JP2020071189A - 力検出器、力検出器を備えたアームロボット及び力検出器の製造方法 - Google Patents
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Description
力が加えられる力点部と、力が作用する作用部と、力点部及び作用部の中間で弾性変形する起歪部と、作用部に作用する力を検出する力検出手段と、を備えた力検出器であって、
力検出手段は、少なくとも1つ以上の単一の絶縁された基材上に、力点部から作用部への方向に所定の間隔で複数の感歪抵抗体を有して起歪部に形成されている。
力検出手段は、
作用部の支点から力点部へ伸びる軸に垂直に交差して作用する力を検出するように構成されている。
力検出手段は、
作用部の支点から力点部へ伸びる軸に垂直に交差する軸を中心とする回転モーメントを検出するように構成されている。
力検出手段は、導体層が積層された基材を起歪部に添着した後、導体層の一部を除去して形成された感歪抵抗体を含んでいる。
力検出手段は、基材を起歪部に添着し、さらに基材に導体層を積層し、次いで導体層の一部を除去して形成された感歪抵抗体を含んでいる。
感歪抵抗体が、レーザ光の照射によって直接描画されて形成されたもので構成されている。
請求項1から6のいずれか一項に記載の力検出器を備えている。
力が加えられる力点部と、力が作用する作用部と、力点部及び作用部の中間で弾性変形する起歪部と、作用部に作用する力を検出する力検出手段と、を備えた力検出器の製造方法であって、
力検出手段は、
導体層を積層した基材を起歪部に接着剤を介して添着する工程と、
導体層の所定の位置にレーザ光を照射して導体層の一部を除去して感歪抵抗体を形成する感歪抵抗体形成工程と、 によって形成される。
力が加えられる力点部と、力が作用する作用部と、力点部及び作用部の中間で弾性変形する起歪部と、作用部に作用する力を検出する力検出手段と、を備えた力検出器の製造方法であって、
力検出手段は、
絶縁された基材を起歪部に添着若しくは塗布により形成する工程と、
導体層を基材に積層する工程と、
導体層の所定の位置にレーザ光を照射して導体層の一部を除去して感歪抵抗体を形成する感歪抵抗体形成工程と、によって形成される。
感歪抵抗体形成工程は、起歪部若しくは起歪部の近傍に設けられたマーカーを画像撮影部にて読み込んで画像処理を行い、感歪抵抗体の形成の予定位置を演算する工程を含んでいる。
図23の上部の回路において、感歪抵抗体Fxb1と感歪抵抗体Fxb2がホイートストンブリッジ回路では向かい合う辺に配置されている。また感歪抵抗体Fxb5と感歪抵抗体Fxb6がホイートストンブリッジ回路では向かい合う辺に配置されている。そして感歪抵抗体Fxb1と感歪抵抗体Fxb5がホイートストンブリッジ回路では隣り合う辺に、感歪抵抗体Fxb2と感歪抵抗体Fxb6がホイートストンブリッジ回路では隣り合う辺に、それぞれ配置されている。感歪抵抗体Fxb1と感歪抵抗体Fxb5との結線部T11に電源10のプラス側、感歪抵抗体Fxb2と感歪抵抗体Fxb6との結線部T12に電源10のマイナス側が接続されている。そして結線部T9と結線部T10との間の電位差を出力としている。結線部T9は感歪抵抗体Fxb2と感歪抵抗体Fxb5との中間部位であって、結線部T10は感歪抵抗体Fxb1と感歪抵抗体Fxb6の中間部位である。この結線部T9と結線部T10からの出力は増幅器11cにて増幅され、A/Dコンバータ12cにてデジタル信号に変換される。
図24の上部の回路において、感歪抵抗体Mxb1と感歪抵抗体Mxb2がホイートストンブリッジ回路では向かい合う辺に配置されている。また感歪抵抗体Mxb5と感歪抵抗体Mxb6がホイートストンブリッジ回路では向かい合う辺に配置されている。そして感歪抵抗体Mxb1と感歪抵抗体Mxb5がホイートストンブリッジ回路では隣り合う辺に、感歪抵抗体Mxb2と感歪抵抗体Mxb6がホイートストンブリッジ回路では隣り合う辺に、それぞれ配置されている。感歪抵抗体Mxb1と感歪抵抗体Mxb5との結線部T19に電源10のプラス側、感歪抵抗体Mxb2と感歪抵抗体Mxb6との結線部T20に電源10のマイナス側が接続されている。そして結線部T17と結線部T18との間の電位差を出力としている。結線部T17は感歪抵抗体Mxb5と感歪抵抗体Mxb2との中間部位であって、結線部T18は感歪抵抗体Mxb1と感歪抵抗体Mxb6との中間部位である。この結線部T7と結線部T18からの出力は増幅器11eにて増幅され、A/Dコンバータ12eにてデジタル信号に変換される。
