 arranged in the Y-axis direction is screwed into the nut member 76, and both ends of the ball screw 72 are supported by a pair of bearings 86, 86 arranged at both ends of the base 80. Further, one end of the ball screw 72 penetrates one bearing 86 and is connected to a servo motor 74 fixedly mounted on the base 80.

これにより、サーボモータ74の正逆回転によって、ナット部材76はレール78上を往復移動するので、ナット部材76に搭載台84を介して搭載された磁石手段42がY軸方向に往復移動する。したがって、載置板38に載置された被貼着体Wの裏面を載置板38を介して磁石手段42の4つの永久磁石62で吸着した状態で被貼着体Wをテープ剥離部32に搬入、搬出することができる。 As a result, the nut member 76 reciprocates on the rail 78 by the forward and reverse rotations of the servomotor 74, so that the magnet means 42 mounted on the nut member 76 via the mounting base 84 reciprocates in the Y-axis direction. Therefore, the adherend W is attached to the tape peeling portion 32 while the back surface of the adherend W placed on the mount plate 38 is attracted by the four permanent magnets 62 of the magnet means 42 via the mount plate 38. It can be carried in and out.

被貼着体Wを載置板38上で搬送する搬送速度としては、テープ剥離の効率化及び被貼着体Wの搬送精度を考慮すると10〜30m/分の範囲が好ましい。ここで、搬送精度とは、被貼着体Wの搬送中に被貼着体Wと永久磁石62との間で吸着ズレがない状態で搬送できることをいう。 The transport speed for transporting the adherend W on the mounting plate 38 is preferably in the range of 10 to 30 m/min in consideration of efficiency of tape peeling and conveyance accuracy of the adherend W. Here, the conveyance accuracy means that the adherend W can be conveyed in a state where there is no attraction deviation between the adherend W and the permanent magnet 62 during the conveyance.

搭載台84に搭載される磁石手段42は1基でもよいが、載置板38の長尺方向(Y軸方向)に長い長尺な搭載台84として、長尺方向の両端部にそれぞれ磁石手段42(42A、42B)を設けることが好ましい。即ち、ナット部材76の往復動作によって、位置決め手段40から載置板38に被貼着体Wを受け渡す受け渡し位置とテープ剥離部32との間で往復する搬入用磁石手段42Aと、テープ剥離部32と載置板38の終端部位置との間で往復する搬出用磁石手段42Bと、の2基設けることが好ましい。これにより、テープ剥離部32に対する被貼着体Wの搬入と搬出とを同時に行うことができるので、テープ剥離のタクト時間を短くすることができる。 The number of the magnet means 42 mounted on the mounting table 84 may be one, but as the long mounting table 84 which is long in the longitudinal direction (Y-axis direction) of the mounting plate 38, the magnet means 42 is provided at both ends in the longitudinal direction. It is preferable to provide 42 (42A, 42B). That is, by the reciprocating operation of the nut member 76, the carrying-in magnet means 42A that reciprocates between the tape peeling portion 32 and the transfer position where the adherend W is transferred from the positioning means 40 to the mounting plate 38, and the tape peeling portion. It is preferable to provide two of the carrying-out magnet means 42B that reciprocates between 32 and the position of the end of the mounting plate 38. Thereby, since the adherend W can be carried in and out of the tape peeling section 32 at the same time, the tape peeling tact time can be shortened.

送出手段45は、上記した位置決め手段40からガイドローラ50を除いた以外は同様の構造に形成される。即ち、平行な一対の無端状ベルト56,56が複数の搬送用ローラ58に掛け渡されてベルトコンベア48が形成され、ベルトコンベア48が支持フレーム54に支持される。そして、支持フレーム54を上下動手段52で上下動することで、載置板38の下方に位置するベルトコンベア48を載置板38の高さまで上昇させ、載置板38に載置された被貼着体Wの両端部を一対の無端状ベルト56で掬うように受け取る。そして、受け取った被貼着体Wを検査ステーション16に搬送する。 The feeding means 45 is formed in the same structure except that the guide roller 50 is removed from the positioning means 40 described above. That is, the pair of parallel endless belts 56, 56 is stretched over the plurality of transport rollers 58 to form the belt conveyor 48, and the belt conveyor 48 is supported by the support frame 54. Then, the support frame 54 is moved up and down by the up-and-down moving means 52 to raise the belt conveyor 48 located below the placing plate 38 to the height of the placing plate 38, and the object placed on the placing plate 38 is lifted. The pair of endless belts 56 scoop and receive the both ends of the adherend W. Then, the adherend W received is conveyed to the inspection station 16.

なお、送出手段45は上記構造に限定するものではなく、テープ剥離ステーション14から検査ステーション16に被貼着体Wを送出できればよい。 The delivery means 45 is not limited to the above structure, and it is sufficient that the adherend W can be delivered from the tape peeling station 14 to the inspection station 16.

(テープ剥離部)
図3及び図4に示すように、テープ剥離部32は、主として、加圧水を噴出する加圧水噴出ガン88と、加圧水噴出ガン88から噴出される加圧水の飛散を防止すると共に被貼着体Wの搬入口90と搬出口92とが形成され、載置板38を底面としたチャンバー94と、チャンバー94の下方にチャンバー94に連通して設けられ、被貼着体Wから剥離されたテープを加圧水噴出ガン88から噴出された加圧水と一緒に回収するテープ回収手段96(図7参照)と、で構成される。
(Tape peeling part)
As shown in FIGS. 3 and 4, the tape peeling section 32 mainly prevents the pressurized water jet gun 88 for jetting the pressurized water, the splash of the pressurized water jetted from the pressurized water jet gun 88, and the loading of the adherend W. A chamber 94 having an opening 90 and a carry-out port 92 and having the mounting plate 38 as a bottom surface, and a tape provided below the chamber 94 and communicating with the chamber 94, the tape peeled from the adherend W is ejected under pressure. And a tape collecting means 96 (see FIG. 7) for collecting together with the pressurized water jetted from the gun 88.

なお、図3及び図4には、図を分かり易くする関係からテープ回収手段96は省略して図示しており、図7にテープ回収手段96を示した。また、図6に加圧水噴出ガン88の詳細を示す。 3 and 4, the tape collecting means 96 is omitted for the sake of clarity, and FIG. 7 shows the tape collecting means 96. 6 shows the details of the pressurized water jet gun 88.

チャンバー94は、上面と下面とが開口された四角筒状に形成され、被貼着体Wが搬入される正面下部と搬出される背面下部にコ字形状の切り欠きが形成される。そして、チャンバー94の下面開口が載置板38の長手方向の中央部で閉塞される。これにより、上面が開口された箱型のチャンバー94が形成されると共に、被貼着体Wの搬入口90と搬出口92が形成される。そして、チャンバー94の内部に加圧水噴出ガン88のノズルヘッド98(図6参照)が設けられ、チャンバー94により加圧水噴出ガン88から噴出される加圧水の飛散を防止する。 The chamber 94 is formed in a rectangular tube shape with an upper surface and a lower surface opened, and a U-shaped cutout is formed in a lower front portion into which the adherend W is loaded and a lower rear portion from which it is unloaded. Then, the lower surface opening of the chamber 94 is closed at the central portion of the mounting plate 38 in the longitudinal direction. As a result, a box-shaped chamber 94 having an open upper surface is formed, and a carry-in port 90 and a carry-out port 92 for the adherend W are formed. A nozzle head 98 (see FIG. 6) of the pressurized water jet gun 88 is provided inside the chamber 94 to prevent the pressurized water jetted from the pressurized water jet gun 88 from being scattered by the chamber 94.

チャンバー94における被貼着体Wの搬入口90と搬出口92には、それぞれ上下動して開閉するシャッター(図示せず)を設けることが好ましい。シャッターの駆動手段については例えばシリンダ装置を使用することができる。また、シャッターの駆動は制御手段35により制御される。即ち、被貼着体Wのテープ剥離部32への搬入時及び搬出時はシャッターを開き、加圧水噴出ガン88から加圧水が噴出されて被貼着体Wのテープ剥離時はシャッターが閉じられる。これにより、加圧水噴出ガン88から噴出される加圧水の飛散を一層確実に防止できる。 It is preferable to provide shutters (not shown) that move up and down and open and close at the carry-in port 90 and the carry-out port 92 of the adherend W in the chamber 94. As the shutter driving means, for example, a cylinder device can be used. The drive of the shutter is controlled by the control means 35. That is, the shutter is opened at the time of loading and unloading the adherend W to the tape peeling section 32, and the pressurized water is ejected from the pressurized water ejection gun 88 to close the shutter at the time of tape peeling of the adherend W. As a result, the splash of the pressurized water ejected from the pressurized water ejection gun 88 can be more reliably prevented.

また、加圧水噴出ガン88は、載置板38の長尺方向(Y軸方向)と幅方向(X軸方向)に移動可能なX−Y移動機構100に支持される。即ち、装置フレーム36のY軸方向に平行な一対の上梁102,102にY軸アクチュエータ104とY軸レール106とが固定され、Y軸アクチュエータ104とY軸レール106とを跨いでX軸アクチュエータ108がスライド自在に支持される。これにより、X−Y移動機構100が形成される。 The pressurized water jet gun 88 is supported by an XY moving mechanism 100 that is movable in the longitudinal direction (Y-axis direction) and the width direction (X-axis direction) of the mounting plate 38. That is, the Y-axis actuator 104 and the Y-axis rail 106 are fixed to the pair of upper beams 102 and 102 that are parallel to the Y-axis direction of the device frame 36, and the X-axis actuator straddles the Y-axis actuator 104 and the Y-axis rail 106. 108 is slidably supported. As a result, the XY moving mechanism 100 is formed.

また、X軸アクチュエータ108にスライダー110がスライド自在に支持され、スライダー110にホルダー112を介して加圧水噴出ガン88が保持される。 The slider 110 is slidably supported by the X-axis actuator 108, and the slider 110 holds the pressurized water jet gun 88 via the holder 112.

そして、被貼着体Wがテープ剥離部32のチャンバー内94に搬入され、載置板38上のテープ剥離位置に停止した後、加圧水噴出ガン88は被貼着体Wの幅方向(X軸方向)と長さ方向(Y軸方向)とに移動しながら加圧水を被貼着体Wに向けて噴出させてテープTに吹き付ける。これにより、被貼着体Wに貼着されたテープTを剥離する。 Then, after the adherend W is carried into the chamber 94 of the tape peeling section 32 and stopped at the tape peeling position on the placing plate 38, the pressurized water jet gun 88 causes the adherend W to move in the width direction (X-axis). Direction) and the length direction (Y-axis direction), the pressurized water is jetted toward the adherend W and sprayed onto the tape T. As a result, the tape T attached to the adherend W is peeled off.

