KR102142036B1 - 다중 연속 엑스레이 검사 방법 및 이를 위한 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 다중 연속 엑스레이 검사 방법 및 이를 위한 장치에 관한 것이고, 구체적으로 적어도 2개의 트레이로부터 이송되는 검사 대상을 연속적으로 자동으로 검사가 되도록 하는 것에 의하여 검사 효율일 향상되도록 하는 다중 연속 엑스레이 검사 방법 및 이를 위한 장치에 관한 것이다. 다중 연속 엑스레이 검사 방법은 적어도 2개의 검사 대상이 배치되는 단계; 상기 적어도 2개의 검사 대상 중 하나가 검사되는 단계; 상기 검사가 완료된 하나가 배출되고 그리고 상기 적어도 2개의 검사 대상 중 다른 하나가 검사되는 단계; 상기 검사가 완료된 다른 하나가 배출되는 단계; 및 상기 검사가 완료된 하나 또는 다른 하나의 위치에 적어도 2개의 검사 대상 중 어느 하나 또는 다른 검사 대상이 배치되는 단계를 포함하고, 상기 검사 대상의 배출, 상기 검사 대상의 배치 및 상기 검사가 진행되는 단계 중 적어도 2개의 단계는 동시에 진행된다.

Description

다중 연속 엑스레이 검사 방법 및 이를 위한 장치{Method for Investigating Article in Multi and Continuous Mode and Apparatus for the Same}
본 발명은 다중 연속 엑스레이 검사 방법 및 이를 위한 장치에 관한 것이고, 구체적으로 적어도 2개의 트레이로부터 이송되는 검사 대상을 연속적으로 자동으로 검사가 되도록 하는 것에 의하여 검사 효율일 향상되도록 하는 다중 연속 엑스레이 검사 방법 및 이를 위한 장치에 관한 것이다.
비파괴 검사의 하나에 해당되는 엑스레이 검사는 건축, 토목, 자동차 부품, 전자 부품, 농산물, 전자 또는 의료 분야에서 결함 관리 또는 생산품의 품질 관리에 적용되고 있다. 예를 들어 비파괴 검사는 부품실장 과정에서 인쇄회로기판의 생산 라인에 적용되어 부품의 납땜 상태를 실시간으로 검사하기 위하여 사용될 수 있다. 엑스레이 검사 장치는 검사 대상에 따라 다수 개의 검사 대상이 연속적으로 검사되도록 하거나 또는 각각의 검사 대상이 차례대로 검사되도록 하는 구조를 가질 수 있다.
특허공개번호 10-2012-0066414는 검사 대상을 엑스레이 검사 영역으로 이동시키는 적어도 하나의 컨베이어; 상기 컨베이어에서 이송되는 검사 대상의 이송 경로를 변경하여 검사 대상을 검사 영역으로 투입하기 위한 이송 가이드; 상기 검사 대상에 엑스레이를 조사하는 엑스레이 튜브; 상기 엑스레이 튜브로 조사된 엑스레이로부터 이미지를 검출하는 디텍터; 상기 검사 영역의 방사선을 차폐하기 위하여 컨베이어에서 검사 대상이 이송되는 제1 이송 경로에 위치하는 제1 차폐 판; 및 상기 컨베이어에서 상기 이송 가이드에 의하여 변경된 제2 이송 경로에 위치하는 제2 차폐 판을 포함하는 엑스레이 검사 장치에 대하여 개시한다.
특허공개번호 10-2014-0021438은 에스레이 차폐를 위한 캐비넷을 형성하는 공간의 제1 측벽에 형성된 제1 개구에 배치되면서 제1 개구를 개폐할 수 있는 입구 도어; 상기 제1 개구를 개폐하도록 상기 입구 도어를 구동하는 입구 도어 구동부; 상기 캐비넷의 상기 제1 측벽에 대향한 제2 측벽에 형성된 제2 개구에 배치되고 그리고 상기 제2 개구를 개폐할 수 있는 출구 도어; 상기 제2 개구를 개폐하도록 상기 출구 도어를 구동하는 출구 도어 구동부; 내부에 엑스-레이 차폐 공간을 형성하도록 상기 캐비넷의 상기 제1 개구에서 상기 제2 개구까지 연장되어 상기 제1 개구 및 제2 개구와 직렬되고 그리고 일면에 상기 엑스-레이 차폐 공간을 개폐할 수 있는 차폐 커버를 구비하는 차폐 챔버; 상기 엑스-레이 차폐 공간을 개폐하도록 상기 차폐 커버를 구동하는 차폐 커버 구동부; 및 외부 명령 또는 제어 프로그램의 제어 프로세서에 따라 상기 입구 도어 구동부, 상기 출구 도어 구동부 및 상기 차폐 커버 구동부를 제어하는 컨트롤러를 포함하는 엑스-레이 차폐 유닛에 대하여 개시한다.
