JP2020075419A - 液体吐出ヘッド - Google Patents
液体吐出ヘッド Download PDFInfo
- Publication number
- JP2020075419A JP2020075419A JP2018210574A JP2018210574A JP2020075419A JP 2020075419 A JP2020075419 A JP 2020075419A JP 2018210574 A JP2018210574 A JP 2018210574A JP 2018210574 A JP2018210574 A JP 2018210574A JP 2020075419 A JP2020075419 A JP 2020075419A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- formula
- orifice plate
- diamond
- liquid
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims abstract description 152
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 113
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 40
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 33
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 33
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 33
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 43
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 claims description 16
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 claims description 12
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 6
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 claims description 4
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 claims description 4
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 claims description 4
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 3
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 2
- 238000005187 foaming Methods 0.000 abstract description 23
- 238000007639 printing Methods 0.000 abstract description 20
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 78
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 35
- 238000000034 method Methods 0.000 description 28
- 238000004380 ashing Methods 0.000 description 19
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 11
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 10
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 230000005587 bubbling Effects 0.000 description 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 9
- 230000002829 reductive effect Effects 0.000 description 9
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 8
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 8
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 7
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 7
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 7
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 6
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 6
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 6
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 5
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 5
- 230000005499 meniscus Effects 0.000 description 5
