JP2020055041A - 硬質被覆層が優れた耐チッピング性を発揮する表面切削工具 - Google Patents
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Abstract
Description
ただ、前記従来のTi−Al系の複合窒化物層や複合炭窒化物層を被覆形成した被覆工具は、比較的耐摩耗性に優れるものの、高速断続切削条件で用いた場合にチッピング等の異常損耗を発生しやすいことから、硬質被覆層の改善についての種々の提案がなされている。
0.02≦a≦0.2、0.8≦b≦0.95、a+b+c=1、0.5≦d≦1(Mは1種または2種以上の金属又は半金属元素であり、a、b、cはそれぞれTi、Al、Mの原子比を示す、dはNの原子比を示す。以下同じ)の組成の硬質皮膜を、少なくとも1層以上被覆したことを特徴とする硬質皮膜被覆工具が記載されている。
そこで、本発明は、合金鋼、鋳鉄等の高速断続切削加工時にも硬質被覆層が優れた耐チッピング性を長期にわたって発揮する被覆工具を提供することを目標とする。
なお、特許文献1では、A層に含まれるM成分としてMnが示され、M成分を特定量含むことにより硬度が飛躍的に向上する旨の記載があるが、特許文献1に記載された硬質被覆層は、耐摩耗性と靱性を向上させるA層と耐熱性と潤滑性を向上させるB層とをC層を挟んで交互に積層するものであって、前記知見を示唆すらしないものである。
「(1)炭化タングステン基超硬合金、炭窒化チタン基サーメットまたは立方晶窒化ホウ素基超高圧焼結体のいずれかで構成された工具基体の表面に、硬質被覆層が設けられた表面被覆切削工具において、
(a)前記硬質被覆層が、平均層厚1.0〜20.0μmのTiとAlとMnの複合窒化物層または複合炭窒化物層を少なくとも含み、
(b)前記TiとAlとMnの複合窒化物層または複合炭窒化物層は、工具基体の表面と垂直な縦断面から分析した場合、NaCl型の面心立方構造を有する結晶粒を70面積%以上含み、
(c)前記TiとAlとMnの複合窒化物層または複合炭窒化物層は、その組成が、
組成式:(Ti1−α―βAlαMnβ)(CγN1−γ)
で表わされ、AlのTiとAlとMnの合量に占める平均含有割合α、MnのTiとAlとMnの合量に占める平均含有割合βおよびCのCとNの合量に占める平均含有割合γ(但し、α、β、γはいずれも原子比)が、それぞれ、0.500≦α≦0.900、0.005≦β≦0.150、0.505≦α+β≦0.950かつ0.0000≦γ≦0.0050を満足し、
(d)前記TiとAlとMnの複合窒化物層または複合炭窒化物層の前記NaCl型の面心立方構造を有する結晶粒は、柱状結晶組織を有し、その結晶粒の平均粒子幅Wが0.1〜3.0μm、平均アスペクト比Aが2.0〜10.0であることを特徴とする表面被覆切削工具。
(2)前記TiとAlとMnの複合窒化物層または複合炭窒化物層の縦断面を観察したとき、前記NaCl型の面心立方構造を有する結晶粒の結晶粒界にMnが存在し、かつ、Mnが存在する粒界の長さは、前記NaCl型の面心立方構造を有する結晶粒の全粒界の長さの0.1〜10.0%であることを特徴とする前記(1)に記載の表面被覆切削工具。
(3)前記TiとAlとMnの複合窒化物層または複合炭窒化物層は、微量のClを含有し、CとNとClの合量に占めるClの含有割合ε(但し、εは原子比)は0.0001≦ε≦0.0020を満足することを特徴とする前記(1)または(2)に記載の表面被覆切削工具。
(4)前記TiとAlとMnの複合窒化物層または複合炭窒化物層は、Siをさらに含み、その組成が、
組成式:(Ti1−α―β―δAlαMnβSiδ)(CγN1−γ)
