JP2020064948A - チップ裏面撮像装置及びボンディング装置 - Google Patents
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Abstract
Description
ボンディング装置200は、チップ裏面撮像装置100と、XYステージ71とを備えて構成される。XYステージ71は、基板20を保持する保持部(第2保持部)が形成されている。また、チップ裏面撮像装置100は、撮像装置30と、レンズユニット40と、第1保持部としての吸着コレット50と、ミラー60と、XYステージ72,73と、Zステージ75と、ポンプ95と、制御装置90とを備える。制御装置90は、撮像装置30が出力する電気信号を画像処理すると共に、XYステージ71,72,73と、Zステージ75と、真空吸着用のポンプ95とを制御する。
対物レンズ41の作動距離WDは、30.5[mm]である。対物レンズ41の先端とミラー60との距離を約16[mm]とし、ミラー60とICチップ10との距離を約14[mm]にしている。図3(a)の反射画像は、図3(b)の直接画像よりも、解像度が低下している。また、ICチップ10の幅は、5[mm]である。より小さなICチップを用いれば、解像度が高まる。
基板20の表面は、対物レンズ41の先端から作動距離WDの位置に配置されている。また、図1の状態から、XYステージ72を用いて、ミラー60をX方向に移動させている。この移動により、撮像装置30は、基板20の表面20aを撮像することができる。
図4の状態から、制御装置90は、XYステージ71,73を用いて、ICチップ10のバンプの位置と、基板20の電極の位置とを一致させる。そして、制御装置90は、Zステージ75を用いて、ICチップ10のバンプと基板20の電極とを接触させる。そして、共晶半田や超音波を用いて、ICチップ10のバンプと基板20の電極とが接合される。
撮像装置101は、レンズユニット45が装着された撮像装置30と、キューブ型ハーフミラー110と、2つの照明ユニット120,121とを備え、ICチップ10の裏面10aと基板20の表面20aとの双方を撮像するものである。
本発明は前記した実施形態に限定されるものではなく、例えば、以下のような種々の変形が可能である。
(1)前記実施形態のレンズユニット40は、無限遠補正光学系を構成していたが、有限補正光学系を構成しても構わない。有限補正光学系は、対物レンズ(有限補正対物レンズ)が単独で像(中間像)を作る光学系である。このときには、中間像の位置に撮像素子31を配設したり、中間像の位置と撮像素子31との間に結像レンズ42を配設したりする。なお、レンズユニット40は、対物レンズ(無限補正対物レンズや有限補正対物レンズ)の代わりに接写レンズの使用が考えられる。しかしながら、接写レンズは、倍率が最大1倍程度であるので、ICチップ10の撮像用途には、不適切である。
20 基板
30 撮像装置
31 撮像素子
40,45 レンズユニット
41 対物レンズ
42 結像レンズ
50 吸着コレット(透明吸着コレット)
60 ミラー
71,72,73 XYステージ
75 Zステージ
90 制御装置
100 チップ裏面撮像装置
101 撮像装置
110 キューブ型ハーフミラー
150 裏面画像
200 ボンディング装置
Claims (6)
- ICチップの裏面を撮像するチップ裏面撮像装置であって、
顕微鏡用のレンズユニットを装着した撮像装置と、
前記レンズユニットの光軸上に配設したミラーと、
前記レンズユニットと前記ミラーとの間に前記ICチップを保持する第1保持部とを備え、
前記撮像装置は、前記ICチップの裏面を前記ミラーで反射させて、その反射画像を撮像する
ことを特徴とするチップ裏面撮像装置。 - 請求項1に記載のチップ裏面撮像装置であって、
前記ミラー及び前記第1保持部の何れか一方又は双方を前記レンズユニットの光軸方向に移動させるステージをさらに備え、
前記ステージは、前記レンズユニットの対物レンズの先端と前記ミラーの表面との距離と、前記ミラーの表面と前記ICチップの裏面との距離との和を前記対物レンズの作動距離に等しくさせる
ことを特徴とするチップ裏面撮像装置。 - 請求項1又は請求項2に記載のチップ裏面撮像装置であって、
前記第1保持部は、透明部材で構成されている
ことを特徴とするチップ裏面撮像装置。 - 請求項2に記載のチップ裏面撮像装置であって、
前記対物レンズは、長作動距離型対物レンズである
ことを特徴とするチップ裏面撮像装置。 - 請求項4に記載のチップ裏面撮像装置であって、
前記ICチップは、バンプが形成されており、
前記撮像装置が撮像した撮像画像を用いて、前記バンプの位置計測を行う制御装置をさらに備え、
前記制御装置は、グレースケールでサブピクセル処理を行う第1位置計測と、前記バンプの輪郭の複数箇所を位置計測し、前記バンプの位置を演算する第2位置計測との何れか一方を行う
ことを特徴とするチップ裏面撮像装置。 - 請求項2乃至請求項5の何れか一項に記載のチップ裏面撮像装置と、
前記ミラー及び前記第1保持部の何れか一方又は双方を前記レンズユニットの光軸に対して垂直な面内に移動させるステージと、
前記レンズユニットの光軸上に基板を保持する第2保持部とを備えたボンディング装置であって、
前記第2保持部は、前記レンズユニットの先端と前記基板の表面との距離が前記レンズユニットの作動距離になるように配設されている
ことを特徴とするボンディング装置。
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JPH0228343A (ja) * | 1988-06-13 | 1990-01-30 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 素子と基板の位置合わせ・接続装置 |
JPH0235000A (ja) * | 1988-07-25 | 1990-02-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 部品装着方法及びその装置 |
JP2000244195A (ja) * | 1999-02-17 | 2000-09-08 | Rohm Co Ltd | フリップチップ装着装置のチップ位置認識装置 |
WO2014178265A1 (ja) * | 2013-04-30 | 2014-11-06 | 株式会社日立製作所 | 基板処理装置および基板処理方法 |
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