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 5
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 5
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 5
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 5
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 4
- 230000036961 partial effect Effects 0.000 description 4
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 4
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 4
- WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M tetramethylammonium hydroxide Chemical compound [OH-].C[N+](C)(C)C WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 3
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 3
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 2
- 238000005338 heat storage Methods 0.000 description 2
- 238000012805 post-processing Methods 0.000 description 2
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 2
- 238000002230 thermal chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M Fluoride anion Chemical compound [F-] KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 238000001069 Raman spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 229910004200 TaSiN Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 1
- 239000002365 multiple layer Substances 0.000 description 1
- 238000010587 phase diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
- 230000000930 thermomechanical effect Effects 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/1433—Structure of nozzle plates
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14016—Structure of bubble jet print heads
- B41J2/14088—Structure of heating means
- B41J2/14112—Resistive element
- B41J2/14129—Layer structure
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1601—Production of bubble jet print heads
- B41J2/1603—Production of bubble jet print heads of the front shooter type
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1626—Manufacturing processes etching
- B41J2/1628—Manufacturing processes etching dry etching
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1626—Manufacturing processes etching
- B41J2/1629—Manufacturing processes etching wet etching
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1631—Manufacturing processes photolithography
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1632—Manufacturing processes machining
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/164—Manufacturing processes thin film formation
- B41J2/1642—Manufacturing processes thin film formation thin film formation by CVD [chemical vapor deposition]
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2202/00—Embodiments of or processes related to ink-jet or thermal heads