で表わされ、AlのTiとAlとMnとSiの合量に占める平均含有割合α、MnのTiとAlとMnとSiの合量に占める平均含有割合βおよびCのCとNの合量に占める平均含有割合γ、SiのTiとAlとMnとSiの合量に占める平均含有割合δ(但し、α、β、γ、δはいずれも原子比)とするとき、AlのTiとAlとMnの合量に占める平均含有割合α/(1―δ)、MnのTiとAlとMnの合量に占める平均含有割合β/(1―δ)、SiのTiとAlとMnとSiの合量に占める平均含有割合δおよびCのCとNの合量に占める平均含有割合γが、それぞれ、0.500≦α/(1―δ)≦0.900、0.005≦β/(1―δ)≦0.150、0.005≦δ≦0.150かつ0.505≦(α+β)/(1―δ)≦0.950、0.0000≦γ≦0.0050を満足すること、
を特徴とする前記(1)乃至(3)のいずれかに記載の表面被覆切削工具。」
である。
本発明の硬質被覆層は、組成式:(Ti1−α−β−δAlαMnβSiδ)(CγN1−γ)で表されるTiAlMn(Si)CN層(Siは任意添加成分であるためSiを括弧で囲んで表した)を少なくとも含む。このTiAlMn(Si)CN層は、硬さが高く、優れた耐チッピング性、耐摩耗性を有するが、特に平均層厚が1.0〜20.0μmのとき、その効果が際立って発揮される。これは、平均層厚が1.0μm未満では、層厚が薄いため長期の使用にわたっての耐摩耗性を十分確保することができず、一方、その平均層厚が20.0μmを超えると、TiAlMn(Si)CN層の結晶粒が粗大化しやすくなり、チッピングを発生しやすくなる。
したがって、その平均層厚を1.0〜20.0μmと定めた。より好ましくは2.0〜15.0μmである。
また、ここでいうTiAlMn(Si)CN層は、微量であればO元素やCl元素等の不可避的に含まれることがある元素があっても前述の発明の効果を損なわない。O元素については出来るだけ含まない方が良い。また、後述するように、Cl元素は所定量であれば、前記層の靭性を低下させずに潤滑性を高めることができる。
前記TiAlMn(Si)CN層において、NaCl型の面心立方晶構造を有する結晶粒が、面積割合として70面積%以上であることが好ましい。これにより、高硬度であるNaCl型の面心立方晶構造を有する結晶粒の面積割合が六方晶構造の結晶粒に比べて相対的に高くなり、硬さが向上するという効果を得ることができる。この面積割合は、85面積%以上がより好ましい。
ここで、NaCl型の面心立方構造の面積割合は以下のような手順で算出できる。NaCl型の面心立方構造を有する結晶粒の面積割合は高分解能電子線後方散乱回折装置を用いて縦断面(工具基体に垂直な断面)において層厚方向に0.02μm間隔で、幅10μm、縦は層厚(平均層厚)の範囲内での測定を実施し、全測定点に占めるTiAlMn(Si)CN層を構成するNaCl型面心立方構造を有する測定点数を求め、面積割合を求める。同様の測定を5視野以上で繰り返し平均値を算出することで、TiAlMn(Si)CN層のNaCl型の面心立方構造を有する結晶粒が占める面積割合(面積%)を求める。
(1)本発明におけるSiを含有しないときのTiAlMn(Si)CN層の組成は、
組成式:(Ti1−α―βAlαMnβ)(CγN1−γ)で表され、
AlのTi、Al、Mnの合量に占める平均含有割合(以下、「Alの平均含有割合」という)αが、
MnのTi、Al、Mnの合量に占める平均含有割合(以下、「Mnの平均含有割合」という)βが、
CのC、Nの合量に占める平均含有割合(以下、「Cの平均含有割合」という)γが、
それぞれ、0.500≦α≦0.900、0.005≦β≦0.150、0.505≦α+β≦0.950、0.0000≦γ≦0.0050(但し、α、β、γはいずれも原子比)を満足するように定める。
その理由は、以下のとおりである。