상기 선행기술은 엑스레이 검사 과정에서 컨베이어를 따라 이송되고 그리고 엑스레이의 차폐와 관련된 방법에 대하여 개시한다. 검사 대상에 따라 엑스레이 검사 장치는 각각의 장치에 투입 및 배출이 반복되면서 검사되는 구조를 가질 필요가 있다. 그리고 그와 같은 검사 과정에서 검사 효율을 높일 수 있는 방법 및 장치가 요구된다.
상기 선행기술은 그와 같은 검사 대상에 대한 검사 방법에 대하여 개시하지 않는다.
본 발명은 선행기술이 가진 문제점을 해결하기 위한 것으로 아래와 같은 목적을 가진다.
선행문헌1: 특허공개번호 10-2012-0066414((주)자비스, 2012년06월22일 공개) 차폐 수단을 구비하고, 엑스레이 조사 위치를 변경할 수 있는 엑스레이 검사 장치 선행문헌2: 특허공개번호 10-2014-0021438(주식회사 쎄크, 2014년02월20일 공개) 인라인 엑스-레이 차폐 도어 유닛 및 이를 구비한 엑스-레이 검사시스템
본 발명의 목적은 차례대로 투입 및 배출이 반복적으로 이루어지는 검사 대상에 대하여 2개의 서로 다른 검사 영역에서 또는 검사 유닛으로 검사를 진행하는 것에 의하여 검사 효율이 향상되도록 하는 다중 연속 엑스레이 검사 방법 및 이를 위한 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 적절한 실시 형태에 따르면, 다중 연속 엑스레이 검사 방법은 적어도 2개의 검사 대상이 배치되는 단계; 상기 적어도 2개의 검사 대상 중 하나가 검사되는 단계; 상기 검사가 완료된 하나가 배출되고 그리고 상기 적어도 2개의 검사 대상 중 다른 하나가 검사되는 단계; 상기 검사가 완료된 다른 하나가 배출되는 단계; 및 상기 검사가 완료된 하나 또는 다른 하나의 위치에 적어도 2개의 검사 대상 중 어느 하나 또는 다른 검사 대상이 배치되는 단계를 포함하고, 상기 검사 대상의 배출, 상기 검사 대상의 배치 및 상기 검사가 진행되는 단계 중 적어도 2개의 단계는 동시에 진행된다.
본 발명의 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 적어도 2개의 검사 대상은 서로 다른 검사 영역에 배치된다.
본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 엑스레이 검사 장치는 적어도 하나의 검사 영역; 검사 영역에서 이동 가능하게 배치되는 적어도 하나의 검사 유닛; 적어도 하나의 검사 영역으로 투입 및 배출이 가능하도록 배치되는 적어도 2개의 트레이; 및 상기 검사 영역에 설치되는 차폐 유닛을 포함하고, 상기 트레이는 상기 검사 영역에서 각각 정해진 위치로 이동되고 그리고 상기 검사 유닛은 상기 정해진 위치로 이동되어 상기 트레이를 검사하고 최초 위치로 또는 다른 검사 영역으로 이동이 된다.
본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 상기 검사 유닛은 서로 다른 검사 영역 사이를 이동한다.
본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 상기 적어도 하나의 검사 유닛은 서로 다른 검사 영역을 가진다.
본 발명에 따른 검사 방법 및 장치는 검사 대상의 특성에 의하여 투입 및 배출이 반복적으로 이루어져야하는 검사 공정에서 검사 과정과 투입 과정이 연속적으로 이루어지도록 하는 것에 의하여 검사 효율이 향상되도록 한다.