- B41J2202/01—Embodiments of or processes related to ink-jet heads
- B41J2202/03—Specific materials used
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
Description
従って、本発明は、発泡室内の気泡溜まりが抑制され、安定した液体吐出量と、優れた印字品位とが達成できる液体吐出ヘッドを提供することを目的とする。
液体を吐出する吐出口を有するオリフィスプレートと、前記吐出口から液体を吐出するためのエネルギー発生素子を有する素子基板と、前記素子基板と前記オリフィスプレートの間に配され、前記吐出口に連通する流路を形成するための流路壁部材と、を有する液体吐出ヘッドであって、
前記オリフィスプレートは、第一の面と、該第一の面に対向しかつ前記素子基板側に配される第二の面とを有し、該第一の面は、第一のダイヤモンドライクカーボン膜で構成されており、前記第一の面および前記第二の面それぞれの純水に対する接触角θ1およびθ2は、下記式1の関係を満たし、前記第一のダイヤモンドライクカーボン膜の前記第一の面における組成は、下記式2〜式5の関係を全て満たす、ことを特徴とする液体吐出ヘッドである。
式1: θ2<θ1<100°
式2: 0at%≦x1≦50at%
式3: 0at%≦y1≦70at%
式4: 0at%≦z1≦70at%
式5: x1+y1+z1=100at%
(上記式2〜5中、x1、y1およびz1はそれぞれ、前記第一のダイヤモンドライクカーボン膜中のsp3混成軌道種、sp2混成軌道種および水素原子の含有割合を表す)。
本発明の液体吐出ヘッドは、プリンタ、複写機、通信システムを有するファクシミリ、更には、各種処理装置と複合的に組み合わせた産業記録装置に搭載可能である。以下の説明では、液体吐出ヘッドとしてインクジェット記録ヘッドに着目した記載が成されることがあるが、本発明はこの形態に限定されない。
以下に、液体吐出ヘッドを構成する各部材について詳しく説明する。
素子基板1は、図1及び図2に示すように、吐出口4から液体(例えば、インク等の記録液)を吐出するためのエネルギー発生素子2を有する。また、素子基板1は、流路8に連通し液体を供給する液体供給口3を有することができる。
エネルギー発生素子2は、特に限定されず、例えば、上述した本発明の効果がより得られる、液体を沸騰させる電気熱変換素子(発熱抵抗体素子、ヒータ素子)をエネルギー発生素子として用いることができる。しかしながら、エネルギー発生素子として、体積変化や振動により液体に圧力を与える素子(ピエゾ素子、圧電素子)等を用いてもよい。また、エネルギー発生素子2は、素子基板1のおもて面に接するように設けられていてもよいし、素子基板1のおもて面からその一部が浮いた状態で設けられていてもよい。
エネルギー発生素子の数や配置は、作製する液体吐出ヘッドの構造に応じて適宜選択することができ、例えば、この素子を複数、所定のピッチで並べた素子列を液体供給口3の両側にそれぞれ設けることができる。
素子基板1と、オリフィスプレート6との間に配される流路壁部材7は、吐出口4に連通する流路8を形成するためのものであり、流路8の形状を画定させるものである。なお、流路8は、発泡室(液室)9を含む。発泡室9において、エネルギー発生素子2(例えばヒータ素子)を瞬時に加熱することで、液体供給口3より流路8に供給された液体内に気泡を発生させ、吐出口から液体を吐出させる。流路壁部材を構成する材料は特に限定されず、流路壁部材が接する素子基板1やオリフィスプレート6を構成する材質に応じて適宜設定することができる。流路壁部材7は、例えば、有機材料または無機材料で構成されてもよいし、感光性材料または非感光性材料で構成されてもよい。また、流路壁部材7は、オリフィスプレート6の一部(例えば、後述する第二の層11)と同一の材料で構成されていてもよいし、オリフィスプレート6とは異なる材料で構成されていてもよい。
オリフィスプレート6が有する吐出口4は、液体を吐出するためのものであり、例えば、図2(a)に示すように、エネルギー発生素子2の上方(紙面上方)のオリフィスプレート部分に形成することができ、通常、1つの液体吐出ヘッドに複数形成される。
図2に示すように、オリフィスプレート6は、第一の面6aと、該第一の面6aに対向し、かつ、前記素子基板側に配される第二の面6bとを有し、この第一の面6aは、第一のダイヤモンドライクカーボン膜(DLC膜)で構成されている。
そして、第一の面6a及び第二の面6bそれぞれの純水に対する接触角θ1およびθ2は、下記式1の関係を満たし、前記第一のダイヤモンドライクカーボン膜の第一の面6aにおける組成は、下記式2〜式5の関係を全て満たす。
式1: θ2<θ1<100°
式2: 0at%≦x1≦50at%
式3: 0at%≦y1≦70at%
式4: 0at%≦z1≦70at%
式5: x1+y1+z1=100at%
(上記式2〜5中、x1、y1およびz1はそれぞれ、前記第一のダイヤモンドライクカーボン膜中のsp3混成軌道種、sp2混成軌道種および水素原子の含有割合を表す)。
なお、x1、y1及びz1の合計は、式5を満たし、100at%となる。
この第二の面を構成する膜は、上記式1の関係を満たすものであれば、特に限定されず、様々な材料を用いることができる。例えば、第二の面を、非感光性材料膜で構成してもよいし、感光性材料膜で構成してもよい。また、第二の面を、無機膜で構成してもよいし、有機膜で構成してもよい。
これらの中でも、吐出性能と製造安定性の観点から、第二の面が、第一のDLC膜と異なる第二のDLC膜で構成されることが好ましい。また、当該第二のDLC膜の前記第二の面における組成は、下記式6〜式9の関係を全て満たすことが好ましい。
式6: 50at%≦x2≦80at%
式7: 0at%≦y2≦50at%
式8: 0at%≦z2≦50at%
式9: x2+y2+z2=100at%
(上記式6〜9中、x2、y2およびz2はそれぞれ、前記第二のダイヤモンドライクカーボン膜中のsp3混成軌道種、sp2混成軌道種および水素原子の含有割合を表す)。
