JP2020051798A - Ｘ線検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】軽量な被検査物であっても遮蔽カーテンによる引っ掛かりや転倒、姿勢変化を生じさせることなく、安定した検査を可能とすることができるＸ線検査装置を提供する。【解決手段】搬送手段５によって検査空間３内に搬入した被検査物ＷにＸ線を照射するＸ線発生器と、被検査物を透過するＸ線を検出して透過量に応じた濃度データを出力するＸ線検出器と、Ｘ線発生器が照射するＸ線が検査空間の外部に漏洩することを防止する遮蔽カーテン８と、を備え、Ｘ線検出器から出力される濃度データに基づいたＸ線画像を処理して被検査物Ｗの検査を行うＸ線検査装置１において、被検査物Ｗの少なくとも搬送方向下流側に位置して被検査物Ｗの代わりに遮蔽カーテン８を押し退ける押し退け部材９と被検査物Ｗとが一緒に検査空間に搬入されて得られる押し退け部材９を含んだ検査Ｘ線画像に対し、押し退け部材９に対応する検査Ｘ線画像の縁部を検査対象領域外としてマスク設定して検査を行う画像処理部を備える。【選択図】 図１

Description

本発明は、Ｘ線検査装置に関する。

Ｘ線検査装置は、検査空間内に搬入した被検査物にＸ線を照射し、Ｘ線検出器から出力される濃度データに基づいたＸ線画像を処理して被検査物の検査を行う。検査空間内や検査空間の搬入開口には、Ｘ線が外部に漏洩することを防止するための遮蔽カーテンが備えられている。遮蔽カーテンは、鉛等の遮蔽物質を練り込んだゴム等により複数の短冊状に形成される。そのため、軽量の被検査物は、遮蔽カーテンを押し退けて検査空間内に入ろうとすると、遮蔽カーテンから受ける反力で引っ掛かりや転倒、姿勢変化などが生じる。

そこで、特許文献１には、被検査物の外形に合せて、被検査物の通過する開口部が任意の形状に設定できるＸ線検査装置が提案されている。この開口部には、横方向に移動可能とされた一対の第１遮蔽材と、縦方向に開閉可能な第２遮蔽材とから構成された遮蔽ゲートが設けられている。これにより、遮蔽カーテンを不要としている。

特開２０１８−７７０９１号公報

しかしながら、特許文献１のＸ線検査装置は、通過する被検査物に応じ開口部の形状を設定できるが、複雑な構造の遮蔽ゲートを設置する分、装置コストが増大する。また、遮蔽ゲートは、通過する被検査物に応じ開口部の形状が決まっていることから、その被検査物の形状が一定でない場合には使用できない場合もある。そのため、Ｘ線検査装置においては、安価な構成で、安定した検査を実現させたい要請がある。

本発明は上記状況に鑑みてなされたもので、その目的は、軽量な被検査物であっても遮蔽カーテンによる引っ掛かりや転倒、姿勢変化を生じさせることなく、安定した検査を可能とすることができるＸ線検査装置を提供することにある。

次に、上記の課題を解決するための手段を、実施の形態に対応する図面を参照して説明する。
本発明の請求項１記載のＸ線検査装置１は、搬送手段５によって検査空間３内に搬入した被検査物ＷにＸ線を照射するＸ線発生器と、前記被検査物Ｗを透過するＸ線を検出して透過量に応じた濃度データを出力するＸ線検出器と、前記Ｘ線発生器が照射するＸ線が前記検査空間３の外部に漏洩することを防止する遮蔽カーテン８と、を備え、前記Ｘ線検出器から出力される濃度データに基づいたＸ線画像を処理して前記被検査物Ｗの検査を行うＸ線検査装置１において、
前記被検査物Ｗの少なくとも搬送方向下流側に位置して前記被検査物Ｗの代わりに前記遮蔽カーテン８を押し退ける押し退け部材９と前記被検査物Ｗとが一緒に前記検査空間３に搬入されて得られる前記押し退け部材９を含んだ検査Ｘ線画像に対し、前記押し退け部材９に対応する該検査Ｘ線画像の縁部を検査対象領域外としてマスク設定して検査を行う画像処理部を備えることを特徴とする。