도 1은 본 발명에 따른 검사 방법의 실시 예를 도시한 것이다.
도 2는 본 발명에 따른 검사 장치의 실시 예를 도시한 것이다.
도 3은 본 발명에 따른 검사 장치의 다른 실시 예를 도시한 것이다.
아래에서 본 발명은 첨부된 도면에 제시된 실시 예를 참조하여 상세하게 설명이 되지만 실시 예는 본 발명의 명확한 이해를 위한 것으로 본 발명은 이에 제한되지 않는다. 아래의 설명에서 서로 다른 도면에서 동일한 도면 부호를 가지는 구성요소는 유사한 기능을 가지므로 발명의 이해를 위하여 필요하지 않는다면 반복하여 설명이 되지 않으며 공지의 구성요소는 간략하게 설명이 되거나 생략이 되지만 본 발명의 실시 예에서 제외되는 것으로 이해되지 않아야 한다.
도 1은 본 발명에 따른 검사 방법의 실시 예를 도시한 것이다.
도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 검사 방법은 적어도 2개의 검사 대상이 배치되는 단계(P11); 상기 적어도 2개의 검사 대상 중 하나가 검사되는 단계; 상기 검사가 완료된 하나가 배출되고 그리고 상기 적어도 2개의 검사 대상 중 다른 하나가 검사되는 단계(P12); 상기 검사가 완료된 다른 하나가 배출되는 단계(P13); 및 상기 검사가 완료된 하나 또는 다른 하나의 위치에 적어도 2개의 검사 대상 중 어느 하나 또는 다른 검사 대상이 배치되는 단계(P15)를 포함하고, 상기 검사 대상의 배출, 상기 검사 대상의 배치 및 상기 검사가 진행되는 단계 중 적어도 2개의 단계는 동시에 진행된다.
본 발명에 따른 검사 방법은 검사 대상이 적재가 된 트레이가 검사 영역 또는 검사실 내부로 투입 및 배출이 되는 구조에 적용될 수 있다. 이와 같은 검사 대상은 다수 개의 검사 부위를 가지거나 또는 검사를 위하여 많은 시간을 필요로 한다. 그러므로 검사 대상은 검사 영역에 일정 개수로 투입이 되어 검사되고 그리고 검사가 완료되면 새로운 검사 대상이 투입되어 검사될 수 있다. 이와 같이 다수 개의 검사 대상은 차례대로 투입 및 배출이 되면서 검사가 될 수 있고 예를 들어 컨베이어와 같은 장치에 의하여 연속적으로 검사되기 어렵다. 본 발명에 따른 검사 방법은 이와 같이 트레이와 같이 이동 가능한 수단에 의하여 적어도 하나의 검사 대상을 검사 영역으로 투입 및 배출시키면서 다수 개의 검사 대상이 차례대로 검사되는 과정을 전제로 한다. 다만 적절한 구조 변경을 통하여 다수 개의 트레이가 차례대로 공급 및 배출이 되는 구조로 만들어질 수 있고 이와 같은 경우 본 발명에 따른 검사 방법이 적용될 수 있다.
본 발명에 따른 검사 방법의 적용을 위하여 적어도 2개의 검사 대상이 배치될 수 있다(P11). 검사 대상은 예를 들어 자동차 배터리 모듈, 전자기판 또는 기계 부품과 같이 결함 검사가 요구되는 임의의 제품이 될 수 있다. 적어도 2개의 검사 대상은 적어도 2개의 서로 다른 트레이에 적재될 수 있다. 그리고 2개의 서로 다른 트레이는 동일하거나 또는 서로 다른 검사 영역에 배치될 수 있다. 검사 영역에 엑스레이 튜브 및 디텍터를 포함하는 검사 유닛이 배치될 수 있다. 엑스레이 튜브 및 디텍터는 이 분야에서 공지된 임의의 형태가 될 수 있고 검사 대상의 검사가 가능한 적절한 위치에 배치될 수 있다. 각각의 트레이는 검사 영역의 정해진 위치에 배치될 수 있고 예를 들어 정해진 위치에 검사 스테이지가 배치될 수 있다.