Alの平均含有割合αが0.500未満であると、TiAlMn(Si)CN層は硬さが劣るため、合金鋼や鋳鉄等の高速断続切削に供した場合には、耐摩耗性が十分でなく、一方、0.900を超えると硬さが劣る六方晶を含有しやすくなり、耐摩耗性が低下する。したがって、0.500≦α≦0.900としたが、より好ましくは0.750≦α≦0.900である。
Mnの平均含有割合βが0.005未満であると、高温強度を確保できず異常損傷を生じやすくなる。また、0.150を超えると高温硬さを確保できなくなり、耐摩耗性が低下する。
また、Cの平均含有割合γを0.0000≦γ≦0.0050と定めたのは、この範囲において耐チッピング性を保ちつつ硬さを向上させることができるためである。
組成式:(Ti1−α―β―δAlαMnβSiδ)(CγN1−γ)で表され、
AlのTi、Al、Mnの合量に占める平均含有割合(以下、「Si含有量で補正されたAlの平均含有割合」という)α/(1−δ)が、
MnのTi、Al、Mnの合量に占める平均含有割合(以下、「Si含有量で補正されたMnの平均含有割合」という)β/(1−δ)が、
SiのTi、Al、Mn、Siの合量に占める平均含有割合(以下、「Siの平均含有割合」という)δが、
CのC、Nの合量に占める平均含有割合(以下、「Cの平均含有割合」という)γが、
それぞれ、0.500≦α/(1−δ)≦0.900、0.005≦β/(1−δ)≦0.150、0.005≦δ≦0.150、0.0000≦γ≦0.0050(但し、α、β、γ、δはいずれも原子比)を満足するように定める。
その理由は、Si含有量で補正されたAl、Mn、Cの平均含有割合については、前述のAl、Mn、Cの平均含有割合と同様であり、Siの平均含有割合については、0.0050未満であると高温強度を確保できず異常損傷を生じやすくなるためであり、また、0.150を超えると高温硬さを確保できなくなり、耐摩耗性が低下するためである。
なお、0.005≦δ≦0.150であるとき、AlのTi、Al、Mn、Siの合量に占める平均含有割合αの取り得る範囲は、小数点第3位までの表記で、0.425≦α≦0.896である。同様にMnのTi、Al、Mn、Siの合量に占める平均含有割合βの取り得る範囲は、0.004≦β≦0.149である。これら二式はともに左辺の等号成立はδ=0.150のとき、右辺の等号成立はδ=0.005のときである。ただし、α、βの関係は同時に0.505≦(α+β)/(1―δ)≦0.950を満足しなければならない。また、この式からα+β+δが少なくとも満たすべき範囲は、0.505×(1―δ)+δ≦α+β+δ≦0.950×(1―δ)+δゆえ、0.505+0.495δ≦α+β+δ≦0.950+0.05δとなり、少なくとも0.507<α+β+δ≦0.958を満たす。なお、下限は少数第4位を四捨五入した。示した下限に最も近い値を与えるのはδ=0.005のときであり、右辺の等号成立のときはδ=0.150のときである。
本発明の硬質被覆層は微量のClを含んでもよい。本発明の硬質被覆層におけるTiAlMn(Si)CN層の成膜に際して、反応ガス成分としてHClガスを用いた場合、あるいは用いなくてもAlCl3、TiCl4、SiCl4を使用することから、TiAlMn(Si)CN層中には微量のClが不可避的に含有されるが、CとNとClの合量に対して、その平均含有割合ε(原子比)は、0.0001≦ε≦0.0020であることが好ましい。その理由は、Clの量がこの範囲にあるとき、前記層の靭性を低下させずに潤滑性を高めることができるためである。しかし、平均塩素含有割合が0.0001未満であると潤滑性向上効果は少なく、一方、平均塩素含有割合が0.0020を超えると、耐チッピング性が低下するため好ましくない。
また、Cの平均含有割合γについては、二次イオン質量分析(Secondary−Ion−Mass−Spectrometry:SIMS)により求める。イオンビームを試料表面側から70μm×70μmの範囲に照射し、スパッタリング作用によって放出された成分について深さ方向の濃度測定を行い、Cの平均含有割合γはTiAlMn(Si)CN層についての深さ方向の平均値を求める。