このＸ線検査装置１では、搬送面Ｓに、被検査物Ｗとともに押し退け部材９が載置され搬送される。押し退け部材９は、搬送方向下流側に位置することで被検査物Ｗの代わりに遮蔽カーテン８の所定枚数の短冊片１４を押し退ける。押し退け部材９は、鉛入りの遮蔽カーテン８に対して、押し戻されることのない最大摩擦力を有する。押し退け部材９は、この最大摩擦力が得られる例えば十分な質量を有して形成される。これにより、被検査物Ｗは、搬送面Ｓに対して押し戻されたり、転倒したり、姿勢が変わるようなことなく、検査空間３内へと搬送される。押し退け部材９により遮蔽カーテン８を通過して検査空間３に進入した被検査物Ｗは、Ｘ線発生器によりＸ線が照射される。Ｘ線の照射された被検査物Ｗと押し退け部材９とは、透過したＸ線の透過量に応じた濃度データがＸ線検出器により検出される。このとき、Ｘ線検査装置１は、画像処理部が、押し退け部材９に対応する検査Ｘ線画像の縁部を検査対象領域外としてマスク設定して検査を行う。これにより、Ｘ線検査装置１は、押し退け部材９が異物として検出されてしまうことがない。

本発明の請求項２記載のＸ線検査装置１は、請求項１に記載のＸ線検査装置であって、前記押し退け部材９は、上下が開放された枠体構造であることを特徴とする。

このＸ線検査装置１では、押し退け部材９が、上下を開放させた枠体構造で形成される。押し退け部材９は、例えば軸線が搬送面Ｓに垂直な角筒や円筒等とすることができる。この場合においても、押し退け部材９は、最大摩擦力が得られる例えば十分な質量を有して形成される。これにより、枠体構造の押し退け部材９は、被検査物Ｗの代わりに遮蔽カーテン８を押し退けることができる。また、押し退け部材９は、搬送面Ｓに載せられた被検査物Ｗを包囲するので、撓んだ後、被検査物Ｗの側部に接触しようとする短冊片１４を遮ることもできる。

本発明の請求項３記載のＸ線検査装置１は、請求項１または２記載のＸ線検査装置１であって、前記押し退け部材９には、前記被検査物Ｗと前記押し退け部材９の内側面９ａとの間に所定距離の隙間１２を形成するための位置決め部材１１が備えられることを特徴とする。

このＸ線検査装置１では、押し退け部材９が位置決め部材１１を有する。位置決め部材１１は、押し退け部材９の内側面９ａに設けられ、押し退け部材内側面９ａと被検査物Ｗとの間に、所定距離の隙間１２を形成する。Ｘ線検査装置１は、位置決め部材１１が設けられていることにより、押し退け部材内側面９ａが所定距離を有して被検査物Ｗから離間する。これにより、押し退け部材９に応じたマスク領域１３を設定する際のマスク領域設定精度を緩和することができる。

本発明に係る請求項１記載のＸ線検査装置によれば、軽量な被検査物であっても、押し退け部材によって遮蔽カーテンによる引っ掛かりや転倒、姿勢変化を生じさせることなく、押し退け部材をマスク処理することで、被検査物のみを検査対象とすることができ、安定した検査を可能とすることができる。

本発明に係る請求項２記載のＸ線検査装置によれば、搬送方向下流側だけでなく、側方から遮蔽カーテンが撓んで被検査物に接触することも抑制できる。

本発明に係る請求項３記載のＸ線検査装置によれば、被検査物が押し退け部材に接近、或いは接触してしまい、被検査物の一部が押し退け部材と一緒にマスクされてしまうことを確実に防止できる。

実施の形態に係るＸ線検査装置の外観を搬送方向上流側の斜め上方より見た斜視図である。 図１に示した押し退け部材の斜視図である。 搬送時において押し退け部材により囲われた搬送面上の被検査物を表す平面図である。 （ａ）は遮蔽カーテンに到達する前の被検査物及び押し退け部材の側面図、（ｂ）は遮蔽カーテンを通過途中の被検査物及び押し退け部材の側面図である。 被検査物の周囲に設定されるマスク領域を表す模式図である。 側面視Ｌ字形に構成される変形例に係る押し退け部材の側面図である。 樹脂製の底板を有する変形例に係る押し退け部材の側面図である。