なお、上記関係を満たす第二のDLC膜の組成は、図4(a)中の符号Bに示す領域であり、符号Aが示す領域と重複していないことが分かる。前記第二のDLC膜の第二の面における組成は、上述した上記第一のDLC膜と同様の方法により特定することができる。
式10: 0at%≦x1≦50at%
式11: 0at%≦y1≦70at%
式12: 0at%≦z1≦50at%
式13: x1+y1+z1=100at%
(上記式10〜13中、x1、y1およびz1はそれぞれ、前記第一のダイヤモンドライクカーボン膜中のsp3混成軌道種、sp2混成軌道種および水素原子の含有割合を表す)。
なお、この関係を満たす第一のDLC膜の組成は、図4(b)中の符号Cに示す領域である。このように、第一のDLC膜中の水素含有量を50at%以下とすることにより、ドライエッチングを用いて吐出口を形成したとしても、酸素アッシングによる膜減りを容易に防ぐことができる。
また、DLC膜は、sp3混成軌道種、sp2混成軌道種及び水素原子の含有割合を特定の関係とすることによっても線膨張係数を大きくすることができる。従って、前記第二の面を感光性材料膜で構成する場合、前記第一のDLC膜の前記第一の面における組成は、下記式14〜式17または下記式17〜式20の関係を満たすことが好ましい。
式14: 0at%≦x1≦30at%
式15: 0at%≦y1≦70at%
式16: 0at%≦z1≦70at%
式17: x1+y1+z1=100at%
式18: 30at%≦x1≦50at%
式19: 0at%≦y1≦20at%
式20: 50at%≦z1≦70at%
(上記式中、x1、y1およびz1はそれぞれ、前記第一のダイヤモンドライクカーボン膜中のsp3混成軌道種、sp2混成軌道種および水素原子の含有割合を表す)。
なお、式14〜17の関係を満たす第一のDLC膜の組成は、図4(c)中の符号Dに示す領域であり、式17〜20の関係を満たす第一のDLC膜の組成は、図4(c)中の符号Eに示す領域である。第一のDLC膜がいずれかの関係を満たすことにより、第一のDLC膜の線膨張係数を、第二の面を構成する感光性材料膜の線膨張係数へと近づけることができる。従って、上述したオリフィスプレートの割れや剥離、基板全体の反りを容易に防ぐことができる。
従って、オリフィスプレートの割れや、界面剥離、基板全体の反りを一層抑制するためには、オリフィスプレートを以下の構成とすることが好ましい。即ち、オリフィスプレート6の純水に対する接触角を、第一の面6aから第二の面6bに向かって徐々に小さくすることが好ましい。言い換えると、オリフィスプレートは、前記第一の面から前記第二の面に向かって線膨張係数が徐々に小さくなることで、線膨張係数の差が少なくなる構成とすることが好ましい。例えば、図2(b)に示すように、オリフィスプレートを、第一の面から第二の面に向かって、純水に対する接触角を徐々に小さくした単層(又は複数層)のDLC膜で構成することが好ましい。
なお、オリフィスプレート内部又はオリフィスプレートの各面における線膨張係数は、熱機械分析(TMA)法により特定することができる。また、オリフィスプレート内部における純水に対する接触角は、液滴法により特定することができる。
この液体吐出ヘッドを用いて、紙等の記録媒体に記録を行う場合、このヘッドの吐出口が形成された面(吐出口面)を記録媒体の記録面に対面するように配置する。そして、液体供給口3から供給された液体が、流路8を通り、発泡室9の内部にあるエネルギー発生素子2からエネルギーを与えられ、吐出口4から吐出され、記録媒体にこの液体が着弾することにより印字(記録)を行うことができる。
本発明の液体吐出ヘッドを製造する方法は、例えば、以下の工程を有することができる。
・エネルギー発生素子2を有する素子基板1を用意する工程(素子基板用意工程)。
・前記素子基板上に、ノズル層5を形成する工程(ノズル層形成工程)。
なお、上記素子基板用意工程は、液体供給口を形成する工程を含むことができる。また、上記製造方法では、前記ノズル層形成工程において、支持基板上に、オリフィスプレート6及び流路壁部材7をそれぞれ形成し、それらを前記素子基板上に貼り付けることにより、ノズル層を形成してもよい。あるいは、前記ノズル層形成工程において、素子基板上に、流路壁部材及びオリフィスプレートをそれぞれ形成することにより、ノズル層を形成してもよい。
なお、これらの工程の順序は特に限定されず、順次行われてもよいし、複数の工程(例えば、流路壁部材形成工程及びオリフィスプレート形成工程)が並行して行われてもよい。
上記製造方法の一例を、図3を用いて詳しく説明する。この図3に示す実施形態では、オリフィスプレート6が、第一の層10(第一のDLC膜)と、第二の層11との複数層で構成されている。また、この実施形態では、支持基板上に予めオリフィスプレートと流路壁部材とを形成し、それらを素子基板上に貼り付けることにより液体吐出ヘッドを作製している。
以上の工程によって、本発明の液体吐出ヘッドの一実施形態を製造することができる。
まず、図3(a)に示すように、支持基板18として、酸化シリコン基板を鏡面処理した基板を用意した。当該支持基板18の鏡面上に、第一の層10として、第一のDLC膜をプラズマCVD法によって形成した。その際、電源:13.56MHz、高周波出力:1000W、プロセスガス:トルエン(C7H8)とした。当該第一のDLC膜の第一の面6aにおける組成は、x1が20at%、y1が40at%、z1が40at%であり、図4(a)及び(b)に示す符号A及びCの領域に含まれていた。また、当該第一のDLC膜の厚みは1μmであり、第一の面の純水に対する接触角は70°であった。
当該第二のDLC膜の第二の面6bにおける組成は、x2が60at%、y2が40at%、z2が0at%であり、図4(a)に示す符号Bの領域に含まれていた。なお、上記第二のDLC膜で構成される第二の面の純水に対する接触角は40°であった。
なお、実施例1では、各評価項目に関して、良好な結果が得られた。実施例1では、オリフィスプレートの最表面(第一の面)の接触角を大きく保ちながらも、発泡室に接する面(第二の面)の接触角を小さくすることができた。このため、発泡室内に液体がなじみやすく、泡が溜まりにくくなったため、液滴の吐出量を安定化することができた。