本発明において、TiAlMn(Si)CN層は柱状結晶組織を有し、その組織における結晶粒の縦断面における平均粒子幅Wが0.1〜3.0μm、平均アスペクト比Aが2.0〜10.0であることが望ましい。その理由は、次のとおりである。平均粒子幅Wが0.1μmよりも小さい微粒結晶になると粒界の増加による耐塑性変形性の低下、耐酸化性の低下により異常損傷に至りやすくなる。一方、平均粒子幅Wが3.0μmよりも大きくなると粗大に成長した粒子の存在により、靱性が低下しやすくなる。また、平均アスペクト比Aが2.0よりも小さい粒状結晶になると切削時に皮膜表面に生じるせん断応力に対してその界面が破壊起点となりやすくなってしまいチッピングの原因となる。また、平均アスペクト比Aが10.0を超えると、切削時に刃先に微小なチッピングが生じ、隣り合う柱状結晶組織に欠けが生じた場合に、硬質被覆層表面に生じるせん断応力に対しての抗力が小さくなりやすく、柱状結晶組織が破断することで一気に損傷が進行し、大きなチッピングを生じる。したがって、結晶粒の平均粒子幅Wが0.1〜3.0μm、平均アスペクト比Aが2.0〜10.0であることが望ましい。
前記TiAlMn(Si)CN層のNaCl型の面心立方構造を有する結晶粒の結晶粒界にMnが存在し、かつ、Mnが存在する粒界の長さは、当該結晶粒の全粒界長さの合計の0.1〜10.0%であることが好ましい。その理由は、粒界にMnが適量存在することにより、切削時に粒界に沿って進展することが多い亀裂の進展を抑制する効果を発揮するためである。当該結晶粒の全粒界長さに占めるMn元素が存在する粒界の長さが0.1%よりも小さいと前記効果が十分に得られず、10.0%を超えると、粒界における強度が減少し亀裂が発生しやすくなり、異常損傷を生じやすくなるためである。
当該結晶粒の全粒界長さに占めるMn元素が存在する粒界の長さの割合の算出方法について、以下に説明する。前述の高分解能電子線後方散乱回折装置による粒界のマッピングに加え、同時にFE(Field Emission)−EPMAの組成マッピングを行い、粒界上にMn元素が検出された結晶粒の粒界の合計の長さを算出し、全粒界長さに占める割合を計算することにより求めることができる。なお、FE−EPMAの測定間隔はEBSDと同等以下(0.02μm間隔以下)で実施する。
本発明では、硬質被覆層として前記TiAlMn(Si)CN層を設けることによって十分な耐チッピング性、耐摩耗性を有するが、Tiの炭化物層、窒化物層、炭窒化物層、炭酸化物層および炭窒酸化物層のうちの1層または2層以上からなり、0.1〜20.0μmの合計平均層厚を有するTi化合物層を含む下部層を設けた場合、および/または、少なくとも酸化アルミニウム層を含む上部層が1.0〜25.0μmの合計平均層厚で設けられた場合には、これらの層が奏する効果と相俟って、一層優れた特性を発揮することができる。
Tiの炭化物層、窒化物層、炭窒化物層、炭酸化物層および炭窒酸化物層のうちの1層または2層以上からなり、0.1〜20.0μmの合計平均層厚を有するTi化合物層を含む下部層を設ける場合、下部層の合計平均層厚が0.1μm未満では、下部層の効果が十分に奏されず、一方、20.0μmを超えると結晶粒が粗大化し易くなり、チッピングを発生しやすくなる。また、酸化アルミニウム層を含む上部層の合計平均層厚が1.0μm未満では、上部層の効果が十分に奏されず、一方、25.0μmを超えると結晶粒が粗大化し易くなり、チッピングを発生しやすくなる。
本発明のTiAlMn(Si)CN層は、例えば、次のようにして作製することができる。
反応ガス組成(%は容量%を表し、ガス群Aとガス群Bの和を100容量%とする)