以下、本発明に係る実施形態を図面を参照して説明する。
図１は実施の形態に係るＸ線検査装置１の外観を搬送方向上流側の斜め上方より見た斜視図である。
本実施形態に係るＸ線検査装置１は、装置本体として筐体２を備えている。筐体２は、装置の各部が取り付けられるフレームであるとともに、外部へのＸ線の漏洩が防止された遮蔽空間である検査空間３を区画する構造体でもある。また、この筐体２には、内部の検査空間３に被検査物Ｗを搬入する搬入口４と、内部の検査空間３から被検査物Ｗを搬出する搬出口（不図示）とが設けられており、搬入口４及び搬出口は連通している。

筐体２の内部には、搬入口４と、検査空間３と、搬出口との間で被検査物Ｗを搬送する搬送手段としてコンベア５が配置されている。

Ｘ線検査装置１のコンベア５は、図１の左手前側から右手奥側に被検査物Ｗを搬送する。その搬送方向の上流側に当たるＸ線検査装置１の一方の隣部には、図１中に矢印Ａ１で搬送方向を示すように、Ｘ線検査装置１のコンベア５に被検査物Ｗを搬入する搬送手段としての搬入コンベア６を具備している。この搬入コンベア６は、被検査物Ｗの製造ライン等に連続しており、製造された製品を被検査物ＷとしてＸ線検査装置１に搬入する。

また、コンベア５の搬送方向の下流側に当たるＸ線検査装置１の他方の隣部には、図１中に矢印Ａ２で搬送方向を示すように、Ｘ線検査装置１のコンベア５から被検査物Ｗを搬出する搬送手段としての搬出コンベア７を具備している。この搬出コンベア７は、検査後の被検査物Ｗの処理ライン等に連続しており、この処理ライン等では検査済みの被検査物Ｗを検査結果に応じて振り分け、対応する後工程に搬送する。なお、この実施の形態では、被検査物Ｗは、搬入コンベア６の幅方向の中央に位置決めされ、所定間隔でＸ線検査装置１に搬入されることになっている。

図示を省略するが、図１に示す筐体２の内部には、検査空間３の上方にＸ線発生器が下向きに配置されている。Ｘ線発生器は、搬入コンベア６、コンベア５によって検査空間Ｗ内に搬入した被検査物ＷにＸ線を照射する。

また、図示を省略するが、図１に示す筐体２の内部には、検査空間３の下方であってコンベア５が搬送する被検査物Ｗより下方の位置に、Ｘ線検出器が配置されている。Ｘ線検出器は、被検査物Ｗを透過するＸ線を検出して透過量に応じた濃度データを出力する。Ｘ線検査装置１は、Ｘ線検出器から出力される濃度データによる検出結果に基づき、制御部（不図示）が判定を行う。すなわち、制御部は、被検査物Ｗに異物が含まれるか否かといった異常の有無を判定する。

筐体２の内部の検査空間３は、搬入口４と搬出口の２つの開口によって被検査物Ｗの搬送方向の前後で外部に開放されている。これら２つの開口には、Ｘ線を遮蔽する遮蔽カーテン８がそれぞれ設けられている。遮蔽カーテン８は、Ｘ線発生器により照射されるＸ線が検査空間３の外部に漏洩することを防止する。Ｘ線検査装置１は、検査空間３から搬入口４及び搬出口を通して外部に漏洩するＸ線が、遮蔽カーテン８により可及的に減少せしめられる。すなわち、Ｘ線検査装置１は、外部に対する必要な遮蔽性能を備えている。なお、図１では、搬入口４側の遮蔽カーテン８のみが表され、搬出口側の遮蔽カーテン８は図示されていない。

