JP2020047882A - Unnecessary sheet removing device and unnecessary sheet removing method - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、不要シート除去装置および不要シート除去方法に関する。 The present invention relates to an unnecessary sheet removing apparatus and an unnecessary sheet removing method.
従来、複数の接着シートと帯状の不要シートとが帯状の剥離シートに仮着された原反から、当該不要シートを剥離して回収する装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。 2. Description of the Related Art Conventionally, there has been known an apparatus that peels and collects an unnecessary sheet from a raw material in which a plurality of adhesive sheets and a strip-shaped unnecessary sheet are temporarily attached to a strip-shaped release sheet (for example, see Patent Document 1).
しかしながら、特許文献1に記載された連続ラベル製造装置11(不要シート除去装置)では、ラベル連続体12(原反)から剥離したラベルカス21A(不要シート)をカス巻取ローラ18(回収手段)で引っ張りながら回収するため、剥離紙23(第1剥離シート)から剥離した不要シートが回収手段の張力によって切断され、不要シートの回収不良が生じるという不都合がある。このような不都合は、不要シートが軟弱または脆弱であったり、幅が細かったりした場合等において顕著化する。
However, in the continuous label manufacturing apparatus 11 (unnecessary sheet removing apparatus) described in Patent Literature 1, the
本発明の目的は、不要シートの回収不良を極力防止することができる不要シート除去装置および不要シート除去方法を提供することにある。 An object of the present invention is to provide an unnecessary sheet removing apparatus and an unnecessary sheet removing method that can minimize the collection failure of unnecessary sheets.
本発明は、請求項に記載した構成を採用した。 The present invention has adopted the configuration described in the claims.
本発明によれば、不要シートを補強して回収するので、第1剥離シートから剥離した不要シートが回収手段の張力によって切断されることが極力抑制され、不要シートの回収不良を極力防止することができる。
また、第2剥離シートから形成した補強シートで不要シートを補強すれば、第2剥離シートを有効利用することができる。
また、不要シートを硬化させて補強すれば、不要シートの性質や特性等に応じて当該不要シートを補強することができる。
According to the present invention, since the unnecessary sheet is reinforced and collected, the unnecessary sheet peeled from the first release sheet is minimized from being cut by the tension of the collecting unit, and the collection failure of the unnecessary sheet is prevented as much as possible. Can be.
Further, if the unnecessary sheet is reinforced with the reinforcing sheet formed from the second release sheet, the second release sheet can be effectively used.
Further, if the unnecessary sheet is cured and reinforced, the unnecessary sheet can be reinforced according to the properties and characteristics of the unnecessary sheet.
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸と平行な図1中手前方向で「後」がその逆方向とする。
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
In this embodiment, the X axis, the Y axis, and the Z axis are orthogonal to each other. The X axis and the Y axis are axes within a predetermined plane, and the Z axis is an axis orthogonal to the predetermined plane. I do. Furthermore, in the present embodiment, based on the case of viewing from the near side of FIG. 1 parallel to the Y axis, when the direction is indicated, “up” is the arrow direction of the Z axis, “down” is the opposite direction, The left is the direction of the arrow on the X axis, the right is the opposite direction, the front is the front direction in FIG. 1 parallel to the Y axis, and the rear is the opposite direction.