加圧水噴出ガン88をX軸方向及びY軸方向に移動させる移動プログラムは、チャンバー94内における被貼着体Wのテープ剥離位置及び被貼着体Wに貼着されたテープTの貼着位置に応じて予め制御手段35にプログラミングされている。したがって、テープ剥離位置である被貼着体Wの停止位置(Y軸方向位置)及び被貼着体Wの幅方向位置(X軸方向位置)は加圧水噴出ガン88の移動プログラムに対応して正確に位置決めすることが必要になる。特に、図2の被貼着体Wのように、四角いフレームの開口側部分にのみ四角状のテープTが貼着されている場合、テープ剥離を行うには被貼着体WのテープTのある領域に加圧水を集中的に吹き付けることが必要になる。 The movement program for moving the pressurized water jet gun 88 in the X-axis direction and the Y-axis direction is performed at the tape peeling position of the adherend W and the sticking position of the tape T adhered to the adherend W in the chamber 94. Accordingly, the control means 35 is programmed in advance. Therefore, the stop position (Y-axis direction position) of the adherend W, which is the tape peeling position, and the widthwise position (X-axis direction position) of the adherend W are accurate in accordance with the movement program of the pressurized water jet gun 88. Will need to be positioned. In particular, when the square tape T is attached only to the opening side portion of the square frame as in the adherend W of FIG. It is necessary to intensively spray pressurized water on a certain area.

この場合、停止位置については、制御手段35が被貼着体搬送手段34を制御して搬入用磁石手段42A停止位置を制御すればよい。しかし、上記したように被貼着体搬送手段34は載置板38を介して磁石手段42で被貼着体Wの裏面を吸着した状態でテープ剥離部32に搬入する方法であり、幅方向位置については被貼着体Wを搬入用磁石手段42Aに吸着した時点で決定してしまう。したがって、被貼着体Wを磁石手段42で吸着したときに移動プログラムに対する被貼着体Wの幅方向(X軸方向)にズレがあると、テープ剥離部32でのテープ剥離性能に悪影響がでることが懸念される。 In this case, regarding the stop position, the control means 35 may control the adherend conveying means 34 to control the carry-in magnet means 42A stop position. However, as described above, the adherend transporting means 34 is a method in which the back side of the adherend W is adsorbed by the magnet means 42 via the mounting plate 38 to the tape peeling section 32 in the width direction. The position is determined when the adherend W is attracted to the carry-in magnet means 42A. Therefore, when the adherend W is attracted by the magnet means 42, if there is a deviation in the width direction (X-axis direction) of the adherend W with respect to the movement program, the tape peeling performance at the tape peeling portion 32 is adversely affected. I'm concerned about it

この対策として、本実施の形態における被貼着体搬送手段34では、被貼着体Wを磁石手段42で吸着する前に、上記した位置決め手段40によって被貼着体Wを載置板38に受け渡す際に載置板38に対する被貼着体Wの幅方向位置がテープ剥離部32での幅方向位置になるように予め位置決めするようにした。これにより、テープ剥離性能を向上できる。 As a countermeasure against this, in the adherend transporting means 34 in the present embodiment, before the adherend W is attracted by the magnet means 42, the above-mentioned positioning means 40 positions the adherend W on the mounting plate 38. In the delivery, the position of the adherend W with respect to the mounting plate 38 is preliminarily determined so that the widthwise position of the adherend W becomes the widthwise position of the tape peeling section 32. Thereby, the tape peeling performance can be improved.

なお、上記した供給ステーション12の供給ロボット26(図2参照)に、載置板38の幅方向に対する被貼着体Wの幅方向の位置決めを行う機能を持たせた場合には、被貼着体搬送手段34の位置決め手段40を省略することができる。また、被貼着体搬送手段34にY軸方向への移動機能に加えてX軸方向への移動機能を持たせることで位置決め手段40を省略することができる。しかし、これらの方法は構造が複雑になり装置コストが高くなる。 When the supply robot 26 (see FIG. 2) of the supply station 12 described above is provided with a function of positioning the adherend W in the width direction with respect to the width direction of the mounting plate 38, the adherend is adhered. The positioning means 40 of the body transport means 34 can be omitted. Further, by providing the adherend transfer means 34 with a moving function in the X-axis direction in addition to the moving function in the Y-axis direction, the positioning means 40 can be omitted. However, these methods have a complicated structure and increase the apparatus cost.

図6は、加圧水噴出ガン88を説明する説明図である。
図6の(A)に示すように、加圧水噴出ガン88は、主として加圧水を噴出するノズルヘッド98と、ノズルヘッド98を揺動回転させる揺動回転機構114と、で構成される。
FIG. 6 is an explanatory diagram illustrating the pressurized water jet gun 88.
As shown in FIG. 6A, the pressurized water ejection gun 88 is mainly composed of a nozzle head 98 for ejecting pressurized water and an oscillating rotation mechanism 114 for oscillatingly rotating the nozzle head 98.

ここで揺動回転とは、ノズルヘッド98が軸芯を中心とした回転運動(自転)と、ノズルヘッド98の軸芯が円周軌跡を描いて移動(揺動)する円周運動(公転)との2つの運動を組み合わせた複合回転運動を行うことを言う。 Here, the swinging rotation means that the nozzle head 98 rotates about its axis (rotation) and the axis of the nozzle head 98 moves (swings) in a circular locus (revolution). It means performing a combined rotary motion that combines the two motions of and.

図6の(A)に示すように、加圧水噴出ガン88を保持するホルダー112は箱型に形成され、ホルダー112内部に揺動回転機構114と揺動回転機構114に回転動力を付与するモータ116とが設けられる。また、ホルダー112の一方端側の上面と下面とには、上面開口118と下面開口120とが形成される。 As shown in FIG. 6A, the holder 112 that holds the pressurized water jet gun 88 is formed in a box shape, and the swing rotation mechanism 114 and the motor 116 that imparts rotational power to the swing rotation mechanism 114 inside the holder 112. And are provided. Further, an upper surface opening 118 and a lower surface opening 120 are formed on the upper surface and the lower surface on the one end side of the holder 112.

揺動回転機構114は、ホルダー112内部の上面開口118位置に軸受部材122が固設され、軸受部材122に中空なスピンドル124が縦向きに回転自在に支持される。そして、スピンドル124の上端にロータリジョイント126を介して加圧水配管128の下端が連結されると共に上端に加圧水ホース130(耐圧ホース)が連結される。これにより、スピンドル124が回転しても、加圧水配管128や加圧水ホース130は回転しない。 In the swinging and rotating mechanism 114, a bearing member 122 is fixedly installed at a position of an upper surface opening 118 inside the holder 112, and a hollow spindle 124 is vertically rotatably supported by the bearing member 122. Then, the lower end of the pressurized water pipe 128 is connected to the upper end of the spindle 124 via the rotary joint 126, and the pressurized water hose 130 (pressure resistant hose) is connected to the upper end. As a result, even if the spindle 124 rotates, the pressurized water pipe 128 and the pressurized water hose 130 do not rotate.

また、加圧水ホース130は、図示しない加圧水供給手段(例えば超高圧プランジャーポンプ)が連結され、加圧水噴出ガン88のノズルヘッド98には高圧な加圧水が供給されて被貼着体Wに吹き付けられる。加圧水噴出ガン88から噴出される加圧水の水圧力としては、30〜100MPaの範囲が好ましく、30〜50MPaの範囲がより好ましい。加圧水噴出ガン88から噴出される加圧水の水量としては、15〜25リットル/分の範囲が好ましい。また、ノズルヘッド98の噴出ノズル132が形成される噴出面98Aと被貼着体の距離は20〜30mmの範囲が好ましい。 Further, the pressurized water hose 130 is connected to a pressurized water supply means (not shown) (for example, an ultra-high pressure plunger pump), and high pressure pressurized water is supplied to the nozzle head 98 of the pressurized water jet gun 88 and sprayed onto the adherend W. The water pressure of the pressurized water ejected from the pressurized water ejection gun 88 is preferably in the range of 30 to 100 MPa, more preferably 30 to 50 MPa. The amount of pressurized water ejected from the pressurized water ejection gun 88 is preferably in the range of 15 to 25 liters/minute. The distance between the ejection surface 98A of the nozzle head 98 on which the ejection nozzles 132 are formed and the adherend is preferably in the range of 20 to 30 mm.

また、中空なスピンドル124の下端にスピンドル124と同じ回転軸芯L1を有する円板状の中空な偏心板134の上面中心が固設される。これにより、スピンドル124と偏心板134とは連通し、加圧水の流路が形成される。また、偏心板134の側面にバランスウエイト136が設けられる。 Further, the center of the upper surface of a disk-shaped hollow eccentric plate 134 having the same rotation axis L1 as the spindle 124 is fixed to the lower end of the hollow spindle 124. As a result, the spindle 124 and the eccentric plate 134 communicate with each other to form a flow path for the pressurized water. A balance weight 136 is provided on the side surface of the eccentric plate 134.

一方、偏心板134の下面であってスピンドル124の回転軸芯L1に対して偏心した偏心軸芯L2の位置に、ノズルヘッド98のノズル配管138の上端が固設されると共に、ノズル配管138の軸芯が偏心軸芯L2に一致する。これにより、ノズルヘッド98はノズル配管138、中空な偏心板134、中空なスピンドル124、加圧水配管128、及び加圧水ホース130を介して加圧水供給手段に連結される。 On the other hand, the upper end of the nozzle pipe 138 of the nozzle head 98 is fixed to the lower surface of the eccentric plate 134 at the position of the eccentric axis L2 that is eccentric with respect to the rotational axis L1 of the spindle 124, and the nozzle pipe 138 is also fixed. The shaft center coincides with the eccentric shaft center L2. As a result, the nozzle head 98 is connected to the pressurized water supply means via the nozzle pipe 138, the hollow eccentric plate 134, the hollow spindle 124, the pressurized water pipe 128, and the pressurized water hose 130.