図２は図１に示した押し退け部材９の斜視図である。
Ｘ線検査装置１では、被検査物Ｗの代わりに遮蔽カーテン８を押し退ける押し退け部材９が、上方から押し退け部材９の押し退ける部位を下流側にして投入され、搬入口の手前で被検査物Ｗと合体するようになっている。詳細な機構の説明は省略するが、例えば、Ｘ線検査装置１の前段に設置されたコンベアの位置にて作業者等の人の手により投入して合体させ、Ｘ線検査装置１の後段に設置されたコンベアの位置にて作業者等の人の手により回収する。そして、押し退け部材９は、被検査物Ｗの搬送面Ｓ上における移動防止部材としての役割を有する。押し退け部材９は、被検査物Ｗとともに検査空間３へ搬入され、搬出される。押し退け部材９は、被検査物Ｗに応じた形状のものを複数揃えることができる。また、押し退け部材９は、繰り返し使用することができる。なお、押し退け部材９は、ロボットアーム等を用い、被検査物Ｗと合体や回収をするようにしてもよい。

押し退け部材９は、例えば上下が開放された枠体構造とすることができる。図例では、押し退け部材９が四角枠で形成される。押し退け部材９は、鉛入りの遮蔽カーテン８に対して、押し戻されることのない最大摩擦力を有する。押し退け部材９は、この最大摩擦力が得られる例えば十分な質量を有して形成される。このため、押し退け部材９は、四方の枠部を例えばステンレスよりなる板材１０で形成することができる。

図３は搬送時において押し退け部材９により囲われた搬送面Ｓ上の被検査物Ｗを表す平面図である。
押し退け部材９は、位置決め部材１１を有する。位置決め部材１１は、押し退け部材９の内側面９ａ、本実施形態では各板材１０の下縁中央位置にそれぞれ固定される。位置決め部材１１は、押し退け部材９の内側に配置される被検査物Ｗと内側面９ａとの間に所定距離の隙間１２を形成する。すなわち、位置決め部材１１は、被検査物Ｗとの距離をおくため、板材１０と被検査物Ｗとが触れないように設けられる。位置決め部材１１は、例えば樹脂製のブロック状により形成することができる。位置決め部材１１は、樹脂であることでＸ線の影になりにくい。

なお、位置決め部材１１は、押し退け部材９に対して被検査物Ｗが十分に小さい場合は、省略することも可能となる。つまり、位置決め部材１１は、押し退け部材９に対して着脱自在な構成としてもよい。

Ｘ線検査装置１は、被検査物Ｗに対し、Ｘ線画像における押し退け部材９に対応する箇所である縁部を検査対象領域外としてマスク設定して検査を行う画像処理部（不図示）を備える。画像処理部は、上記異物混入による不良品判定処理時に、被検査物Ｗを囲った押し退け部材９を異物として誤認識しないよう画像処理により判断する。不良検出部（不図示）は、押し退け部材９を異物として検出しない。この不良検出部は、画像処理部における画像処理に関する機能の一つである。

図示を省略するが、不良検出部は、マスク領域設定部、被検査物抽出部、不良判断部を有する。マスク領域設定部には、被検査物ＷのＸ線透過画像上における押し退け部材９の座標軸位置に所定の範囲を有するマスク領域１３（図５参照）を設定する。

マスク領域１３は、被検査物Ｗを基準としてこの被検査物Ｗの所定の座標軸位置上に所定の範囲を有して設定される。被検査物Ｗは、搬送時に先端が位置検出器（不図示）を遮った開始トリガの信号入力時期を基準位置として画像展開される。マスク領域１３についても、この被検査物ＷのＸ線透過画像の基準位置を基準としており、開始トリガの信号入力に同期して設定された座標軸位置上にそれぞれ所定範囲を有して設定される。

被検査物抽出部は、被検査物Ｗ内部の異物判定用としてマスク領域１３を除く被検査物ＷのＸ線透過画像を抽出画像として抽出する。検査対象外である押し退け部材９は、マスク領域１３に位置しており、この抽出画像に押し退け部材９は含まれない。これにより抽出画像におけるＸ線透過量に基づく上記処理により、被検査物Ｗの内部のみの異物検出が行われる。

また、上述したマスク領域１３の設定については、マスク領域１３をＸ線画像の濃度から設定するようにしてもよい。例えば、Ｘ線検出器が検出したＸ線の検出量を濃淡として出力される濃度データに基づいたＸ線画像では、被検査物Ｗと押し退け部材９の部分は、押し退け部材９の周囲となる背景部分より高い濃度の濃い画像となり、さらに、被検査物Ｗよりもその外側に位置することとなる押し退け部材９のほうが高い濃度の画像となる。これらの濃度の違いから、背景部分を除いた検査Ｘ線画像を抽出し、かつ、この検査Ｘ線画像から押し退け部材９に対応する検査Ｘ線画像の縁部を求め、この縁部をマスク領域１３として設定する。

次に、上記した構成の作用を説明する。
本実施形態に係るＸ線検査装置１では、搬送手段であるコンベア５，６によって被検査物Ｗが検査空間３内に搬入される。検査空間３は、筐体２によりＸ線の漏洩が防止される。筐体２には、被検査物Ｗを搬入する搬入口４と、被検査物Ｗを搬出する搬出口とが設けられる。搬入口４及び搬出口には、外にＸ線が漏洩することを防止するための遮蔽カーテン８が取り付けられている。

遮蔽カーテン８は、鉛等の遮蔽物質を練り込んだゴム等からなる複数の短冊片１４を有して形成される。複数の短冊片１４は、一方の短辺部が、搬入口４及び搬出口の上縁に、直線状に固定される。それぞれの短冊片１４は、他方の短辺部が搬送手段の搬送面Ｓに近接して垂下する。複数の短冊片１４は、隣接する短冊片１４との間が、Ｘ線の漏洩を十分に抑制できる距離のスリットを介して搬送面Ｓの幅方向に面状となって並ぶ。従って、複数の短冊片１４は、被検査物Ｗの幅方向に応じた所定枚数のものが、搬送される被検査物Ｗに押し退けられる。

図４（ａ）は遮蔽カーテン８に到達する前の被検査物Ｗ及び押し退け部材９の側面図、（ｂ）は遮蔽カーテン８を通過途中の被検査物Ｗ及び押し退け部材９の側面図である。
押し退けられる短冊片１４は、重力の作用により図４（ａ）に示す垂下した状態から、搬送される被検査物Ｗに押圧されることにより、撓められて押し退けられる。押し退け部材９が使用されない場合では、被検査物Ｗは、最大摩擦力が押し退け力よりも大きいと、遮蔽カーテン８を押し退けることができる。

一方、軽量な被検査物Ｗは、最大摩擦力が押し退け力よりも小さいと、遮蔽カーテン８から受ける反力により押し戻される。このため、必要な押し退け力を生じさせることのできない軽量な被検査物Ｗは、引っ掛かりや転倒、姿勢変化が生じる。
なお、本明細書において、「軽量な被検査物」とは、遮蔽カーテン８に、必要な押し退け力を生じさせることのできない被検査物Ｗを言う。また、「引っ掛かり」とは、短冊片１４に当たった被検査物Ｗが押し戻され、被検査物Ｗの一部分が相対的に移動する搬送面Ｓに摺接する状態、或いは押し戻しによって搬送面Ｓから浮き上がってしまうような状態を言う。

そこで、Ｘ線検査装置１は、搬送面Ｓに、被検査物Ｗとともに図４（ａ）に示す押し退け部材９が載置される。押し退け部材９は、図４（ｂ）に示すように、被検査物Ｗの代わりに遮蔽カーテン８の所定枚数の短冊片１４を押し退ける。押し退け部材９は、鉛入りの遮蔽カーテン８に対して、押し戻されることのない最大摩擦力を有する。押し退け部材９は、この最大摩擦力が得られる例えば十分な質量を有して形成される。

また、押し退け部材９は、遮蔽カーテン８に対向する被検査物Ｗの先端面外形（輪郭）よりも大きい外形（高さ及び幅）を有して形成することができる。従って、被検査物Ｗは、押し退け部材９が遮蔽カーテン８を押し退けているとき、引っ掛かりや転倒、姿勢変化の生じる遮蔽カーテン８との接触がない。これにより、軽量な被検査物Ｗは、搬入口４を安定して通過可能となり、検査空間３に搬入される。

なお、押し退け部材９は、被検査物Ｗの外方を包囲できれば、先端枠面が、被検査物Ｗの先端面外形（輪郭）よりも小さくてもよい。このような押し退け部材９の形状としては、例えば搬送方向下流側が鋭角側となる三角筒や舟形等が挙げられ、このような形状であれば、短冊片１４を左右にかき分けるような動作となる。