図1において、不要シート除去装置EAは、複数の接着シートASと帯状の不要シートUSとが帯状の第1剥離シートRL1に仮着された原反RSを繰り出す繰出手段10と、不要シートUSを補強する不要シート補強手段20と、不要シート補強手段20で補強された不要シートUSを第1剥離シートRL1から剥離して回収する回収手段30とを備え、被着体としての半導体ウエハ(以下、単に「ウエハ」ともいう)WFに接着シートASを押圧して貼付する押圧手段40と、ウエハWFを支持する支持手段50とでシート貼付装置EA1を形成している。
In FIG. 1, an unnecessary sheet removing device EA includes a
繰出手段10は、第1剥離シートRL1に帯状の接着シート基材BSが仮着され、当該接着シート基材BS上に第2剥離シートRL2が仮着された接着シート積層体RS1を支持する支持ローラ11と、接着シート積層体RS1等を案内する第1〜第4ガイドローラ12A〜12Dと、接着シート積層体RS1を繰り出すとともに、当該接着シート積層体RS1における接着シート基材BSに閉ループ状の接着シート形成用切込CU1を形成し、当該接着シート形成用切込CU1の内側に位置する接着シートASと、当該接着シート形成用切込CU1の外側に位置する不要シートUSとを形成する切断手段13と、原反RSに繰出力を付与する繰出力付与手段14とを備え、原反RSを繰り出す構成となっている。
切断手段13は、駆動機器としての回動モータ13Aの出力軸13Bに支持され、円周面に平ループ状の切断部材としての切断刃13Cが設けられたダイカットローラ13Dと、ダイカットローラ13Dと同期回転するアンビルローラ13Eとを備えている。
繰出力付与手段14は、駆動機器としてのリニアモータ14Aのスライダ14Bに支持された支持プレート14Cと、支持プレート14Cに支持された駆動機器としての回動モータ14Dと、回動モータ14Dの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ14Eとで第1剥離シートRL1を挟み込む駆動ローラ14Fと、ピンチローラ14Eとの間に存在する第1剥離シートRL1に、常に所定の張力を付与して当該第1剥離シートRL1を巻回して回収する剥離シート回収ローラ14Gとを備えている。
The feeding means 10 supports the adhesive sheet laminate RS1 in which the strip-shaped adhesive sheet base BS is temporarily attached to the first release sheet RL1 and the second release sheet RL2 is temporarily attached on the adhesive sheet base BS. The roller 11, the first to fourth guide rollers 12 </ b> A to 12 </ b> D for guiding the adhesive sheet laminate RS <b> 1 and the like, and the adhesive sheet laminate RS <b> 1 are fed out, and a closed loop is formed on the adhesive sheet base BS in the adhesive sheet laminate RS <b> 1. Cutting to form an adhesive sheet forming cut CU1 and forming an adhesive sheet AS positioned inside the adhesive sheet forming cut CU1 and an unnecessary sheet US positioned outside the adhesive sheet forming cut
The
The repetitive output applying means 14 includes a
不要シート補強手段20は、第2剥離シートRL2に原反RSの繰出方向に沿う補強シート形成用切込CU2を形成し、当該補強シート形成用切込CU2を境にして第2剥離シートRL2を除去シートESと補強シートLSとに分ける剥離シート切断手段21と、接着シート基材BSから除去シートESを剥離する除去シート剥離手段22とを備えている。なお、切断手段13は、除去シートESが剥離されて表出した接着シート基材BSに接着シート形成用切込CU1を形成するようになっている。
剥離シート切断手段21は、複数の駆動機器としての直動モータ21Aと、各々の直動モータ21Aの出力軸21Bに支持された切断部材としての切断刃21Cとを備えている。
除去シート剥離手段22は、駆動機器としての回動モータ22Aによって駆動され、除去シートESに常に所定の張力を付与して回収する除去シート回収ローラ22Bとを備えている。
Unnecessary sheet reinforcing means 20 forms a notch CU2 for forming a reinforcing sheet along the feeding direction of the raw material RS on the second peeling sheet RL2, and cuts the second peeling sheet RL2 with the notch CU2 for forming the reinforcing sheet as a boundary. A release sheet cutting means 21 for separating the removal sheet ES and the reinforcing sheet LS, and a removal sheet peeling means 22 for removing the removal sheet ES from the adhesive sheet base material BS are provided. In addition, the
The release sheet cutting means 21 includes a plurality of
The removal sheet peeling means 22 is driven by a
回収手段30は、駆動機器としての回動モータ31Aによって駆動され、第4ガイドローラ12Dに掛け回されて第1剥離シートRL1から剥離された不要シートUSに常に所定の張力を付与して回収する不要シート回収ローラ31を備えている。
The
押圧手段40は、全部が繰出手段10と共用されており、リニアモータ14A、スライダ14B、支持プレート14C、回動モータ14D、ピンチローラ14E、駆動ローラ14Fおよび剥離シート回収ローラ14Gを備えている。
The pressing means 40 is shared with the feeding means 10 and includes a
支持手段50は、駆動機器としての直動モータ51と、直動モータ51の出力軸51Aに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段(保持手段)によって、吸着保持が可能な保持面52Aを有するテーブル52とを備えている。
The support means 50 is supported by a
以上の不要シート除去装置EAを備えたシート貼付装置EA1の動作を説明する。
先ず、図1中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置EA1に対し、当該シート貼付装置EA1の使用者(以下、単に「使用者」という)が接着シート積層体RS1を同図に示すようにセットし、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、不要シート補強手段20が直動モータ21Aを駆動し、接着シート積層体RS1の第2剥離シートRL2に接着シート基材BSを貫通しないように切断刃21Cを突き刺す。その後、繰出手段10、不要シート補強手段20および回収手段30が回動モータ13A、14D、22A、31Aを駆動し、接着シート積層体RS1を繰り出しつつ、ダイカットローラ13Dを回転させて接着シート基材BSに閉ループ状の接着シート形成用切込CU1を形成することにより、第1剥離シートRL1に接着シートASと不要シートUSとが仮着された原反RSを形成し、当該原反RSを繰り出す。
The operation of the sheet sticking device EA1 including the above unnecessary sheet removing device EA will be described.
First, the user of the sheet sticking apparatus EA1 (hereinafter, simply referred to as “user”) attaches the adhesive sheet laminate RS1 to the sheet sticking apparatus EA1 in which each member is arranged at an initial position indicated by a solid line in FIG. It is set as shown in the figure, and a signal for starting automatic operation is inputted through operation means (not shown) such as an operation panel and a personal computer. Then, the unnecessary sheet reinforcing means 20 drives the
次いで、図1に示すように、第1剥離シートRL1に仮着された先頭の接着シートASの繰出方向先端部が第3ガイドローラ12Cの下方所定位置に到達したことを、カメラや投影機等の撮像手段や、光学センサや超音波センサ等の各種センサ等からなる図示しないシート先端検知機器が検知すると、繰出手段10、不要シート補強手段20および回収手段30が回動モータ13A、14D、22A、31Aの駆動を停止する。
ここで、上記のようにして原反RSが繰り出されると、図1中のBB−BB断面のCC矢視図である符号AAの図に示すように、第2剥離シートRL2は、切断刃21Cで形成された補強シート形成用切込CU2を境にして内側の除去シートESと外側の補強シートLSとに分けられ、除去シートESは、第2ガイドローラ12Bで接着シート基材BSから剥離され、除去シート回収ローラ22Bによって巻き取られて回収される。
一方、補強シートLSは、不要シートUSに仮着された状態で当該不要シートUSを補強し、当該補強シートLSで補強された不要シートUSは、第4ガイドローラ12Dで第1剥離シートRL1から剥離され、不要シート回収ローラ31に巻回されて回収される。
Next, as shown in FIG. 1, a camera, a projector, or the like notifies that the leading end of the leading adhesive sheet AS temporarily attached to the first release sheet RL1 in the feeding direction has reached a predetermined position below the
Here, when the raw material RS is fed out as described above, as shown in a diagram of a reference AA which is a CC arrow view of a BB-BB cross section in FIG. 1, the second release sheet RL2 is cut by a
On the other hand, the reinforcing sheet LS reinforces the unnecessary sheet US while being temporarily attached to the unnecessary sheet US, and the unnecessary sheet US reinforced by the reinforcing sheet LS is separated from the first release sheet RL1 by the
その後、使用者または、ベルトコンベアや多関節ロボット等の図示しない搬送手段が、図1に示すように、保持面52A上にウエハWFを載置すると、支持手段50が図示しない減圧手段を駆動し、保持面52AでのウエハWFの吸着保持を開始する。次に、繰出手段10が回動モータ14Dの駆動をロックした状態でリニアモータ14Aを駆動し、図1中二点鎖線で示すように、支持プレート14Cを右方へ移動させて原反RSを繰り出す。この際も、繰出手段10、不要シート補強手段20および回収手段30が回動モータ13A、22A、31Aを駆動し、除去シート回収ローラ22Bで除去シートESを回収し、接着シート基材BSに接着シート形成用切込CU1を形成して原反RSを形成するとともに、補強シートLSで補強された不要シートUSを不要シート回収ローラ31で回収する。そして、先頭の接着シートASに次ぐ次の接着シートASの繰出方向先端部が第3ガイドローラ12Cの下方所定位置に到達したことを、図示しないシート先端検知機器が検知すると、繰出手段10、不要シート補強手段20および回収手段30がリニアモータ14A、回動モータ13A、22A、31Aの駆動を停止する。
Thereafter, when a user or a transfer means (not shown) such as a belt conveyor or an articulated robot places the wafer WF on the
次いで、支持手段50が直動モータ51を駆動し、図1中二点鎖線で示すように、テーブル52を上昇させた後、押圧手段40がリニアモータ14Aおよび回動モータ14Dを駆動し、駆動ローラ14Fを転動させて原反RSをウエハWFに押圧しながら支持プレート14Cを左方に移動させる。これにより、ウエハWFの上面に接着シートASが貼付されるとともに、当該接着シートASから第1剥離シートRL1が剥離され、剥離された第1剥離シートRL1が剥離シート回収ローラ14Gに回収される。その後、接着シートASから第1剥離シートRL1が完全に剥離され、支持プレート14Cが初期位置に復帰すると、押圧手段40がリニアモータ14Aおよび回動モータ14Dの駆動を停止する。
Next, the support means 50 drives the
次に、支持手段50が直動モータ51を駆動し、テーブル52を初期位置に復帰させた後、図示しない減圧手段の駆動を停止し、保持面52AでのウエハWFの吸着保持を解除する。そして、使用者または図示しない搬送手段が、保持面52A上のウエハWFを次の工程に搬送し、以降上記同様の動作が繰り返される。
Next, after the supporting means 50 drives the
以上のような実施形態によれば、不要シートUSを補強して回収するので、第1剥離シートRL1から剥離した不要シートUSが回収手段30の張力によって切断されることが極力抑制され、不要シートUSの回収不良を極力防止することができる。
According to the above-described embodiment, the unnecessary sheet US is reinforced and collected, so that the unnecessary sheet US peeled from the first release sheet RL1 is prevented from being cut by the tension of the
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。 As described above, the best configuration and method for carrying out the present invention have been disclosed in the above description, but the present invention is not limited to this. That is, although the present invention has been particularly shown and described with particular reference to particular embodiments, without departing from the spirit and scope of the invention, the shape, Those skilled in the art can make various modifications in materials, quantities, and other detailed configurations. In addition, the description in which the shapes, materials, and the like disclosed above are limited is merely an example for facilitating the understanding of the present invention, and does not limit the present invention. The description by the name of the member excluding some or all of the limitations such as is included in the present invention.
例えば、繰出手段10は、予め第1剥離シートRL1に接着シートASと不要シートUSとが仮着され、接着シートASおよび不要シートUSの両方のシート上に帯状の第2剥離シートRL2が仮着された原反を支持ローラ11で支持し、当該原反を繰り出してもよく、この場合、当該繰出手段10に切断手段13が備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。
繰出手段10は、支持プレート14Cを移動させずにまたは移動させつつ、支持ローラ11、第1〜第4ガイドローラ12A〜12D、除去シート回収ローラ22B、切断手段13等を移動させ、原反RSを繰り出してもよいし、チャックシリンダや吸着パッド等の保持手段で原反RSを保持して繰り出してもよいし、巻回することなく例えばファンフォールド折りにして支持した接着シート積層体RS1や原反RSを繰り出してもよいし、除去シートESや第1剥離シートRL1を巻回することなく例えばファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだりして回収してもよいし、除去シートESや第1剥離シートRL1を巻回したりファンフォールド折りにしたりすることなく単に集積して回収してもよい。
切断手段13は、接着シート積層体RS1を移動させずにまたは移動させつつ切断部材を移動させ、接着シート基材BSに接着シート形成用切込CU1を形成して原反RSを形成してもよいし、接着シート基材BSから除去シートESを剥離する前に当該除去シートESを貫通させて接着シート基材BSに接着シート形成用切込CU1を形成してもよいし、切断部材として、例えば、接着シート基材BSに離間接近することで、当該接着シート基材BSに所定形状の接着シート形成用切込CU1を形成する所謂平刃を採用してもよいし、切断刃13Cがダイカットローラ13Dに対して着脱可能でもよいし、着脱不能でもよい。
For example, in the
The feeding means 10 moves the support roller 11, the first to
The cutting means 13 moves the cutting member without moving the adhesive sheet laminate RS1 or while moving the adhesive sheet laminate RS1, forms the cut CU1 for forming the adhesive sheet on the adhesive sheet base material BS, and forms the raw material RS. Before removing the removal sheet ES from the adhesive sheet base material BS, the removal sheet ES may be penetrated to form an adhesive sheet forming cut CU1 in the adhesive sheet base material BS, or as a cutting member, For example, a so-called flat blade that forms a cut CU1 for forming an adhesive sheet of a predetermined shape on the adhesive sheet base BS by separating and approaching the adhesive sheet base BS may be employed, or the cutting blade 13C may be die-cut. It may be detachable from the
不要シート補強手段20は、例えば、不要シートUSに原反RSの繰出方向に延びる帯状の接着テープ、樹脂シート、紙、布等の長尺体を貼付し、当該不要シートUSを補強してもよいし、不要シートUSが所定のエネルギーが付与されることで硬化するように構成されている場合、剥離シート切断手段21および除去シート剥離手段22に代えてまたは併用して、図1中二点鎖線で示すように、不要シートUSに所定のエネルギーとしての紫外線を付与するエネルギー付与手段23を備え、所定のエネルギーで不要シートUSを硬化させて補強してもよい。エネルギー付与手段23が付与するエネルギーは、X線、ガンマ線、可視光線、赤外線等どのようなエネルギーでもよいし、単波長でもよいし複波長でもよいし、冷却エネルギーや熱湯、熱風等を付与するものでもよく、不要シートUSを硬化させるものであれば、不要シートUSの性質、材質、素質、組成等に応じて適宜なものを採用することができる。
剥離シート切断手段21は、第2剥離シートRL2における短寸幅方向の一方の端部にのみ補強シート形成用切込CU2を形成してもよいし、第2剥離シートRL2に原反RSの繰出方向に沿った正弦波形や矩形波形等の非直線形状の補強シート形成用切込CU2を形成してもよいし、単一の直動モータ21Aで複数の切断刃21Cを支持してもよいし、予め第2剥離シートRL2が除去シートESと補強シートLSとに分かれている場合、不要シート除去装置EA(シート貼付装置EA1)に備わっていなくてもよい。
剥離シート切断手段21は、駆動機器によって駆動されるローラ本体と、当該ローラ本体の外周面に設けられ、第2剥離シートRL2における短寸幅方向の少なくとも一方の端部に直線形状または非直線形状の補強シート形成用切込CU2を形成可能な切断刃と、ローラ本体と同期回転するプラテンローラとで構成されてもよい。
除去シート剥離手段22は、第2ガイドローラ12Bに掛け回されることなく接着シート基材BSから剥離された除去シートESを回収してもよいし、例えば、ファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだりして除去シートESを回収してもよい。
The unnecessary sheet reinforcing means 20, for example, affixes a strip-shaped adhesive tape, a resin sheet, paper, cloth, or other long body extending in the feeding direction of the raw sheet RS to the unnecessary sheet US, and reinforces the unnecessary sheet US. If the unnecessary sheet US is configured to be cured by applying a predetermined energy, two points in FIG. 1 may be used instead of or in combination with the release sheet cutting unit 21 and the removal
The release sheet cutting means 21 may form the reinforcing sheet forming cut CU2 only at one end in the short width direction of the second release sheet RL2, or may feed the raw material RS into the second release sheet RL2. A notch CU2 for forming a reinforcing sheet having a non-linear shape such as a sine waveform or a rectangular waveform along the direction may be formed, or a plurality of
The release sheet cutting means 21 is provided on the outer peripheral surface of the roller main body driven by the driving device and the roller main body. At least one end of the second release sheet RL2 in the short width direction has a linear shape or a non-linear shape. And a platen roller that rotates synchronously with the roller body.
The removal sheet peeling means 22 may collect the removal sheet ES peeled from the adhesive sheet base material BS without being wrapped around the
回収手段30は、第1剥離シートRL1から剥離して不要シート補強手段20で補強された不要シートUSを回収してもよく、この場合、不要シート補強手段20は、例えば、第1剥離シートRL1から剥離された不要シートUSに長尺体を貼付して当該不要シートUSを補強してもよいし、第1剥離シートRL1から剥離された不要シートUSに所定のエネルギーを付与して当該不要シートUSを硬化して補強してもよいし、予め第1剥離シートRL1に接着シートASと不要シートUSとが仮着され、接着シートASおよび不要シートUSの両方のシート上に帯状の第2剥離シートRL2が仮着された原反が繰り出される場合、不要シートUSに仮着された第2剥離シートRL2を補強シートとして不要シートUSを補強するものであってもよい。
回収手段30は、第4ガイドローラ12Dに掛け回されることなく第1剥離シートRL1から剥離された不要シートUSを回収してもよいし、例えば、ファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだりして不要シートUSを回収してもよい。
回収手段30は、不要シート回収ローラ31と、駆動機器としての回動モータによって駆動される駆動ローラと、不要シートUSを間に挟んで不要シート回収ローラ31を駆動ローラ方向に付勢し、当該不要シート回収ローラ31に不要シートUSを巻回させる付勢手段としてのばねとを備えるようにしてもよく、この場合、回動モータ31Aはなくてもよい。
The
The
The
押圧手段40は、リニアモータ14A、スライダ14B、支持プレート14C、回動モータ14D、ピンチローラ14E、駆動ローラ14Fおよび剥離シート回収ローラ14Gの一部または全部に代えて、繰出手段10と共用することのない部材を採用してもよいし、駆動機器としての直動モータの出力軸に支持された押圧部材で第1剥離シートRL1上から原反RSをウエハWFに押圧し、接着シートASを当該ウエハWFに貼付してもよいし、駆動機器としての直動モータの出力軸に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段によって吸着保持が可能な保持部材で第1剥離シートRL1を保持し、当該保持部材で保持した第1剥離シートRL1を接着シートASから離間させて剥離する構成を採用してもよい。
The pressing means 40 is shared with the feeding means 10 instead of part or all of the
支持手段50は、保持手段がなくてもよいし、テーブル52を上昇させた際、ウエハWFを接着シートASに当接させてもよいし、当接させなくてもよいし、他の装置でウエハWFを支持する場合、シート貼付装置EA1に備わっていなくてもよい。 The supporting means 50 may not have the holding means, may make the wafer WF abut on the adhesive sheet AS when the table 52 is raised, may or may not make the wafer WF abut, or may be provided by another device. When supporting the wafer WF, the sheet pasting device EA1 may not be provided.
不要シート除去装置EAは、シート貼付装置EA1以外に、例えば、帯状の第1剥離シートRL1に所定の間隔を隔てて複数の接着シートASが仮着された原反RSであって、不要シートUSのない原反RSを形成する原反製造装置や、接着シートASに所定の印刷や印字を行う印刷機械やプリンタ等、どのようなものに採用されてもよい。
補強シートLSで不要シートUSを補強しない場合、接着シート積層体RS1や原反RSに第2剥離シートRL2が仮着されていなくてもよい。
予め第1剥離シートRL1に接着シートASと不要シートUSとが仮着されている場合、不要シートUSは、第1剥離シートRLにおける接着シートASが仮着された面に仮着されていてもよいし、第1剥離シートRLにおける接着シートASが仮着されていない面に仮着されていてもよいし、第1剥離シートRLにおける接着シートASが仮着された面に仮着されている場合、接着シートASと重ならないように当該接着シートASに隣接して仮着されていてもよいし、接着シートASと重ならないように当該接着シートASから離れるようにして仮着されていてもよいし、接着シートASと重なるように仮着されていてもよい。
The unnecessary sheet removing apparatus EA is, for example, an original sheet RS in which a plurality of adhesive sheets AS are temporarily attached at predetermined intervals to a strip-shaped first release sheet RL1 in addition to the sheet attaching apparatus EA1, and the unnecessary sheet US The present invention may be applied to any material, such as a material manufacturing apparatus that forms a material-free RS without printing, a printing machine or a printer that performs predetermined printing or printing on the adhesive sheet AS.
When the unnecessary sheet US is not reinforced by the reinforcing sheet LS, the second release sheet RL2 may not be temporarily attached to the adhesive sheet laminate RS1 or the raw sheet RS.
When the adhesive sheet AS and the unnecessary sheet US are temporarily attached to the first release sheet RL1 in advance, even if the unnecessary sheet US is temporarily attached to the surface of the first release sheet RL to which the adhesive sheet AS is temporarily attached. Alternatively, the adhesive sheet AS of the first release sheet RL may be temporarily attached to a surface on which the adhesive sheet AS is not temporarily attached, or the adhesive sheet AS of the first release sheet RL may be temporarily attached to the surface of the first release sheet RL where the adhesive sheet AS is temporarily attached. In this case, it may be temporarily attached adjacent to the adhesive sheet AS so as not to overlap with the adhesive sheet AS, or may be temporarily attached so as to be separated from the adhesive sheet AS so as not to overlap with the adhesive sheet AS. Alternatively, they may be temporarily attached so as to overlap with the adhesive sheet AS.
本発明における接着シートAS、不要シートUSおよび被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートASは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートASが採用された場合は、当該接着シートASを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプ等の加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートASは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層とを有するもの、基材と接着剤層との間に中間層を有するもの等1層または2層以上のもの、更には、基材を接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等の単体物であってもよいし、それら2つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートASは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。 The material, type, shape, and the like of the adhesive sheet AS, the unnecessary sheet US, and the adherend in the present invention are not particularly limited. For example, the adhesive sheet AS may have a circular shape, an elliptical shape, a polygonal shape such as a triangle or a quadrangle, or other shapes, or may have an adhesive form such as pressure-sensitive adhesiveness or heat-sensitive adhesiveness. When the heat-sensitive adhesive sheet AS is employed, the adhesive sheet AS may be adhered by an appropriate method such as providing an appropriate coil heater for heating the adhesive sheet AS or a heating means such as a heating side such as a heat pipe. In addition, such an adhesive sheet AS is, for example, a single layer having only an adhesive layer, a sheet having a substrate and an adhesive layer, a sheet having an intermediate layer between the substrate and the adhesive layer, and the like. Layer or two or more layers, and further, a so-called double-sided adhesive sheet capable of peeling the substrate from the adhesive layer may be used, and the double-sided adhesive sheet may be a single-layer or multilayer intermediate layer Or a single-layer or multilayer having no intermediate layer. Examples of the adherend include foods, resin containers, semiconductor wafers such as silicon semiconductor wafers and compound semiconductor wafers, circuit substrates, information recording substrates such as optical disks, glass plates, steel plates, pottery, wood plates, resin plates, and the like. It may be a simple substance or a composite formed by two or more of them, and may be a member or an article of any form. In addition, the adhesive sheet AS may be replaced with a functional or application-specific reading method. Any sheet, film, tape, or the like having the shape described above may be used.
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、繰出手段は、複数の接着シートと帯状の不要シートとが帯状の第1剥離シートに仮着された原反を繰り出すことが可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない(他の手段および工程についての説明は省略する)。
前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、2軸または3軸以上の関節を備えた多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等の部材を採用したり、大気やガス等の気体の吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持(保持)手段や支持(保持)部材等の被支持部材を支持または保持するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤(接着シート、接着テープ)、粘着剤(粘着シート、粘着テープ)、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持(保持)する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよいし、付勢手段が採用されている場合、ばね、ゴム、樹脂等で構成してもよい。
The means and steps in the present invention are not limited in any way as long as they can perform the operations, functions or steps described for the means and steps, much less the constituents of only one embodiment shown in the above embodiment and There is no limitation to the process at all. For example, as long as the feeding means can feed out a raw material in which a plurality of adhesive sheets and a strip-shaped unnecessary sheet are temporarily attached to the strip-shaped first release sheet, in light of the technical common sense at the time of filing, There is no limitation as long as it is within the technical range (the description of other means and steps is omitted).
Driving devices in the above embodiment include electric motors such as a rotary motor, a linear motion motor, a linear motor, a single-axis robot, a multi-joint robot having two or three or more joints, an air cylinder, a hydraulic cylinder, and a rodless. Actuators, such as cylinders and rotary cylinders, can be employed, and those obtained by directly or indirectly combining them can be employed.
In the embodiment, when a rotating member such as a roller is employed, a driving device for rotating the rotating member may be provided, or the surface of the rotating member or the rotating member itself may be deformable such as rubber or resin. It may be constituted by a member, may be constituted by a member that does not deform the surface of the rotating member or the rotating member itself, or may be a member that presses an object to be pressed such as pressing means such as a pressing roller or a pressing head or a pressing member. When employed, instead of or in combination with those exemplified above, a member such as a roller, a round bar, a blade material, rubber, a resin, a sponge, or the like, or pressed by blowing air or gas such as gas. Or a member to be pressed may be formed of a deformable member such as rubber or resin, or may be formed of a member that does not deform, or a peeling plate or a peeling roller. Peeling means and peeling When a member such as a member that separates an object to be separated is used, a member such as a plate member, a round bar, a roller, or the like may be used instead of or in combination with the above examples, or the member may be separated. The object may be formed of a deformable member such as rubber or resin, or may be formed of a member that does not deform, or supports or holds a supported member such as a supporting (holding) means or a supporting (holding) member. When such a device is used, gripping means such as a mechanical chuck or a chuck cylinder, Coulomb force, adhesive (adhesive sheet, adhesive tape), adhesive (adhesive sheet, adhesive tape), magnetic force, Bernoulli suction, suction suction, A configuration in which a supported member is supported (held) by a driving device or the like may be employed, or a member that cuts a member to be cut such as a cutting unit or a cutting member, or forms a cut or a cutting line in the member to be cut. If employed, Instead of or in combination with those exemplified in the above, a cutter blade, a laser cutter, an ion beam, thermal power, heat, water pressure, a heating wire, or a material that is cut by spraying a gas or liquid, or the like, may be used, or an appropriate material may be used. The cutting device may be combined with a driving device to move and cut, or when a biasing unit is employed, the cutting device may be formed of a spring, rubber, resin, or the like.