また、軸受部材122から突出したスピンドル124の下端部にプーリ140が設けられる。一方、ホルダー112内部には軸受部材122と並列してモータ116が下向きに固設され、モータ回転軸116Aにプーリ142が設けられる。そして、モータ116のプーリ142とスピンドル124のプーリ140との間にタイミングベルト144が掛け渡される。 Further, a pulley 140 is provided at the lower end of the spindle 124 protruding from the bearing member 122. On the other hand, inside the holder 112, the motor 116 is fixed in parallel with the bearing member 122 downward, and the pulley 142 is provided on the motor rotation shaft 116A. Then, the timing belt 144 is stretched between the pulley 142 of the motor 116 and the pulley 140 of the spindle 124.

これにより、モータ116を駆動するとスピンドル124が回転し、偏心板134を介してノズルヘッド98が偏心回転するので、ノズルヘッド98は回転運動と円周運動との2つの運動を組み合わせた複合回転運動である揺動回転を行う。 As a result, when the motor 116 is driven, the spindle 124 rotates and the nozzle head 98 eccentrically rotates via the eccentric plate 134. Therefore, the nozzle head 98 combines the two rotational motions, the circumferential motion and the combined rotary motion. The swing rotation is performed.

また、図6の(B)に示すように、揺動回転を行うノズルヘッド98は円筒状に形成され、噴出面98Aに複数の噴出ノズル(噴出口)132,132…を有する。本実施の形態では9個のノズル噴出口132を格子状に配置した。 Further, as shown in FIG. 6B, the nozzle head 98 that swings and rotates is formed in a cylindrical shape, and has a plurality of ejection nozzles (ejection ports) 132, 132... On the ejection surface 98A. In the present embodiment, the nine nozzle ejection ports 132 are arranged in a grid pattern.

このように、ノズルヘッド98が揺動回転することにより、回転(自転)だけの場合に比べて加圧水噴出ガン88から噴出されて被貼着体Wに衝突する加圧水の衝突軌跡が重なり合うので、加圧水の衝突密度を高くすることができる。更には、揺動回転するノズルヘッド98に複数の噴出ノズル132(噴出口)を形成することで、加圧水の衝突密度を一層高くすることができる。これにより、被貼着体WのテープTを剥離する剥離力が大きくなる。 As described above, since the nozzle head 98 swings and rotates, the collision loci of the pressurized water ejected from the pressurized water ejection gun 88 and impinging on the adherend W overlap with each other as compared with the case where only the rotation (rotation) occurs. The collision density can be increased. Furthermore, by forming a plurality of ejection nozzles 132 (ejection ports) in the nozzle head 98 that swings and rotates, the collision density of the pressurized water can be further increased. Thereby, the peeling force for peeling the tape T of the adherend W increases.

(回収手段)
図7は、テープ回収手段96を説明する説明図であり、(A)は斜視図、(B)側面図である。なお、被貼着体搬送手段34や加圧水噴出ガン88等は図示していない。
(Collection means)
7A and 7B are explanatory views for explaining the tape collecting means 96, FIG. 7A is a perspective view, and FIG. 7B is a side view. The adherend transfer means 34, the pressurized water jet gun 88, etc. are not shown.

図7に示すように、テープ回収手段96は、主として、テープ回収用ガン146と、貯留タンク148と、載置板38に開口された回収用開口150と、回収用開口150と貯留タンク148とを繋ぐダクト152とで構成される。 As shown in FIG. 7, the tape recovery means 96 mainly includes a tape recovery gun 146, a storage tank 148, a recovery opening 150 opened in the mounting plate 38, a recovery opening 150, and a storage tank 148. And a duct 152 that connects the two.

テープ回収用ガン146は、チャンバー94の左右の側板94A,94Aのうち、載置板38に開口された回収用開口150とは逆の側板94Aに設けられる。テープ回収用ガン146は、Y軸方向に一定の間隔を置いて支持された複数(図7では6個)の噴出ノズル146A、146A…で構成され、噴出ノズル146Aは図示しない加圧水供給手段(例えば超高圧プランジャーポンプ)に接続される。また、複数の噴出ノズル146Aは載置板38の上面に沿い且つ回収用開口150に向けて加圧水をX軸方向に噴出する。テープ回収用ガン146から噴出する加圧水の水圧力は、テープ剥離する加圧水噴出ガン88の水圧力よりも小さくてもよい。 The tape recovery gun 146 is provided on one of the left and right side plates 94A and 94A of the chamber 94, which is opposite to the recovery opening 150 formed on the mounting plate 38. The tape collecting gun 146 is composed of a plurality (six in FIG. 7) of ejection nozzles 146A, 146A... Supported at regular intervals in the Y-axis direction, and the ejection nozzle 146A has a pressurized water supply means (not shown) (for example, Ultra high pressure plunger pump). The plurality of ejection nozzles 146A eject the pressurized water in the X-axis direction along the upper surface of the mounting plate 38 and toward the recovery opening 150. The water pressure of the pressurized water ejected from the tape collecting gun 146 may be smaller than the water pressure of the pressurized water ejection gun 88 for tape peeling.

貯留タンク148は、回収されたテープTを貯留タンク148から排出する開閉自在な排出扉148Aと、貯留タンク148に溜まった加圧水を貯留タンク148から排出する排出管148Bを有する。これにより、加圧水噴出ガン88によって被貼着体Wから剥離されたテープTをテープ回収用ガン146から噴出された加圧水と一緒に回収用開口150からダクト152を介して貯留タンク148に回収することができる。貯留タンク148に溜まる加圧水は、加圧水噴出ガン88からの加圧水とテープ回収用ガン146からの加圧水の両方が溜まる。 The storage tank 148 has an openable/closable discharge door 148A for discharging the collected tape T from the storage tank 148, and a discharge pipe 148B for discharging the pressurized water accumulated in the storage tank 148 from the storage tank 148. As a result, the tape T separated from the adherend W by the pressurized water ejection gun 88 is recovered in the storage tank 148 through the duct 152 from the recovery opening 150 together with the pressurized water ejected from the tape recovery gun 146. You can As the pressurized water accumulated in the storage tank 148, both the pressurized water from the pressurized water jet gun 88 and the pressurized water from the tape collecting gun 146 are accumulated.

また、本実施の形態のように、テープ回収手段96にエアブローノズル154を設けることがより好ましい。 Further, it is more preferable to provide an air blow nozzle 154 in the tape collecting means 96 as in the present embodiment.

図7に示すように、チャンバー94の搬入口90が形成された正面板及び搬出口92が形成された背面板には、複数(図7では2個)のエアブローノズル154,154…が設けられ、エアブローノズル154は図示しないエアー供給のブロアーに連結される。エアブローノズル154は載置板38の上面に沿ってエアーをY軸方向にブローする。これにより、被貼着体Wから剥離されたテープTがエアーブローノズル154からのエアーによって舞い上がり被貼着体Wから離れ易くなる。したがって、テープ回収用ガン146と併用することで、テープTの回収作業が容易になる。また、テープ回収用ガン146でテープTを回収した後にエアブローノズル154を用いることで、被貼着体Wの上面に付着した水を除去(水切り)することもできる。 As shown in FIG. 7, a plurality of (two in FIG. 7) air blow nozzles 154, 154,... Are provided on the front plate of the chamber 94 where the carry-in port 90 is formed and the back plate where the carry-out port 92 is formed. The air blow nozzle 154 is connected to an air supply blower (not shown). The air blow nozzle 154 blows air along the upper surface of the mounting plate 38 in the Y-axis direction. As a result, the tape T separated from the adherend W is easily blown up by the air from the air blow nozzle 154 and easily separated from the adherend W. Therefore, when used in combination with the tape collecting gun 146, the work of collecting the tape T is facilitated. Further, by using the air blow nozzle 154 after collecting the tape T with the tape collecting gun 146, water attached to the upper surface of the adherend W can be removed (drained).

図7では、チャンバー94の搬入口90が形成された正面板及び搬出口92が形成された背面板の両方にエアブローノズル154を設けたが、何れか一方であってもよい。 In FIG. 7, the air blow nozzles 154 are provided on both the front plate having the carry-in port 90 of the chamber 94 and the back plate having the carry-out port 92, but either one may be provided.

なお、本実施の形態では、テープ回収手段96の構成要素として、テープ回収用ガン146及びエアブローノズル154を設けたが、テープ剥離時に使用することもできる。即ち、加圧水噴出ガン88は加圧水を被貼着体Wに対して垂直(直交)する方向から吹き付けるのに対して、テープ回収用ガン146は加圧水を被貼着体Wの表面に沿って吹き付ける。これにより、加圧水噴出ガン88とテープ回収用ガン146とを同時に使用したり、交互に使用したりすることでテープ剥離性能を向上できる。また、エアブローノズル154は加圧水とは異なるテープ剥離作用を生じさせるので、加圧水噴出ガン88とテープ回収用ガン146とエアブローノズル154を併用することでテープ剥離性能を向上できる。
次に、上記の如く構成されたテープ剥離装置28を用いた本発明のテープ剥離方法を説明する。
Although the tape collecting gun 146 and the air blow nozzle 154 are provided as the components of the tape collecting means 96 in the present embodiment, they can be used when the tape is peeled off. That is, the pressurized water jet gun 88 sprays the pressurized water from a direction perpendicular (orthogonal) to the adherend W, whereas the tape collecting gun 146 sprays the pressurized water along the surface of the adherend W. As a result, the tape peeling performance can be improved by using the pressurized water jet gun 88 and the tape collecting gun 146 at the same time or alternately. Further, since the air blow nozzle 154 produces a tape peeling action different from the pressurized water, the tape peeling performance can be improved by using the pressurized water jet gun 88, the tape collecting gun 146 and the air blow nozzle 154 together.
Next, the tape peeling method of the present invention using the tape peeling device 28 configured as described above will be described.

[テープ剥離方法]
テープ剥離装置28の各機器の動作制御は制御手段35によって行われる。
[Tape peeling method]
The control means 35 controls the operation of each device of the tape peeling device 28.

本実施の形態では、磁石手段42は搬入用磁石手段42Aと搬出用磁石手段42Bとの2基の場合で説明する。 In the present embodiment, the magnet means 42 will be described as a case where there are two magnet means 42A for carrying in and magnet means 42B for carrying out.