ガス群A:NH3:2.00〜3.00%、H2:15.00〜25.00%、
N2:15.00〜25.00%
ガス群B:AlCl3:0.50〜1.00%、TiCl4:0.07〜0.50%、
C2H4:0.00〜0.50%、HCl:0.00〜0.10%、
SiCl4:0.00〜0.20%、
Mn(C5H5)2:0.01〜0.20%、H2:残
反応雰囲気圧力:4.5〜5.0kPa
反応雰囲気温度:700〜850℃
供給周期:1.00〜5.00秒
1周期当たりのガス供給時間:0.15〜0.25秒
ガス群Aとガス群Bとの供給の位相差:0.10〜0.20秒
なお、以下の実施例では、工具基体として、WC基超硬合金を用いた場合について説明するが、TiCN基サーメットおよびcBN基超高圧焼結体を工具基体として用いた場合も同様である。また、被覆工具としてはインサートに限らず、ドリル、メタルソー、リーマー、タップなどの切削工具に、本発明の被覆工具は好適に使用できることは言うまでもない。
CVD成膜条件は、次のとおりである。
表3に示される形成条件A〜K、すなわち、NH3とH2、N2とからなるガス群Aと、AlCl3、TiCl4、C2H4、HCl、SiCl4、Mn(C5H5)2、H2からなるガス群B、および、おのおのガスの供給方法として、反応ガス組成(%は、ガス群Aおよびガス群Bを合わせた全体に対する容量%)を、ガス群AとしてNH3:2.00〜3.00%、H2:15.00〜25.00%、N2:15.00〜25.00%、ガス群BとしてAlCl3:0.50〜1.00%、TiCl4:0.07〜0.50%、C2H4:0.00〜0.50、HCl:0.00〜0.10%、SiCl4:0.00〜0.20%、Mn(C5H5)2:0.01〜0.20%、H2:残、反応雰囲気圧力:4.5〜5.0kPa、反応雰囲気温度:700〜850℃、供給周期1.00〜5.00秒、1周期当たりのガス供給時間0.15〜0.25秒、ガス群Aとガス群Bの供給の位相差0.10〜0.20秒とし、所定時間熱CVD法による蒸着形成を行った。
なお、本発明被覆工具1〜11、14、15、17〜19、21、22については、表2に示される形成条件で、表4に示される下部層および/または上部層を形成した。
なお、比較被覆工具2、3、5、6、8、10、14、16については、表2に示される形成条件で、表4に示される下部層および/または上部層を形成した。
また、NaCl型の面心立方構造を有する結晶粒子の割合、組成、柱状結晶組織を有する結晶粒の平均粒子幅W、アスペクト比Aを前述の方法で測定した。なお、平均粒子幅WとアスペクトAの測定は20点で行った。
なお、Mnの原子比β、Siの原子比δについて、それぞれ、表5、6中で0.001未満、0.0001未満と記載しているものは、検出限界以下の含有量であり、Mn、Siを含んでいないと扱うことができるものであって、表6に示す比較被覆工具では、Mn、Siを同時に含んだ例がないため、α/(1―δ)、β/(1―δ)および(α+β)/(1―δ)は求めていない。
なお、当該結晶粒の全粒界長さに占めるMn元素が存在する粒界の長さの割合の算出にあたり、FE−EPMAの測定は0.02μm間隔で実施した。
<切削試験1>
カッタ径: 80mm
被削材: JIS・FCD700 幅60mm、長さ400mmのブロック材
回転速度: 1393/min
切削速度: 350m/min
切り込み: 2.0mm
一刃送り量: 0.2mm/刃
切削時間: 20分
(通常切削速度は、150〜250m/min)
表7に切削試験の結果を示す。なお、比較被覆工具1〜8については、チッピング発生が原因で切削試験終了前に寿命に至ったため、寿命に至るまでの時間を示す。
<切削試験2>
被削材: JIS・FCD700 長さ方向等間隔8本溝入り
切削速度: 350m/min
切り込み: 1.0mm、