검사 영역은 적어도 하나가 될 수 있고 만약 서로 다른 2개의 검사 영역이 배치되는 경우 검사 유닛이 서로 다른 2개의 검사 영역으로 이동 가능하도록 배치될 수 있다. 이에 비하여 만약 하나의 검사 영역에 적어도 2개의 트레이가 배치된다면 서로 다른 2개의 트레이를 검사하기 위한 적어도 2개의 검사 유닛이 배치될 수 있다. 각각의 경우 검사 유닛은 트레이의 검사를 위하여 이동 가능하도록 배치될 수 있다. 또한 서로 다른 검사 영역이 형성된다면 서로 다른 검사 영역을 밀폐시키기 위한 차폐 유닛이 배치될 수 있다. 차폐 유닛은 예를 들어 개폐 도어 부분에 설치될 수 있다.
검사 영역에 적어도 2개의 트레이가 배치되면 어느 하나의 트레이에 적재된 검사 대상이 검사 유닛에 의하여 검사가 될 수 있다. 검사 유닛은 엑스레이 튜브와 디텍터를 포함하고 엑스레이 튜브와 디텍터는 일체로 이동되거나 독립적으로 이동될 수 있다. 트레이의 검사 위치는 미리 결정될 수 있고 제어 유닛은 정해진 위치에서 트레이가 탐지되면 엑스레이 튜브와 디텍터를 이동시킬 수 있다.
검사 유닛이 제1 트레이로 이동되어 검사 대상에 대한 검사가 완료되면(P12) 검사 유닛은 이동될 수 있다(P12). 만약 다수 개의 검사 유닛이 설치되고 각각의 검사 위치가 결정되어 있다면 검사 유닛은 원래의 위치로 되돌아가거나 또는 다른 검사 위치로 이동될 수 있다. 이에 비하여 하나의 검사 유닛이 설치되어 있고 각각의 트레이가 서로 다른 검사 영역에 배치되어 있다면 검사 유닛은 다른 검사 영역으로 이동될 수 있다. 그리고 검사가 완료된 트레이는 외부로 배출될 수 있고 그리고 검사 결과에 따라 정상/불량이 표시될 수 있다. 그리고 다른 검사 대상이 투입 준비가 되거나 투입될 수 있다. 이와 함께 제2 트레이에 대한 엑스레이 검사가 진행될 수 있다(P14). 제2 트레이에 대한 엑스레이 검사는 제1 트레이를 검사한 검사 유닛에 의하여 진행되거나 다른 검사 유닛에 의하여 진행될 수 있다. 그리고 검사 과정에서 제1 검사 영역으로 새로운 검사 대상이 투입될 수 있다.
제2 트레이에 대한 검사가 완료되면 다시 검사 유닛이 이동될 수 있고 그리고 제2 트레이가 배출되어 정상/불량 표시가 될 수 있다(P15). 하나의 검사 유닛이 서로 다른 검사 영역에서 검사 대상을 검사하는 구조에서 검사 유닛은 다시 새로이 투입되는 검사 영역으로 이동될 수 있다. 그리고 다수 개의 검사 유닛이 정해진 영역에서 트레이를 검사하는 경우 검사 유닛은 최초의 위치로 이동될 수 있다.
제1 트레이의 투입 및 배출 위치와 제2 트레이의 투입 및 배출 위치는 서로 다를 수 있고 검사 유닛의 이동 과정 또는 이동이 완료된 이후 제1 트레이 또는 제2 트레이가 투입 또는 배출이 될 수 있다. 엑스레이 튜브로부터 조사되는 엑스선의 차폐를 위하여 투입 및 배출은 엑스레이 튜브의 위치와 서로 다른 쪽에서 이루어질 수 있다. 그리고 검사 대상의 배출, 상기 검사 대상의 배치 및 검사가 진행되는 단계 중 적어도 2개의 단계는 동시에 진행이 될 수 있다. 이와 같은 동시 진행은 서로 다른 영역에서 서로 다른 트레이에 대한 검사가 진행되면서 엑스레이 튜브의 서로 다른 검사 위치로 이동시키는 방법으로 검사하는 것에 의하여 가능하다. 이와 같은 동시 진행에 의하여 검사 효율이 향상될 수 있도록 한다.
