JP2020063924A - 気液分離装置及び低沸点化合物の検出装置 - Google Patents
気液分離装置及び低沸点化合物の検出装置 Download PDFInfo
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Abstract
Description
30 分離部
60 保護材
61 底部
62 両側部
SP 試料液流路板
GP ガスチャンバ
CP キャリア液流路板
SF1 第1気液分離膜
SF2 第2気液分離膜
GR1 第1の溝
GR2 第2の溝
GR3 第3の溝
Claims (6)
- 試料液の通路をなす第1の溝を内面に有する第1の板状部材と、
前記試料液から気化した分離ガスの通路をなす第2の溝を有する第2の板状部材と、
前記分離ガスが溶解するキャリア液の通路をなす第3の溝を内面に有する第3の板状部材と、
前記第1の板状部材と前記第2の板状部材との間に挟持された第1気液分離膜と、
前記第2の板状部材と前記第3の板状部材との間に挟持された第2気液分離膜と、を備え、
前記第1の溝、前記第2の溝、及び前記第3の溝は、互いに整合するように形成されていて、前記第2の溝は、前記第1の溝及び前記第3の溝に前記気液分離膜を介して連通するように、前記第2の板状部材を貫通して形成されており、
前記第1の板状部材又は前記第3の板状部材のうちの一方の板状部材の外側から、前記第1の板状部材又は前記第3の板状部材のうちの前記一方の板状部材を貫通して、前記第2の溝の一端に連通するパージガス流入孔と、
前記第1の板状部材又は前記第3の板状部材のうちの一方の板状部材の外側から、前記第1の板状部材又は前記第3の板状部材のうちの前記一方の板状部材を貫通して、前記第2の溝の他端に連通するパージガス流出孔と、が設けられており、
前記第2の溝の一端には、前記パージガス流入孔に対向する前記気液分離膜に隣接した面に、前記パージガスの流入を受け止める、気液分離膜の保護材が配置されていることを特徴とする気液分離装置。 - 前記第2の溝の他端には、前記パージガス流出孔に対向する前記気液分離膜に隣接した面にもう1つの気液分離膜の保護材が配置されている、請求項1に記載の気液分離装置。
- 前記保護材は、前記第2の溝の前記パージガス流出孔又は前記パージガス流入孔に対向する面を覆うように配置された底部と、該底部の両側から前記第2の溝の前記の流路方向の内壁に沿って設けられた両側部とを有する、請求項1又は2に記載の気液分離装置。
- 前記保護材は、前記両側部が一端に向けて次第に近づくテーパ状をなしており、前記保護材の一端が前記第2の溝の端部に配置された前記パージガス流出孔又は前記パージガス流入孔を覆うように配置される、請求項3に記載の気液分離装置。
- 前記保護材は、フッ素樹脂からなる、請求項1乃至4のいずれか1項に記載の気液分離装置。
- 請求項1乃至5のいずれか1項に記載された気液分離装置と、
前記キャリア液に含まれる成分を分析する検出部と、
を有することを特徴とする低沸点化合物の検出装置。
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