図５は被検査物Ｗの周囲に設定されるマスク領域１３を表す模式図である。
押し退け部材９により遮蔽カーテン８を通過して検査空間３に進入した被検査物Ｗは、Ｘ線発生器によりＸ線が照射される。Ｘ線の照射された被検査物Ｗは、透過したＸ線の透過量に応じた濃度データがＸ線検出器により検出される。Ｘ線検査装置１では、この濃度データに基づいたＸ線画像を処理して被検査物Ｗの検査を行う。

このとき、Ｘ線検査装置１は、画像処理部が、押し退け部材９に対応する箇所である縁部を検査対象領域外としてマスク設定して検査を行う。画像処理部は、押し退け部材９に応じた座標軸位置に図５に示す所定範囲のマスク領域１３を設定し、このマスク領域１３で検出された押し退け部材９を異物として認識しないようにする。これにより、Ｘ線検査装置１は、押し退け部材９が異物として検出されてしまい、誤判定や、その後の作動不良、装置を稼働できなくなる異物検出状態への移行が回避される。

検査の終了した軽量な被検査物Ｗは、押し退け部材９が搬出口側の遮蔽カーテン８を押し退けることにより、搬出口を安定して通過し、検査が完了する。

そして、このＸ線検査装置１では、押し退け部材９が、上下を開放させた枠体構造で形成される。押し退け部材９は、例えば軸線が搬送面Ｓに垂直な角筒、円筒等とすることができる。また、押し退け部材９は、搬送面Ｓ側の開放面積が大きい角錐筒、円錐筒とすることができる。なお、押し退け部材９は、これらの形状には限定されない。上下が開放された枠体構造であれば、不定形であってよい。

例えば四角筒（すなわち、四角枠）で形成された押し退け部材９は、上記のように、遮蔽カーテン８に対向する被検査物Ｗの先端面外形（輪郭）よりも大きい外形（高さ及び幅）の先端枠面を有している。この場合においても、押し退け部材９は、最大摩擦力が得られる例えば十分な質量を有して形成される。
これにより、枠体構造の押し退け部材９は、被検査物Ｗの代わりに遮蔽カーテン８を押し退けることができる。また、押し退け部材９は、搬送面Ｓに載せられた被検査物Ｗを包囲するので、撓んだ後、被検査物Ｗの側部に接触しようとする短冊片１４を遮ることもできる。その結果、搬送方向下流側だけでなく、側方から遮蔽カーテン８が撓んで被検査物Ｗに接触することも抑制できる。

また、このＸ線検査装置１では、押し退け部材９が位置決め部材１１を有する。位置決め部材１１は、押し退け部材内側面９ａに設けられ、内側面９ａと被検査物Ｗとの間に、所定距離の隙間１２を形成する。押し退け部材９が例えば四角枠の場合には、各内側面９ａに一つずつの合計４つの位置決め部材１１が設けられる。内側面９ａは、被検査物Ｗと平面視で相似形であれば、各内側面９ａと被検査物Ｗとの隙間１２は、等間隔になる。なお、押し退け部材９と被検査物Ｗとは、相似形でなくてもよい。この場合、各位置決め部材１１は、異なる形状として設定してもよい。

Ｘ線検査装置１は、位置決め部材１１が設けられていることにより、押し退け部材９の内側面９ａが所定距離を有して被検査物Ｗから離間する。これにより、位置決め部材１１を備える押し退け部材９によれば、内側面９ａから離れて被検査物Ｗが配置されることになり、マスク処理の際に被検査物Ｗもマスクされ画像処理されることがない。また、マスクすべき押し退け部材９から離れて被検査物Ｗが位置して搬送されるので、被検査物Ｗのみを確実に検査できる。さらに、隙間１２が確保されることにより、押し退け部材９に応じたマスク領域１３を設定する際のマスク領域設定精度を緩和することができる。

その結果、位置決め部材１１を備える押し退け部材９によれば、被検査物Ｗが押し退け部材９に接近、或いは接触してしまい、被検査物Ｗの一部が押し退け部材９と一緒にマスクされてしまうことを確実に防止できる。