제시된 실시 예에서 2개의 트레이가 차례대로 검사가 되고 배출이 되는 과정에 대하여 설명이 되었지만 다수 개의 검사 위치가 설정될 수 있고 그리고 다수 개의 검사 위치로 검사 유닛을 이동시키면서 다수 개의 트레이가 차례대로 검사되도록 할 수 있다. 그러므로 본 발명은 검사 영역의 수, 트레이의 검사 위치의 수, 검사 유닛의 수 또는 검사 유닛의 이동 형태에 의하여 제한되지 않는다.
아래에서 본 발명에 따른 검사 장치에 대하여 설명된다.
도 2는 본 발명에 따른 검사 장치의 실시 예를 도시한 것이다.
도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 검사 장치는 적어도 하나의 검사 영역(22a, 22b); 검사 영역(22a, 22b)에서 이동 가능하게 배치되는 적어도 하나의 검사 유닛(26); 적어도 하나의 검사 영역(22a, 22b)으로 투입 및 배출이 가능하도록 배치되는 적어도 2개의 트레이(27); 및 상기 검사 영역(22a, 22b)에 설치되는 차폐 유닛(24a, 24b, 25)을 포함하고, 상기 트레이(27)는 상기 검사 영역에서 각각 정해진 위치로 이동되고 그리고 상기 검사 유닛(26)은 상기 정해진 위치로 이동되어 상기 트레이를 검사하고 최초 위치로 또는 다른 검사 영역으로 이동이 된다.
도 2에 제시된 실시 예에서 2개의 검사 영역(22a, 22b)이 배치될 수 있고 그리고 각각의 검사 영역(22a, 22b)에 검사 대상(271)이 적재된 트레이(27)를 투입 및 배출하기 위한 대기 영역(21a, 21b)이 배치될 수 있다. 검사 영역(22a, 22b)과 대기 영역(21a, 21b) 사이에 개폐 도어(23)가 설치될 수 있고 그리고 개폐 도어(23)에 차폐 유닛(24a, 24b)이 배치될 수 있다. 각각의 트레이(27)은 화살표 방향(A, B)으로 투입 및 배출될 수 있고 검사 영역(22a, 22b)의 정해진 위치에 배치될 수 있다. 검사 영역(22a, 22b)의 정해진 위치에 트레이(27)가 배치되면 차폐 유닛(24a, 24b)에 의하여 검사 영역(22a, 22b)이 차폐될 수 있다. 그리고 제1 검사 영역(22a)의 검사 위치로 검사 유닛(26)이 이동될 수 있다. 2개의 검사 영역(22a, 22b) 사이에 차폐 유닛(25)이 설치될 수 있고 검사 과정에서 차폐 유닛(25)에 의하여 검사 영역(22a, 22b)이 서로 차폐될 수 있다. 제1 트레이에 대한 검사가 완료되면 차폐 유닛(25)이 개방되면서 화살표 방향(C)을 따라 검사 유닛(26)이 제2 검사 영역(22b)으로 이동될 수 있다. 트레이(27)의 이동, 검사 유닛(26)의 이동 또는 차폐 유닛(24a, 24b, 25)의 작동은 제어 유닛에 의하여 제어되거나 수동으로 제어될 수 있다. 예를 들어 작동 버튼이 설치될 수 있고 그리고 각각의 유닛의 이동 위치는 미리 프로그램으로 설정될 수 있다. 필요에 따라 각각의 위치에 탐지 센서가 설치될 수 있고 그리고 탐지 센서의 탐지에 의하여 제어 유닛은 각각의 장치를 작동시킬 수 있다. 제어 유닛의 검사 장치 전체의 작동을 제어할 수 있다.