供給ステーション12に積載されたテープ剥離前の被貼着体Wは、供給ロボット26によってテープ剥離装置28の位置決め手段40に一枚ずつ吸着搬送される。即ち、供給ロボット26は、被貼着体Wの上面を吸着して位置決め手段40のベルトコンベア48に設けた一対の無端状ベルト56に被貼着体Wを架け渡す。そして、被貼着体Wは、被貼着体Wの幅方向(X軸方向)の両側辺Wをガイドローラ50でガイドされながら無端状ベルト56で受け渡し位置まで搬送される。この搬送によって、テープ剥離部32におけるテープ剥離位置の被貼着体Wの幅方向位置(X軸方向位置)を位置決めする(位置決めステップ)。 The adherends W before tape peeling loaded on the supply station 12 are sucked and conveyed one by one to the positioning means 40 of the tape peeling device 28 by the supply robot 26. That is, the supply robot 26 adsorbs the upper surface of the adherend W and bridges the adherend W on the pair of endless belts 56 provided on the belt conveyor 48 of the positioning means 40. The pasting target body W is conveyed to the transfer position by the endless belt 56 while being guided to both sides W A in the guide roller 50 in the width direction of the pasting target body W (X axis direction). By this conveyance, the width direction position (X-axis direction position) of the adherend W at the tape peeling position in the tape peeling unit 32 is positioned (positioning step).

次に、位置決め手段40のベルトコンベア48が上下動手段52によって載置板38の位置まで下降する。これにより、被貼着体Wをベルトコンベア48から載置板38に受け渡して載置する。そして、搬入用磁石手段42Aの磁石保持板60が昇降手段64によって上昇して、磁石保持板60を載置板38の裏面に当接させる。これにより、載置板38に載置された被貼着体Wの裏面を載置板38を介して4個の永久磁石62に吸着する(吸着ステップ)。 Next, the belt conveyor 48 of the positioning means 40 is lowered to the position of the mounting plate 38 by the vertical movement means 52. As a result, the adherend W is transferred from the belt conveyor 48 to the mounting plate 38 and mounted. Then, the magnet holding plate 60 of the carry-in magnet means 42A is raised by the elevating means 64 to bring the magnet holding plate 60 into contact with the back surface of the mounting plate 38. As a result, the back surface of the adherend W placed on the mounting plate 38 is attracted to the four permanent magnets 62 via the mounting plate 38 (adsorption step).

次に、被貼着体Wを吸着した磁石保持板60が往復移動手段44によって載置板38の長手方向(Y軸方向)に移動してチャンバー94内のテープ剥離位置で停止する。これにより、被貼着体Wを載置板38上で滑らせてテープ剥離部32に搬入する(搬入ステップ)。 Next, the magnet holding plate 60 attracting the adherend W is moved in the longitudinal direction (Y-axis direction) of the mounting plate 38 by the reciprocating means 44 and stopped at the tape peeling position in the chamber 94. As a result, the adherend W is slid on the mounting plate 38 and carried into the tape peeling section 32 (carrying-in step).

なお、テープ剥離装置28を運転開始した最初のテープ剥離動作では、搬出用磁石手段42Bは被貼着体Wを吸着しない状態でテープ剥離部32から載置板38の送出位置まで移動する。あるいは最初のテープ剥離動作のときだけ、作業者が手作業でテープ剥離した被貼着体Wを搬出用磁石手段42Bに吸着させておいてもよい。これにより、搬出用磁石手段42Bも被貼着体Wをテープ剥離部32から載置板38から検査ステーション16へ被貼着体Wを送出する送出位置まで搬送する。 In the first tape peeling operation when the tape peeling device 28 is started, the carry-out magnet means 42B moves from the tape peeling section 32 to the delivery position of the mounting plate 38 without adsorbing the adherend W. Alternatively, the adherend W to which the tape is manually peeled by the worker may be attracted to the carry-out magnet means 42B only during the first tape peeling operation. As a result, the unloading magnet means 42B also conveys the adherend W from the tape peeling section 32 to the inspection station 16 from the mounting plate 38 to the delivery position where the adherend W is delivered.

次に、テープ剥離部32に搬入された被貼着体Wを搬入用磁石手段42Aの永久磁石62に吸着したまま、加圧水噴出ガン88を移動プログラムによってX―Y軸方向に移動させつつ、被貼着体WのテープTが貼着された領域に加圧水を吹き付けてテープTを剥離する(テープ剥離ステップ)。これにより、従来の接着剤付着の問題を解決でき、しかも被貼着体Wに貼着されたテープTを確実に且つ綺麗に剥離することができる。 Next, while the adherend W carried into the tape peeling section 32 is attracted to the permanent magnet 62 of the carrying-in magnet means 42A, the pressurized water jet gun 88 is moved in the XY axis directions by the movement program, and Pressurized water is sprayed onto the area of the adherend W to which the tape T is adhered to separate the tape T (tape separating step). As a result, the conventional problem of adhesive adhesion can be solved, and moreover, the tape T adhered to the adherend W can be reliably and neatly peeled off.

なお、本発明の実施の形態のテープ剥離装置28では、加圧水によって被貼着体WからのテープTの剥離を行うだけでなく、加圧水によってテープ剥離後の被貼着体Wの表面(テープTが剥離された面)の洗浄も行うことができる。 In addition, in the tape peeling device 28 of the embodiment of the present invention, not only the tape T is peeled from the adherend W by the pressurized water, but also the surface of the adherend W (tape T It is also possible to perform cleaning of the surface on which the is peeled off.

次に、テープ回収用ガン146から加圧水を噴出して被貼着体Wから剥離されたテープTを加圧水とともに回収用開口150からダクト152を介して貯留タンク148へ送る。これにより、被貼着体Wから剥離されたテープTを回収する(回収ステップ)。この回収ステップにおいて、エアブローノズル154から被貼着体Wにエアーを吹き付けることでテープ回収を補助したり、被貼着体Wに付着した水滴を排除したりすることができる。 Next, the pressurized water is ejected from the tape collecting gun 146 and the tape T separated from the adherend W is sent together with the pressurized water from the collecting opening 150 to the storage tank 148 via the duct 152. In this way, the tape T separated from the adherend W is collected (collection step). In this collecting step, air can be blown from the air blow nozzle 154 onto the adherend W to assist the tape recovery or to remove water droplets adhering to the adherend W.

テープ剥離後、搬入用磁石手段42Aは、昇降手段64よって下降する。これにより、搬入用磁石手段42Aは被貼着体Wを脱着する。そして、往復移動手段44によって、搬入用磁石手段42Aが載置板38のテープ剥離位置から受け渡し位置まで戻ると共に、搬出用磁石手段42Bが送出位置からテープ剥離位置に戻る。 After the tape is peeled off, the loading magnet means 42A is moved down by the elevating means 64. As a result, the loading magnet means 42A detaches the adherend W. Then, by the reciprocating means 44, the carrying-in magnet means 42A returns from the tape peeling position of the mounting plate 38 to the delivery position, and the carrying-out magnet means 42B returns from the sending position to the tape peeling position.

受け渡し位置に戻った搬入用磁石手段42Aは、位置決め手段40によって載置板38に受け渡された次の被貼着体Wを吸着する。一方、テープ剥離位置に戻った搬出用磁石手段42Bは、テープ剥離部32においてテープ剥離された最初の被貼着体Wを吸着する。そして、往復移動手段44によって、搬入用磁石手段42Aが載置板38の受け渡し位置からテープ剥離位置まで移動すると共に、搬出用磁石手段42Bがテープ剥離位置から送出位置に移動する。 The carrying-in magnet means 42A that has returned to the delivery position adsorbs the next adherend W delivered to the placement plate 38 by the positioning means 40. On the other hand, the carrying-out magnet means 42B that has returned to the tape peeling position attracts the first adherend W to which the tape has been peeled off in the tape peeling section 32. Then, the reciprocating means 44 moves the carrying-in magnet means 42A from the transfer position of the mounting plate 38 to the tape peeling position, and the carrying-out magnet means 42B from the tape peeling position to the sending position.

これにより、搬入用磁石手段42Aは被貼着体Wを次々にテープ剥離部32に搬入し、搬出用磁石手段42Bはテープが剥離された被貼着体Wを次々に送出位置に搬送することができる。 Thereby, the carrying-in magnet means 42A carries in the adherends W to the tape peeling section 32 one after another, and the carry-out magnet means 42B successively carries the adherends W from which the tape has been peeled to the delivery position. You can

このように、本発明のテープ剥離方法は、高圧な加圧水を使用するため、テープ剥離装置28を構成する駆動系の機器類、例えば被貼着体搬送手段34に加圧水がかかったり、加圧水が入り込んだりすると、機器類が故障する危険がある。 As described above, since the tape peeling method of the present invention uses the high-pressure pressurized water, the drive system equipment, such as the adherend conveying means 34, which constitutes the tape peeling device 28 is exposed to the pressurized water or the pressurized water enters. Otherwise, there is a risk of equipment failure.

したがって、被貼着体搬送手段34として例えばローラコンベアを使用すると、軸受部分やローラコンベアに動力を伝える動力伝達部に加圧水が入り込み易くなり故障の原因となる。これにより、頻繁にメンテナンスを行う必要がある。 Therefore, if, for example, a roller conveyor is used as the adherend conveying means 34, pressurized water easily enters the bearing portion and the power transmission portion that transmits power to the roller conveyor, which causes a failure. This requires frequent maintenance.

これに対して、本発明のテープ剥離装置28の被貼着体搬送手段34では、載置板38によって加圧水が噴出される載置板38の上方側領域と、磁石手段42、上下動手段52、往復移動手段44等の駆動系の機器類が配設される載置板38の下方側領域とを仕切って区画した。そして、載置板38に載置された被貼着体Wの裏面を載置板38を介して磁石手段42で吸着し、往復移動手段44によって磁石手段42を移動させることによって、載置板38上に被貼着体Wを滑らして搬送する搬送構造を採用した。即ち、加圧水が噴出される載置板38の上方側領域には、被貼着体搬送手段34の駆動系を配置する必要のない構造とした。これにより、加圧水が駆動系の機器類にかからないようにした。 On the other hand, in the adherend conveying means 34 of the tape peeling device 28 of the present invention, the upper side region of the mounting plate 38 where the pressurized water is jetted by the mounting plate 38, the magnet means 42, and the vertical movement means 52. The lower region of the mounting plate 38 on which the drive system devices such as the reciprocating means 44 are disposed is partitioned off. Then, the back surface of the adherend W placed on the placing plate 38 is adsorbed by the magnet means 42 via the placing plate 38, and the reciprocating means 44 moves the magnet means 42 to move the placing plate. A carrier structure in which the adherend W is slid on the 38 and carried is adopted. That is, the structure is such that it is not necessary to dispose the drive system of the adherend transfer means 34 in the upper region of the mounting plate 38 from which the pressurized water is ejected. This prevents the pressurized water from splashing on the drive train equipment.