液体吐出ヘッドを製造する全工程において、基板の反りが発生しているか否かを、応力測定器を用いて測定し、以下の基準に基づき評価した。
評価基準
○:全工程において、即ち、液体吐出ヘッドとした段階で、加工できないような基板反りが発生していない。
△:DLC膜を成膜した段階では基板反りが発生していないが、他の工程において、即ち、液体吐出ヘッドとした段階で、加工できないような基板反りが発生している。
×:DLC膜を成膜した段階で、加工できないような基板反りが発生している。
(アッシング後)膜厚測定をXRRにて行い、オリフィスプレートを構成する層(特に第一の面及び第二の面)が、アッシングによって膜減りしているか否かを以下の基準に基づき評価した。
評価基準
○:オリフィスプレートのアッシングによる膜減りがない。
△:オリフィスプレートのアッシングによる軽度な膜減りがある。
×:オリフィスプレートのアッシングによる中程度または重度な膜減りがある。
得られた液体吐出ヘッドを自動外観検査装置にて観察し、オリフィスプレートの割れや剥がれが発生しているか否かを以下の基準に基づき評価した。
評価基準
○:オリフィスプレートの割れや剥がれが発生していない。
△:オリフィスプレートの軽度な割れや剥がれが発生している。
×:オリフィスプレートの中程度または重度な割れや剥がれが発生している。
得られた液体吐出ヘッドを用いて、記録媒体(キヤノン株式会社製、高品位専用紙)に液体を吐出することで印字物を作成した後、ヘッド表面を顕微鏡観察し、吐出口からの液体あふれがあるか否かを以下の基準に基づき評価した。
評価基準
○:印字後の吐出口からの液体あふれがない。
×:印字後の吐出口からの液体あふれがある。
上記印字物を印字検査装置にて観察し、液体のぼた落ちがみられるか否かを以下の基準に基づき評価した。
評価基準
○:印字物中の液体のぼた落ちがみられない。
×:印字物中の液体のぼた落ちがみられる。
上記印字物上の液滴サイズを印字検査装置で観察し、液滴の大きさが均一であるか否かを以下の基準に基づき評価した。
○:液滴の大きさが均一であった。
△:印字画像に影響のない程度に液滴の大きさが不均一であった。
×:印字画像に影響の出るレベルで液滴の大きさが不均一であった。
以下の点を変更した以外は実施例1と同様にして、図2(a)に示す液体吐出ヘッドを製造した。
具体的には、支持基板18の鏡面上に第一のDLC膜をプラズマCVD法によって形成する際に、高周波出力を1000Wから100Wへと変更した。これにより、当該第一のDLC膜の前記第一の面6aにおける組成は、x1が20at%、y1が20at%、z1が60at%となり、図4(a)に示す領域Aの範囲内であった。そして、前記第一の面6aの純水に対する接触角は80°であった。
以下の点を変更した以外は実施例1と同様にして、図2(a)に示す液体吐出ヘッドを製造した。
具体的には、実施例1で第一のDLC膜上に作製した、第二の層11及び流路壁部材7となる第二のDLC膜を、プラズマCVD法によって形成したSiCN(炭窒化ケイ素)膜に変更した。当該SiCN膜の形成には、SiH4ガス、NH3ガス、N2ガス、CH4ガス流を使用した。また、HRF電力は800W、LRF電力は40W、圧力は1000Paとした。当該SiCN膜を用いて、第二の層11及び流路壁部材7を実施例1と同様に作製した。なお、上記SiCN膜で構成される前記第二の面の純水に対する接触角は30°であった。
以下の点を変更した以外は実施例1と同様にして、図2(a)に示す液体吐出ヘッドを製造した。
具体的には、実施例1で第一のDLC膜上に作製した第二のDLC膜を、Si基板に変更した。即ち、第一のDLC膜上に、Si基板を接合した。接合後、当該Si基板を7μmの厚みまで研磨した。そして、当該Si基板に対して、フォトマスク(不図示)を介したドライエッチング(RIE)を行い、第二の層11及び流路壁部材7を形成した。当該Si基板により構成される第二の面6bの純水に対する接触角は20°であった。
次に、以下の点を変更した以外は実施例2と同様にして、図2(a)に示す液体吐出ヘッドを製造した。
具体的には、実施例2で第一のDLC膜上に作製した第二のDLC膜を、スピンコート法により作製した感光性のポジ型レジスト層に変更した。当該レジスト層の厚みは、20μmとし、感光性樹脂材料で構成されるフォトマスク(不図示)を介したフォトリソグラフィーにより流路となる部分をパターニングし、流路壁部材7と、第二の層11を形成した。なお、第二の層11の厚みは10μmであり、オリフィスプレートの合計の厚みは11μmであり、流路壁部材の厚みは10μmであった。
前記感光性のポジ型レジストには親水性モノマーが含まれているため、当該レジストで構成される第二の面の純水に対する接触角は50°であった。
次に、以下の点を変更した以外は実施例5と同様にして、図2(a)に示す液体吐出ヘッドを製造した。
具体的には、支持基板18の鏡面上に第一のDLC膜をプラズマCVD法によって形成する際に、高周波出力を100Wから1500Wへと変更した。これにより、当該第一のDLC膜の前記第一の面6aにおける組成は、x1が40at%、y1が40at%、z1が20at%となり、図4(a)に示す領域Aの範囲内であった。そして、前記第一の面6aの純水に対する接触角は60°であった。
以下の点を変更した以外は実施例1と同様にして、図2(b)に示す液体吐出ヘッドを製造した。
具体的には、図3(a)に示す鏡面処理された支持基板18の鏡面上にオリフィスプレートとなるDLC膜をプラズマCVD法によって形成した。その際、電源:13.56MHz、プロセスガス:トルエン(C7H8)とした。そして、高周波出力を1000Wから徐々に2000Wまで上げながら成膜を行うことで、第一の面6a及び第二の面6bを有するDLC膜を形成した。なお、当該DLC膜で構成されるオリフィスプレートの厚さは3μmであった。