1a :作用部
1b :力点部
1c :円柱面
1d、1e :平面
1h :カバー
1j :起歪部
2a、2b、2c、2d:マーカー
3 :ロボットベース
4 :エンドエフェクタ
5 :基材
10 :電源
11a〜11f :増幅器
12a〜12f :A/Dコンバータ
13 :CPU
Fxa1〜Fxa4 :感歪抵抗体
Fya1〜Fya4 :感歪抵抗体
Mxa1〜Mxa4 :感歪抵抗体
Mya1〜Mya4 :感歪抵抗体
Fxb1〜Fxb8 :感歪抵抗体
Fyb1〜Fyb8 :感歪抵抗体
Mxb1〜Mxb8 :感歪抵抗体
Myb1〜Myb8 :感歪抵抗体
21 :ベース
22a、22b :直動レール
23a、23b :レールブロック
24 :テーブル
25 :テーブル
26 :ホルダ
27 :画像撮影部
28 :制御部
29 :レーザ照射部
Claims (10)
- 力が加えられる力点部と、前記力が作用する作用部と、前記力点部及び前記作用部の中間で弾性変形する起歪部と、前記作用部に作用する前記力を検出する力検出手段と、を備えた力検出器であって、
前記力検出手段は、少なくとも1つ以上の単一の絶縁された基材上に、前記力点部から前記作用部への方向に所定の間隔で複数の感歪抵抗体を有して前記起歪部に形成されていることを特徴とする力検出器。 - 前記力検出手段は、
前記作用部の支点から前記力点部へ伸びる軸に垂直に交差して作用する力を検出することを特徴とする請求項1に記載の力検出器。 - 前記力検出手段は、
前記作用部の支点から前記力点部へ伸びる軸に垂直に交差する軸を中心とする回転モーメントを検出することを特徴とする請求項1に記載の力検出器。 - 前記力検出手段は、導体層が積層された前記基材を前記起歪部に添着した後、前記導体層の一部を除去して形成された前記感歪抵抗体を含むことを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の力検出器。
- 前記力検出手段は、前記基材を前記起歪部に添着し、さらに前記基材に導体層を積層し、次いで前記導体層の一部を除去して形成された前記感歪抵抗体を含むことを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の力検出器。
- 前記感歪抵抗体が、レーザ光の照射によって直接描画されて形成されたものであることを特徴とする請求項4又は5に記載の力検出器。
- 請求項1から6のいずれか一項に記載の力検出器を備えたことを特徴とするアームロボット。
- 力が加えられる力点部と、前記力が作用する作用部と、前記力点部及び前記作用部の中間で弾性変形する起歪部と、前記作用部に作用する前記力を検出する力検出手段と、を備えた力検出器の製造方法であって、
前記力検出手段は、
導体層を積層した基材を前記起歪部に接着剤を介して添着する工程と、
前記導体層の所定の位置にレーザ光を照射して前記導体層の一部を除去して感歪抵抗体を形成する感歪抵抗体形成工程と、
によって形成されることを特徴とする力検出器の製造方法。 - 力が加えられる力点部と、前記力が作用する作用部と、前記力点部及び前記作用部の中間で弾性変形する起歪部と、前記作用部に作用する前記力を検出する力検出手段と、を備えた力検出器の製造方法であって、
前記力検出手段は、
絶縁された基材を前記起歪部に添着若しくは塗布により形成する工程と、
導体層を前記基材に積層する工程と、
前記導体層の所定の位置にレーザ光を照射して前記導体層の一部を除去して感歪抵抗体を形成する感歪抵抗体形成工程と、
によって形成されることを特徴とする力検出器の製造方法。 - 前記感歪抵抗体形成工程は、前記起歪部若しくは前記起歪部の近傍に設けられたマーカーを画像撮影部にて読み込んで画像処理を行い、前記感歪抵抗体の形成の予定位置を演算する工程を含むことを特徴とする請求項8又は9に記載の力検出器の製造方法。
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JP2018207179A JP2020071189A (ja) | 2018-11-02 | 2018-11-02 | 力検出器、力検出器を備えたアームロボット及び力検出器の製造方法 |
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2018
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