검사 유닛(26)이 제2 검사 영역(22b)으로 이동되면 차폐 유닛(24b, 25)에 의하여 제2 검사 영역(22b)이 차폐될 수 있다. 그리고 검사 유닛(26)에 의하여 제2 트레이(27)에 적재된 검사 대상(271)이 검사될 수 있다. 이와 동시에 제1 검사 영역(22a)에 위치하는 제1 트레이(27)가 배출될 수 있다. 그리고 제1 트레이(27)에 적재된 검사 대상(271)에 대한 정상 또는 불량 표시가 될 수 있다. 이후 제1 트레이(27) 또는 다른 트레이가 제1 검사 영역(22a)으로 투입될 수 있다.
제2 검사 영역(22b)에서 검사가 완료되면 검사 유닛(26)이 다시 화살표 방향(C)을 따라 제1 검사 영역(22a)으로 이동될 수 있다. 그리고 차폐 유닛(24a, 25)에 의하여 제1 검사 영역(22a)이 차폐되고, 검사 유닛(26)에 의하여 트레이(27)에 대한 검사가 진행될 수 있다. 이와 동시에 제2 검사 영역(22b)에 위치하는 검사가 완료된 트레이가 제2 대기 영역(21b)으로 배출되어 검사 대상(271)에 대한 정상 또는 불량 여부가 표시될 수 있다. 그리고 제2 트레이(27) 또는 다른 트레이(27)가 제2 검사 영역(22b)으로 투입될 수 있다. 그리고 제1 검사 영역(22a)에서 검사 유닛(26)에 의하여 검사가 완료되면 동일 또는 유사한 과정이 반복될 수 있다.
이와 같이 본 발명에 따른 검사 장치는 하나의 트레이(27)에 대한 검사 과정에서 다른 트레이(27)에 대하여 필요한 공정이 진행되도록 하는 것에 의하여 검사 효율이 향상되도록 한다는 이점을 가진다.
도 3은 본 발명에 따른 검사 장치의 다른 실시 예를 도시한 것이다.
도 3을 참조하면, 하나의 검사 공간(32)에 적어도 2개의 검사 영역이 설정될 수 있고 그리고 각각의 검사 영역으로 이동 가능한 적어도 2개의 검사 유닛(36a, 36b)이 배치될 수 있다. 검사 공간(32)의 한쪽에 대기 영역(31)이 형성될 수 있고 그리고 별도로 공정 테이블(39)이 배치될 수 있다. 공정 테이블(39)은 대기 영역에 비하여 낮은 높이를 가지도록 계단식으로 배치될 수 있지만 반드시 요구되는 것은 아니다. 그리고 검사 공간(32)과 대기 영역(31) 사이에 차폐 벽(33)이 설치될 수 있고 그리고 차폐 벽(33)에 트레이(37a, 37b)의 개폐를 위한 차폐 유닛(34)이 설치될 수 있다. 차폐 유닛(34)은 각각의 트레이(37a, 37b)의 위치에 대응되도록 독립적으로 설치되거나 일체형으로 설치될 수 있다.
엑스레이 검사를 위하여 화살표 방향(D)을 따라 검사 대상이 적재된 제1 트레이(37a)가 제1 검사 영역으로 투입될 수 있다. 그리고 제1 검사 유닛(36a)이 화살표 방향(E)을 따라 제1 검사 영역으로 이동되어 제1 트레이(37a)를 검사할 수 있다. 그리고 검사가 완료되면 다시 화살표 방향(E)을 따라 원래의 위치로 되돌아 갈 수 있다. 그리고 차폐 유닛(34)이 개방되면서 제1 트레이(37a)가 배출될 수 있다. 그리고 이와 동시에 제2 트레이(37b)가 제2 검사 영역으로 이동될 수 있다. 그리고 제2 검사 유닛(36b)이 제2 검사 영역으로 화살표 방향(F)을 따라 이동될 수 있다. 다른 한편으로 대기 영역(31)에서 제1 트레이(37a)에 적재된 검사가 완료된 검사 대상에 대한 정상 또는 불량 여부가 표시될 수 있다. 그리고 제1 트레이(37a)에 검사 대상이 적재되거나 또는 새로운 검사 대상을 가진 새로운 트레이가 준비될 수 있다.