以下の点を変更した以外は実施例1と同様にして、図2(a)に示す液体吐出ヘッドを製造した。具体的には、アーク法により第二のDLC膜を形成する際、当該第二のDLC膜で構成される第二の面の組成を、x2が80at%、y2が20at%、z2が0at%となるように変更した。当該第二の面の純水に対する接触角は35°であった。
以下の点を変更した以外は実施例1と同様にして、図5に示す従来の液体吐出ヘッドを製造した。
具体的には、図3(a)に示す鏡面処理された支持基板18の鏡面上に、厚さ3μmのオリフィスプレート6となるDLC膜をプラズマCVD法によって形成した。その際、電源:13.56MHz、高周波出力:100W、プロセスガス:トルエン(C7H8)とした。当該DLC膜で構成されるオリフィスプレートの第一の面及び第二の面における組成は、x1及びx2がいずれも20at%、y1及びy2がいずれも40at%、z1及びz2がいずれも40at%であった。つまり、オリフィスプレートの第一の面から第二の面まで同一組成で構成されていた。なお、第一の面及び第二の面における純水に対する接触角は70°であった。また、流路壁部材7は、実施例1と同様に実施例1に示す第二のDLC膜を用いて厚み5μmで形成した。
以下の点を変更した以外は実施例1と同様にして、液体吐出ヘッドを製造した。
具体的には、鏡面処理された支持基板18の鏡面上に、真空蒸着法により、第一のDLC膜を形成した。当該第一のDLC膜の第一の面における組成は、x1が10at%、y1が10at%、z1が80at%であり、図4(a)に示す領域Aの範囲外であった。前記第一のDLC膜の厚みは1μmであり、純水に対する接触角は100°であった。
以下の点を変更した以外は実施例1と同様にして、液体吐出ヘッドを製造した。
具体的には、鏡面処理された支持基板18の鏡面上に、DCスパッタ法により、第一のDLC膜を形成した。当該第一のDLC膜の第一の面における組成は、x1が10at%、y1が80at%、z1が10at%であり、図4(a)に示す領域Aの範囲外であった。また、前記第一のDLC膜の厚みは1μmであり、純水に対する接触角は100°であった。
以下の点を変更した以外は実施例1と同様にして、液体吐出ヘッドを製造した。
具体的には、図3(a)に示す鏡面処理された支持基板18の鏡面上に、厚みが3μmのオリフィスプレートとなるDLC膜をアーク法により形成した。当該DLC膜で構成される第一の面及び第二の面の組成は、x1及びx2がいずれも60at%、y1及びy2がいずれも40at%、z1及びz2がいずれも0at%であった。つまり、オリフィスプレートの第一の面から第二の面まで同一組成で構成されていた。第一の面及び第二の面の純水に対する接触角は40°であった。また、流路壁部材7は、実施例1と同様に実施例1に示す第二のDLC膜を用いて厚み5μmで形成した。
2 エネルギー発生素子
4 (液体)吐出口
6 オリフィスプレート
6a 第一の面
6b 第二の面
7 流路壁部材
8 (液体)流路
9 発泡室(液室)
10 第一の層
11 第二の層
12 基板
Claims (13)
- 液体を吐出する吐出口を有するオリフィスプレートと、
前記吐出口から液体を吐出するためのエネルギー発生素子を有する素子基板と、
前記素子基板と前記オリフィスプレートの間に配され、前記吐出口に連通する流路を形成するための流路壁部材と、
を有する液体吐出ヘッドであって、
前記オリフィスプレートは、第一の面と、該第一の面に対向しかつ前記素子基板側に配される第二の面とを有し、該第一の面は、第一のダイヤモンドライクカーボン膜で構成されており、
前記第一の面および前記第二の面それぞれの純水に対する接触角θ1およびθ2は、下記式1の関係を満たし、
前記第一のダイヤモンドライクカーボン膜の前記第一の面における組成は、下記式2〜式5の関係を全て満たす、ことを特徴とする液体吐出ヘッド:
式1: θ2<θ1<100°
式2: 0at%≦x1≦50at%
式3: 0at%≦y1≦70at%
式4: 0at%≦z1≦70at%
式5: x1+y1+z1=100at%
(上記式2〜5中、x1、y1およびz1はそれぞれ、前記第一のダイヤモンドライクカーボン膜中のsp3混成軌道種、sp2混成軌道種および水素原子の含有割合を表す)。 - 前記オリフィスプレートの前記第二の面が、非感光性材料膜で構成される、請求項1に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記非感光性材料膜が、ダイヤモンドライクカーボン、SiC、SiCN、Si、SOGおよびポリイミドから選ばれる少なくとも1種を含む、請求項2に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記オリフィスプレートの前記第二の面が、第二のダイヤモンドライクカーボン膜で構成されており、
該第二のダイヤモンドライクカーボン膜の前記第二の面における組成が、下記式6〜式9の関係を全て満たす、請求項2または3に記載の液体吐出ヘッド:
式6: 50at%≦x2≦80at%
式7: 0at%≦y2≦50at%
式8: 0at%≦z2≦50at%
式9: x2+y2+z2=100at%
(上記式6〜9中、x2、y2およびz2はそれぞれ、前記第二のダイヤモンドライクカーボン膜中のsp3混成軌道種、sp2混成軌道種および水素原子の含有割合を表す)。 - 前記第一のダイヤモンドライクカーボン膜の前記第一の面における組成が、下記式10〜式13の関係を全て満たす、請求項2〜4のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド:
式10: 0at%≦x1≦50at%
式11: 0at%≦y1≦70at%
式12: 0at%≦z1≦50at%
式13: x1+y1+z1=100at%
(上記式10〜13中、x1、y1およびz1はそれぞれ、前記第一のダイヤモンドライクカーボン膜中のsp3混成軌道種、sp2混成軌道種および水素原子の含有割合を表す)。 - 前記第二の面が、感光性材料膜で構成される、請求項1に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記感光性材料膜が、ポジ型レジストまたはネガ型レジストを含む、請求項6に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記第一のダイヤモンドライクカーボン膜の前記第一の面における組成が、下記式14〜17または下記式17〜式20の関係を満たす、請求項6又は7に記載の液体吐出ヘッド:
式14: 0at%≦x1≦30at%
式15: 0at%≦y1≦70at%
式16: 0at%≦z1≦70at%
式17: x1+y1+z1=100at%
式18: 30at%≦x1≦50at%
式19: 0at%≦y1≦20at%
式20: 50at%≦z1≦70at%
(上記式中、x1、y1およびz1はそれぞれ、前記第一のダイヤモンドライクカーボン膜中のsp3混成軌道種、sp2混成軌道種および水素原子の含有割合を表す)。 - 前記第二の面を構成する膜が、該第二の面から1μm以上の厚みを有する、請求項2〜8のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記オリフィスプレートが、ダイヤモンドライクカーボン膜で構成されており、
このダイヤモンドライクカーボン膜の純水に対する接触角が前記第一の面から前記第二の面に向かって徐々に小さくなる、請求項1〜5および9のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。 - 前記第二の面が、無機膜で構成されており、
前記オリフィスプレートの厚さが、5μm以下である、請求項1〜5、9および10のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。 - 前記第二の面が、有機膜で構成されており、
前記オリフィスプレートの厚さが、5μm以上である、請求項1〜3および6〜9のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。 - 前記第一の面の純水に対する接触角θ1が60°より大きい、請求項1〜12のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018210574A JP7146582B2 (ja) | 2018-11-08 | 2018-11-08 | 液体吐出ヘッド |
US16/669,922 US11020971B2 (en) | 2018-11-08 | 2019-10-31 | Liquid ejection head |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018210574A JP7146582B2 (ja) | 2018-11-08 | 2018-11-08 | 液体吐出ヘッド |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020075419A true JP2020075419A (ja) | 2020-05-21 |
JP7146582B2 JP7146582B2 (ja) | 2022-10-04 |
Family
ID=70551515
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018210574A Active JP7146582B2 (ja) | 2018-11-08 | 2018-11-08 | 液体吐出ヘッド |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11020971B2 (ja) |
JP (1) | JP7146582B2 (ja) |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08207291A (ja) * | 1994-07-14 | 1996-08-13 | Hitachi Koki Co Ltd | インク噴射記録ヘッドの製造方法および記録装置 |
JP2004117345A (ja) * | 1996-10-31 | 2004-04-15 | Thermo Biostar Inc | マス輸送補助光学アッセイのための方法及び装置 |
JP2005518490A (ja) * | 2001-11-19 | 2005-06-23 | アルストム テクノロジー リミテッド | ガスタービンのための圧縮機 |
JP2012091380A (ja) * | 2010-10-26 | 2012-05-17 | Fujifilm Corp | 液滴吐出ヘッドおよび液滴吐出ヘッドの製造方法 |
JP2015085616A (ja) * | 2013-10-31 | 2015-05-07 | セーレン株式会社 | インクジェットヘッドのノズルプレートおよびその製造方法 |
JP2017001326A (ja) * | 2015-06-12 | 2017-01-05 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッド及びその製造方法 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6972697B2 (ja) * | 2017-06-22 | 2021-11-24 | セイコーエプソン株式会社 | ノズルプレート、液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置 |
-
2018
- 2018-11-08 JP JP2018210574A patent/JP7146582B2/ja active Active
-
2019
- 2019-10-31 US US16/669,922 patent/US11020971B2/en active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08207291A (ja) * | 1994-07-14 | 1996-08-13 | Hitachi Koki Co Ltd | インク噴射記録ヘッドの製造方法および記録装置 |
