CN107490587B - 检查装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种使用放射线的检查装置，防止放射线的泄漏并缩短检查时间。检查装置具有搬入准备室、拍摄室及搬出准备室，搬入准备室和搬出准备室分别具有：搬入装置，从第一开口部搬入检查对象物；移动装置，使搬入的检查对象物沿与搬入方向不同的方向平行移动至第二开口部；以及搬出装置，使检查对象物沿着与移动装置的移动方向不同的方向移动，将检查对象物从第二开口部搬出，拍摄室具有拍摄装置，拍摄装置拍摄从搬入准备室搬入的检查对象物，移动装置具有：载置部，载置检查对象物；以及屏蔽构件，与载置部一起移动，屏蔽从第一开口部或第二开口部入侵并向该移动装置的移动方向传播的放射线，以使放射线不到达另一开口部。

Description

检查装置
技术领域
本发明涉及使用放射线的检查装置。
背景技术
已知有使用X射线拍摄获得的图像信息来对检查对象进行非破坏性检查的技术。例如，在专利文献1公开了通过X射线CT(computer tomography：计算机断层扫描)重建基板安装部件的3D数据，根据该3D数据检查焊接好坏等的方法。这种X射线检查装置能够对检查对象的内部结构、细微结构进行高精度的检查，因此开始被应用于各种工业产品生产线的自动检查等。
在流水线(Inline)上利用的检查装置，为了防止在检查工序中停滞，要求尽可能地缩短检查的周期时间。因此，如专利文献2所示已知有如下的结构：设置两条搬运线(称为双轨道)，通过在对一条搬运线的检查对象进行检查期间，在另一条搬运线上将下一个搬运对象搬运至检查位置，从而使实际搬入时间接近0。
但是，若想将这样的机构应用于X射线检查装置，需要在照射X射线中将下一个检查对象搬入装置内，因此需要采取防止X射线向装置外泄漏的措施。
另一方面，在记载于专利文献3的检查装置中，以在搬入部和搬出部分别设置双重的挡板而不使拍摄部露出外部的方式，对检查对象物进行搬入搬出。由此，能够防止X射线泄漏，并且能够迅速交接检查对象。
专利文献1：日本特开2009-156788号公报
专利文献2：日本特开2000-12999号公报
专利文献3：日本特开2014-098567号公报
但是，如记载于专利文献3的检查装置那样，设置多个屏蔽用挡板时，存在挡板的结构、控制变得复杂，装置的成本上升的问题。此外，将记载于专利文献3的发明应用于双轨道结构时，存在挡板的尺寸大型化，导致速度降低的问题。
发明内容
本发明是鉴于上述问题而提出的，其目的在于提供在使用放射线的检查装置中，防止放射线泄漏并缩短检查时间的技术。
本发明第一方式的检查装置是具有搬入准备室、拍摄室及搬出准备室三个区域的检查装置。
具体地，检查装置的特征在于，上述搬入准备室和搬出准备室各自具有：搬入装置，从第一开口部搬入检查对象物；移动装置(Traverser)，使搬入的上述检查对象物沿着与搬入方向不同的方向平行移动第二开口部；以及搬出装置，使上述检查对象物沿着与上述移动装置的移动方向不同的方向移动，将上述检查对象物从第二开口部搬出，上述拍摄室具有拍摄装置，上述拍摄装置拍摄从上述搬入准备室搬入的上述检查对象物，上述移动装置具有：载置部，载置上述检查对象物；以及屏蔽构件，与上述载置部一起移动，屏蔽从上述第一开口部或上述第二开口部入侵并向该移动装置的移动方向传播的放射线，以使放射线不到达另一开口部。
拍摄室是利用以X射线为首的放射线对检查对象物进行拍摄的区域。此外，搬入准备室是用于使向拍摄室搬入的检查对象物待机的区域，搬出准备室是用于排出拍摄结束的检查对象物的区域。
在利用放射线进行拍摄的检查装置，存在检查对象物出入拍摄室时，放射线泄漏的风险。因此，本发明的检查装置通过设置搬入准备室和搬出准备准备室，来在各准备室内部屏蔽放射线。
搬入准备室和搬出准备室分别从第一开口部搬入检查对象物，利用移动装置使检查对象物移动之后，从第二开口部搬出检查对象物。即，搬入准备室的第一开口部与外部连接，第二开口部与拍摄室连接。此外，搬出准备室的第一开口部与拍摄室连接，第二开口部与外部连接。