この搬送構造の被貼着体搬送手段34にすることによって、駆動系の機器類に加圧水がかかったり入り込んだりすることが抑制されるので、故障しにくいと共にメンテナンスを減少できる。 By using the adherend transfer means 34 of this transfer structure, it is possible to prevent pressurized water from entering and entering the drive system devices, so that it is difficult to cause a failure and maintenance can be reduced.

更には、加圧水噴出ガン88が設けられるテープ剥離部32に載置板38を底面とするチャンバー94を設け、加圧水噴出ガン88から噴出される加圧水がチャンバー94の外側に飛散しないようにした。 Further, a chamber 94 having the mounting plate 38 as a bottom surface is provided in the tape peeling portion 32 provided with the pressurized water jet gun 88 so that the pressurized water jetted from the pressurized water jet gun 88 does not splash to the outside of the chamber 94.

そして、チャンバー94の内部に噴出された加圧水は、剥離されたテープTと一緒にテープ回収手段96の貯留タンク148に回収されるようにした。これにより、駆動系の機器類に加圧水がかかったり入り込んだりすることを確実に防止できる。 Then, the pressurized water ejected into the chamber 94 is collected in the storage tank 148 of the tape collecting means 96 together with the peeled tape T. As a result, it is possible to reliably prevent the pressurized water from splashing into or entering the drive train devices.

次に、洗浄ステーション18に組み込まれた加圧水洗浄装置30について説明する。 Next, the pressurized water cleaning device 30 incorporated in the cleaning station 18 will be described.

なお、本実施の形態の加圧水洗浄装置30は、テープ剥離洗浄ライン10の洗浄ステーション18に組み込まれているので、被洗浄体としてテープを剥離した後の被貼着体Wの場合で説明する。ただし、本発明の加圧水洗浄装置30は、テープ剥離洗浄ライン10に組み込まずに単独の洗浄装置としても使用することができることは言うまでもない。 Since the pressurized water cleaning device 30 of the present embodiment is incorporated in the cleaning station 18 of the tape peeling cleaning line 10, the case of the adherend W after the tape has been peeled off as the cleaning target will be described. However, it goes without saying that the pressurized water cleaning device 30 of the present invention can be used as a separate cleaning device without being incorporated in the tape peeling cleaning line 10.

[加圧水洗浄装置]
図8は、テープ剥離洗浄ライン10の洗浄ステーション18に組み込まれた加圧水洗浄装置30について説明する説明図である。また、図9は加圧水洗浄装置30の加圧水噴出棒状ガン156と偏心揺動機構158とを上から見た上面図である。
[Pressurized water cleaning device]
FIG. 8 is an explanatory diagram illustrating the pressurized water cleaning device 30 incorporated in the cleaning station 18 of the tape peeling cleaning line 10. Further, FIG. 9 is a top view of the pressurized water jetting rod-shaped gun 156 and the eccentric rocking mechanism 158 of the pressurized water cleaning device 30 as viewed from above.

図8及び図9に示すように、加圧水洗浄装置30は、中空な基台160と、基台160の上に設けられると共に基台160よりも幅(X軸方向)の狭い洗浄室162とからなる装置フレーム164に取り付けられる。 As shown in FIGS. 8 and 9, the pressurized water cleaning device 30 includes a hollow base 160, and a cleaning chamber 162 provided on the base 160 and having a width (X-axis direction) narrower than that of the base 160. Attached to the device frame 164.

加圧水洗浄装置30は、主として、被貼着体Wを上ローラ166Aと下ローラ166Bとで挟持搬送するローラ搬送手段166と、ローラ搬送手段166の下方に設けられ、ローラ搬送手段166のローラ長さ方向の一方端側に配置された駆動側偏心揺動機構158Aと、ローラ搬送手段166のローラ長さ方向の他方端側に配置された従動側偏心揺動機構158Bと、駆動側偏心揺動機構158Aに偏心揺動力を偏心回転により付与するモータ168と、駆動側偏心揺動機構158Aと従動側偏心揺動機構158Bとに両端部が支持され、モータ168の駆動による駆動側偏心揺動機構158Aの偏心揺動に連動して揺動すると共に従動側偏心揺動機構158Bを従動偏心揺動させる長尺板状の揺動板170と、揺動板170に搭載され、揺動板170の長尺方向に間隔を置いて加圧水を噴出する複数の噴出ノズル172A,172A…が配置された棒状のノズルヘッド172を有する加圧水噴出棒状ガン156と、加圧水洗浄装置30を制御する制御手段35と、で構成される。なお、加圧水洗浄装置30を制御する専用の制御手段を設けてもよい。 The pressurized water cleaning device 30 is mainly provided with a roller conveying means 166 for sandwiching and conveying the adherend W with an upper roller 166A and a lower roller 166B, and a roller length of the roller conveying means 166 provided below the roller conveying means 166. Driving side eccentric rocking mechanism 158A arranged on one end side in the direction, driven side eccentric rocking mechanism 158B arranged on the other end side in the roller length direction of roller conveying means 166, and driving side eccentric rocking mechanism. Both ends of the motor 168, which applies an eccentric rocking force to the 158A by eccentric rotation, and the drive-side eccentric rocking mechanism 158A and the driven-side eccentric rocking mechanism 158B are supported, and the driving-side eccentric rocking mechanism 158A driven by the motor 168. A long plate-shaped rocking plate 170 that rocks in conjunction with the eccentric rocking of the driven side eccentric rocking mechanism 158B and eccentrically rocks the driven side eccentric rocking mechanism 158B. A pressurized water jet rod gun 156 having a rod-shaped nozzle head 172 in which a plurality of jet nozzles 172A, 172A for jetting pressurized water are arranged at intervals in the shank direction, and a control means 35 for controlling the pressurized water cleaning device 30. Composed. A dedicated control means for controlling the pressurized water cleaning device 30 may be provided.

即ち、ローラ搬送手段166は、洗浄室162の両側壁162A,162Aの上部位置に、上ローラ166Aと下ローラ166Bとがそれぞれの軸受174,174…を介して回転自在に支持される。また、ローラ搬送手段166は、図8の表裏方向であるY軸方向に複数配置され、検査ステーション16でテープ剥離が確認された被貼着体Wが洗浄室162内を挟持搬送される。 That is, in the roller conveying means 166, the upper roller 166A and the lower roller 166B are rotatably supported at the upper positions of the side walls 162A, 162A of the cleaning chamber 162 via the bearings 174, 174,. Further, a plurality of roller conveying means 166 are arranged in the Y-axis direction, which is the front and back direction of FIG. 8, and the adherend W for which tape peeling has been confirmed at the inspection station 16 is conveyed while being sandwiched in the cleaning chamber 162.

また、駆動側偏心揺動機構158A及び従動側偏心揺動機構158Bは、洗浄室162の両側壁162Aの外側に対向して基台160上に配置される。
駆動側偏心揺動機構158A及び従動側偏心揺動機構158Bの構造は、基本的に同様であり、図8の右側に内部が見えるように断面図として描いた駆動側偏心揺動機構158Aで説明する。
The drive-side eccentric rocking mechanism 158A and the driven-side eccentric rocking mechanism 158B are arranged on the base 160 so as to face the outsides of the side walls 162A of the cleaning chamber 162.
The drive-side eccentric rocking mechanism 158A and the driven-side eccentric rocking mechanism 158B have basically the same structure, and will be described with the drive-side eccentric rocking mechanism 158A drawn as a cross-sectional view so that the inside can be seen on the right side of FIG. To do.

駆動側偏心揺動機構158Aは、主として、胴体部176に回転自在に支持されたメインスピンドル178と、メインスピンドル178の先端部にメインスピンドル178の軸芯に対して偏心した位置に設けられた偏心スピンドル180と、偏心スピンドル180に回転自在に支持された偏心揺動部材182と、メインスピンドル178の回転ブレを防止するバランスウエイト184と、で構成される。 The drive side eccentric rocking mechanism 158A mainly includes a main spindle 178 rotatably supported by the body 176, and an eccentricity provided at the tip of the main spindle 178 at a position eccentric to the axis of the main spindle 178. The spindle 180 includes an eccentric oscillating member 182 rotatably supported by the eccentric spindle 180, and a balance weight 184 that prevents rotational shake of the main spindle 178.

即ち、駆動側偏心揺動機構158Aは、筒状の胴体部176が基台160上に縦向きに支持され、胴体部176の上端部と下端部とに一対の軸受186,186が設けられる。そして、この一対の軸受186にメインスピンドル178が回転自在に支持される。 That is, in the drive-side eccentric rocking mechanism 158A, the tubular body 176 is vertically supported on the base 160, and the pair of bearings 186 and 186 are provided at the upper end and the lower end of the body 176. The main spindle 178 is rotatably supported by the pair of bearings 186.

メインスピンドル178の下端が軸受186から突出し、基台160上部に形成された開口188を介して基台160内部に配設されたモータ168の回転軸168Aに連結される。また、メインスピンドル178の上端が円板状の偏心板190の下面中心を支持する。偏心板190の上面には、メインスピンドル178の軸芯とは偏心した位置に偏心スピンドル180が立設される。 The lower end of the main spindle 178 protrudes from the bearing 186, and is connected to the rotary shaft 168A of the motor 168 disposed inside the base 160 through an opening 188 formed in the upper part of the base 160. The upper end of the main spindle 178 supports the center of the lower surface of the disc-shaped eccentric plate 190. An eccentric spindle 180 is erected on the upper surface of the eccentric plate 190 at a position eccentric to the axis of the main spindle 178.

そして、偏心スピンドル180に上下一対の軸受192,192を介して筒状の偏心揺動部材182が回転自在に支持される。偏心板190の側部にはメインスピンドル178の回転ブレを防止するバランスウエイト184が設けられる。 The cylindrical eccentric rocking member 182 is rotatably supported by the eccentric spindle 180 via a pair of upper and lower bearings 192 and 192. A balance weight 184 is provided on the side of the eccentric plate 190 to prevent the main spindle 178 from rotating.