JP2004117345A (ja) * | 1996-10-31 | 2004-04-15 | Thermo Biostar Inc | マス輸送補助光学アッセイのための方法及び装置 |
JP2005518490A (ja) * | 2001-11-19 | 2005-06-23 | アルストム テクノロジー リミテッド | ガスタービンのための圧縮機 |
JP2012091380A (ja) * | 2010-10-26 | 2012-05-17 | Fujifilm Corp | 液滴吐出ヘッドおよび液滴吐出ヘッドの製造方法 |
JP2015085616A (ja) * | 2013-10-31 | 2015-05-07 | セーレン株式会社 | インクジェットヘッドのノズルプレートおよびその製造方法 |
JP2017001326A (ja) * | 2015-06-12 | 2017-01-05 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッド及びその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP7146582B2 (ja) | 2022-10-04 |
US20200147962A1 (en) | 2020-05-14 |
US11020971B2 (en) | 2021-06-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN1192889C (zh) | 喷墨头基片、喷墨头及其制造方法和喷墨头使用方法及喷墨装置 | |
US9623655B2 (en) | Liquid discharge head and method for manufacturing the same | |
US7654645B2 (en) | MEMS bubble generator | |
JP2006192622A (ja) | 液体吐出ヘッド、液体吐出装置、及び液体吐出ヘッドの製造方法 | |
US8910380B2 (en) | Method of manufacturing inkjet printhead with self-clean ability | |
JP2001162804A (ja) | 液体吐出ヘッド、ヘッドカートリッジおよび液体吐出装置 | |
US7918534B2 (en) | Droplet ejection head having a liquid ejection energy driving device, method of producing the same and droplet ejection apparatus | |
US7980674B2 (en) | Printhead incorporating pressure pulse diffusing structures between ink chambers supplied by same ink inlet | |
US6386686B1 (en) | Liquid discharge head, manufacturing method of liquid discharge head, head cartridge, and liquid discharge apparatus | |
US7784915B2 (en) | MEMS device with nanocrystalline heater | |
JP7146582B2 (ja) | 液体吐出ヘッド | |
JP2019214167A (ja) | ノズルプレートの製造方法、インクジェットヘッドの製造方法、ノズルプレート及びインクジェットヘッド | |
JP6157180B2 (ja) | インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法 | |
JP7453760B2 (ja) | 液体吐出ヘッド用基板およびその製造方法 | |
WO2008075715A1 (ja) | 液体吐出ヘッド用ノズルプレートの製造方法、液体吐出ヘッド用ノズルプレート及び液体吐出ヘッド | |
US8025367B2 (en) | Inkjet printhead with titanium aluminium alloy heater | |
CN1732086A (zh) | 用于喷墨头的衬底、使用所述衬底的喷墨头及其制造方法 | |
KR100916869B1 (ko) | 액체 토출 헤드의 제조 방법 | |
EP2091741B1 (en) | Method of forming openings in substrates | |
JP3989248B2 (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 | |
JP2011152654A (ja) | インクジェットヘッド | |
JP2020124882A (ja) | 液体吐出ヘッド及びその製造方法 | |
JP2006224592A (ja) | インクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録ヘッド用Si基板 | |
JP2019043115A (ja) | 液体吐出ヘッドの製造方法 | |
JP2006225745A (ja) | 薄膜素子の構造および製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210917 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20220727 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220823 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220921 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 7146582 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |