JP2020061498A - 基板収納容器 - Google Patents
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Abstract
Description
(2)上記(1)の態様において、前記搬送部品は、前記係止部材を挿入する取付開口が形成され、前記係止部材は、前記取付開口に挿入されることで、前記係止用突起に接触してもよい。
(3)上記(1)又は(2)の態様において、前記係止部材は、前記搬送部品に係止される係止片を有してもよい。
(4)上記(3)の態様において、前記係止片は、弾性変形可能に形成されてもよい。
(5)上記(3)又は(4)の態様において、前記搬送部品は、前記容器本体の開口部側に、前記係止片を操作可能な切欠部が形成されてもよい。
搬送部品30を取付ける取付機構40は、容器本体20の天井壁22に射出成形による一体成形で形成されている。そのため、取付機構40は、容器本体20と同様の成形材料で形成されている。
上記実施形態では、搬送部品30の着脱方向は、開口部21側と、開口部21とは反対の背面壁24側とを結ぶ前後方向(Y軸方向)であったが、着脱方向はこの方向に限らず、X軸方向でもよく、X軸方向からY軸方向に傾斜した方向であってもよい。また、上記実施形態では、接触面44a及び係止面51aの延在方向は、搬送部品30の着脱方向と直交していたが、搬送部品30の形状及び構造に応じて、搬送部品30の着脱方向に対して傾斜させてもよい。
10 蓋体
20 容器本体
21 開口部、22 天井壁、23 側壁、24 背面壁、26 ベースプレート
30 搬送部品
31 部品本体、311 切欠部、32 被挟持板、33 フランジ、331 凹部、
332 取付開口、333 角孔、334 流通口、35 補強リブ
40 取付機構
41,42 支持レール、43 ストッパ、44 係止用突起、44a 接触面
50 係止部材
51 係止本体、51a 係止面、52 上面ストッパ、53 係止片、54 係止用爪
F 正面、B 後方
Claims (5)
- 蓋体により閉鎖される開口部を有し、複数枚の基板を収納可能な容器本体と、
前記容器本体に設けられた取付機構に着脱自在に取付けられる搬送部品と、
前記取付機構及び前記搬送部品に対して別部品である係止部材と、を備え、
前記取付機構は、係止用突起を有し、
前記搬送部品は、前記係止部材が前記係止用突起に接触することで、前記取付機構に係止される、
ことを特徴とする基板収納容器。 - 前記搬送部品は、前記係止部材を挿入する取付開口が形成され、
前記係止部材は、前記取付開口に挿入されることで、前記係止用突起に接触する、
ことを特徴とする請求項1に記載の基板収納容器。 - 前記係止部材は、前記搬送部品に係止される係止片を有する、
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の基板収納容器。 - 前記係止片は、弾性変形可能に形成されている、
ことを特徴とする請求項3に記載の基板収納容器。 - 前記搬送部品は、前記容器本体の開口部側に、前記係止片を操作可能な切欠部が形成されている、
ことを特徴とする請求項3又は4に記載の基板収納容器。
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Citations (2)
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US20110005966A1 (en) * | 2009-07-10 | 2011-01-13 | Ming-Chien Chiu | Foup and robotic flange thereof |
JP2013546176A (ja) * | 2010-10-19 | 2013-12-26 | インテグリス・インコーポレーテッド | ロボットフランジを有する前面開口ウェーハ容器 |
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- 2018-10-11 JP JP2018192907A patent/JP7127245B2/ja active Active
Patent Citations (2)
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US20110005966A1 (en) * | 2009-07-10 | 2011-01-13 | Ming-Chien Chiu | Foup and robotic flange thereof |
JP2013546176A (ja) * | 2010-10-19 | 2013-12-26 | インテグリス・インコーポレーテッド | ロボットフランジを有する前面開口ウェーハ容器 |
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