次に、上記した構成の変形例を説明する。
図６は側面視Ｌ字形に構成される変形例に係る押し退け部材９Ａの側面図である。
押し退け部材９Ａは、底板１５がアクリル樹脂などの樹脂材で形成され、搬送方向下流側にのみ板材１０を立設した側面視Ｌ字状の構成としてもよい。底板１５には、被検査物Ｗが載置される。また、底板１５には、位置決め部材１１が設けられる。位置決め部材１１は、例えば底板１５が四角形である場合、板材１０の内側面９ａ、及び各辺ごとの中央部分表面の計四箇所設けられる。

この変形例に係る押し退け部材９Ａによれば、形状を簡素にできる。そして、この押し退け部材９Ａによれば、板材１０を平行に配置した向きで、底板１５を多段状に重ねることで、小さなスペースに収容することができる。また、押し退け部材９Ａは、被検査物Ｗを挟む一対の側板部分がないため、横からのＸ線照射にはＸ線に減衰を生じにくくして、検査精度の低下を抑制することができる。

図７は樹脂製の底板１５を有する変形例に係る押し退け部材９Ｂの側面図である。
押し退け部材９Ｂは、底板１５がある四角枠状に形成してもよい。この場合、底板１５は、Ｘ線が透過するアクリル樹脂などの樹脂製となる。周囲の枠体構造は、ステンレス製とすることができる。従って、押し退け部材９Ｂは、底板１５がアクリル樹脂製、側部がステンレスよりなる板材１０のトレイ、深トレイとも言える。

なお、図示は省略するが、横向き照射のＸ線検査装置の場合、底板１５と、搬送方向下流側の板材１０とは必須となる。この場合、搬送方向下流側の板材１０は、上記同様にステンレス板より構成し、一対の側板は、樹脂製の枠板とすることにより、Ｘ線の透過を可能にすることができる。

また、同様に図示は省略するが、押し退け部材は、底板１５を有し、搬送方向下流側のみに板材１０を立設し、板材１０を搬送方向上流側で支える三角形状の側板、すなわちリブ板状の側板を一対設けてもよい。このような板材１０を支持する一対の側板を備えた押し退け部材によれば、遮蔽カーテン８から受ける反力に対する強度を確保でき、耐久性を高めることができる。

従って、本実施形態に係るＸ線検査装置１によれば、軽量な被検査物Ｗであっても遮蔽カーテン８による引っ掛かりや転倒、姿勢変化を生じさせることなく、安定した検査を可能とすることができる。

１…Ｘ線検査装置
３…検査空間
５…搬送手段（コンベア）
８…遮蔽カーテン
９…押し退け部材
９ａ…内側面
１１…位置決め部材
１２…隙間
Ｗ…被検査物

Claims (3)

1. 搬送手段（５）によって検査空間（３）内に搬入した被検査物（Ｗ）にＸ線を照射するＸ線発生器と、前記被検査物を透過するＸ線を検出して透過量に応じた濃度データを出力するＸ線検出器と、前記Ｘ線発生器が照射するＸ線が前記検査空間の外部に漏洩することを防止する遮蔽カーテン（８）と、を備え、前記Ｘ線検出器から出力される濃度データに基づいたＸ線画像を処理して前記被検査物の検査を行うＸ線検査装置（１）において、
   前記被検査物の少なくとも搬送方向下流側に位置して前記被検査物の代わりに前記遮蔽カーテンを押し退ける押し退け部材（９）と前記被検査物とが一緒に前記検査空間に搬入されて得られる前記押し退け部材を含んだ検査Ｘ線画像に対し、前記押し退け部材に対応する該検査Ｘ線画像の縁部を検査対象領域外としてマスク設定して検査を行う画像処理部を備えることを特徴とするＸ線検査装置。
2. 前記押し退け部材は、上下が開放された枠体構造であることを特徴とする請求項１に記載のＸ線検査装置。
3. 前記押し退け部材には、前記被検査物と前記押し退け部材の内側面（９ａ）との間に所定距離の隙間（１２）を形成するための位置決め部材（１１）が備えられることを特徴とする請求項１または２記載のＸ線検査装置。

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