偏心量(メインスピンドル178の軸芯178Aと偏心スピンドル180の軸芯180Aとの軸芯距離)が小さい場合には、偏心板190を介さずにメインスピンドル178に偏心スピンドル180を直接設けることも可能である。 When the amount of eccentricity (the axial center distance between the shaft center 178A of the main spindle 178 and the shaft center 180A of the eccentric spindle 180) is small, the eccentric spindle 180 can be directly provided on the main spindle 178 without the eccentric plate 190. Is.

なお、従動側偏心揺動機構158Bは、バランスウエイト184を設けることが好ましい態様である点、モータ168を有しない点で駆動側偏心揺動機構158Aと相違する。 The driven-side eccentric rocking mechanism 158B differs from the drive-side eccentric rocking mechanism 158A in that the balance weight 184 is preferably provided and the motor 168 is not provided.

そして、揺動板170の両端部を駆動側偏心揺動機158Aの偏心揺動部材182と従動側偏心揺動機構158Bの偏心揺動部材182に支持する。即ち、揺動板170は洗浄室162の両側壁162Aの中央位置に形成された揺動用開口194,194を貫通してX軸方向に配設され、揺動板170の両端部が上記したそれぞれの偏心揺動部材182,182の連結部182A、182Aにボルト部材等で連結される。揺動用開口194は、揺動板170が後記する偏心揺動をしたときに洗浄室162の両側壁162Aに当たらない大きさに形成されている。これにより、揺動板170を偏心揺動させる偏心揺動機構158が構成される。 Then, both ends of the rocking plate 170 are supported by the eccentric rocking member 182 of the drive-side eccentric rocker 158A and the eccentric rocking member 182 of the driven-side eccentric rocking mechanism 158B. That is, the oscillating plate 170 is disposed in the X-axis direction through the oscillating openings 194 and 194 formed at the central positions of the side walls 162A of the cleaning chamber 162, and both ends of the oscillating plate 170 are respectively described above. The eccentric rocking members 182, 182 are connected to the connecting portions 182A, 182A by bolt members or the like. The swing opening 194 is formed in such a size that it does not hit the side walls 162A of the cleaning chamber 162 when the swing plate 170 swings eccentrically, which will be described later. Thus, the eccentric rocking mechanism 158 that eccentrically rocks the rocking plate 170 is configured.

したがって、モータ168を回転駆動すると、駆動側偏心揺動機構158Aのメインスピンドル178が回転し、偏心板190を介して偏心スピンドル180が偏心回転する。偏心スピンドル180の偏心回転によって、偏心スピンドル180に回転自在に支持された偏心揺動部材182が旋回円運動の揺動軌跡を描く偏心揺動を行う。この結果、偏心揺動部材182に連結された揺動板170も偏心スピンドル180の偏心揺動に連動して旋回円運動の偏心揺動を行う。更に、揺動板170の偏心揺動に連動して従動側偏心揺動機構158Bの偏心揺動部材182が旋回円運動の偏心揺動を行う。 Therefore, when the motor 168 is rotationally driven, the main spindle 178 of the drive side eccentric rocking mechanism 158A rotates, and the eccentric spindle 180 eccentrically rotates via the eccentric plate 190. By the eccentric rotation of the eccentric spindle 180, the eccentric oscillating member 182 rotatably supported by the eccentric spindle 180 eccentrically oscillates to describe an oscillating locus of a gyration circular motion. As a result, the rocking plate 170 connected to the eccentric rocking member 182 also interlocks with the eccentric rocking of the eccentric spindle 180 to perform the eccentric rocking of the circular turning motion. Further, the eccentric oscillating member 182 of the driven-side eccentric oscillating mechanism 158B eccentrically oscillates in a turning circular motion in conjunction with the eccentric oscillating of the oscillating plate 170.

即ち、従動側偏心揺動機構158Bは、モータ168の回転駆動による駆動側偏心揺動機構158Aの偏心揺動に連動して揺動板170を介して従動的に動くことになる。これにより、駆動側偏心揺動機構158Aと従動側偏心揺動機構158Bとの偏心揺動にズレが生じないので、偏心揺動機構158をスムーズに動作させることができる。 That is, the driven-side eccentric rocking mechanism 158B moves in a driven manner via the rocking plate 170 in conjunction with the eccentric rocking of the drive-side eccentric rocking mechanism 158A by the rotational driving of the motor 168. As a result, the eccentric oscillating mechanism 158A and the driven eccentric oscillating mechanism 158B do not deviate from each other in eccentric oscillating motion, so that the eccentric oscillating mechanism 158 can be operated smoothly.

ちなみに、従動側偏心揺動機構158Bにもモータ168を設けて、駆動側偏心揺動機構158Aと同期させることもできるが、同期ズレ等によってスムーズな偏心揺動が阻害されたり、偏心揺動機構にムリな力が加わったりし易い。 Incidentally, the driven-side eccentric rocking mechanism 158B can also be provided with a motor 168 to synchronize with the drive-side eccentric rocking mechanism 158A, but smooth eccentric rocking is hindered due to synchronization deviation, etc. It is easy to apply excessive force to.

駆動側偏心揺動機構158A及び従動側偏心揺動機構158Bの偏心量(メインスピンドル178の軸芯178Aと偏心スピンドル180の軸芯180Aとの軸芯距離)は5mm〜7mmの範囲であることが好ましい。 The eccentric amount of the drive side eccentric oscillating mechanism 158A and the driven side eccentric oscillating mechanism 158B (axial center distance between the shaft center 178A of the main spindle 178 and the shaft center 180A of the eccentric spindle 180) may be in the range of 5 mm to 7 mm. preferable.

また、図8に示すように、洗浄室162において、揺動板170の下方空間は加圧水噴出棒状ガン156から加圧水を噴出して被貼着体Wの裏面を洗浄した汚水を貯留する貯留部162Bになっている。そして、洗浄室162の両側壁162Aのうちの貯留部162Bを形成する一方の側板下部には、貯留部162Bに溜まった汚水を排出する排出ホース196が連結される。 Further, as shown in FIG. 8, in the cleaning chamber 162, a space below the rocking plate 170 ejects pressurized water from the pressurized water ejecting rod-shaped gun 156 to store the dirty water for cleaning the back surface of the adherend W to be retained 162B. It has become. A drain hose 196 for discharging the dirty water accumulated in the storage portion 162B is connected to the lower portion of one side plate forming the storage portion 162B of the both side walls 162A of the cleaning chamber 162.

加圧水噴出棒状ガン156は、棒状のノズルヘッド172が連結板198,198…を介して揺動板170の上に固定される。ノズルヘッド172の長さは、被貼着体Wの幅(X軸方向)よりも少し長く形成され、両端部に加圧水をノズルヘッド172内に供給する一対の加圧水供給口200,200が形成される。そして、一対の加圧水供給口200に耐圧な加圧水ホース202が連結される。ノズルヘッド172の長尺方向であって一対の加圧水供給口172の間には、複数の噴出ノズル172A、172Aが等間隔で直線的に配置されている。本実施の形態では24個の噴出ノズル172Aを設けたが、この数に限定するものではない。 The pressurized water jet rod-shaped gun 156 has a rod-shaped nozzle head 172 fixed on the rocking plate 170 via connecting plates 198, 198. The length of the nozzle head 172 is slightly longer than the width (X-axis direction) of the adherend W, and a pair of pressurized water supply ports 200, 200 for supplying pressurized water into the nozzle head 172 are formed at both ends. It A pressure-resistant water hose 202 having a pressure resistance is connected to the pair of pressurized water supply ports 200. A plurality of ejection nozzles 172A and 172A are linearly arranged at equal intervals between the pair of pressurized water supply ports 172 in the longitudinal direction of the nozzle head 172. Although 24 ejection nozzles 172A are provided in the present embodiment, the number is not limited to this.

そして、ノズルヘッド172に供給された加圧水は複数の噴出ノズル172Aから上向きに噴出され、ローラ搬送手段166で挟持搬送される被貼着体Wの裏面(下面)に吹き付けられる。
次に、上記の如く構成された加圧水洗浄装置30を用いた加圧水洗浄方法を説明する。
Then, the pressurized water supplied to the nozzle head 172 is jetted upward from the plurality of jet nozzles 172A, and is sprayed on the back surface (lower surface) of the adherend W to be sandwiched and transported by the roller transport means 166.
Next, a method for cleaning pressurized water using the pressurized water cleaning device 30 configured as described above will be described.

[加圧水洗浄方法]
加圧水洗浄装置30の各機器の動作制御は制御手段35によって行われる。
[Pressurized water washing method]
The control means 35 controls the operation of each device of the pressurized water cleaning device 30.

検査ステーション16において、テープ剥離が確認された被貼着体Wは、洗浄室162内をローラ搬送手段166によって一定速度で搬送される。 In the inspection station 16, the adherend W whose tape peeling has been confirmed is conveyed at a constant speed in the cleaning chamber 162 by the roller conveying means 166.

そして、モータ168を駆動して偏心揺動機構158を動作させると共に、加圧水噴出棒状ガン156のノズルヘッド172の複数の噴出ノズル172Aから加圧水を噴出して、搬送される被貼着体Wの裏面に向けて加圧水を吹き付ける。 Then, the motor 168 is driven to operate the eccentric oscillating mechanism 158, and at the same time, the pressurized water is ejected from the ejection nozzles 172A of the nozzle head 172 of the pressurized water ejection rod gun 156 to convey the back surface of the adherend W to be conveyed. Spray pressurized water toward.

これにより、揺動板170に搭載された加圧水噴出棒状ガン156は、旋回円運動の偏心揺動を行いながら加圧水噴出棒状ガン156のノズルヘッド172に配設された複数の噴出ノズル172Aから被貼着体Wの裏面に加圧水を吹き付ける。換言すると、ノズルヘッド172に直線的に配設された複数の噴出ノズル172Aの一つ一つが旋回円運動を行うので、隣り合う噴出ノズル172Aから噴出された加圧水は重なり合う。 As a result, the pressurized water jet rod-shaped gun 156 mounted on the rocking plate 170 is attached from the plurality of jet nozzles 172A arranged on the nozzle head 172 of the pressurized water jet rod-shaped gun 156 while performing the eccentric swing of the swirling circular motion. The pressurized water is sprayed on the back surface of the dressing W. In other words, since each of the ejection nozzles 172A linearly arranged in the nozzle head 172 performs a circular movement, the pressurized water ejected from the adjacent ejection nozzles 172A overlap each other.