제2 검사 유닛(36b)에 의하여 제2 트레이(37b)에 대한 검사가 완료되면 다시 화살표 방향(F)을 따라 제2 검사 유닛(36b)이 이동될 수 있다. 그리고 제2 트레이(37b)가 배출되면서 이와 동시에 제1 트레이(37a)가 제1 검사 영역으로 이동될 수 있다. 이후 위에서 설명이 된 것과 동일 또는 유사한 과정이 반복될 수 있다. 이와 같이 본 발명에 따른 검사 장치는 투입과 배출이 동시에 이루어지도록 하거나 또는 검사 과정에서 불량 여부의 표시 또는 투입 준비가 이루어지도록 하는 것에 의하여 검사 효율이 향상되도록 한다.
제시된 실시 예에서 2개의 검사 유닛(36a, 36b)이 검사 공간(32)에서 각각 정해진 검사 영역으로 이동되는 것으로 설명되었다. 그러나 필요에 따라 하나의 검사 유닛(36a, 36b)이 배치되어 제1 검사 영역 및 제2 검사 영역으로 이동되도록 설계될 수 있다. 그리고 검사 유닛(36a, 36b) 자체에 차폐 유닛이 설치될 수 있다. 본 발명에 따른 검사 장치는 다양한 구조를 가질 수 있고 본 발명은 제시된 실시 예에 제한되지 않는다.
본 발명에 따른 검사 방법 및 장치는 검사 대상의 특성에 의하여 투입 및 배출이 반복적으로 이루어져야하는 검사 공정에서 검사 과정과 투입 과정이 연속적으로 이루어지도록 하는 것에 의하여 검사 효율이 향상되도록 한다.
위에서 본 발명은 제시된 실시 예를 참조하여 상세하게 설명이 되었지만 이 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 제시된 실시 예를 참조하여 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위에서 다양한 변형 및 수정 발명을 만들 수 있을 것이다. 본 발명은 이와 같은 변형 및 수정 발명에 의하여 제한되지 않으며 다만 아래에 첨부된 청구범위에 의하여 제한된다.
21a, 21b: 대기 영역 22a, 22b: 검사 영역
23: 개폐 도어 26: 검사 유닛
27: 트레이 24a, 24b, 24c: 차폐 유닛
25: 차폐 유닛 31: 대기 영역
32: 검사 공간 33: 차폐 벽
34: 차폐 유닛 36a, 36b: 검사 유닛
39: 공정 테이블 271: 검사 대상

Claims (1)

  1. 서로 인접하여 배치되면서 서로 차폐 가능한 제1 및 2 검사 영역(22a, 22b);
    각각의 검사 영역(22a, 22b)에 검사 대상(271)이 적재된 트레이(27)를 투입 및 배출하기 위한 제1 및 2 대기 영역(21a, 21b);
    제1 및 2 검사 영역(22a, 22b)과 제1 및 2 대기 영역(21a, 21b) 사이에 배치되면서 각각의 검사 영역(22a, 22b)과 대기 영역(21a, 21b)을 차폐시키는 1 차폐 유닛(24a, 24b)이 설치된 개폐 도어(23);
    제1 검사 영역(22a)과 제2 검사 영역(22a) 사이에 이동 가능하게 배치되는 적어도 하나의 검사 유닛(26);
    제1 검사 영역(22a)과 제2 검사 영역(22b) 사이에 배치되어 검사 영역(22a, 22b)을 서로 차폐시키는 2 차폐 유닛(25); 및
    트레이(27)의 위치를 탐지하여 검사 유닛(26)이 이동되도록 하는 탐지 유닛을 포함하고,
    상기 제1 및 2 대기 영역(21a, 21b)의 각각에 배치되는 트레이(27)는 각각 1 및 2 검사 영역(22a, 22b)으로 투입 및 배출되고, 2 차폐 유닛(25)에 의하여 서로 다른 검사 영역(22a, 22b)이 차폐된 상태에서 서로 다른 검사 영역(22a, 22b)으로 이동하는 검사 유닛(26)에 의하여 하나의 트레이(27)에 대한 검사가 이루어짐과 동시에 검사가 완료된 다른 트레이(27)가 검사 영역(22a, 22b)으로부터 대기 영역(21a, 21b)으로 배출되는 것을 특징으로 하는 다중 연속 엑스레이 검사 장치.
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