EA…不要シート除去装置
10…繰出手段
13…切断手段
20…不要シート補強手段
21…剥離シート切断手段
22…除去シート剥離手段
30…回収手段
AS…接着シート
BS…接着シート基材
CU1…接着シート形成用切込
CU2…補強シート形成用切込
ES…除去シート
LS…補強シート
RL1…第1剥離シート
RL2…第2剥離シート
RS…原反
RS1…接着シート積層体
US…不要シート
EA: Unnecessary sheet removing device 10: Feeding means 13: Cutting means 20: Unnecessary sheet reinforcing means 21: Peeling sheet cutting means 22: Removal sheet peeling means 30: Collection means AS: Adhesive sheet BS: Adhesive sheet base material CU1: Adhesive sheet Notch for forming CU2 ... Notch for forming reinforcing sheet ES ... Removal sheet LS ... Reinforcing sheet RL1 ... First release sheet RL2 ... Second release sheet RS ... Raw material RS1 ... Adhesive sheet laminate US ... Unnecessary sheet
Claims (4)
前記不要シートを補強する不要シート補強手段と、
前記不要シート補強手段で補強された前記不要シートを前記第1剥離シートから剥離して回収する、または前記第1剥離シートから剥離して前記不要シート補強手段で補強された前記不要シートを回収する回収手段とを備えていることを特徴とする不要シート除去装置。 Feeding means for feeding out an original sheet in which a plurality of adhesive sheets and a strip-shaped unnecessary sheet are temporarily attached to the strip-shaped first release sheet,
Unnecessary sheet reinforcing means for reinforcing the unnecessary sheet,
The unnecessary sheet reinforced by the unnecessary sheet reinforcing means is peeled off from the first release sheet and collected, or the unnecessary sheet peeled off from the first release sheet and reinforced by the unnecessary sheet reinforcing means is collected. An unnecessary sheet removing device, comprising: a collecting unit.
前記不要シート補強手段は、前記第2剥離シートに前記原反の繰出方向に沿う補強シート形成用切込を形成し、当該補強シート形成用切込を境にして前記第2剥離シートを除去シートと補強シートとに分ける剥離シート切断手段と、前記接着シート基材から前記除去シートを剥離する除去シート剥離手段とを備え、
前記切断手段は、前記除去シートが剥離されて表出した前記接着シート基材に前記接着シート形成用切込を形成することを特徴とする請求項1に記載の不要シート除去装置。 The feeding means feeds out an adhesive sheet laminate in which a strip-shaped adhesive sheet substrate is temporarily attached to a first release sheet and a second release sheet is temporarily attached on the adhesive sheet substrate, and the adhesive sheet laminate Forming a notch for forming a closed-loop adhesive sheet in the adhesive sheet base material, and a cutting means for forming the adhesive sheet and the unnecessary sheet,
The unnecessary sheet reinforcing means forms a notch for forming a reinforcing sheet along the feeding direction of the raw material on the second release sheet, and removes the second peeling sheet at a boundary of the notch for forming the reinforcing sheet. A release sheet cutting unit that separates into a reinforcing sheet and a removal sheet separating unit that separates the removal sheet from the adhesive sheet substrate,
The unnecessary sheet removing apparatus according to claim 1, wherein the cutting unit forms the notch for forming the adhesive sheet in the adhesive sheet base material that is exposed when the removal sheet is peeled off.
前記不要シート補強手段は、前記不要シートに前記エネルギーを付与するエネルギー付与手段を備えている請求項1または請求項2に記載の不要シート除去装置。 The unnecessary sheet is configured to be cured by applying a predetermined energy,
The unnecessary sheet removing device according to claim 1 or 2, wherein the unnecessary sheet reinforcing means includes an energy applying means for applying the energy to the unnecessary sheet.
前記不要シートを補強する不要シート補強工程と、
前記不要シート補強工程で補強された前記不要シートを前記第1剥離シートから剥離して回収する、または前記第1剥離シートから剥離して前記不要シート補強工程で補強された前記不要シートを回収する回収工程とを実施することを特徴とする不要シート除去方法。 A feeding step of feeding an original sheet in which a plurality of adhesive sheets and a strip-shaped unnecessary sheet are temporarily attached to the strip-shaped first release sheet;
An unnecessary sheet reinforcing step of reinforcing the unnecessary sheet,
The unnecessary sheet reinforced in the unnecessary sheet reinforcing step is separated and collected from the first release sheet, or the unnecessary sheet separated from the first release sheet and reinforced in the unnecessary sheet reinforcing step is collected. A method for removing unnecessary sheets, comprising performing a collecting step.
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