これにより、複数の噴出ノズル172Aから噴出されて被貼着体Wに衝突する加圧水の衝突軌跡が重なり合うので、加圧水の洗浄エネルギー密度を高くすることができる。したがって、加圧水噴出棒状ガン156が静置状態にある場合や直線的な揺動だけの場合に比べて被貼着体Wを洗浄する効果を飛躍的に向上できる。 As a result, the collision loci of the pressurized water ejected from the ejection nozzles 172A and impinging on the adherend W overlap, so that the cleaning energy density of the pressurized water can be increased. Therefore, the effect of cleaning the adherend W can be dramatically improved as compared with the case where the pressurized water jet bar-shaped gun 156 is in a stationary state or only when it is linearly swung.

なお、本実施の形態の加圧水洗浄装置30は、被貼着体Wの裏面を洗浄する装置として構成したため、ローラ搬送手段166の下方にのみ加圧水噴出棒状ガン156と偏心揺動機構158とを配置したが、ローラ搬送手段166の下方と上方の両方に設ければ、被貼着体の両面を一度に洗浄することができる。 Since the pressurized water cleaning device 30 of the present embodiment is configured as a device for cleaning the back surface of the adherend W, the pressurized water jet bar gun 156 and the eccentric rocking mechanism 158 are arranged only below the roller conveying means 166. However, if it is provided both below and above the roller conveying means 166, both sides of the adherend can be washed at once.

10…テープ剥離洗浄ライン、12…供給ステーション、14…テープ剥離ステーション、16…検査ステーション、18…洗浄ステーション、20…乾燥ステーション、22…収納ステーション、24…搬送ライン、26…供給ロボット、26A…吸盤、28…テープ剥離装置、30…加圧水洗浄装置、32…テープ剥離部、34…被貼着体搬送手段、35…制御手段、36…装置フレーム、36A…床面、37…支柱、38…載置板、40…位置決め手段、42…磁石手段、42A…搬入用磁石手段、42B…搬出用磁石手段、44…往復移動手段、45…送出手段、46…微小突起、48…ベルトコンベア、50…ガイドローラ、52…上下動手段、54…支持フレーム、56…無端状ベルト、58…搬送用ローラ、60…磁石保持板、60A…張り出し板、60B…磁石保持板の上面、62…永久磁石、62A…永久磁石の吸着面、64…昇降手段、64A…ピストンロッド、68…補助ローラ、70…球体継手、72…ボールネジ、74…サーボモータ、76…ナット部材、78…レール、80…基台、82…リニアガイド、84…搭載台、86…軸受、88…加圧水噴出ガン、90…搬入口、92…搬出口、94…チャンバー、94A…側板、96…テープ回収手段、98…ノズルヘッド、98A…噴出面、100…X−Y移動機構、102…上梁、104…Y軸アクチュエータ、106…Y軸レール、108…X軸アクチュエータ、110…スライダー、112…ホルダー、114…揺動回転機構、116…モータ、118…上面開口、120…下面開口、122…軸受部材、124…スピンドル、126…ロータリジョイント、128…加圧水配管、130…加圧水ホース、132…噴出ノズル、134…偏心板、136…バランスウエイト、138…ノズル配管、140…プーリ、142…プーリ、144…タイミングベルト、146…テープ回収用ガン、146A…噴出ノズル、148…貯留タンク、148A…排出扉、148B…排出管、150…回収用開口、152…ダクト、154…エアブローノズル、156…加圧水噴出棒状ガン、158…偏心揺動機構、158A…駆動側偏心揺動機構、158B…従動側偏心揺動機構、160…基台、162…洗浄室、162A…側壁、162B…貯留部、164…装置フレーム、166…ローラ搬送手段、166A…上ローラ、166B…下ローラ、168…モータ、168A…モータの回転軸、170…揺動板、172…ノズルヘッド、172A…噴出ノズル、174…軸受、176…胴体部、178…メインスピンドル、178A…メインスピンドルの軸芯、180…偏心スピンドル、180A…偏心スピンドルの軸芯、182…偏心揺動部材、182A…連結部、184…バランスウエイト、186…軸受、188…開口、190…偏心板、192…軸受、194…揺動用開口、196…排出ホース、198…連結板、200…加圧水供給口、202…加圧水ホース、W…被貼着体、W…被貼着体の側辺、T…テープ、H…被貼着体の開口 10...tape peeling cleaning line, 12...supply station, 14...tape peeling station, 16...inspection station, 18...washing station, 20...drying station, 22...storage station, 24...conveying line, 26...feeding robot, 26A... Sucker, 28... Tape peeling device, 30... Pressurized water washing device, 32... Tape peeling part, 34... Adhering member conveying means, 35... Control means, 36... Device frame, 36A... Floor surface, 37... Strut, 38... Placement plate, 40... Positioning means, 42... Magnet means, 42A... Intake magnet means, 42B... Outgoing magnet means, 44... Reciprocating means, 45... Sending means, 46... Microprojections, 48... Belt conveyor, 50 ... guide roller, 52... vertical movement means, 54... support frame, 56... endless belt, 58... transport roller, 60... magnet holding plate, 60A... overhanging plate, 60B... magnet holding plate upper surface, 62... permanent magnet , 62A... Permanent magnet attraction surface, 64... Elevating means, 64A... Piston rod, 68... Auxiliary roller, 70... Ball joint, 72... Ball screw, 74... Servo motor, 76... Nut member, 78... Rail, 80... Base Base, 82... Linear guide, 84... Mounting base, 86... Bearing, 88... Pressurized water jet gun, 90... Carrying inlet, 92... Carrying outlet, 94... Chamber, 94A... Side plate, 96... Tape collecting means, 98... Nozzle head , 98A... Jetting surface, 100... XY moving mechanism, 102... Upper beam, 104... Y-axis actuator, 106... Y-axis rail, 108... X-axis actuator, 110... Slider, 112... Holder, 114... Oscillating rotation Mechanism, 116... Motor, 118... Top opening, 120... Bottom opening, 122... Bearing member, 124... Spindle, 126... Rotary joint, 128... Pressurized water piping, 130... Pressurized water hose, 132... Jet nozzle, 134... Eccentric plate, 136... Balance weight, 138... Nozzle pipe, 140... Pulley, 142... Pulley, 144... Timing belt, 146... Tape collection gun, 146A... Jet nozzle, 148... Storage tank, 148A... Discharge door, 148B... Discharge pipe, 150... Recovery opening, 152... Duct, 154... Air blow nozzle, 156... Pressurized water jet rod gun, 158... Eccentric rocking mechanism, 158A... Drive side eccentric rocking mechanism, 158B... Driven side eccentric rocking mechanism, 160... Base Table, 162... Washing room, 162A... Side wall, 162B... Storage section, 164... Device frame, 166... Roller conveying means, 166A... Upper roller, 166B... Lower roller, 1 68... Motor, 168A... Rotating shaft of motor, 170... Oscillating plate, 172... Nozzle head, 172A... Jet nozzle, 174... Bearing, 176... Body part, 178... Main spindle, 178A... Main spindle axis, 180 ... eccentric spindle, 180A... axial center of eccentric spindle, 182... eccentric rocking member, 182A... connecting part, 184... balance weight, 186... bearing, 188... opening, 190... eccentric plate, 192... bearing, 194... for rocking opening, 196 ... discharge hose, 198 ... connecting plate, 200 ... pressurized water supply port 202 ... pressurized water hose, W ... pasting target body, W a ... pasting target body side of, T ... tape, H ... to be pasted Body opening

本発明はテープ剥離装置に係り、特に薄板リング状のフレームに貼着されたリング状のテープを確実に且つ綺麗に剥離する技術に関する。 The present invention relates to a tape peeling device , and more particularly to a technique for reliably and cleanly peeling a ring-shaped tape attached to a thin plate ring-shaped frame.

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、従来とは全く異なる新規な技術思想に基づくテープ剥離を行うことができ、これにより接着剤付着の問題を解決でき、しかも被貼着体に貼着されたテープを確実に且つ綺麗に剥離することができるテープ剥離装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of such circumstances, and it is possible to perform tape peeling based on a new technical idea which is completely different from conventional ones, whereby the problem of adhesive adhesion can be solved, and moreover, it can be adhered. An object of the present invention is to provide a tape peeling device capable of reliably and cleanly peeling a tape attached to a body.

本発明のテープ剥離装置は、テープ剥離方法を実施するように構成したものである。また、上記構成の被貼着体搬送手段にすることで、載置板を境として上方側に配設された加圧水を使用するテープ剥離部と、下方側に配設された駆動機器類を有する被貼着体搬送手段とに仕切ることができる。これにより、加圧水が装置の駆動機器類にかかったり侵入したりすることを防止するので、加圧水を使用することによる故障を防ぎ、頻繁なメンテナンスを必要としなくなる。 The tape peeling apparatus of the present invention is configured to carry out the tape peeling method . Further, by using the adherend conveying means having the above-mentioned configuration, the tape peeling section using the pressurized water arranged on the upper side of the placing plate as a boundary, and the drive equipment arranged on the lower side are provided. It can be partitioned into an adherend conveying means. Thus, since the pressurized water is prevented from or penetrates it takes to drive equipment of the device to prevent failure due to the use of pressurized water, it will not require frequent maintenance.

本発明のテープ剥離装置の態様において、テープ回収手段は、チャンバー内に噴出ノズルが設けられ、被貼着体の表面に沿って加圧水を噴出して被貼着体から剥離されたテープを被貼着体から除去回収するテープ回収用ガンと、除去されたテープ及び噴出された加圧水を貯留する貯留タンクと、載置板に開口された回収用開口と、回収用開口と貯留タンクとを連結するダクトと、を備えることが好ましい。これは、テープ回収手段の好ましい構成の一例を示したものである。 In the aspect of the tape peeling device of the present invention, the tape collecting means has a jet nozzle provided in the chamber, and jets pressurized water along the surface of the adherend to adhere the tape separated from the adherend. A tape recovery gun that removes and collects from the adhered body, a storage tank that stores the removed tape and jetted pressurized water, a recovery opening that is opened in the mounting plate, and the recovery opening and the storage tank are connected. And a duct. This shows an example of a preferable structure of the tape collecting means.

本発明のテープ剥離装置は、被貼着体のテープに加圧水を吹き付けてテープを被貼着体から剥離するので、従来とは全く異なる新規な技術思想に基づくテープ剥離を行うことができる。そして、この装置を使用することで、従来の接着剤付着の問題を解決でき、しかも被貼着体に貼着されたテープを確実に且つ綺麗に剥離することができる。 INDUSTRIAL APPLICABILITY Since the tape peeling device of the present invention blows pressurized water onto the tape of the adherend to separate the tape from the adherend, it is possible to perform tape peeling based on a new technical idea completely different from the conventional one. By using this device , it is possible to solve the conventional problem of adhesion of the adhesive, and moreover, the tape adhered to the adherend can be surely and neatly peeled off.