送り: 0.2mm/rev、
切削時間: 5分
(通常切削速度は、150〜200m/min)
表7に切削試験の結果を示す。なお、比較被覆工具9〜16については、チッピング発生が原因で切削試験終了前に寿命に至ったため、寿命に至るまでの時間を示す。
これに対して、本発明の被覆工具に規定される事項を一つでも満足していない比較被覆工具は、合金鋼や鋳鉄等の高速断続切削加工に用いると、チッピングが発生し短時間で使用寿命に至っている。
Claims (4)
- 炭化タングステン基超硬合金、炭窒化チタン基サーメットまたは立方晶窒化ホウ素基超高圧焼結体のいずれかで構成された工具基体の表面に、硬質被覆層が設けられた表面被覆切削工具において、
(a)前記硬質被覆層が、平均層厚1.0〜20.0μmのTiとAlとMnの複合窒化物層または複合炭窒化物層を少なくとも含み、
(b)前記TiとAlとMnの複合窒化物層または複合炭窒化物層は、工具基体の表面と垂直な縦断面から分析した場合、NaCl型の面心立方構造を有する結晶粒を70面積%以上含み、
(c)前記TiとAlとMnの複合窒化物層または複合炭窒化物層は、その組成が、
組成式:(Ti1−α―βAlαMnβ)(CγN1−γ)
で表わされ、AlのTiとAlとMnの合量に占める平均含有割合α、MnのTiとAlとMnの合量に占める平均含有割合βおよびCのCとNの合量に占める平均含有割合γ(但し、α、β、γはいずれも原子比)が、それぞれ、0.500≦α≦0.900、0.005≦β≦0.150、0.505≦α+β≦0.950かつ0.0000≦γ≦0.0050を満足し、
(d)前記TiとAlとMnの複合窒化物層または複合炭窒化物層の前記NaCl型の面心立方構造を有する結晶粒は、柱状結晶組織を有し、その結晶粒の平均粒子幅Wが0.1〜3.0μm、平均アスペクト比Aが2.0〜10.0であることを特徴とする表面被覆切削工具。 - 前記TiとAlとMnの複合窒化物層または複合炭窒化物層の縦断面を観察したとき、前記NaCl型の面心立方構造を有する結晶粒の結晶粒界にMnが存在し、かつ、Mnが存在する粒界の長さは、前記NaCl型の面心立方構造を有する結晶粒の全粒界の長さの0.1〜10.0%であることを特徴とする請求項1に記載の表面被覆切削工具。
- 前記TiとAlとMnの複合窒化物層または複合炭窒化物層は、微量のClを含有し、CとNとClの合量に占めるClの含有割合ε(但し、εは原子比)は0.0001≦ε≦0.0020を満足することを特徴とする請求項1または2に記載の表面被覆切削工具。
- 前記TiとAlとMnの複合窒化物層または複合炭窒化物層は、Siをさらに含み、その組成が、
組成式:(Ti1−α―β―δAlαMnβSiδ)(CγN1−γ)
で表わされ、AlのTiとAlとMnとSiの合量に占める平均含有割合α、MnのTiとAlとMnとSiの合量に占める平均含有割合βおよびCのCとNの合量に占める平均含有割合γ、SiのTiとAlとMnとSiの合量に占める平均含有割合δ(但し、α、β、γ、δはいずれも原子比)とするとき、AlのTiとAlとMnの合量に占める平均含有割合α/(1―δ)、MnのTiとAlとMnの合量に占める平均含有割合β/(1―δ)、SiのTiとAlとMnとSiの合量に占める平均含有割合δおよびCのCとNの合量に占める平均含有割合γが、それぞれ、0.500≦α/(1―δ)≦0.900、0.005≦β/(1―δ)≦0.150、0.005≦δ≦0.150かつ0.505≦(α+β)/(1―δ)≦0.950、0.0000≦γ≦0.0050を満足すること、
を特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の表面被覆切削工具。
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