此外，移动装置使该检查对象物沿着与从开口部搬入搬出检查对象物的方向不同的方向平行移动。移动装置具有配置为不会使从开口部入侵的放射线到达另一开口部的屏蔽构件。无论移动装置位于哪个位置，屏蔽构件都配置于屏蔽的位置，使第一开口部与第二开口部不连通，并且屏蔽构件与载置部一起移动。
根据该结构，不需要挡板等特别的机构，能够维持拍摄室与外部不连通的状态，搬入搬出检查对象物。
此外，检查装置的特征也可以在于，上述屏蔽构件由第一构件和第二构件构成，上述第一构件和第二构件配置于，在上述移动装置的移动中能够由该第一构件、第二构件及上述搬入准备室的相对的内壁形成密闭空间或由该第一构件、第二构件及上述搬出准备室的相对的内壁形成密闭空间的位置。
通过将屏蔽构件配置于能够由相对的内壁和屏蔽构件形成密闭空间的位置，从而能够在搬入搬出路径上形成气闸室(airlock)那样的独立区域。即，能够保持第一开口部和第二开口部不连通的状态，搬入搬出检查对象物。
此外，本发明的检查装置的特征也可以在于，通过上述密闭空间使上述第一开口部和上述第二开口部在空间上分离。
能够通过将第一开口部和第二开口部在空间上分离，从而防止放射线向装置外部泄漏。
此外，本发明的检查装置的特征也可以在于，上述第一构件和上述第二构件是板状构件，上述第一构件和上述第二构件夹着上述载置部平行配置在与上述移动装置的移动方向正交的面内，上述板状构件沿着上述搬入准备室或上述搬出准备室的内壁滑动。
通过使夹着载置部平行配置的二张构件沿着内壁滑动，从而即使载置部处于与第一开口部连通的状态或载置部与第二开口部连通的状态的情况下，也能够屏蔽来自拍摄室的放射线。另外，滑动可以不是完全没有间隙的状态。也可以是在内壁与屏蔽构件之间，设置用于使该屏蔽构件顺利移动的小间隙。
此外，本发明的检查装置的特征也可以在于，从上述第一开口部到上述第二开口部的最短距离，比上述第一构件与上述第二构件之间的距离长。
根据该结构，无论移动装置位于哪个位置，第一开口部和第二开口部都不会连通，因此能够可靠地屏蔽来自拍摄室的放射线。
此外，本发明的检查装置的特征也可以在于，还具有限制上述移动装置的可动范围的限制构件，以使位于上述第一开口部或上述第二开口部的上述移动装置不向远离另一开口部的方向移动。
在移动装置位于第一开口部与第二开口部之间时，来自拍摄室的放射线被屏蔽构件屏蔽，但是在移动装置离开该范围时，存在第一开口部与第二开口部连通的风险。因此，为了防止上述风险，也可以配置限制移动装置的可动范围的限制构件。
此外，本发明的检查装置的特征也可以在于，上述搬入准备室具有的搬入装置在上述拍摄装置结束拍摄之前，将下一检查对象物搬入上述搬入准备室内，上述搬入准备室具有的移动装置在上述拍摄装置结束拍摄之前，将下一检查对象物移动至上述第二开口部。
这样，通过在拍摄结束前将下一个检查对象物搬入至拍摄室跟前进行待机，从而能够缩短到检查开始为止的时间，提高整体的检查速度。
此外，本发明第二方式的检查装置，其特征在于，具有搬入准备室、拍摄室及搬出准备室，上述搬入准备室和搬出准备室各自具有：搬入装置，从第一开口部搬入检查对象物；移动装置，使搬入的上述检查对象物沿着与搬入方向不同的方向平行移动至第二开口部；以及搬出装置，使上述检查对象物沿着与上述移动装置的移动方向不同的方向移动，将上述检查对象物从第二开口部搬出，上述拍摄室具有拍摄装置，上述拍摄装置拍摄从上述搬入准备室搬入的上述检查对象物，上述移动装置具有：载置部，载置上述检查对象物；以及第一屏蔽构件和第二屏蔽构件，与上述载置部一起移动，上述第一屏蔽构件和上述第二屏蔽构件配置于，在上述移动装置移动中由该第一屏蔽构件、该第二屏蔽构件及上述搬入准备室的相对的内壁形成密闭空间或由该第一屏蔽构件、该第二屏蔽构件及上述搬出准备室的相对的内壁形成密闭空间的位置，通过上述密闭空间使上述第一开口部和上述第二开口部在空间上分离。
另外，本发明能够确定为包括上述装置的至少一部分的检查装置。只要不发生技术性矛盾，上述处理、装置能够自由地组合实施。
根据本发明，在使用放射线的检查装置，能够防止放射线泄漏并缩短检查时间。
附图说明
图1是示意性地示出第一实施方式的X射线检查装置的剖视图。
图2是表示第一实施方式的X射线检查装置的结构和功能的框图。
图3是详细示出搬入准备室100和搬出准备室300的结构的剖视图。
图4是说明移动装置110的可动范围的图。
图5是表示搬入基板的控制流程的流程图。
图6是表示检查基板的控制流程的流程图。
图7是表示搬出基板的控制流程的流程图。
图8是说明实施方式的变形例的图。
图9A、9B是说明实施方式的变形例的图。
图10是说明实施方式的变形例的图。
附图标记说明如下：
10：搬入准备部
20：拍摄部
30：搬出准备部
100：搬入准备室
111：搬运机构
112：升降机构
120：控制部
200：拍摄室
201：X射线发生器
202：X射线检测器
203：搬运机构
204：控制部
205：检查部
300：搬出准备室
311：搬运机构
312：升降机构
320：控制部
具体实施方式
本发明涉及使用X射线拍摄获得的图像信息对检查对象进行非破坏性检查的X射线检查装置，特别是，涉及用于将检查对象搬入搬出X射线检查装置的结构及其控制。在下述的实施方式中，以将本发明应用在用于通过倾斜X射线CT重建基板安装部件的3D数据，根据该3D数据检查焊接的好坏等的基板检查装置的例子进行说明。
(第一实施方式)
<装置的概要>
首先，参照图1和图2，对本实施方式的X射线检查装置的结构进行说明。图1是示意性地表示本实施方式的X射线检查装置1的剖视图，图2是表示X射线检查装置1的结构和功能的框图。如图1和图2所示，X射线检查装置1具有搬入准备部10、拍摄部20及搬出准备部30。
另外，图1是示意性地表示在检查中基板流动的图，以下参照图3对屏蔽X射线的装置进行说明。
如图1所示，在X射线检查装置1的本体上设置有进行X射线拍摄的拍摄部20，在拍摄部20的上游侧(图的左侧)设置有用于搬入检查对象物的基板K的搬入准备部10。此外，在拍摄部20的下游侧(图的右侧)设置有用于搬出基板的搬出准备部30。在搬入准备部10上配置有用于从上游工序(例如回流焊工序)搬运基板的搬运机构111。搬运机构111是能够沿着图中的上下方向移动，与配置于拍摄部20的搬运机构203连接的结构。从上游工序搬运来的基板K，经由搬入准备部10(搬运机构111)搬入拍摄部20内，进行需要的拍摄和检查后，交付至搬出准备部30具有的搬运机构311。搬运机构311能够沿着图中的上下方向移动，从搬出口向下游工序搬运。这样，本实施方式的X射线检查装置1是假定在生产线的途中(流水线)对基板进行自动检查的结构。
首先，对搬入准备部10进行说明。
搬入准备部10具备：搬入口，用于搬入作为检查对象的基板K；以及箱状构件(以下称为搬入准备室100)，具有用于将该基板向拍摄部送出的搬出口。该构件由屏蔽X射线的材料构成。
另外，在以下说明中，将检查对象的基板所通过的箱状构件称为搬入准备室100，将位于搬入准备室100内的机构、控制该机构的装置整体称为搬入准备部10。搬入准备部10除搬入准备室100外，还具有搬运机构111、升降机构112及控制部120。
搬运机构111是用于使载置的物体沿着搬运方向(图中X轴方向)移动的装置。搬运机构111典型的由线性致动器(linear actuator)、导轨、传动带等构成，但是也可以使用其他装置。从上游工序搬运来的基板K，利用搬运机构111向搬入准备室100搬入。
此外，搬运机构111是能够通过升降机构112沿着与基板的搬运方向正交的方向(图中Z轴方向)移动的结构。另外，升降机构112只要能够移动搬运机构111即可，可以由线性致动器等驱动，也可以经由皮带或链条获取动力来驱动。
当搬入搬入准备室100的基板K到达搬出口时，搬运机构111将基板K送出至拍摄室200，进行拍摄和检查。
控制部120是控制搬运机构111和升降机构112的动作的装置。控制部120可以通过例如在通用计算机上运行软件来实现，也可以通过专用的硬件来实现。对控制部120进行的具体控制内容后述。
接着，对拍摄部20进行说明。
拍摄部20具备：搬入口，用于从搬入准备室100搬入检查对象的基板K；以及箱状构件(以下称为拍摄室200)，具有用于将该基板向搬出准备室300送出的搬出口。该构件由屏蔽X射线的材料构成。
另外，在以下说明中，将对基板进行检查的区域即箱状构件称为拍摄室200，将位于拍摄室200内的机构、控制该机构的装置整体称为拍摄部20。拍摄部20除拍摄室200外，还具有X射线发生器201、X射线检测器202、搬运机构203、控制部204及检查部205。
X射线发生器201是放射X射线的装置。在此，为了进行X射线CT拍摄，使用放射X射线束扩散为圆锥状的锥形光束的X射线源。
X射线检测器202是检测从X射线源放射，并透过检查对象基板的X射线的二维X射线检测器。作为X射线检测器202，能够使用I.I.(Image Intensifier：图像增强)管、FPD(Flat panel detector：平板检测器)。另外，在此使用一个X射线检测器，但是也能够使用多个X射线检测器。
另外，X射线发生器201和X射线检测器202是能够通过未图示的载物台在三维方向上移动的结构。
搬运机构203因与上述的搬运机构111同样而省略说明。
控制部204是通过控制X射线发生器201、X射线检测器202及搬运机构203的动作，来控制对检查对象物进行的X射线拍摄的装置。
具体地，控制部204控制从搬入准备室100搬入的基板的接收、检查结束的基板的排出、使用未图示的载物台对X射线发生器201和X射线检测器202的定位、X射线发生器201进行的X线的放射等。
检查部205是基于X射线检测器202检测的X射线图像，来执行基板检查的装置。在本实施方式中，通过一边变更X射线发生器和X射线检测器与检查对象物之间的相对位置，一边进行多次(数次到数十次)拍摄，从而获取各个角度的X射线透过图像，基于这些数据重建基板的三维数据。这是被称为倾斜X射线CT的拍摄方式，是适合对电子基板那样没有厚度的对象进行检查的拍摄方式。另外，对倾斜X射线CT的具体计算方法，为公知的内容，而省略说明。
检查部205基于获取的三维数据对基板进行检查。例如，判定基板上部件的配置位置、焊接的状态(润湿的高度、角度等)等，并生成结果。生成的结果可以发送至下游工序，也可以经由未图示的显示装置提供给装置的用户。
控制部204和检查部205例如能够使用被称为CPU(Central Processing Unit：中央处理器)的普通的通用运算装置。控制部204和检查部205能够具备RAM(Random AccessMemory：随机访问存储器)等存储器，也能够具备ROM(Read Only Memory：只读存储器)、HDD(Hard Disk Drive：硬盘驱动器)、SDD(Solid State Drives：固态硬盘)等。此外，也能够具备用户能够输入指示的键盘、按钮、开关、指示设备等任意的输入装置。此外，也能够具备显示屏、扬声器等通过影像、音声等向用户提示检查结果的任意的输出装置。即，能够使用普通的计算机系统来实现这些功能部。
另外，在本实施方式中，拍摄部20基于X射线的透过图像来进行基板的检查，但是也能够具有除此之外的检查装置。例如，还能够具备获取可视光图像的摄像头，基于可视光图像进行基板的检查。
接着，对搬出准备部30进行说明。
搬出准备部30具备：搬入口，用于从拍摄室200搬入检查结束的基板K；以及箱状构件(以下称为搬出准备室300)，具有用于将该基板向下游工序送出的搬出口。该构件由屏蔽X射线的材料构成。
另外，在以下说明中，将检查对象的基板所通过的箱状构件称为搬出准备室300，将位于搬出准备室300内的机构、控制该机构的装置整体称为搬出准备部30。搬出准备部30除搬入准备室300外，还具有搬运机构311、升降机构312及控制部320。
检查结束后，从拍摄室200送出的基板K，被搬运机构311移动至搬出准备室300。搬出准备部30具有的搬运机构311和升降机构312，与搬运机构111和升降机构112同样，因此省略具体说明。搬出准备室300也具有与搬入准备室100同样的搬入口和搬出口，将基板K搬入下游工序。
<X射线屏蔽装置>
接着，参照图3，对搬入准备室100和搬出准备室300具有的防止X射线向外部泄漏的机构进行说明。图3是更详细地表示搬入准备室100和搬出准备室300结构的剖视图。
屏蔽板113A和113B是以夹着搬运机构111的方式配置在XY平面上的板状构件。屏蔽板113A和113B只要是屏蔽放射线的普通构件即可，典型的有铅、钨等。
此外，屏蔽板113A和113B的四周与搬入准备室100的内壁接触，形成为屏蔽放射线的结构。另外，搬运机构111、屏蔽板113A及屏蔽板113B形成为能够一体移动的结构。在本实施方式中，将这些统称为移动装置110。
另外，对搬出准备室300具有的各个构件，因仅附图标记的百位不同而内容相同，因此对各自的构件省略说明。
图4是说明移动装置110的可动范围的图。从图4可知，移动装置110的Z轴方向的可动范围，以搬运机构111位于搬入口高度的状态为上限，以搬运机构111位于搬出口高度的状态为下限。即，形成在搬入口与搬出口之间，必定存在屏蔽板113A和屏蔽板113B中的任一个(或两者)的状态。搬入准备室100的搬出口因与拍摄室200连接，因此存在X射线从搬出口入侵的可能性，但是入侵的X射线被屏蔽板屏蔽而不会到达搬入口。即，能够使拍摄室200与装置外部在空间上分离。此外，该分离状态与移动装置110的位置无关地被保持。
另外，为了获得上述的效果，需要使屏蔽板113A与113B之间的间隔d1比搬入口与搬出口之间的最短距离d2小。
另外，在此以搬入准备室100为例示进行了说明，但是在从拍摄室200经由搬出准备室300搬出基板的情况下结构也相同。
<处理流程>
接着，参照图5～7，对基板的搬入、检查及搬出的控制进行说明。
图5是表示搬入基板的控制流程的流程图。图5所示的处理，利用搬入准备部10具有的控制部120执行。
另外，在本例中，搬入准备部10、拍摄部20、搬出准备部30各自保持状态，一边参照相互的状态一边确定是否能够搬运。状态有“等待搬入”、“作业中”及“等待搬出”这三种。
首先，在步骤S11，使用升降机构112使移动装置110移动至上部，此后，将状态变更为“等待搬入”。由此，搬运机构111与上游工序的搬运路连接。
接着，在步骤S12，判断上游工序的准备是否结束。在本步骤中，对位于上游工序的设备，确认向检查装置的搬入准备是否结束。在此，当为肯定判定时，进入步骤S13，驱动搬运机构111，接收检查对象的基板。当为否定判定时，待机恒定时间，重复进行判定。
当从搬入口搬入检查对象的基板时，在步骤S14，将状态变更为“作业中”。然后，在步骤S15，使移动装置110移动至下部，将状态变更为“等待搬出”。由此，搬运机构111与搬运机构203连接。
接着，在步骤S16，判断拍摄室200的准备是否结束。在本步骤中，对拍摄部20具有的控制部204，判定接收准备是否结束。在本步骤中，当拍摄部20的状态为“等待搬入”时成为肯定判定，当“作业中”和“等待搬出”时成为否定判定。在此，当为肯定判定时，进入步骤S17，驱动搬运机构111，送出检查对象的基板。当为否定判定时，待机恒定时间，重复进行判定。
当检查对象基板结束搬入拍摄室200时，在步骤S18将状态变更为“作业中”。此后，进入步骤S11，使移动装置移动至初始位置(上部)。
图6是表示检查基板的控制流程的流程图。图6所示的处理由拍摄部20具有的控制部204执行。
首先，在步骤S21，将状态变更为“等待搬入”。
接着，在步骤S22，判定从搬入准备室100搬入基板的准备是否结束。在本步骤中，当搬入准备部10的状态为“等待搬出”时成为肯定判定，当为“作业中”和“等待搬入”时成为否定判定。在此，当为肯定判定时，进入步骤S23，驱动搬运机构203，接收检查对象的基板。当为否定判定时，待机恒定时间，重复进行判定。
当搬入检查对象的基板时，在步骤S24，将状态变更为“作业中”。而且，在步骤S24执行检查。即，进行X射线的照射和拍摄，将获得的图像发送至检查部205，执行检查。当检查结束时，在步骤S25，将状态变更为“等待搬出”。
另外，在本例中，等待检查结束后进入步骤S25，但是也可以并列进行拍摄和检查。即，当X射线拍摄结束，利用检查部205开始检查时，也可以立即排出基板。
接着，在步骤S26，判定搬出准备部30的接收准备是否结束。在本步骤中，当搬出准备部30的状态为“等待搬入”时成为肯定判定，当为“作业中”和“等待搬出”时成为否定判定。在此，当为肯定判定时，进入步骤S27，驱动搬运机构203，搬出检查结束的基板。当为否定判定时，待机恒定时间，重复进行判定。
图7是表示搬出基板的控制流程的流程图。图7所示的处理由搬出准备部30具有的控制部320执行。
首先，在步骤S31，利用升降机构312使移动装置310移动至下部，此后，将状态变更为“等待搬入”。由此，搬运机构311与搬运机构203连接。
接着，在步骤S32，判定从拍摄室200搬入基板的准备是否结束。在本步骤中，当拍摄部20的状态为“等待搬出”时成为肯定判定，当为“作业中”和“等待搬入”时成为否定判定。在此，当为肯定判定时，进入步骤S33，驱动搬运机构311，接收检查结束的基板。当为否定判定时，待机恒定时间，重复进行判定。
当从搬入口搬入检查结束的基板时，在步骤S34，将状态变更为“作业中”。然后，在步骤S35，使移动装置310移动至上部，将状态变更为“等待搬出”。
接着，在步骤S36，判定下游工序的准备是否结束。在本步骤中，对位于下游工序的设备，确认从检查装置的搬入准备是否结束。在此，当为肯定判定时，进入步骤S37，驱动搬运机构311，搬出检查结束的基板。当为否定判定时，待机恒定时间，重复进行判定。
当基板的搬出结束时，在步骤S38，将状态变更为“作业中”。此后，进入步骤S31，将移动装置移动至初始位置(下部)。
如上述说明，本实施方式的检查装置利用移动装置具备的屏蔽构件屏蔽在拍摄室产生的X射线。根据该结构，不需要独立开闭X射线屏蔽构件的机构，从而能够抑制装置的成本。此外，在拍摄室内进行X射线照射中，也能够进行搬入搬出动作，因此容易实现检查的高速化。另外，搬入准备部和搬出准备部独立动作，因此能够在从检查装置完全搬出检查结束的基板之前，将下一个基板搬入检查室。即，能够缩短X射线拍摄的间隔，因此能够缩短整体的检查时间。
(第二实施方式)
在第一实施方式中，在拍摄室200内铺满搬运机构203，载置于搬运机构203的基板移动。对此，第二实施方式为通过移动搬运机构203本身来移动基板的实施方式。图8是示意性地表示第二实施方式的X射线检查装置1的剖视图。
如图所示，在本实施方式中，搬运机构203能够沿着图中X轴方向移动。
在第二实施方式中，在开始步骤S21的处理之前，使搬运机构203移动至能够接收基板的位置。此外，在开始步骤S25的处理之前，使搬运机构203向能够排出基板的位置。此外，步骤S27结束后，在使搬运机构203移动至能够接收基板的位置为止的期间，将状态暂时变更为“作业中”。本发明也能够适用于这样的方式。
(变形例)
另外，实施方式的说明只是用于说明本发明的例示，在不脱离发明宗旨的范围内，能够对本发明进行适当的变更或组合。
例如，在上述实施方式中例示了基板检查装置，但是本发明能够应用于将基板以外的各种物品作为检查对象的X射线非破坏性检查。此外，只要是利用X射线的方式，本发明能够应用于倾斜X射线CT以外的拍摄方式。本发明的结构能够获得高屏蔽效果，因此能够适合于利用锥形光束的拍摄方式，但是也能够适用于利用扇形光束、指向性高的光束的拍摄方式。
此外，在实施方式的说明中，拍摄室内的检查线为一条，但是拍摄室内的检查线也可以为两条以上。例如，当X射线拍摄的时间比上游(下游)工序的处理时间长时，也可以设置多条检查线。此时，也可以在拍摄室设置多个搬入口和搬出口。例如，当搬入口(搬出口)在Z轴方向上排列时，也可以进行控制使移动装置停止在与目的搬入口(搬出口)匹配的位置。此外，当搬入口(搬出口)在Y轴方向上排列时，也可以在移动装置上追加使基板沿着Y轴方向移动的机构。此外，也可以在移动装置自身上排列配置搬运机构。检查线的数量只要根据处理量、处理时间的平衡来确定即可。
此外，在实施方式的说明中，将检查对象物的搬运方向设为X轴方向，移动装置的移动方向设为Z轴方向，但不限于此。例如，也能够使移动装置向图中深度方向(Y轴方向)移动。这样的方式中，适合检查上下方向(Z轴方向)厚，左右方向(Y轴方向)薄的基板的情况。此时，只要将将多个屏蔽板沿着图中深度方向平行配置即可。移动装置的移动方向、屏蔽板的配置位置能够根据设计进行变更。
此外，也可以追加限制移动范围的构件，来避免移动装置移动至规定的范围外。例如，如图9A所示，当移动装置发生位置不良，到达原本不应该移动的范围时，搬入口与搬出口连通，可能发生X射线泄漏。因此，也可以如图9B所示配置缓冲构件，限制移动装置的移动范围。由此，移动装置不会移动至原本应该移动的范围外，从而能够提高安全性。
此外，在实施方式的说明中，作为移动装置具有的屏蔽板，例示了沿搬入准备室(搬出准备室)的内壁滑动的一张板，但是屏蔽板不限于一张板形状，也不限于沿内壁滑动。例如，如图10所示，也可以在屏蔽板与内壁之间具有一些间隙。只要根据能够允许的X射线的泄漏量来设计间隙的大小即可。特别是，当将屏蔽板形成为图10的所示的コ形状时，因能够适合于兼作为图9所示的缓冲构件，所以优选。

Claims (6)

1.一种检查装置，其特征在于，具有搬入准备室、拍摄室及搬出准备室，
上述搬入准备室和上述搬出准备室各自具有：
搬入装置，从第一开口部搬入检查对象物；
移动装置，使搬入的上述检查对象物沿着与搬入方向不同的方向平行移动至第二开口部；以及
搬出装置，使上述检查对象物沿着与上述移动装置移动方向不同的方向移动，将上述检查对象物从第二开口部搬出，
上述拍摄室具有拍摄装置，上述拍摄装置拍摄从上述搬入准备室搬入的上述检查对象物，
上述移动装置具有：
载置部，载置上述检查对象物；以及
屏蔽构件，与上述载置部一起移动，屏蔽从上述第一开口部或上述第二开口部入侵并沿着该移动装置的移动方向传播的放射线，以使放射线不到达另一开口部，
上述屏蔽构件由第一构件和第二构件构成，
上述第一构件和上述第二构件配置于，在上述移动装置移动中能够由该第一构件、该第二构件及上述搬入准备室的相对的内壁形成密闭空间或由该第一构件、该第二构件以及上述搬出准备室的相对的内壁形成密闭空间的位置，
上述第一构件和上述第二构件是板状构件，上述第一构件和上述第二构件夹着上述载置部平行配置在与上述移动装置的移动方向正交的面内，上述板状构件沿着上述搬入准备室或上述搬出准备室的内壁滑动，
所述第一构件具有沿远离所述第二构件的方向与所述内壁并行延伸的缓冲构件，使得所述第一构件形成为コ形状，
所述第二构件具有沿远离所述第一构件的方向与所述内壁并行延伸的缓冲构件，使得所述第二构件形成为コ形状，
借助所述第一构件的缓冲构件和所述第二构件的缓冲构件，限制所述移动装置的移动，使得所述第一开口部和所述第二开口部不连通。
2.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，
通过上述密闭空间使上述第一开口部和上述第二开口部在空间上分离。
3.根据权利要求1或2所述的检查装置，其特征在于，
从上述第一开口部到上述第二开口部的最短距离，比上述第一构件与上述第二构件之间的距离长。
4.根据权利要求1或2所述的检查装置，其特征在于，
还具有限制上述移动装置的可动范围的限制构件，以使位于上述第一开口部或上述第二开口部的上述移动装置不向远离另一开口部的方向移动。
5.根据权利要求1或2所述的检查装置，其特征在于，
上述搬入准备室具有的搬入装置在上述拍摄装置结束拍摄之前，将下一检查对象物搬入上述搬入准备室内。
6.根据权利要求5所述的检查装置，其特征在于，
上述搬入准备室具有的移动装置在上述拍摄装置结束拍摄之前，将下一检查对象物移动至上述第二开口部。
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