以下添付図面に従って、本発明に係るテープ剥離装置の好ましい実施の形態について詳述する。 Hereinafter, preferred embodiments of a tape peeling device according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

テープ剥離ステーション14は、本発明の実施の形態のテープ剥離装置28を有し、「被貼着体WのテープTに加圧水を吹き付けてテープTを被貼着体Wから剥離する」テープ剥離方法を行う。 The tape peeling station 14 includes the tape peeling device 28 according to the embodiment of the present invention, and "presses water onto the tape T of the adherend W to separate the tape T from the adherend W ". I do.

テープ回収手段)
図7は、テープ回収手段96を説明する説明図であり、(A)は斜視図、(B)側面図である。なお、被貼着体搬送手段34や加圧水噴出ガン88等は図示していない。
( Tape collection means)
7A and 7B are explanatory views for explaining the tape collecting means 96, FIG. 7A is a perspective view, and FIG. 7B is a side view. The adherend transfer means 34, the pressurized water jet gun 88, etc. are not shown.

なお、本実施の形態では、テープ回収手段96の構成要素として、テープ回収用ガン146及びエアブローノズル154を設けたが、テープ剥離時に使用することもできる。即ち、加圧水噴出ガン88は加圧水を被貼着体Wに対して垂直(直交)する方向から吹き付けるのに対して、テープ回収用ガン146は加圧水を被貼着体Wの表面に沿って吹き付ける。これにより、加圧水噴出ガン88とテープ回収用ガン146とを同時に使用したり、交互に使用したりすることでテープ剥離性能を向上できる。また、エアブローノズル154は加圧水とは異なるテープ剥離作用を生じさせるので、加圧水噴出ガン88とテープ回収用ガン146とエアブローノズル154を併用することでテープ剥離性能を向上できる。
次に、上記の如く構成されたテープ剥離装置28を用いたテープ剥離方法を説明する。
Although the tape collecting gun 146 and the air blow nozzle 154 are provided as the components of the tape collecting means 96 in the present embodiment, they can be used when the tape is peeled off. That is, the pressurized water jet gun 88 sprays the pressurized water from a direction perpendicular (orthogonal) to the adherend W, whereas the tape collecting gun 146 sprays the pressurized water along the surface of the adherend W. As a result, the tape peeling performance can be improved by using the pressurized water jet gun 88 and the tape collecting gun 146 at the same time or alternately. Further, since the air blow nozzle 154 produces a tape peeling action different from the pressurized water, the tape peeling performance can be improved by using the pressurized water jet gun 88, the tape collecting gun 146 and the air blow nozzle 154 together.
Next, a tape peeling method using the tape peeling device 28 configured as described above will be described.

このように、本発明のテープ剥離装置を用いたテープ剥離方法は、高圧な加圧水を使用するため、テープ剥離装置28を構成する駆動系の機器類、例えば被貼着体搬送手段34に加圧水がかかったり、加圧水が入り込んだりすると、機器類が故障する危険がある。 As described above, since the tape peeling method using the tape peeling device of the present invention uses the high-pressure pressurized water, the pressurized water is not applied to the drive system devices constituting the tape peeling device 28, for example, the adherend conveying means 34. If it is splashed or if pressurized water enters, there is a risk of equipment failure.

Claims (10)

テープが貼着された被貼着体から前記テープを剥離するテープ剥離方法において、
前記被貼着体の前記テープに加圧水を吹き付けて前記テープを前記被貼着体から剥離することを特徴とするテープ剥離方法。
In the tape peeling method of peeling the tape from the adherend to which the tape is stuck,
A tape peeling method, characterized in that pressurized water is sprayed onto the tape of the adherend to separate the tape from the adherend.
表面にテープが貼着されると共に少なくとも裏面が磁石に吸着可能な材質で形成された被貼着体から前記テープを剥離するテープ剥離装置であって、
前記被貼着体の前記テープに加圧水を吹き付けて前記テープを前記被貼着体から剥離するテープ剥離部と、
前記テープ剥離部にテープ剥離前の前記被貼着体を搬入し、テープ剥離後の前記被貼着体を前記テープ剥離部から搬出する被貼着体搬送手段と、
前記テープ剥離装置を制御する制御手段と、を備え、
前記被貼着体搬送手段は、
磁石に吸着しにくい材質で水平方向に配設された長尺な板であって、前記被貼着体が載置されると共に前記テープ剥離部が前記板の上方側に配設された載置板と、
前記載置板の下方側に配設され、前記載置板に載置された前記被貼着体の裏面を前記載置板を介して吸着及び脱着する磁石手段と、
前記載置板の下方側に配設され、前記磁石手段を前記載置板の前記長尺な方向に往復移動させる往復移動手段と、を備えたことを特徴とするテープ剥離装置。
A tape peeling device for peeling the tape from an adherend having a tape adhered to a front surface and at least a back surface made of a material capable of adsorbing to a magnet,
A tape peeling unit that blows pressurized water onto the tape of the adherend to separate the tape from the adherend,
An adherend conveying means that carries in the adherend before tape peeling to the tape peeling portion and carries out the adherend after tape peeling from the tape peeling portion,
A control means for controlling the tape peeling device,
The adherend transporting means,
A long plate horizontally arranged with a material that is hard to be attracted to a magnet, in which the adherend is placed and the tape peeling portion is provided above the plate. A board,
A magnet means arranged on the lower side of the mounting plate, for adsorbing and desorbing the back surface of the adherend placed on the mounting plate via the mounting plate,
And a reciprocating means for reciprocating the magnet means in the lengthwise direction of the mounting plate, the tape peeling device.
前記載置板の前記被貼着体が載置される載置面は多数の半球体状の微小突起が形成されている請求項2に記載のテープ剥離装置。 The tape peeling device according to claim 2, wherein a large number of hemispherical microprojections are formed on a mounting surface of the mounting plate on which the adherend is mounted. 前記磁石手段は、
水平方向に設けられた磁石保持板と、
前記磁石保持板の前記載置板側に配設された複数の永久磁石と、
前記往復移動手段に支持され、前記磁石保持板を昇降させて前記永久磁石を前記載置板の裏面に接離させることによって前記被貼着体を吸着及び脱着する昇降手段と、を備えた請求項2又は3に記載のテープ剥離装置。
The magnet means is
A magnet holding plate provided in the horizontal direction,
A plurality of permanent magnets arranged on the mounting plate side of the magnet holding plate,
Lifting and lowering means, which is supported by the reciprocating means, lifts and lowers the magnet holding plate to bring the permanent magnet into contact with and separate from the back surface of the placing plate, thereby attracting and desorbing the adherend. Item 4. The tape peeling device according to item 2 or 3.
前記磁石保持板には、前記載置板の裏面に当接して前記磁石手段の往復移動を補助する補助ローラを有する請求項4に記載のテープ剥離装置。 The tape peeling device according to claim 4, wherein the magnet holding plate has an auxiliary roller that abuts a back surface of the mounting plate to assist the reciprocating movement of the magnet means. 前記磁石保持板と前記昇降手段とは球体継手で連結されている請求項4又は5に記載のテープ剥離装置。 The tape peeling device according to claim 4, wherein the magnet holding plate and the elevating means are connected by a spherical joint. 前記テープ剥離部は、
前記加圧水を噴出する加圧水噴出ガンと、
前記加圧水噴出ガンから噴出される加圧水の飛散を防止すると共に前記被貼着体の搬入口と搬出口とが形成され、前記載置板を底面としたチャンバーと、
前記チャンバーの下方に前記チャンバーに連通して設けられ、前記加圧水噴出ガンから噴出された加圧水と一緒に前記被貼着体から剥離されたテープを回収するテープ回収手段と、を有する請求項2から6の何れか1項に記載のテープ剥離装置。
The tape peeling section,
A pressurized water jet gun for jetting the pressurized water;
A chamber having a carry-in port and a carry-out port of the adherend as well as preventing splashing of the pressurized water jetted from the pressurized water jet gun, and having the placing plate as a bottom face,
3. A tape collecting unit that is provided below the chamber and communicates with the chamber, and collects the tape peeled off from the adherend together with the pressurized water ejected from the pressurized water ejection gun. 6. The tape peeling device according to any one of 6 above.
前記テープ剥離部は、
前記加圧水噴出ガンを前記載置板の前記長尺な方向へ水平移動させるY軸アクチュエータと、
前記加圧水噴出ガンを前記Y軸と直交するX軸へ水平移動させるX軸アクチュエータと、を有する請求項2から7の何れか1項に記載のテープ剥離装置。
The tape peeling section,
A Y-axis actuator that horizontally moves the pressurized water jet gun in the longitudinal direction of the mounting plate;
The tape peeling device according to claim 2, further comprising an X-axis actuator that horizontally moves the pressurized water jet gun to an X-axis that is orthogonal to the Y-axis.
前記加圧水噴出ガンは、
加圧水を噴出する複数の噴出ノズルが形成されたノズルヘッドと、
前記ノズルヘッドを揺動回転させる揺動回転機構と、を有する請求項2から8の何れか1項に記載のテープ剥離装置。
The pressurized water jet gun is
A nozzle head having a plurality of jet nozzles for jetting pressurized water;
9. The tape peeling device according to claim 2, further comprising a swing rotation mechanism that swings and rotates the nozzle head.
前記回収手段は、
前記チャンバー内に噴出ノズルが設けられ、前記被貼着体の表面に沿って加圧水を噴出して前記被貼着体から剥離されたテープを前記被貼着体から除去回収するテープ回収用ガンと、
除去された前記テープ及び前記噴出された加圧水を貯留する貯留タンクと、
前記載置板に開口された回収用開口と、
前記回収用開口と前記貯留タンクとを連結するダクトと、を備えた請求項7から9の何れか1項に記載のテープ剥離装置。
The collecting means is
A jet nozzle provided in the chamber, ejecting pressurized water along the surface of the adherend to remove and collect the tape peeled from the adherend from the adherend, ,
A storage tank for storing the removed tape and the jetted pressurized water;
A recovery opening opened in the mounting plate,
The tape peeling device according to claim 7, further comprising: a duct that connects the recovery opening and the storage tank.
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